JPH072308U - プラスチック基板収納カセット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 フレーム１によって形成されるプラスチック
基板収納カセット７の基板支持プレートが、カセットの
両内側面の左右対称位置から内方に向かって所定長さ突
出された基板端部支持プレート２と、カセットの内側背
面から前記基板端部支持プレートと同じ高さ位置から前
方に向かって所定長さ延出された基板中央部支持プレー
ト３とからなる。 【効果】 基板中央部支持プレート３により基板を収納
してもたわむことがなく、また基板にほこり等が付きに
くくなり、さらに、ホーク挿入スペースが確保できるの
で、ロボット等の基板移載用ホークによる基板搬出入が
可能となるとともに、プラスチック以外の基板との共用
も可能となる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、例えばプラスチック基板を用いる液晶表示素子の製造工程において プラスチック基板の収納に使用される基板収納カセットに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

以下、液晶表示素子を例に従来技術について説明する。 従来の液晶表示素子は、液晶表示素子用基板の一方の面に絵素電極、配線等の パターンを形成し、その上に塗布または付着加工により配向膜を形成し、配向面 に対して液晶分子が規則正しく配列されるように該配向膜をラビング処理し、続 いて前記液晶表示素子用基板の絵素電極、配線等を形成した面が均一な間隔で対 向するように二つの液晶表示素子用基板をシール材を介して貼り合わせ、その後 基板間に形成される空間に液晶を封入して製造されていた。

【０００３】 このような液晶表示素子の製造工程では、絵素電極等の形成に用いられるスパ ッタ処理装置、化学蒸着装置、配向膜を塗布するスピンコーター、配向膜のラビ ングを行うラビング装置等、複数の処理装置が使用されていた。

【０００４】 そのため、基板を一つの処理装置での処理が終った後、別の処理装置に移動さ せて処理するために一時的に収納しておく必要があり、その収納用に箱型のカセ ットが使用されていた。

【０００５】 一方、液晶表示素子用基板としてはガラス基板或いはプラスチック基板が用い られていた。

【０００６】 ガラス基板を収納するカセットは、ガラス基板が硬いものであるため、基板両 端部分のみを支持する構造のもので支持部が複数段設けられたものであった（以 下ガラス基板収納カセットと称す）。

【０００７】 また、プラスチック基板を収納するカセットは、プラスチック基板が軟らかい ことによって発生するたわみを防ぐために、基板全面を支持する支持板を複数段 備えたカセットが使用されていた（以下プラスチック基板収納カセットと称す） 。また、基板のカセットへの搬出入は、ガラス基板の場合は図３に示したような ロボット等を使用した基板移載用ホークにより行われ、プラスチック基板の場合 には手作業で行われていた。

【０００８】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、前記ガラス基板収納カセットは、図５に示したように基板両端 部分のみを支持する構造であるために、該ガラス基板収納カセットにプラスチッ ク基板のような軟らかい基板を収納した場合、基板の中心部が大きくたわんでし まう。

【０００９】 従って、基板の搬出入をロボット等の基板移載用ホークによって行う場合には 、基板移載用ホーク上のプラスチック基板が、直上に収納されたプラスチック基 板のたわんだ部分と接触して搬入がスムーズに行えないとか、基板に傷をつけて しまうという問題があった。

【００１０】 また、基板のたわみ部分との接触を避けるために支持部のピッチを広く設定す ると、１つのカセットに収納される基板の数量が大幅に減少して多くのカセット が必要になり作業効率が悪くなるという問題があった。

【００１１】 さらに、プラスチック基板は可塑性を持つためたわみが大きい場合は、そのま ま変形してしまうという問題もあった。

【００１２】 一方、前記プラスチック基板収納カセットは、カセットに収納される基板の全 面が支持面に接するため、ほこり等が基板に付きやすく、搬出入の際に基板に傷 が付き易いという問題があった。

【００１３】 また、プラスチック基板収納カセットの場合、支持板が基板全面を支持するよ うに形成されているために、図３に示すようなロボット等の基板移載用ホークに よって搬出入を行おうとした場合にホークの先がぶつかってしまうので、このよ うな搬出入法が取れず、手作業により行わなければならないという問題があった 。

【００１４】 本考案の目的は、前記問題点を解決し、プラスチック基板を収納してもたわま ず、また基板にほこり等が付きにくく、さらにロボット等の基板移載用ホークに よる基板搬出入が可能なプラスチック基板収納カセットを提供することにある。

【００１５】

【課題を解決するための手段】

本考案は、少なくとも前面に開口部を有し、該開口部より基板を出し入れ可能 なように前記基板を支持する基板支持プレートを複数段備えたプラスチック 基板収納カセットにおいて、 前記基板支持プレートが、カセットの両内側面の左右対称位置から内方に向か って所定長さ突出された基板端部支持プレートと、 前記カセットの内側背面の前記基板端部支持プレートと同じ高さ位置から前方 に向かって所定長さ延出された基板中央部支持プレートとからなり、 前記基板端部支持プレート及び前記基板中央部支持プレートがカセットの上下 方向に渡って複数段形成されたことを特徴とする。

【００１６】

【作用】

以上のようなプラスチック基板収納カセットによれば、基板中央部支持プレー トにより基板を収納してもたわむことがなく、また基板にほこり等が付きにくく なる。

【００１７】 さらに、ホーク挿入スペースが確保できるので、ロボット等の基板移載用ホー クによる基板搬出入が可能となるとともに、プラスチック以外の基板との共用も 可能となる。

【００１８】

【実施例】

以下、図面に基づいて本考案の一実施例について説明する。 図１は、本考案に係るプラスチック基板収納カセットの一実施例を示す斜視図 である。

【００１９】 図１において、収納カセット７はフレーム１によって矩形状に形成され、該フ レーム１の少なくとも前面部には基板を出し入れするための開口が設けられてい る。

【００２０】 ２は基板端部支持プレートであって、カセット７の左右両側のフレーム内側面 の左右対称位置から内方に向かって突出形成されている。

【００２１】 前記基板端部支持プレート２は左右各１カ所に限らず、収納される基板の枚数 に応じてカセット７の上下方向に複数段設けられる。

【００２２】 ３は基板中央部支持プレートであって、カセット７の背面内側の前記基板端部 支持プレート２と同じ高さ位置から前方に向かって延出形成されている。該基板 中央部支持プレート３は前記基板端部支持プレート２と同じ数だけ設けられる。 前記基板中央部支持プレート３の延出量及び幅は、収納されたプラスチック基板 のたわみ量が可塑性を示す値を越えないように設定する必要がある。

【００２３】 具体的には、前記基板端部支持プレート２の突出量は、幅３００ｍｍ×長さ４ ００ｍｍ×厚さ０．４ｍｍのアクリル製の基板を使用した場合に１７〜３０ｍｍ とした。

【００２４】 また、前記基板中央部支持プレート３の寸法は、収納されるプラスチック基板 のサイズに応じて決められ、例えばプラスチック基板の幅と長さの比が３対４で あった場合は、このプラスチック基板の長さに対して少なくとも５分の４以上の 長さにし、幅は前記基板の短辺に対して１０分の１程度の幅とするとよい。本実 施例では長さ３７０mm、幅３０mmとした。このときのたわみは、図３に示すよう に、カセット開口部付近における基板中央部支持プレート３がない部分での最大 たわみ（Ａ）と、基板中央部支持プレート３と基板端部支持プレート２の間の最 大たわみ（Ｂ）が等しくなり、いずれも基板に塑性変形を起こさないたわみ量で ある０．５mm以下となる。

【００２５】 また表１には、前記寸法の基板中央部支持プレートを設けたプラスチック 基板収納カセットと従来のガラス基板収納カセットに、それぞれ幅３００ｍｍ× 長さ４００ｍｍ×厚さ０．４ｍｍの寸法のプラスチック基板を収納した場合のた わみ量を示す。

【００２６】

【表１】

【００２７】 次にロボット等の基板移載用ホーク４によるカセット７への基板搬出入につい て図３に従って説明する。基板５を載せたホーク４を、カセット内の基板支持プ レート面より若干高い位置から入れ、その後ホークを基板支持プレート面の高さ 位置より下げることにより、ホーク上の基板５をカセットの基板支持プレート上 に載せ替え、その後ホークのみをカセットから引き出すという一連の動作により 行われる。一方、カセットからの基板搬出は、前記基板搬出入の場合の逆の動作 により行われる。尚、これらホークの動作はロボット等により制御される。また 図５は、本考案の実施例に用いられるロボット等の基板移載用ホーク４の斜視図 である。ホークの形状は、カセット搬出入時、基板中心支持プレート３がホーク に接触しないように、基板中心支持プレート３に対応する部分６が切り取られて いる。

【００２８】 本考案のカセットの支持プレートの平面配置は図２に示される。プラスチック 基板５は、図２に示したようにその端部と中央部が基板端部支持プレート２と基 板中央部支持プレート３によって支持される。従って、プラスチック基板５は支 持されていない面積が広いことから、ほこり等が基板に付きにくい、さらにロボ ット等の基板移載用ホークが出入りする空間をプラスチック基板の下に十分設け ることができる。一方基板中央部支持プレート３によって基板５の最大たわみ量 が減少し上下段の基板間の干渉を防ぐことができる。また本考案によるプラスチ ック基板用収納カセットはガラス基板を収納することも可能である。

【００２９】

【考案の効果】

以上のようなプラスチック基板収納カセットによれば、基板中央部支持プレー トにより基板を収納してもたわむことがなく、また基板にほこり等が付きにくく なり、さらに、ホーク挿入スペースが確保できるので、ロボット等の基板移載用 ホークによる基板搬出入が可能となるとともに、プラスチック以外の基板との共 用も可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案のカセットの一実施例を示す斜視図であ
る。

【図２】本考案の基板端部支持プレートと基板中央部支
持プレートを示す平面図である。

【図３】本考案のカセットにプラスチック基板を支持し
た状態を示す要部断面図である。

【図４】ガラス基板用カセットにプラスチック基板を収
納した状態を示す要部断面図である。

【図５】基板移載用ホークの一実施例を示す斜視図であ
る。

【符号の説明】

１ 固定枠 ２ 基板端部支持プレート ３ 基板中央部支持プレート ４ 基板移載用ホーク ５ カセットに収納されたプラスチック基板 ６ 基板移載ホークの切り込み部 ７ カセット

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも前面に開口部を有し、該開口
   部より基板を出し入れ可能なように前記基板を支持する
   基板支持プレートを複数段備えたプラスチック基板収納
   カセットにおいて、 前記基板支持プレートが、カセットの両内側面の左右対
   称位置から内方に向かって所定長さ突出された基板端部
   支持プレートと、 前記カセットの内側背面の前記基板端部支持プレートと
   同じ高さ位置から前方に向かって所定長さ延出された基
   板中央部支持プレートとからなり、 前記基板端部支持プレート及び前記基板中央部支持プレ
   ートがカセットの上下方向に渡って複数段形成されたこ
   とを特徴とするプラスチック基板収納カセット。