JP2009124063A - リテーナ及び基板収納容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板収納容器の蓋体10と共に洗浄されるリテーナ20を、蓋体10に装着される縦長の枠体21と、この枠体21の一対の対向片22からそれぞれ突出して相互に接近する一対の弾性片と、この一対の弾性片に形成されて半導体ウェーハの前部周縁を保持する保持部30とから形成する。また、枠体21の各対向片22の蓋体10に対向する裏面長手方向に、複数の凹凸28を間隔をおいて交互に形成し、この複数の凹凸28により、リテーナ20の洗浄や乾燥時の水切り性を向上させる。
【選択図】図8
Description
本発明は上記に鑑みなされたもので、乾燥作業の迅速化や基板の汚染防止を図ることのできるリテーナ及び基板収納容器を提供することを目的としている。
枠体を、間隔をおいて対向する一対の対向片と、この一対の対向片の両端部間にそれぞれ架設される一対の架設片とから形成し、これら対向片と架設片の少なくともいずれか一方の裏面に、凹凸部を形成して洗浄水の水切り性を向上させるようにしたことを特徴としている。
また、一対の弾性片を、枠体の一対の対向片からそれぞれ突出して相互に接近する一対の第一弾性片と、この一対の第一弾性片の屈曲した自由端部に支持されて基板を保持する第二弾性片とから形成し、
第一弾性片の自由端部よりも枠体の対向片寄りの外側に第二弾性片の外側端部を位置させ、この外側端部と保持部とを一体化することができる。
また、保持部を第一、第二の保持部に分割してこれらを第二弾性片に間隔をおいて形成し、第一の保持部よりも第二の保持部を第二弾性片の外側端部側に位置させることも可能である。
蓋体の基板に対向する対向面に、請求項1ないし5いずれかに記載のリテーナを取り付け、蓋体の対向面にリテーナの凹凸部を向けるようにしたことを特徴としている。
蓋体10の裏面中央部13の両側には、複数の凹部が配列して穿孔される。また、リテーナ20の枠体21には、蓋体10の凹部に干渉する複数の係合爪16が並べて突出形成される。また、各弾性片29の裏面には、各弾性片29の過剰な変形や破損を防止するストッパ15が選択的に形成される。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、リテーナ20の構成の多様化が期待できるのは明らかである。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、リテーナ20の構成の多様化が期待できるのは明らかである。
1A 容器本体
10 蓋体
10A 蓋体
11 筐体
13 裏面中央部
14 位置決め突起
15 ストッパ
16 係合爪
17 固定突起
20 リテーナ
21 枠体
22 対向片
23 架設片
24 位置決め部
25 屈曲部
26 リブ
27 逃がし溝
28 凹凸
29 弾性片
30 保持部
31 第一弾性片
32 自由端部
33 第二弾性片
34 外側端部
35 第一の保持部
36 第二の保持部
39 傾斜面
40 保持溝
41 突起
45 平行片
W 半導体ウェーハ(基板)
Claims (6)
- 枠体と、この枠体の一対の対向片からそれぞれ突出する一対の弾性片と、この一対の弾性片に形成されて基板の端部周縁を保持する保持部とを備え、洗浄水により洗浄されるリテーナであって、
枠体を、間隔をおいて対向する一対の対向片と、この一対の対向片の両端部間にそれぞれ架設される一対の架設片とから形成し、これら対向片と架設片の少なくともいずれか一方の裏面に、凹凸部を形成して洗浄水の水切り性を向上させるようにしたことを特徴とするリテーナ。 - 枠体の対向片と架設片の少なくともいずれか一方に、枠体を変形させるバネ性の屈曲部を形成するとともに、位置決め部を形成した請求項1記載のリテーナ。
- 一対の弾性片を、枠体の一対の対向片からそれぞれ突出して相互に接近する一対の第一弾性片と、この一対の第一弾性片の屈曲した自由端部に支持されて基板を保持する第二弾性片とから形成し、
第一弾性片の自由端部よりも枠体の対向片寄りの外側に第二弾性片の外側端部を位置させ、この外側端部と保持部とを一体化するようにした請求項1又は2記載のリテーナ。 - 保持部は、一対の傾斜面により断面略V字形あるいは略Y字形の保持溝を形成する突起を備え、この突起の一対の傾斜面を上下左右非対称に形成した請求項1、2、又は3記載のリテーナ。
- 保持部を第一、第二の保持部に分割してこれらを第二弾性片に間隔をおいて形成し、第一の保持部よりも第二の保持部を第二弾性片の外側端部側に位置させるようにした請求項4記載のリテーナ。
- 基板を収納する容器本体の開口部を、洗浄水により洗浄される着脱自在の蓋体で開閉する基板収納容器であって、
蓋体の基板に対向する対向面に、請求項1ないし5いずれかに記載のリテーナを取り付け、蓋体の対向面にリテーナの凹凸部を向けるようにしたことを特徴とする基板収納容器。
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