JPH0880989A - ウェーハカセット及びその使用方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 ダイサー等切削装置の稼働中に切削済みのウ
ェーハを抜き取り検査する際に、背部（作業者側）から
ウェーハを取り出せるようにしたウェーハカセット及び
その使用方法を提供する。 【構成】 半導体ウェーハを収容するカセット１におい
て、このカセットの背部Ｙには開状態と閉状態とに選択
出来るストッパ２が配設されていて、開状態の時は背部
からウェーハの出し入れが可能となり、閉状態の時は背
部からの出し入れが規制される。半導体ウェーハを切削
する切削装置に前記カセットを装着し、切削装置の稼働
中にそのカセットに収容された切削済みのウェーハを背
部から搬出してウェーハの切削状態をチェックし、その
後ウェーハをカセットの背部からカセット内に収容す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ダイサー等切削装置に
用いるウェーハカセット及びその使用方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウェーハをダイサーでダイシング
する場合には、図９に示すように複数枚のフレーム付き
ウェーハＷを収容したカセットＣを図８に示すカセット
載置領域Ａに載置し、搬出入手段ＢでカセットＣ内のウ
ェーハＷを待機領域Ｄに搬出し、そのウェーハＷを旋回
アームを有する搬送手段ＥでチャックテーブルＴに搬送
し、このチャックテーブルＴを移動してアライメント手
段Ｇでアライメントした後、回転ブレードを装着した切
削手段Ｈでダイシングするようになっている。ダイシン
グ後にウェーハＷは第２の搬送手段Ｉにて洗浄手段Ｊに
搬送され、スピン洗浄及び乾燥の後前記旋回アームを有
する搬送手段Ｅにて待機領域Ｄに戻されると共に、搬出
入手段ＢにてカセットＣ内に再び収容される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】前記従来のダイシング
において、ダイシングされたウェーハのカーフ深さ、裏
面のチッピング状態等をダイサーの稼働中に抜き取り検
査することがあるが、その時はカセットＣを手で持ち上
げて検査すべきウェーハを前部から取り出さなければな
らず煩わしさがある。又、カセット領域には２重、３重
にカセットが載置される場合がありこの場合には尚更で
ある。カセットＣの背部Ｙ（作業者側）からウェーハを
取り出せればカセットＣを持ち上げる必要がなく作業が
し易くなるが、図１０に示すようにカセットＣの背部Ｙ
には棒状のストッパＳが背部からのウェーハの脱落防止
及びウェーハの整列のために上下方向に対設されてお
り、ウェーハＷを保持しているフレームＦがぶつかって
背部Ｙから取り出すことは出来ない。そこで、本発明
は、ダイサー稼働中に切削済みのウェーハを抜き取り検
査する際に、背部からウェーハを取り出せるようにした
ウェーハカセット及びその使用方法を提供することを課
題とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】前記課題を技術的に解決
するための手段として、本発明は、半導体ウェーハを収
容するカセットにおいて、このカセットの背部には開状
態と閉状態とに選択出来るストッパが配設されていて、
開状態の時は背部からウェーハの出し入れが可能とな
り、閉状態の時は背部からの出し入れが規制されるウェ
ーハカセットを要旨とする。又、半導体ウェーハを切削
する切削装置に、上記ウェーハカセットを装着し、切削
装置の稼働中にそのカセットに収容された切削済みのウ
ェーハを背部から搬出してウェーハの切削状態をチェッ
クし、その後ウェーハをカセットの背部からカセット内
に収容する、ウェーハカセットの使用方法を要旨とす
る。

【０００５】

【作 用】通常はストッパは閉状態であってウェーハを
カセットの背部から取り出すことは出来ないが、ダイサ
ーの稼働中にウェーハの抜き取り検査をする際には、ス
トッパを開状態にして任意のウェーハをカセットの背部
から取り出すことが出来、検査後はウェーハをカセット
の背部から元の位置に収容することが出来る。

【０００６】

【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて
詳説する。図１は本発明の第１実施例であり、カセット
１の背部Ｙに一対の開閉式ストッパ２が配設されたもの
である。ストッパ２は、上下のアーム２ａとこれらのア
ームに固定された棒状体２ｂとから構成され、前記カセ
ット１の両側板１ａの背部には上下端部に切り込み１ｂ
がそれぞれ設けられ、この切り込み１ｂに前記アーム２
ａの端部が挿入されピン３で回転可能に枢支されてい
る。

【０００７】前記ストッパ２は図１に実線で示した位置
が閉状態であり、この閉状態から外向き（矢印Ｐ方向）
に回転させると仮想線で示した開状態にすることが出来
る。従って、ウェーハの抜き取り検査時にカセット１の
両側のストッパ２を開状態にすれば収容されている切削
済みのフレームＦ付きのウェーハＷをカセット１の背部
Ｙから取り出すことが出来、検査後はカセット１の背部
Ｙからカセット１内の元の位置に収容し、両側のストッ
パ２をそれぞれ内向きに回転させれば再び閉状態に戻す
ことが出来る。尚、ストッパ２が閉状態に付勢されるよ
うにバネ等を配設しても良い。

【０００８】図２は本発明の第２実施例であり、カセッ
ト１１の側板１１ａの背部に側板の上端部を除いて各棚
板１１ｃを切断し且つ外部に開口する長方形の切欠部１
１ｂを設け、この切欠部１１ｂにストッパ１２を上下動
可能に配設したものである。

【０００９】前記ストッパ１２は上下方向に所定の間隔
をあけて並設された板状体１２ａを有し、この板状体１
２ａは側板１１ａの外側から前記切欠部１１ｂを抜けて
内側に突出されており、各板状体１２ａの上面が前記各
棚板１１ｃの上面より上に位置している時は閉状態であ
り、ストッパ１２の上部に設けられた突起部１２ｂを押
し下げると、各板状体１２ａの上面が各棚板１１ｃの上
面と面一か又はそれより下に位置して開状態になる。従
って、ウェーハの抜き取り検査時にカセットの両側のス
トッパ１２を開状態にすれば、図示は省略したが収容さ
れている切削済みのフレーム付きのウェーハをカセット
の背部Ｙから取り出すことが出来、検査後はカセットの
背部Ｙから元の位置に収容し、ストッパ１２を上昇させ
て再び閉状態に戻すことが出来る。

【００１０】この場合、ストッパ１２をバネ（図略）で
上向き付勢して通常は閉状態に保持し、そのバネに抗し
て前記突起部１２ｂを押し下げた際に開状態になるよう
に構成すると好都合である。又、例えば突起部１２ｂに
関連させてカンヌキ又はコッタピン等の止め具（図略）
を設け、この止め具を外した際にストッパ１２が下降し
て開状態になるように構成しても良い。

【００１１】図３は本発明の第３実施例であり、カセッ
ト２１の側板２１ａの背部Ｙに各棚板２１ｃに対応させ
てストッパ２２をそれぞれ設けた構成である。ストッパ
２２は棚板２１ｃからカセット２１の内方に張り出した
水平片２２ａとその上面の中央部に設けられた円盤状の
突起２２ｂとから成り、図３(ロ) に示すようにウェーハ
を保持したフレームＦが突起２２ｂに当接している時は
閉状態であり、フレームＦの端部を突起２２ｂの上に持
ち上げた時に開状態となるようにしてある。従って、ウ
ェーハの抜き取り検査時にはフレームＦを少し持ち上げ
て突起２２ｂの上を通過させるようにしてカセット２１
の背部Ｙから取り出すことが出来、検査後は突起２２ｂ
の上を通過させてカセット内に挿入すると共に、フレー
ムＦの端部を突起２２ｂの内側に落とし込めば閉状態に
することが出来る。

【００１２】図４は本発明の第４実施例であり、カセッ
ト３１の側板３１ａの背部Ｙに各棚板３１ｃに対応させ
て適度の弾性を付与したストッパ３２をそれぞれ設けた
ものである。ストッパ３２は棚板３１ｃからカセット３
１の内方に張り出した略Ｌ型の弾性水平片３２ａとその
先端部に設けられた突起３２ｂとから成り、図４(ロ)に
示すようにウェーハを保持したフレームＦが突起３２ｂ
に当接している時は閉状態であり、その突起３２ｂをフ
レームＦの下面より下に押し下げた時に開状態となるよ
うにしてある。従って、ウェーハの抜き取り検査時には
突起３２ｂを押し下げて開状態にしてフレームＦ付きウ
ェーハをカセット３１の背部Ｙから取り出すことが出
来、検査後はフレームＦを背部から挿入することによっ
て突起３２ｂが開状態になり、フレームＦはカセット３
１内に収容される。そして、突起３２ｂは弾性水平片３
２ａの復元力によって閉状態に戻る。

【００１３】図５は本発明の第５実施例であり、カセッ
ト４１の側板４１ａの後部にストッパ４２を設けたもの
である。ストッパ４２は側板４１ａの上下端部に係合さ
れた開閉バー４３と、この開閉バー４３を操作するため
の操作レバー４４と、この操作レバー４４の側部に固定
され前記開閉バー４３の開閉動作をガイドするガイド板
４５を有している。

【００１４】前記開閉バー４３はその両端部が側板４１
ａの上下端部に形成された取付孔４１ｄに係合されると
共に、垂直部４３ａはカセット４１の棚板４１ｃを切り
欠いて形成した縦方向の凹溝４１ｂ内に収納されてい
る。

【００１５】前記角柱状を呈する操作レバー４４はその
長手方向に沿って通孔４４ａが設けられ、カセット４１
の上部に差し渡した上板４１ｅに固定して後方に突設し
たシャフト４６に前記通孔４４ａを嵌合すると共に、操
作レバー４４の前端部と上板４１ｅの後端部間にコイル
スプリング４７を介在させてある。

【００１６】前記ガイド板４５は内側端部が操作レバー
４４に固定され（又は操作レバー４４と一体に形成さ
れ）ており、カセット４１の側板４１ａに形成された切
り込み４１ｆに挿入され、この切り込み４１ｆに沿って
摺動出来るようにしてある。このガイド板４５は図６
(イ) 、(ロ) に示すように、上から見てほぼ４５°に傾斜
するガイド孔４５ａが設けられ、このガイド孔４５ａの
前端側（操作レバー４４に近い側）には側板４１ａより
内側に位置する前止部４５ｂが形成され、その反対の後
端側には前記凹溝４１ｂの底壁より内側に位置する後止
部４５ｃが形成されている。

【００１７】これにより、ストッパ４２は操作レバー４
４によりガイド板４５を介して開閉バー４３を操作する
ことにより、開閉することが出来る。図６(イ) はストッ
パ４２の閉状態を示すもので、この時操作レバー４４は
コイルスプリング４７により後方即ち背部Ｙ側に付勢さ
れており、開閉バー４３は閉じられている。即ち、開閉
バー４３は図５に示す垂直部４３ａがガイド板４５の前
止部４５ｂに保持され、凹溝４１ｂから飛び出てカセッ
ト４１の内部側に位置しているからである。従って、こ
のストッパ４２の閉状態においては、カセット４１内に
収容されたフレームＦ付きのウェーハＷ（図略）は開閉
バー４３に阻止され、カセット１の背部Ｙから取り出す
ことは出来ない。

【００１８】一方、図６(ロ) はストッパ４２の開状態を
示すもので、コイルスプリング４７を縮めながら操作レ
バー４４を押し込むと、この操作レバー４４と共にガイ
ド板４５が前方に移動し、前記開閉バー４３の垂直部４
３ａは前止部４５ｂから外れると共に、傾斜ガイド孔４
５ａにガイドされながら取付孔４１ｄを支点として反時
計方向に回転して凹溝４１ｂ内に入り込み、最後に後止
部４５ｃに至る。従って、操作レバー４４を指等で押し
たままストッパの開状態を保持すれば、カセット４１内
に収容されたフレーム付きのウェーハをカセット４１の
背部Ｙから取り出すことが出来る。そして、操作レバー
４４の押圧力を解除すると、コイルスプリング４７の復
元力によって操作レバー４４が後方に戻され、それに伴
ってガイド板４５も後方に移動する。これにより、前記
開閉バー４３の垂直部４３ａは後止部４５ｃから外れる
と共に、傾斜ガイド孔４５ａに沿って移動しながら取付
孔４１ｄを支点として今度は時計方向に回転して凹溝４
１ｂから突出し、最後に前止部４５ｂに嵌合する。従っ
て、ストッパ４２は再び図６(イ) に示す閉状態となり、
カセット４１内に収容されたフレーム付きウェーハをカ
セット４１の背部Ｙから取り出すことは出来なくなる。

【００１９】尚、検査済みのフレーム付きウェーハをカ
セット４１内の元の位置に戻すには、操作レバー４４を
押圧し開閉バー４３を図６(ロ) に示す状態にした後、背
部Ｙから挿入し、挿入が完了した後操作レバー４４の押
圧を解除し、図６(イ) で示す状態にすれば良い。

【００２０】前記ストッパ４２の閉状態においては、開
閉バー４３の垂直部４３ａは前止部４５ｂに係止されて
いるので、カセット４１内に収容された多数のフレーム
付きウェーハが搬送中傾く等して開閉バー４３に当たっ
たとしても、直ちに垂直部４３ａが押されて凹溝４１ｂ
内に移動することはない。故に、ストッパの閉状態は堅
固に保持され、多数のウェーハが背部Ｙから滑り落ちる
ことはない。尚、カセット４１の側板４１ａの後端部及
び操作レバー４４の後端部には、ストッパの閉位置を確
認するための矢印等のマーク４８、４９が対設され、こ
れらのマーク４８、４９の横並びによって閉状態を容易
に視認することが出来る。

【００２１】図７はこのようなストッパ機構をカセット
５１の両側に設けた実施例を示すもので、基本的な構成
は前記ストッパ４２と同じであるが、この場合は操作レ
バー５４をカセット５１の上板５１ｅの中央部に、シャ
フト５６及びコイルスプリング５７を介して設け、操作
レバー５４の両側にはガイド孔５５ａ（前止部及び後止
部を含む）を有するガイド板５５を対称的に設け、この
ガイド板５５によって左右の開閉バー５３を同時に開閉
出来るように構成したものである。

【００２２】このストッパ５２によれば、図示は省略し
たが操作レバー５４を押し込むと、ガイド板５５を介し
て両側の開閉バー５３が開いて開状態となり、カセット
５１内に収容されたフレーム付きウェーハを背部Ｙから
取り出すことが出来る。又、取り出したフレーム付きウ
ェーハを背部Ｙからカセット５１内に戻した後に操作レ
バー５４の押圧力を解除すると、コイルスプリング５７
の復元力によって操作レバー５４が戻されると共に、ガ
イド板５５を介して両側の開閉バー５３が閉じて閉状態
に戻る。

【００２３】尚、ストッパの構成は以上の実施例のもの
に限定されることなく、要するに開状態と閉状態とに選
択出来ると共に、開状態の時はカセットの背部からウェ
ーハの出し入れが可能となり、閉状態の時は背部からの
出し入れが規制されるものであれば良い。

【００２４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のカセット
及びその使用方法によれば、ダイシングされたウェーハ
のカーフ深さ、裏面のチッピング状態をダイサーの稼働
中に抜き取り検査する際に、カセットの背部即ち作業者
側からウェーハを取り出すことが出来るので、従来のよ
うにカセットを持ち上げる必要がなく、且つ作業が非常
にし易くなる等の優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１実施例を示す一部の斜視図であ
る。

【図２】 本発明の第２実施例を示す一部の斜視図であ
る。

【図３】 本発明の第３実施例を示すもので、(イ) は一
部の斜視図、(ロ) は作用の説明図である。

【図４】 本発明の第４実施例を示すもので、(イ) は一
部の斜視図、(ロ) は作用の説明図である。

【図５】 本発明の第５実施例を示す要部の斜視図であ
る。

【図６】 (イ) はその閉状態を示す平面図、(ロ) は開状
態を示す平面図である。

【図７】 第５実施例のストッパをカセットの両側に配
設した実施例を示す要部の平面図である。

【図８】 ダイサーの一例を示す斜視図である。

【図９】 従来のカセットの一例を示す斜視図である。

【図１０】抜き取り検査時に従来のカセットからウェー
ハを取り出す際の説明図である。

【符号の説明】

１…カセット １ａ…側板 １ｂ…切り込み ２
…ストッパ ２ａ…アーム ２ｂ…棒状体 ３…ピン １１…カセット １１ａ…側板 １１ｂ…切欠部
１１ｃ…棚板 １２…ストッパ １２ａ…板状体 １２ｂ…突起部 ２１…カセット ２１ａ…側板 ２１ｃ…棚板
２２…ストッパ ２２ａ…水平片 ２２ｂ…突起 ３１…カセット ３１ａ…側板 ３１ｃ…棚板
３２…ストッパ ３２ａ…弾性水平片 ３２ｂ…突起 ４１…カセット ４１ａ…側板 ４１ｂ…凹溝
４１ｃ…棚板 ４１ｄ…取付孔 ４１ｅ…上板 ４１ｆ…切り込み
４２…ストッパ ４３…開閉バー ４３ａ…垂直部 ４４…操作レバ
ー ４４ａ…通孔 ４５…ガイド板 ４５ａ…ガイド孔 ４５ｂ…前止
部 ４５ｃ…後止部 ４６…シャフト ４７…コイルス
プリング ４８、４９…マーク ５１…カセット ５１ｅ…上板 ５２…ストッパ
５３…開閉バー ５４…操作レバー ５５…ガイド板 ５５ａ…ガイ
ド孔 ５６…シャフト ５７…コイルスプリング

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/301

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体ウェーハを収容するカセットにお
   いて、このカセットの背部には開状態と閉状態とに選択
   出来るストッパが配設されていて、開状態の時は背部か
   らウェーハの出し入れが可能となり、閉状態の時は背部
   からの出し入れが規制されるウェーハカセット。
2. 【請求項２】 半導体ウェーハを切削する切削装置に、
   請求項１記載のウェーハカセットを装着し、切削装置の
   稼働中にそのカセットに収容された切削済みのウェーハ
   を背部から搬出してウェーハの切削状態をチェックし、
   その後ウェーハをカセットの背部からカセット内に収容
   する、ウェーハカセットの使用方法。