JPH025597Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、高い清浄度が要求されるフオトマス
クブランク、シリコンウエハ、薄膜ELパネル用
基板、太陽電池用基板等の基板を保持するために
用いて好適な基板ホルダに係り、特に基板の着脱
操作が容易で、確実に保持でき、基板単体での搬
送中における汚れ、傷等を防止し得るようにした
ものである。

〔従来の技術〕

従来、露光されたフオトマスクブランクを処理
していく工程においては、一般にカセツト・ツ
ー・カセツト方式と呼ばれる方式を用いている。
これはカセツトと呼ばれるフオトマスクブランク
を多数収納したケースの中からフオトマスクブラ
ンクを１枚ずつ順次取り出して処理部に搬送し、
現像やエツチングなどの処理を行つた後、別のカ
セツトに搬送収納するものである。第１０図はフ
オトマスクブランクを搬送している様子を示すも
ので、カセツト部１に搬送されたカセツト（図示
せず）からフオトマスクブランク２が取り出され
て搬送ベルト３上に直接置かれ、このベルト３に
より処理部４に送られ、現像処理、エツチング処
理、洗浄処理等の処理が行われる。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかし、このような搬送方式においてはフオト
マスクブランク２の下面が搬送ベルト３と直接接
触しているので、傷が付いたり汚れたりし、また
フオトマスクブランク２が搬送ベルト３の搬送面
から脱落しやすいという不都合があつた。

また、ベルトによる搬送方式の他にロボツトア
ームによる搬送方式も知られているが、この方式
とてもフオトマスクブランク２の一部をアームで
直接挟持保持するためベルト搬送方式と同様に、
保持された部分に異物が付いたりして汚れたり傷
ついたりするという不都合があつた。

また、フオトマスクブランク２をハンドリング
する場合、５インチサイズ以下のものについては
取扱いが容易であるが、フオトマスクブランク２
が大型化している現在６インチ以上のもののハン
ドリングは非常に困難であり、ハンドリングを行
う場合はどうしても汚れや傷が付きやすいといつ
た問題もあつた。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案に係る基板ホルダは上述したような点に
鑑みてなされたもので、枠状体からなりその内側
に基板の下面周縁部を受け止める受け面と、基板
の側面の少なくとも一部が当接する当接面を有す
るホルダ本体と、このホルダ本体の各角部にそれ
ぞれ配設され前記基板の角部が挿入される挿入部
を有する挿入部材とを備え、この挿入部材を、長
溝（孔）とこの長溝（孔）に係入するピンとで上
下方向に回動自在でかつ前後方向に移動自在に配
設したものである。

〔作 用〕

本考案においては基板ホルダで基板を保持して
いるため、搬送ベルト、ロボツトアーム等による
搬送中の汚れ、傷の発生を未然に防止でき、また
基板の保持が確実で、着脱操作も容易である。

〔実施例〕

以下、本考案を図面に示す実施例に基づいて詳
細に説明する。

第１図は本考案に係る基板ホルダの一実施例を
示す一部破断斜視図、第２図は第１図−線拡
大断面図である。これらの図において、基板ホル
ダ１０は、保持すべき基板としてのフオトマスク
ブランク２の寸法サイズより大きく形成された枠
状体からなるホルダ本体１１と、このホルダ本体
１１の各角部にそれぞれ配設され前記フオトマス
クブランク２が挿入される４個の挿入部材１２と
で概ね構成されている。

前記ホルダ本体１１は、テフロン（商標名）等
の耐薬品性に優れた材料で略額縁状に形成される
ことにより断面形状が〓形で、その内側面の上半
部が前記フオトマスクブランク２の寸法サイズと
略等しいかもしくは若干大きく形成されて該フオ
トマスクブランク２が上方より嵌合され、下半部
には前記フオトマスクブランク２の下面周縁部を
受け止めて保持する張出部１４が全周に亘つて突
設されている。そして、張出部１４の上面はフオ
トマスクブランク２の受け面１５を形成し、ま
た、内側面の上半部は前記フオトマスクブランク
２の側面が当接する当接面１６を形成している。
なお、フオトマスクブランク２の側面は、前記内
側面の上半分全面に当接していなくてもよく、前
記挿入部材１２とによつて、フオトマスクブラン
ク２が外れない程度に当接すればよい。望ましく
は、前記側面全面が当接している方がよく、フオ
トマスクブランク２のホルダ本体１１の平面方向
の移動方向を防止することができる。また、ホル
ダ本体１１の各角部は、その上面側に挿入部材１
２の幅と略等しい幅で溝１８が形成されることに
より、前記張出部１４の厚みとされ、これによつ
て前記各挿入部材１２の取付けおよび該挿入部材
１２に対するフオトマスクブランク２の挿入を可
能にしている。さらに、前記各角部には前記溝１
８を挟んで互いに対向する左右一対の保持部材１
９，２０がそれぞれ突設されている。

前記各挿入部材１２は、テフロン（商標名）等
で製作され前記ホルダ本体１１の各角部に配設さ
れた左右一対の保持部材１９，２０間に配設され
ることにより、その前端面１２ａが該ホルダ本体
１１の対角線方向を指向し、また該前側面１２ａ
には、溝が全幅に亘つて形成され前記フオトマス
クブランク２の角部２Ａが挿入される挿入部２１
を構成している。一方、挿入部材１２の両側面略
中央部にはそれぞれピン２２が突設されており、
このピン２２は前記保持部材１９，２０の対向面
にそれぞれ形成された略Ｖ字形の長溝（又は長
孔）２３にそれぞれ摺動自在に挿入され、これに
より挿入部材１２の回動および前後方向の移動を
可能にしている。そして、挿入部材１２の後端部
には上下面に開口する貫通孔２４が形成されてい
る。次に、このような構成からなる基板ホルダ１
０において、フオトマスクブランク２のセツト手
順を説明する。

先ず、第３図に示すように、挿入部材１２をピ
ン２２を中心として反時計方向に回動させ、その
状態で右斜め上方に移動させる。すると、ピン２
２は長溝２３の右傾斜部２３Ａに沿つて移動し、
その終端３０に至る。このような操作を行うと、
挿入部材１２の前端面１２ａの下部が張出部１４
に当ることなく、該挿入部材１２の前端部をホル
ダ本体１１の上方に引き出すことができ、この状
態でフオトマスクブランク２の角部２Ａを挿入部
２１に差込む。次に、挿入部２１がフオトマスク
ブランク２を銜えた状態で、第４図に示すように
このピン２２を中心に時計方向に回動させる。こ
の時ピン２２は長溝２３の右傾斜部２３Ａに沿つ
て下降し該長溝２３の最下位置、すなわち屈曲部
３１に移動する。屈曲部３１に達した後、ピン２
２を回動中心として挿入部材１２を第５図に示す
ように時計方向に回動させると共に左傾め上方に
移動させる。この時、ピン２２は長溝２３の左傾
斜部２３Ｂに沿つて移動する。この状態におい
て、フオトマスクブランク２の下面周縁部は張出
部１４の上面、すなわち受け面１５上に載置され
るかもしくは近接対向し、挿入部２１が下向きで
前記フオトマスクブランク２の角部２Ａをほんの
僅かだけ銜えている。そして、挿入部材１２を右
傾め下方に移動させると共にピン２２を中心とし
て反時計方向に回動させると、第２図に示すよう
にピン２２が長溝２３の屈曲部３１に移動し、挿
入部２１にフオトマスクブランク２の角部２Ａが
完全に挿入される。

そして、残りの挿入部材についても順次上述し
たと同様の手順で操作することにより、フオトマ
スクブランク２が基板ホルダ１０にセツトされ
る。

かくしてこのような基板ホルダ１０を用いてフ
オトマスクブランク２を保持すると、該ブランク
２は張出部１４の受け面１５上にセツトされ、ホ
ルダ本体１１の下面から浮いているので、搬送ベ
ルトで搬送する際、該ベルトの搬送面がフオトマ
スクブランク２の下面と直接接触せず、したがつ
て該下面が汚れたり傷ついたりすることを防止で
きる。また、各保持部材１９，２０をホルダ本体
１１の下方に突出させておくと、搬送ベルトで搬
送する際、基板ホルダ１０がガタ付いても前記保
持部材１９，２０の下部が搬送ベルトに当るた
め、基板ホルダ１０は搬送ベルトから外れにく
く、脱落を防止し得る。また、各挿入部材１２の
後端部には挿通孔２４が設けられているため、ロ
ボツトアームで基板ホルダ１０を保持する際、第
６図に示すようにロボツトアーム４０の各フイン
ガー４１Ａ，４１Ｂの内側面に突設した係合ピン
４２，４３を前記挿通孔２４に挿入係合させる
と、垂直に保持した状態で搬送することができ
る。また、複数個の基板ホルダ１０を持ち運ぶ際
には、第７図に示すように各基板ホルダ１０の挿
通孔にワイヤ４５等を通し一連に連結すると、運
搬が容易である。

また、ハンドリングにしても、基板ホルダ１０
を用いれば６インチ、７インチ等の大型のフオト
マスクブランク２の取扱いも楽になり、手でフオ
トマスクブランク２を直接取扱う際に生じていた
汚れ、傷などの発生を軽減防止することができ
る。

なお、上記実施例では基板ホルダ１０をフオト
マスクブランク２の搬送およびハンドリングに限
つて説明したが、本考案による基板ホルダ１０
は、露光されたレジスト付フオトマスクブランク
の処理にも有効に使用し得るものである。すなわ
ち、第８図は、透光性ガラス基板に遮光性薄膜を
被着したフオトマスク基板や、半導体基板に半導
体酸化物を被着したものにそれぞれフオトレジス
トを塗布した後、そのフオトレジストを所定のパ
ターンで露光されたこれ等基板のパターン形成工
程における現像工程、エツチング工程等に使用さ
れるスプレー装置５０にセツトした状態を示すも
ので、５１はチヤンバー、５２は回転軸５３に取
付けられた平面視十字状の支持具、５４は現像液
またはエツチング液を噴射するノズルである。基
板ホルダ１０は基板がセツトされた後前記支持具
５２上に載置され、該支持具５２上に植設された
ピン５５が各挿入部材１２の挿通孔に挿通される
ことにより、位置決め固定され、軸５３の回転に
伴つて前記支持具５２と一体的に回転される。

第９図は薬液中に浸漬し処理するデイツプ式と
呼ばれる方法に用いたものであり、この場合、フ
オトマスクブランク２を保持した基板ホルダ１０
が薬液５７中に浸され、該ボルダ１０を保持する
ため４本のワイヤ５８の下端折曲部が各挿入部材
１２の挿通孔２４に下方より挿通される。

〔考案の効果〕

以上述べたように本考案に係る基板ホルダによ
れば、半導体基板を確実に保持でき、搬送ベルト
等による搬送中の汚れ、傷などの発生を防止で
き、特に高い清浄度が要求されるフオトマスクブ
ランクの搬送時に使用して好適である。また、基
板ホルダは枠状のホルダ本体と、ホルダ本体の各
角部に回動自在でかつ前後方向に移動自在に設け
られた挿入部材とで構成されているので、構造が
簡単であり、しかも基板を確実に保持することが
できる。さらに、ハンドリングに際しても基板ホ
ルダを持てばよく、手で基板を持つ必要がないの
で、この場合も基板の汚れ、傷等を防止し得る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る基板ホルダの一実施例を
示す斜視図、第２図は第１図−線拡大断面
図、第３図〜第５図はフオトマスクブランクのセ
ツト手順を説明するための図、第６図はロボツト
ハンドで搬送している状態を示す図、第７図は複
数の基板ホルダにワイヤを通して運ぶ際の状態を
示す図、第８図は基板ホルダをスプレー装置にセ
ツトした状態を示す図、第９図は基板ホルダを薬
液中に浸した状態を示す図、第１０図は搬送ベル
トによる従来の搬送形態を示す図である。 ２……フオトマスクブランク、１０……基板ホ
ルダ、１１……ホルダ本体、１２……挿入部材、
１４……張出部、１５……受け面、１６……当接
面、１９，２０……保持部材、２１……挿入部、
２２……ピン、２３……長溝。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 枠状体に形成されその内側に基板の下面周縁部
   を受け止める受け面と、基板の側面の少なくとも
   一部が当接する当接面を有するホルダ本体と、こ
   のホルダ本体の各角部にそれぞれ配設され前記基
   板の角部が挿入される挿入部を有する挿入部材と
   を備え、この挿入部材は、該挿入部材もしくは前
   記ホルダ本体のいずれか一方に設けられたピン
   と、他方に設けられ前記ピンが係入する長溝
   （孔）とによつて上下方向に回動自在でかつ前後
   方向に移動自在に配設されていることを特徴とす
   る基板ホルダ。