KR20240029931A - 웨이퍼 카세트 운반용 지그 - Google Patents

웨이퍼 카세트 운반용 지그 Download PDF

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KR20240029931A
KR20240029931A KR1020220108324A KR20220108324A KR20240029931A KR 20240029931 A KR20240029931 A KR 20240029931A KR 1020220108324 A KR1020220108324 A KR 1020220108324A KR 20220108324 A KR20220108324 A KR 20220108324A KR 20240029931 A KR20240029931 A KR 20240029931A
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김광준
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한상경
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Abstract

웨이퍼 카세트 운반용 지그는 지그 몸체, 클램핑 기구 및 구동 기구를 포함할 수 있다. 상기 지그 몸체는 런 박스 내에 수용된 웨이퍼 카세트의 전면에 배치될 수 있다. 상기 클램핑 기구는 상기 지그 몸체 내에 수평 방향을 따라 이동 가능하게 수용되어 상기 웨이퍼 카세트를 클램핑할 수 있다. 상기 구동 기구는 상기 클램핑 기구를 상기 수평 방향을 따라 오므려지거나 벌어지도록 구동시킬 수 있다. 따라서, 구동 기구에 의해 구동되는 클램핑 기구가 웨이퍼 카세트를 견고하게 클램핑하게 되므로, 작업자의 피로도를 크게 줄일 수 있다.

Description

웨이퍼 카세트 운반용 지그{JIG FOR TRANSPORTING A WAFER CASSETTE}
본 발명은 웨이퍼 카세트 운반용 지그에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명은 복수개의 웨이퍼들이 수납된 카세트를 운반하는ㄷ에 사용되는 지그에 관한 것이다.
일반적으로, 웨이퍼 카세트를 작업자가 수동으로 설비에 반송할 수 있다. 구체적으로, 복수개의 웨이퍼들이 수납된 카세트를 담은 런 박스의 커버를 오픈할 수 있다. 카세트를 플랫 얼라인에 넣고, 카세트 내 웨이퍼 얼라인을 맞춘 후 그대로 들어 설비 앞으로 이동하여 해당 설비의 로드락 위치에 맞춰 로딩을 진행할 수 있다. 설비 진행이 완료되면, 카세트를 로드락에서 언로딩하여 작업자가 이를 들고 해당 런 박스 뚜껑을 한 손으로 개방할 수 있다. 카세트를 런 박스에 로딩한 이후, 런 박스를 닫을 수 있다. 작업자가 런 박스를 들고 다음 공정으로 매뉴얼 반송을 하는 방식으로 수행할 수 있다.
관련 기술들에 따르면, 카세트를 한 손으로 로딩/언로딩 시 검지 손가락의 피로도가 가장 높으며, 장기간 반복적인 업무를 진행하게 되면, 전술한 방식과 같이 사람이 직접 손으로 들고 다니는 방식은 작업자는 손가락, 손목 등 신체의 피로도가 누적되어 쌓이게 된다.
본 발명은 웨이퍼 카세트를 취급하는 작업자의 피로감을 크게 줄일 수 있는 웨이퍼 카세트 운반용 지그를 제공한다.
본 발명의 일 견지에 따른 웨이퍼 카세트 운반용 지그는 지그 몸체, 클램핑 기구 및 구동 기구를 포함할 수 있다. 상기 지그 몸체는 런 박스 내에 수용된 웨이퍼 카세트의 전면에 배치될 수 있다. 상기 클램핑 기구는 상기 지그 몸체 내에 수평 방향을 따라 이동 가능하게 수용되어 상기 웨이퍼 카세트를 클램핑할 수 있다. 상기 구동 기구는 상기 지그 몸체 내에 배치되어 상기 클램핑 기구를 상기 수평 방향을 따라 오므려지거나 벌어지도록 구동시킬 수 있다.
상기된 본 발명에 따르면, 구동 기구에 의해 구동되는 클램핑 기구가 웨이퍼 카세트를 견고하게 클램핑하게 되므로, 작업자의 피로도를 크게 줄일 수 있다. 특히, 구동 기구가 지그 몸체의 내부에 배치되어 있으므로, 웨이퍼에 치명적인 결함으로 작용하는 파티클의 발생을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 카세트 운반용 지그를 나타낸 사시도이다.
도 2 및 도 3은 도 1에 도시된 웨이퍼 카세트 운반용 지그의 클램핑 기구와 구동 기구를 확대해서 나타낸 사시도들이다.
도 4는 도 2에 도시된 클램핑 기구와 구동 기구의 내부 구조를 나타낸 사시도이다.
도 5 및 도 6은 도 1에 도시된 웨이퍼 카세트 운반용 지그의 서포트 가이드를 나타낸 사시도들이다.
도 7 및 도 8은 도 1에 도시된 웨이퍼 카세트 운반용 지그의 동작을 나타낸 단면도들이다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 카세트 운반용 지그를 나타낸 사시도이고, 도 2 및 도 3은 도 1에 도시된 웨이퍼 카세트 운반용 지그의 클램핑 기구와 구동 기구를 확대해서 나타낸 사시도들이며, 도 4는 도 2에 도시된 클램핑 기구와 구동 기구의 내부 구조를 나타낸 사시도이고, 도 5 및 도 6은 도 1에 도시된 웨이퍼 카세트 운반용 지그의 서포트 가이드를 나타낸 사시도들이다.
도 1 내지 도 6을 참조하면, 복수개의 웨이퍼(wafer)(W)들은 웨이퍼 카세트(cassetter)(C)에 수납될 수 있다. 웨이퍼 카세트(C)는 상부면이 개방된 구조를 가져서, 웨이퍼(W)들이 개방된 상부면을 통해서 웨이퍼 카세트(C) 내에 수납될 수 있다. 웨이퍼 카세트(C)는 런 박스(run box)(B)에 수납된 상태로 이동될 수 있다.
본 실시예에 따른 웨이퍼 카세트 운반용 지그는 런 박스(B)에 수납된 웨이퍼 카세트(C)를 운반하는데 사용될 수 있다. 웨이퍼 카세트 운반용 지그(jig)는 지그 몸체(jig body)(100), 클램핑 기구(clamping mechanism)(200), 구동 기구(driving mechanism)(300) 및 서포트 가이드(support guide)(400)를 포함할 수 있다.
지그 몸체(100)는 웨이퍼 카세트(C)의 전면에 배치될 수 있다. 지그 몸체(100)는 제 1 몸체 블럭(block)(110), 제 2 몸체 블럭(120) 및 손잡이(130)를 포함할 수 있다. 제 1 몸체 블럭(110)은 제 1 수평 방향(H1)을 따라 길게 연장된 형상을 가질 수 있다. 제 1 몸체 블럭(110)이 웨이퍼 카세트(C)의 전면에 밀착될 수 있다. 제 2 몸체 블럭(120)은 제 1 몸체 블럭(110)의 외측면 중앙부로부터 제 1 수평 방향(H1)과 실질적으로 직교하는 제 2 수평 방향(H2)을 따라 연장될 수 있다. 손잡이(130)는 제 2 몸체 블럭(120)의 단부로부터 수직 방향(V)을 따라 아래로 연장될 수 있다.
본 실시예에서, 제 1 몸체 블럭(110)과 제 2 몸체 블럭(120)은 내부가 빈 구조를 가질 수 있다. 특히, 제 1 몸체 블럭(110)은 개방된 양측면들을 가질 수 있다. 제 1 몸체 블럭(110)과 연결되는 제 2 몸체 블럭(120)의 내측면이 개방될 수 있다. 따라서, 제 1 몸체 블럭(110)과 제 2 몸체 블럭(120)의 내부 공간은 서로 연통될 수 있다.
클램핑 기구(200)는 지그 몸체(100)의 내부에 배치되어, 웨이퍼 카세트(C)를 클램핑할 수 있다. 구체적으로, 클램핑 기구(200)는 제 1 몸체 블럭(110) 내에 제 1 수평 방향(H1)을 따라 이동 가능하게 배치되어, 웨이퍼 카세트(C)의 양측면들을 견고하게 클램핑할 수 있다.
클램핑 기구(200)는 한 쌍의 클램핑 블럭(clamping block)(210, 212)들 및 한 쌍의 컨택 블럭(contact block)(220, 222)들을 포함할 수 있다. 한 쌍의 클램핑 블럭(210, 212)들은 제 1 몸체 블럭(110)의 내부에 제 1 수평 방향(H1)을 따라 이동 가능하게 수용될 수 있다. 클램핑 블럭(210, 212)들은 구동 기구(300)에 의해서 제 1 수평 방향(H1)을 따라 오므려지거나 벌어져서 웨이퍼 카세트(C)의 양측면들을 선택적으로 클램핑할 수 있다. 클램핑 블럭(210, 212)들 각각은 양단으로부터 제 2 수평 방향(H2)을 따라 연장된 연장부들을 가질 수 있다.
컨택 블럭(220, 222)들은 클램핑 블럭(210, 212)들의 연장부들 내측면에 배치될 수 있다. 클램핑 블럭(210, 212)들이 구동 기구(300)에 의해서 오므려지게 되면, 컨택 블럭(220, 222)들이 웨이퍼 카세트(C)의 양측면에 컨택될 수 있다.
구동 기구(300)는 클램핑 블럭(210, 212)들을 제 1 수평 방향(H1)을 따라 이동시킬 수 있다. 전술한 바와 같이, 구동 기구(300)는 클램핑 블럭(210, 212)들을 제 1 수평 방향(H1)을 따라 오므리거나 벌어지도록 할 수 있다.
구동 기구(300)는 레버(lever)(310), 구동 블럭(driving block)(340), 힌지 브래킷(hinge bracket)(350), 스프링(spring)(330), 고정 기구(fixing mechanism)(360) 및 해제 버튼(release button)(370)을 포함할 수 있다.
레버(310)는 지그 몸체(100)에 회전 가능하게 연결될 수 있다. 구체적으로, 레버(310)는 제 2 몸체 블럭(120)과 손잡이(130)의 연결 부위에 설치된 힌지핀(320)에 회전 가능하게 연결될 수 있다. 따라서, 레버(310)는 제 1 수평 방향(H1)을 중심으로 회전될 수 있다. 특히, 손잡이(130)는 제 1 수평 방향(H1)을 중심으로 회전되는 레버(310)를 수용하는 홈이 형성될 수 있다. 홈은 웨이퍼 카세트(C)를 향하는 손잡이(130)의 내측면에 형성될 수 있다.
구동 블럭(340)은 제 2 몸체 블럭(120)의 내부에 제 2 수평 방향(H2)을 따라 이동 가능하게 배치될 수 있다. 구동 블럭(340)은 레버(310)의 내측 단부에 연결될 수 있다. 따라서, 구동 블럭(340)은 레버(310)의 회전 방향에 따라 제 2 몸체 블럭(120)으로부터 제 1 몸체 블럭(110)의 내부로 전진하거나 또는 제 1 몸체 블럭(110)으로부터 제 2 몸체 블럭(120)의 내부로 후진할 수 있다.
힌지 브래킷(350)은 레버(310)와 구동 블럭(340)을 연결시킬 수 있다. 힌지핀(352)들이 힌지 브래킷(350)을 통해서 레버(310)와 구동 블럭(340)에 체결될 수 있다. 따라서, 레버(310)의 회전력은 힌지 브래킷(350)을 통해서 구동 블럭(340)으로 전달되어, 구동 블럭(340)이 제 2 수평 방향(H2)을 따라 전후진되도록 할 수 있다.
구동 블럭(340)은 클램핑 기구(200)에 형성된 한 쌍의 가이드 홈(guide groove)(214)들에 이동 가능하게 삽입될 수 있다. 구체적으로, 가이드 홈(214)들은 클램핑 기구(200)의 클램핑 블럭(210, 212)들의 상부면들에 구동 블럭(340)의 전진 방향, 즉 제 2 수평 방향(H2)에 대해서 경사진 방향을 따라 형성될 수 있다. 구동 블럭(340)의 양측 하단들이 가이드 홈(214)들에 이동 가능하게 삽입될 수 있다. 예를 들어서, 가이드 롤러들(guide roller)이 구동 블럭(340)의 양측 하단들에 설치되어, 이러한 가이드 롤러들이 가이드 홈(214)들에 이동 가능하게 삽입될 수 있다.
구동 블럭(340)의 양측 하단들이 가이드 홈(214)들에 이동 가능하게 삽입되는 것에 의해서, 구동 블럭(340)의 전진 또는 후진에 의해서 클램핑 블럭(210, 212)들이 오므려지거나 또는 벌어질 수 있다. 구체적으로, 구동 블럭(340)이 전진하면, 구동 블럭(340)의 양측 하단들이 가이드 홈(214)들을 따라 클램핑 블럭(210, 212)들의 내측면으로 이동될 수 있다. 구동 블럭(340)의 폭은 고정되어 있으므로, 클램핑 블럭(210, 212)들 사이의 폭은 좁아지게 되어, 클램핑 블럭(210, 212)들은 오므려질 수 있다. 결과적으로, 오므려진 클램핑 블럭(210, 212)들에 의해서 컨택 블럭(220, 222)들이 웨이퍼 카세트(C)의 양측면에 컨택될 수 있다. 반면에, 구동 블럭(340)이 후진하면, 구동 블럭(340)의 양측 하단들이 가이드 홈(214)들을 따라 클램핑 블럭(210, 212)들의 외측면으로 이동될 수 있다. 구동 블럭(340)의 폭은 고정되어 있으므로, 클램핑 블럭(210, 212)들 사이의 폭은 넓어지게 되어, 클램핑 블럭(210, 212)들은 벌어질 수 있다. 결과적으로, 벌어진 클램핑 블럭(210, 212)들에 의해서 컨택 블럭(220, 222)들이 웨이퍼 카세트(C)의 양측면으로부터 이탈될 수 있다.
스프링(330)은 힌지핀(320)에 설치될 수 있다. 스프링(330)은 구동 블럭(340)이 후진하는 방향으로 레버(310)를 탄력 지지할 수 있다. 따라서, 레버(310)에 외력을 인가하지 않은 상태에서는, 구동 블럭(340)은 스프링(330)에 의해서 후진된 상태로 유지될 수 있다. 즉, 클램핑 블럭(210, 212)들과 컨택 블럭(220, 222)들은 벌어진 상태로 유지될 수 있다.
스프링(330)의 탄성력보다 강한 외력을 레버(310)를 인가하여 구동 블럭(340)을 전진시키면, 고정 기구(360)가 회전된 레버(310)를 고정시킬 수 있다. 고정 기구(360)는 고정판(fixing plate)(362) 및 고정핀(fixing pin)(364)을 포함할 수 있다.
고정판(362)은 힌지핀(320)이 설치된 지그 몸체(100) 부위, 즉 제 2 몸체 블럭(120)과 손잡이(130) 사이의 연결 부위에 설치될 수 있다. 고정판(362)은 수평하게 배치될 수 있다. 고정공이 고정판(362)에 수직 방향(V)을 따라 형성될 수 있다.
고정핀(364)은 고정판(362)에 인접한 레버(310)에 설치될 수 있다. 고정핀(364)은 레버(310)의 회전에 의해서 고정판(362)의 고정공에 선택적으로 삽입될 수 있다. 고정핀(364)이 고정공에 삽입되는 것에 의해서, 레버(310)에 외력을 더 이상 인가하지 않아도 구동 블럭(340)의 전진된 상태가 유지될 수 있다.
해제 버튼(370)은 제 2 몸체 블럭(120)에 배치될 수 있다. 구체적으로, 해제 버튼(370)은 손잡이(130)의 위에 위치한 제 2 몸체 블럭(120)의 상부면 부위에 배치될 수 있다. 해제 버튼(370)은 고정핀(364)을 고정공으로부터 이탈시킬 수 있다.
서포트 가이드(400)는 런 박스(B)의 후면을 지지할 수 있다. 런 박스(B)는 일반적으로 테이블(T)의 상부면에 안치될 수 있다. 지그가 웨이퍼 카세트(C)를 클램핑하는 동안, 서포트 가이드(400)는 런 박스(B)의 후면을 견고하게 지지할 수 있다. 서포트 가이드(400)는 하부 지지대(410), 상부 지지대(420), 지지 브래킷(430) 및 높이 조정 나사(440)들을 포함할 수 있다.
하부 지지대(410)는 런 박스(B)의 후면 하부 부위를 지지할 수 있다. 상부 지지대(420)는 하부 지지대(410)의 상단에 설치될 수 있다. 특히, 높이 조정 나사(440)가 상부 지지대(420)와 하부 지지대(410) 사이에 체결되어, 하부 지지대(410)에 대한 상부 지지대(420)의 높이를 런 박스(B)의 높이에 따라 조정할 수 있다.
지지 브래킷(430)은 하부 지지대(410)에 설치되어 테이블(T)에 지지될 수 있다. 지지 브래킷(430)의 하단에 지지단(432)이 형성되어, 테이블(T)의 하부면에 걸릴 수 있다. 또한, 높이 조정 나사(440)가 지지 브래킷(430)과 하부 지지대(410) 사이에 체결되어, 지지 브래킷(430)에 대한 하부 지지대(410)의 높이를 런 박스(B)의 높이에 따라 조정할 수 있다.
이하, 도 1에 도시된 지그로 웨이퍼 카세트를 클램핑하는 동작을 도 7 및 도 8을 참조로 상세히 설명한다.
도 7 및 도 8은 도 1에 도시된 웨이퍼 카세트 운반용 지그의 동작을 나타낸 단면도들이다.
도 1 및 도 7을 참조하면, 스프링(330)이 레버(310)를 시계방향을 따라 탄력 지지하고 있으므로, 구동 블럭(340)은 후진된 상태로 유지될 수 있다. 따라서, 구동 블럭(340)의 양측 하단들은 가이드 홈(214)들의 외측 단부들에 위치할 수 있다. 결과적으로, 클램핑 블럭(210, 212)들과 컨택 블럭(220, 222)들은 벌어진 상태로 유지될 수 있다.
도 1 및 도 8을 참조하면, 작업자가 손잡이(130)를 잡은 상태에서, 스프링(330)의 탄성력보다 강한 외력을 레버(310)에 인가하여, 레버(310)를 시계반대방향으로 회전시킬 수 있다.
레버(310)의 회전력은 힌지 브래킷(350)을 통해서 구동 블럭(340)으로 전달되어, 구동 블럭(340)은 제 2 수평 방향(H2)을 따라 전진할 수 있다. 구동 블럭(340)의 양측 하단들도 가이드 홈(214)들을 따라 이동하게 되어, 가이드 홈(214)들의 내측 단부까지 이동될 수 있다. 따라서, 클램핑 블럭(210, 212)들이 오므려지게 되어, 컨택 블럭(220, 222)들이 웨이퍼 카세트(C)의 양측면들과 컨택되고, 이에 따라 웨이퍼 카세트(C)가 견고하게 클램핑될 수 있다.
또한, 레버(310)의 회전에 의해서 고정핀(364)도 같이 회전하게 되므로, 고정핀(364)이 고정판(362)의 고정공으로 삽입될 수 있다. 따라서, 손잡이(130) 내부에 수용된 레버(310)에 더 이상 외력을 인가하지 않아도 클램핑 블럭(210, 212)들과 컨택 블럭(220, 222)들이 웨이퍼 카세트(C)를 클램핑 상태가 유지될 수 있다.
작업자는 손잡이(130)를 잡고 웨이퍼 카세트(C)를 클램핑하고 있는 지그를 원하는 장소로 편리하게 이동시킬 수 있다. 따라서, 작업자의 피로도가 크게 줄어들 수 있다. 특히, 이러한 클램핑 동작과 구동 동작은 지그 몸체(100)의 내부에서 이루어지게 되므로, 구동 기구(300)와 클램핑 기구(200)의 동작으로 인한 파티클의 발생을 방지할 수 있다.
상기된 본 실시예에 따르면, 구동 기구(300)에 의해 구동되는 클램핑 기구(200)가 웨이퍼 카세트(C)를 견고하게 클램핑하게 되므로, 작업자의 피로도를 크게 줄일 수 있다. 특히, 구동 기구(300)가 지그 몸체(100)의 내부에 배치되어 있으므로, 웨이퍼에 치명적인 결함으로 작용하는 파티클의 발생을 방지할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 ; 지그 몸체 110 ; 제 1 몸체 블럭
120 ; 제 2 몸체 블럭 130 ; 손잡이
200 ; 클램핑 기구 210, 212 ; 클램핑 블럭
214 ; 가이드 홈 220, 222 ; 컨택 블럭
300 ; 구동 기구 310 ; 레버
320 ; 힌지핀 330 ; 스프링
340 ; 구동 블럭 350 ; 힌지 브래킷
352 ; 힌지핀 360 ; 고정 기구
362 ; 고정판 364 ; 고정핀
370 ; 해제 버튼 400 ; 서포트 가이드
410 ; 하부 지지대 420 ; 상부 지지대
430 ; 지지 브래킷 440 ; 높이 조정 나사
B ; 런 박스 C ; 웨이퍼 카세트
T ; 테이블 H1 ; 제 1 수평 방향
H2 ; 제 2 수평 방향 V ; 수직 방향

Claims (10)

  1. 런 박스(B) 내에 수용된 웨이퍼 카세트(C)의 전면에 배치된 지그 몸체(100);
    상기 지그 몸체(100) 내에 수평 방향을 따라 이동 가능하게 수용되어 상기 웨이퍼 카세트(C)를 클램핑하는 클램핑 기구(200); 및
    상기 지그 몸체(100) 내에 배치되어 상기 클램핑 기구(200)를 상기 수평 방향을 따라 오므려지거나 벌어지도록 구동시키는 구동 기구(300)를 포함하는 웨이퍼 카세트 운반용 지그.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 지그 몸체(100)에 설치된 손잡이(130)를 더 포함하는 웨이퍼 카세트 운반용 지그.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 클램핑 기구(200)는
    상기 지그 몸체(100) 내에 상기 수평 방향을 따라 이동 가능하게 배치되어 상기 구동 기구(300)에 연결된 한 쌍의 클램핑 블럭(210, 212)들; 및
    상기 클램핑 블럭(210, 212)들의 마주보는 내측면들에 배치되어 상기 웨이퍼 카세트(C)의 측면들과 접촉하는 한 쌍의 컨택 블럭(220, 222)들을 포함하는 웨이퍼 카세트 운반용 지그.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 구동 기구(300)는
    상기 지그 몸체(100)에 회전 가능하게 연결된 레버(310); 및
    상기 레버(310)의 회전 방향에 따라 상기 클램핑 기구(200)로/로부터 전진/후진하여 상기 클램핑 기구(200)를 상기 수평 방향을 따라 이동시키는 구동 블럭(340)을 포함하고,
    상기 구동 블럭(340)은 상기 구동 블럭(340)의 전진 방향에 대해서 경사진 방향을 따라 상기 클램핑 기구(200)에 형성된 한 쌍의 가이드 홈(214)들에 이동 가능하게 삽입된 웨이퍼 카세트 운반용 지그.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 구동 기구(300)는 상기 구동 블럭(340)이 후진하는 방향으로 상기 레버(310)를 탄력 지지하는 스프링(330)을 더 포함하는 웨이퍼 카세트 운반용 지그.
  6. 제 4 항에 있어서, 상기 구동 기구(300)는 상기 구동 블럭(340)을 상기 레버(310)에 회전 가능하게 연결시키는 힌지 브래킷(350)을 더 포함하는 웨이퍼 카세트 운반용 지그.
  7. 제 4 항에 있어서, 상기 구동 기구(300)는 상기 구동 블럭(340)을 전진시킨 상기 레버(310)를 고정시키는 고정 기구(360)를 더 포함하는 웨이퍼 카세트 운반용 지그.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 고정 기구(360)는
    상기 레버(310)가 회전 가능하게 연결된 상기 지그 몸체(100) 부위에 설치되고, 고정공을 갖는 고정판(362); 및
    상기 레버(310)에 설치되어 상기 고정공에 선택적으로 삽입되는 고정핀(364)을 포함하는 웨이퍼 카세트 운반용 지그.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 고정 기구(360)는 상기 고정핀(364)을 상기 고정공으로부터 이탈시키는 해제 버튼(370)을 더 포함하는 웨이퍼 카세트 운반용 지그.
  10. 제 1 항에 있어서, 상기 런 박스(B)의 후면을 지지하는 서포트 가이드(400)를 더 포함하는 웨이퍼 카세트 운반용 지그.
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