KR0110464Y1 - 웨이퍼 이동구 - Google Patents

Abstract

본 고안은 웨이퍼를 낱장으로 이동시켜 웨이퍼의 파손을 방지함은 물론 여러종류의 웨이퍼를 공용으로 이동시킬 수 있도록 한 것이다.

이를 위해, 본 고안은 본체(1)의 일측에 고정되어 웨이퍼(3)를 로딩하기 위한 로딩홈(2a)이 형성된 로딩부(2)와, 본체(1)의 일측에 좌,우이동가능하게 설치되고 상기 로딩부(2)와 대응되는 로딩부(4)가 일체 형성된 이동부재(5)와, 상기 이동부재를 이동시키는 이동수단과, 상기 본체를 파지할 수 있도록 본체에 일체 형성하여서 된 것이다.

Description

웨이퍼 이동구

제1도는 본 고안을 나타낸 사시도.

제2도는 본 고안의 로딩부를 확대한 사시도.

제3도는 본 고안의 사용상태를 설명하기위한 평면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 본체 2,4 : 로딩부

2a,4a : 로딩홈 5 : 이동부재

6 : 볼스크류 7 : 레버

8 : 랙

본 고안은 스크레치(Scratch)감소효과를 얻기 위한 웨이퍼의 이동구에 관한것으로서, 더욱 상세하게는 웨이퍼 에지(Edge)부위의 스크래치를 줄이며 크기가 다른 여러종류의 웨이퍼를 공용으로 이동시키기 적당하도록 한 것이다.

일반적으로 반도체 제조공정중 웨이퍼를 테스트 및 실험시는 웨이퍼를 낱장으로 이동하게 되는데, 종래에는 튀져(Tweezer)또는 진공팁을 이용하였다.

그러나 이러한 종래의 장치중 튀져를 이용할 경우 작업자가 상기 튀져를 손으로 잡고 있어야 하므로 장시간 취급이 불가능 하며 취급부주의로 인해서 웨이퍼의 에지부위에 스크래치가 발생하거나 튀져에 무리한 힘을 가하게 되면 웨이퍼가 파손되었다.

또한 진공팁을 이용할 경우에는 웨이퍼의 저면을 진공흡착하므로 에지부위의 스크래치 발생은 방지할 수 있으나 진공라인에 의해 이동범위가 한정되며 웨이퍼의 테스트시 진공팁이 손상되는 화학약품은 사용이 불가능하여 필요한 테스트를 할 수 없게 되는 문제점이 있었다.

본 고안은 상기한 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 웨이퍼 에지부위의 손상방지는 물론 웨이퍼의 크기에 따라 가변되어 웨이퍼 취급을 간편하게 할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 고안의 형태에 따르면, 본체의 일측에 고정되어 웨이퍼를 로딩하기 위한 로딩홈이 형성된 로딩부와, 본체의 일측에 좌,우로 이동가능하게 설치되고 상기 로딩부와 대응되는 로딩부가 일체 형성된 이동부재와 상기 이동부재를 이동시키는 이동수단과 상기 본체를 파지 할 수 있도록 본체에 일체형성된 손잡이로 구성된 웨이퍼 이동구가 제공된다.

이하 본 고안을 일실시예 도시한 첨부도면 제1도내지 제3도를 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

제1도는 본 고안을 나타낸 사시도이고, 제2도는 본 고안의 로딩부를 확대한 사시도이며, 제3도는 본 고안의 사용상태를 설명하기 위한 평면도로서, 본체의 일측에 로딩부(2)가 고정되어 있고 상기 로딩부에는 웨이퍼(3)를 로딩하기 위한 로딩홈(2a)이 수직, 수평방향으로 복수개 형성되어 있으며, 상기 본체(1)의 다른 일측에는 로딩부와 대응되는 또다른 로딩부(4)를 가진 이동부재(5)가 이동수단에 의해 좌, 우로 이동가능하게 설치되어 있다.

상기 이동수단으로 본체(1)의 내부에 볼스크류(6)가 공회전 가능하게 결합되어 상기 볼스크류에 일체 형성된 레버(7)가 본체의 외측으로 돌출되어 있고 이동부재의 일측 끝단에는 상기 볼스크류(6)와 맞물리는 랙(8)이 형성되어 있어 레버(7)를 공회전시킴에 따라 이동부재(5)가 좌우로 이동하게 된다.

상기 이동부재의 상부에 고정된 로딩부(4)에는 수직, 수평방향으로 복수개의 로딩홈(4a)이 형성되어 있고 상기 본체에는 웨이퍼(3)의 운반시 사용되는 손잡이(9)가 일체 형성되어 있다.

또한 본 고안의 일실시예에서와 같이 로딩부(2)(4)에 형성된 로딩홈(2a)(4a)을 수평 및 수직방향으로 복수개 형성한 이유는 크기가 다른 여러종류의 웨이퍼(3)를 공용으로 이동시키거나 여러개의 웨이퍼를 동시에 이동시킬수 있도록 함과 동시에 제1도의 실선과 같이 수평상태로 웨이퍼를 운반하거나, 또는 일점쇄선과 같이 수직상태로 운반하기 위함이다.

한편, 상기 이동부재(5)의 이동량을 확인하기 위해 본체(1)의 상면에 눈금(10)이 표시되어 있다.

이는 이동부재의 이동량을 눈금(10)을 통해 사용자가 쉽게 식별하여 웨이퍼(3)에 무리한 힘이 가해지지 않도록 함으로써 웨이퍼가 파손되지 않도록 하기 위함이다.

상기와 같이 구성된 본 고안은 웨이퍼(3)를 이동시키기 위해서 본체(1)에 형성된 손잡이(9)를 한손으로 파지하고 다른 한손으로 레버(7)를 시계방향으로 돌리면 상기 레버와 일체형성된 볼스크류(6)가 공회전하게 되므로 상기 볼스크류와 맞물려진 랙(8)에 의해서 이동부재(5)는 일점쇄선과 같이 이동된다.

상기 레버는 본체(1)에 표시된 눈금(10)이 이동하고자하는 웨이퍼(3)의 직경보다 약간 클때까지 회전한다.

이러한 상태에서 본체측 로딩부(2)에 형성된 로딩홈(2a)에 웨이퍼(3)의 일측을 삽입하고 상기 레버(7)를 반 시계방향으로 회전시키면 이동부재(5)가 초기 상태로 이동하게 되어 로딩부(4)에 형성된 로딩홈(4a)이 웨이퍼(3)의 타측에 삽입되므로 웨이퍼의 이동이 가능한 상태가 된다.

이상에서와 같이 본 고안은 웨이퍼를 이동시 상기 웨이퍼(3)의 에지부위에 스크래치가 발생하지 않게 됨은 물론 한번에 여러매의 웨이퍼를 파지할 수 있고 수직 또는 수평 방향으로 파지하여 이동가능하게 된다.

또한 본체(1)에 일체 형성된 손잡이(9)를 잡고 이동하게 되므로 웨이퍼(3)의 파손이 방지됨과 함께 화학약품이 사용되는 테스트 공정에 사용가능하게 되는 매우 유용한 고안이다.

Claims (1)

1. 본체(1)의 일측에 고정되고 웨이퍼(3)를 로딩하기 위한 복수개의 로딩홈(2a)이 수평 및 수직방향으로 형성된 로딩부(2)와, 상기 본체(1)의 일측에 설치된 이동부재(5)에 일체형으로 고정되고 상기 로딩부(2)와 대향하도록 복수개의 로딩홈(4a)이 수평 및 수직방향으로 형성된 로딩부(4)와, 상기 본체를 손으로 잡기 위한 손잡이(9)로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 이동구.