JPH08222622A - ウェハキャリア - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウェハキャリアにおいて、ウェハを収納する
際のオリエンテーションフラットの位置、方向にかかわ
らずウェハを略水平に且つ安定よく保持すると共に、直
径の大きな薄いウェハでもたわみを抑えて保持する。 【構成】 箱状容器１の相対向する両側板２，２の内側
面に、ウェハ３の周縁部をのせて収納するための棚状の
ウェハ受け部６，６，…を対向させて上下に多数列設し
て成るウェハキャリアにおいて、上記ウェハ受け部６，
６，…は、少なくともその上面をそれぞれの側板２，２
への付け根部より内方への突出端部の方が高くなるよう
に傾斜させると共に、対向する突出端部間の距離がウェ
ハ３の外周縁の一部に形成されたオリエンテーションフ
ラットとこれと反対側の外周縁との間の距離より小さく
なるように設定して形成したものである。これにより、
上記ウェハ受け部６，６の対向するそれぞれの上面先端
部でウェハ３の裏面の両側部内側を線接触の状態で保持
することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、外周縁の一部にオリエ
ンテーションフラットが形成されたウェハを多数枚収納
して保持するウェハキャリアに関し、特に、ウェハを収
納する際のオリエンテーションフラットの位置、方向に
かかわらずウェハを略水平に且つ安定よく保持すると共
に、直径の大きな薄いウェハでもたわみを抑えることが
できるウェハキャリアに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種のウェハキャリアは、図４
に示すように、箱状容器１の相対向する両側板２，２の
内側面に、ウェハ３の周縁部をのせて収納するための棚
状のウェハ受け部４，４，…を対向させて上下に多数列
設して成っていた。そして、半導体装置等を製造する工
程において、ある加工の手前のローダ部又は加工後のア
ンローダ部に位置させて、ワークとしてのウェハ３，
３，…を例えばウェハ搬送用ロボットのハンド部で受け
渡ししてウェハ受け部４，４，…に順次収納していた。
ここで、図４に示すように、上記ウェハ受け部４のウェ
ハ３の端部を載せる面は側板２がわから内方に向けて下
がる方向に傾斜しているので、該ウェハ受け部４，４に
載置して収納されたウェハ３は、その外側端だけが上記
ウェハ受け部４の面に接して保持されていた。しかも、
図５（ａ）に示すように、ウェハ３の平面形状は略円形
とされているので、上記ウェハ受け部４の面には左右そ
れぞれ一点ずつのＡ，Ｂで点接触しているだけであっ
た。なお、図５（ａ）において、符号５は、上記ウェハ
キャリアから取り出したウェハ３をＸ，Ｙテーブル等の
上面に載置するときの位置決めを容易にするため、ウェ
ハ３の外周縁の一部を直線状に切り欠いたオリエンテー
ションフラットを示している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、このような従
来のウェハキャリアにおいては、図５（ａ）に示すよう
に、ウェハ３は、ウェハ受け部４の内方に傾斜した面に
左右それぞれ一点ずつのＡ，Ｂで点接触しているだけで
あるので、図５（ｂ）に示すようにウェハ３の外側端
（Ａ，Ｂ）が傾斜面の等分の位置に載っている場合は、
該ウェハ３は略水平に保持されて収納されるが、図５
（ａ）において点Ａ，Ｂを結んだ線に直交する前後方向
には上記点Ａ，Ｂを支点として揺動することがあり、ウ
ェハ３の保持が若干不安定となるものであった。また、
図６（ａ）に示すように、ウェハ３のオリエンテーショ
ンフラット５が一方のウェハ受け部４の長手方向に平行
に置かれた場合は、該オリエンテーションフラット５の
部分の直径方向の長さが短いことから、図６（ｂ）に示
すように、上記オリエンテーションフラット５の部分が
ウェハ受け部４の内方に傾斜した面のより下方位置に接
触することとなり、ウェハ３の全体が該オリエンテーシ
ョンフラット５側に傾斜して収納されるものであった。
さらに、図７に示すように、上記ウェハ３のオリエンテ
ーションフラット５が一方のウェハ受け部４の長手方向
に対してある角度で交差するように置かれた場合は、該
オリエンテーションフラット５の部分の点Ｃより点Ｄの
方がウェハ受け部４の傾斜面のより下方位置に接触する
こととなり、ウェハ３の全体が前後方向に傾斜して収納
されるものであった。

【０００４】上記の各場合のように、ウェハ３の全体が
不安定であったり、傾斜して収納されていると、ウェハ
キャリアからウェハ搬送用ロボットのハンド部によりウ
ェハ３を受け渡しする際に、その受け渡しがスムーズに
行えないことがあった。このことから、ウェハ３の搬送
トラブルが発生し、製造工程の装置が停止する原因とな
ることがあった。従って、半導体装置等の製造効率が低
下するものであった。また、図４に示すように、ウェハ
３は、その外側端だけがウェハ受け部４の面に接して保
持されているので、直径の大きな薄いものでは該ウェハ
３の自重により中間部が下方にたわむことがあった。こ
のことから、厚いウェハ３と薄いウェハ３とでは、ウェ
ハ３，３間のピッチが変化することがあり、やはり搬送
トラブルの発生の原因となることがあった。

【０００５】そこで、本発明はこのような問題点に対処
し、ウェハを収納する際のオリエンテーションフラット
の位置、方向にかかわらずウェハを略水平に且つ安定よ
く保持すると共に、直径の大きな薄いウェハでもたわみ
を抑えることができるウェハキャリアを提供することを
目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明によるウェハキャリアは、箱状容器の相対向
する両側板の内側面に、ウェハの周縁部をのせて収納す
るための棚状のウェハ受け部を対向させて上下に多数列
設して成るウェハキャリアにおいて、上記ウェハ受け部
は、少なくともその上面をそれぞれの側板への付け根部
より内方への突出端部の方が高くなるように傾斜させる
と共に、対向する突出端部間の距離がウェハの外周縁の
一部に形成されたオリエンテーションフラットとこれと
反対側の外周縁との間の距離より小さくなるように設定
して形成したものである。

【０００７】また、上記ウェハ受け部は、その上面及び
下面をそれぞれの側板への付け根部より内方への突出端
部の方が高くなるように傾斜させると共に、その下面側
の傾斜角を上面側の傾斜角よりも大きくしてもよい。

【０００８】

【作用】このように構成されたウェハキャリアは、少な
くとも上面を箱状容器の側板への付け根部より内方への
突出端部の方が高くなるように傾斜させると共に、対向
する突出端部間の距離がウェハの外周縁の一部に形成さ
れたオリエンテーションフラットとこれと反対側の外周
縁との間の距離より小さくなるように設定して形成した
ウェハ受け部により、対向するそれぞれの上面先端部で
ウェハの裏面の両側部内側を線接触の状態で保持するよ
うに動作する。これにより、ウェハを収納する際のオリ
エンテーションフラットの位置、方向にかかわらずウェ
ハを略水平に且つ安定よく保持できると共に、直径の大
きな薄いウェハでもたわみを抑えることができる。

【０００９】

【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて
詳細に説明する。図１は本発明によるウェハキャリアの
実施例を示す正面説明図である。このウェハキャリア
は、例えば半導体装置等を製造する工程においてある加
工の手前のローダ部又は加工後のアンローダ部に位置さ
せ、外周縁の一部にオリエンテーションフラットが形成
されたウェハを多数枚収納して保持するもので、図１に
示すように、箱状容器１の相対向する両側板２，２の内
側面に、ウェハ３の周縁部をのせて収納するための棚状
のウェハ受け部６，６，…を対向させて上下に多数列設
して成る。

【００１０】上記箱状容器１は、このウェハキャリアの
本体となるもので、例えば前面側が開口された縦長の四
角い容器から成り、図３（ａ）に示すようにその内部に
前面側から奥側に向けて平面形状が略円形のウェハ３を
水平に挿入しうる奥行きを有し、該ウェハ３，３，…を
上下に多数並べて収納するようになっている。なお、図
３（ａ）において、符号５は、上記ウェハキャリアから
取り出したウェハ３をＸ，Ｙテーブル等の上面に載置す
るときの位置決めを容易にするため、ウェハ３の外周縁
の一部を直線状に切り欠いたオリエンテーションフラッ
トを示している。そして、上記箱状容器１の相対向する
両側板２，２の内側面には、棚状のウェハ受け部６，
６，…が多数列設されている。このウェハ受け部６，
６，…は、上記ウェハ３の周縁部をのせて収納するため
のもので、上記両側板２，２の内側面に互いに対向させ
て所定ピッチで上下に列設されている。

【００１１】ここで、本発明においては、上記ウェハ受
け部６は、その上面及び下面をそれぞれの側板２，２へ
の付け根部より内方への突出端部の方が高くなるように
傾斜させると共に、対向する突出端部間の距離がウェハ
３の外周縁の一部に形成されたオリエンテーションフラ
ット５（図３(ａ)参照）とこれと反対側の外周縁との間
の距離より小さくなるように設定して形成されている。
すなわち、図２に示すように、側板２がわから内方に突
出したウェハ受け部６の上面６ａの傾斜角αは適宜の値
とされてその突出端部の方が付け根部より高くされ、ま
た、下面６ｂの傾斜角βも適宜の値とされてその突出端
部の方が付け根部より高くされている。従って、互いに
対向するウェハ受け部６，６の組においては、それぞれ
の上面６ａの先端部が最も高い位置となり、この部分で
ウェハ３の裏面を保持することとなる。なお、上面６ａ
及び下面６ｂの傾斜角α，βは等しい値としてもよい
し、下面６ｂの傾斜角βはゼロに近い状態にしてもよ
い。

【００１２】さらに、図２において、互いに対向するウ
ェハ受け部６，６の組の突出端部間の距離Ｄは、図３
（ａ）に示すウェハ３の外周縁の一部に形成されたオリ
エンテーションフラット５とこれと反対側の外周縁との
間の距離ｄより小さくなるように設定されている。従っ
て、上記オリエンテーションフラット５の位置、方向が
どのような状態になろうとも、図２から明らかなよう
に、ウェハ３はウェハ受け部６，６の突出端部間にのっ
て保持されると共に、このウェハ受け部６，６の上面先
端部は、上記ウェハ３の外周縁より内側に入った位置で
該ウェハ３を保持することとなる。

【００１３】このように構成されたウェハキャリアに対
し、例えばウェハ搬送用ロボットのハンド部でウェハ３
を受け渡ししてウェハ受け部６，６，…に順次収納する
と、図２に示すように、各ウェハ受け部６，６，…の上
面先端部の最も高い位置でウェハ３の裏面を保持し、上
記ウェハ受け部６は、図３（ａ）に示すように奥行き方
向に棚状に伸びているので、上記ウェハ３の裏面の両側
部を破線７，８で示すように線接触の状態で保持するこ
とができる。従って、ウェハ３を対向するウェハ受け部
６，６で略水平に保持できると共に、前後方向に揺動す
ることもなく安定よく保持できる。また、図２に示すよ
うに、上記ウェハ受け部６は、ウェハ３の裏面と線接触
するだけであるので、該ウェハ受け部６から上記ウェハ
３の裏面に異物が付着するのを少なくできる。

【００１４】また、図３（ｂ）に示すように、ウェハ３
のオリエンテーションフラット５が一方のウェハ受け部
６の長手方向に平行に置かれた場合でも、上述と同様に
上記ウェハ３の裏面の両側部を破線７，８で示すように
線接触の状態で保持することができるので、従来のよう
にウェハ３が傾斜して収納されることなく、該ウェハ３
を略水平に保持できる。さらに、図３（ｃ）に示すよう
に、上記ウェハ３のオリエンテーションフラット５が一
方のウェハ受け部６の長手方向に対してある角度で交差
するように置かれた場合でも、上述と同様に上記ウェハ
３の裏面の両側部を破線７，８で示すように線接触の状
態で保持することができるので、従来のようにウェハ３
の全体が前後方向に傾斜して収納されることなく、該ウ
ェハ３を略水平に保持できる。このように、ウェハ３の
オリエンテーションフラット５の位置、方向にかかわら
ず該ウェハ３を略水平に保持できると共に、前後方向に
揺動することなく安定よく保持できる。

【００１５】また、図３（ａ）〜（ｃ）のいずれの場合
においても、ウェハ受け部６，６の上面先端部は、上記
ウェハ３の外周縁より内側に入った位置で線接触により
該ウェハ３を保持するので、直径の大きな薄いウェハ３
であっても従来よりもたわみを抑えて保持することがで
きる。

【００１６】なお、図２に示すように、上記ウェハ受け
部６の下面６ｂ側の傾斜角βを上面６ａ側の傾斜角αよ
りも大きくした場合は、箱状容器１の側板２，２を製造
するときのモールド金型の抜き勾配を与えることがで
き、ウェハキャリアの生産性を向上することができる。

【００１７】

【発明の効果】本発明は以上のように構成されたので、
少なくとも上面を箱状容器の側板への付け根部より内方
への突出端部の方が高くなるように傾斜させると共に、
対向する突出端部間の距離がウェハの外周縁の一部に形
成されたオリエンテーションフラットとこれと反対側の
外周縁との間の距離より小さくなるように設定して形成
したウェハ受け部により、対向するそれぞれの上面先端
部でウェハの裏面の両側部内側を線接触の状態で保持す
ることができる。これにより、ウェハを収納する際のオ
リエンテーションフラットの位置、方向にかかわらずウ
ェハを略水平に且つ安定よく保持できると共に、直径の
大きな薄いウェハでもたわみを抑えることができる。従
って、ウェハキャリアから例えばウェハ搬送用ロボット
のハンド部によりウェハを受け渡しする際に、その受け
渡しをスムーズに行うことができる。このことから、ウ
ェハの搬送トラブルの発生を防止し、半導体装置等の製
造効率を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるウェハキャリアの実施例を示す正
面説明図である。

【図２】上記ウェハキャリアのウェハ受け部を示す拡大
説明図である。

【図３】上記ウェハキャリアの内部にウェハを収納した
状態を示す中央横断面図である。

【図４】従来のウェハキャリアを示す正面説明図であ
る。

【図５】従来のウェハキャリアの内部にウェハを収納し
た状態を示す説明図である。

【図６】従来のウェハキャリアの内部にウェハを収納し
た他の状態を示す説明図である。

【図７】従来のウェハキャリアの内部にウェハを収納し
た更に他の状態を示す説明図である。

【符号の説明】

１…箱状容器 ２…側板 ３…ウェハ ５…ウェハのオリエンテーションフラット ６…ウェハ受け部 ６ａ…ウェハ受け部の上面 ６ｂ…ウェハ受け部の下面 α…上面の傾斜角 β…下面の傾斜角 Ｄ…対向する突出端部間の距離 ｄ…ウェハのオリエンテーションフラットと外周縁との
間の距離

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 箱状容器の相対向する両側板の内側面
   に、ウェハの周縁部をのせて収納するための棚状のウェ
   ハ受け部を対向させて上下に多数列設して成るウェハキ
   ャリアにおいて、上記ウェハ受け部は、少なくともその
   上面をそれぞれの側板への付け根部より内方への突出端
   部の方が高くなるように傾斜させると共に、対向する突
   出端部間の距離がウェハの外周縁の一部に形成されたオ
   リエンテーションフラットとこれと反対側の外周縁との
   間の距離より小さくなるように設定して形成したことを
   特徴とするウェハキャリア。
2. 【請求項２】 上記ウェハ受け部は、その上面及び下面
   をそれぞれの側板への付け根部より内方への突出端部の
   方が高くなるように傾斜させると共に、その下面側の傾
   斜角を上面側の傾斜角よりも大きくしたことを特徴とす
   る請求項１記載のウェハキャリア。