JP2009177050A - 処理治具用の収納容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】前後部が開口した容器本体10と、容器本体10の両側壁14内面に対向して形成され、半導体ウェーハを搭載する処理治具のリングフレームを支持する一対の支持片20とを備え、容器本体10の上下方向に一対の支持片20を間隔をおいて複数配列し、隣接する支持片20と支持片20の間をリングフレーム用の挿入溝21に形成する。そして、各支持片20の後部に、リングフレームの側部後方に干渉するストッパ22を設け、ストッパ22には、下方の支持片20に向かうにしたがい徐々に狭まる傾斜面23を形成する。傾斜面23が挿入溝21を徐々に埋めるので、リングフレームの上下方向へのがたつきを抑制防止でき、リングフレームの損傷を防止できる。
【選択図】図1
Description
容器本体の少なくとも両側壁と一対の支持片とを、摺動性の樹脂を含む成形材料により成形し、容器本体の上下方向に一対の支持片を間隔をおいて複数配列し、隣接する支持片と支持片との間をリングフレーム用の挿入溝に区画形成し、支持片と挿入溝のいずれか一方の略後部に、リングフレームの側部後方に対向するストッパを設けるとともに、このストッパには、リングフレームのがたつきを規制する傾斜面を形成したことを特徴としている。
また、支持片の略前部と略中央部のうち、少なくともいずれか一方に、リングフレームの側部に対向する突起を設け、この突起には、下方の支持片に向かうにしたがい徐々に狭まる傾斜面を形成することが好ましい。
また、容器本体の開口した前後部の少なくともいずれか一方を着脱自在に開閉する蓋体を備え、この蓋体の内面に、リングフレームに干渉する突部を設ければ、この突部の干渉により、容器本体に収納されたリングフレームのがたつきをより有効に抑制することができる。
なお、蓋体30の周縁部の左右両側に、容器本体10の開口した前部外周面に係止する係止部33を一体的に形成することも可能である。
2 リングフレーム
10 容器本体
14 側壁
20 支持片
21 挿入溝
22 ストッパ
23 傾斜面
24 突起
24A 突起
25 傾斜面
30 蓋体
31 突部
W 半導体ウェーハ(基板)
Claims (3)
- 前後部がそれぞれ開口した容器本体と、この容器本体の両側壁の内面に対向して突出形成され、基板を搭載する処理治具のリングフレームを支持する一対の支持片とを備えた処理治具用の収納容器であって、
容器本体の少なくとも両側壁と一対の支持片とを、摺動性の樹脂を含む成形材料により成形し、容器本体の上下方向に一対の支持片を間隔をおいて複数配列し、隣接する支持片と支持片との間をリングフレーム用の挿入溝に区画形成し、支持片と挿入溝のいずれか一方の略後部に、リングフレームの側部後方に対向するストッパを設けるとともに、このストッパには、リングフレームのがたつきを規制する傾斜面を形成したことを特徴とする処理治具用の収納容器。 - 容器本体の開口した前後部の少なくともいずれか一方を着脱自在に開閉する蓋体を備え、この蓋体の内面に、リングフレームに干渉する突部を設けた請求項1記載の処理治具用の収納容器。
- 支持片の略前部と略中央部のうち、少なくともいずれか一方に、リングフレームの側部に対向する突起を設け、この突起には、下方の支持片に向かうにしたがい徐々に狭まる傾斜面を形成した請求項1又は2記載の処理治具用の収納容器。
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