JP2505998Y2 - 基板搬送用治具 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 《産業上の利用分野》 この考案は半導体基板や液晶用ガラスの基板等の薄板
状の被処理基板（以下単に基板と称する）を、各種表面
処理機の基板搬送装置で搬送する際に用いられる基板搬
送用治具に関するものである。

《従来の技術》 基板を搬送装置で搬送しながら表面処理する装置とし
ては、例えばオーブン、現像機、エッチング・剥離機、
洗浄機等の表面処理機がある。

そして、これらの表面処理機で用いられる基板搬送装
置としては、例えば第９図に示すもの（以下従来例１と
いう）、あるいは第10図に示すもの（以下従来例２とい
う）がある。

従来例１は、多数の搬送ローラ11…を略水平に連設す
るとともに、各搬送ローラ11の間の両側部にガイドロー
ラ12…を配置してローラコンベアを構成したものであ
る。

従来例２は、多数の段付きローラ13…を略水平に連設
してローラコンベアを構成したものである。

そして、これらの従来例では、搬送する基板110のサ
イズに応じてガイドローラ12や段付きローラ13の幅間隔
Ｌを変更できるように構成されている。

《考案が解決しようとする課題》 一般に上記のような一連の表面処理をなす基板の製造
ラインでは、基板のサイズに応じて各製造ラインの上記
ガイドローラ12や段付きローラ13の幅間隔Ｌが異なり、
通常これらの幅間隔Ｌを変更することはほとんどない。

しかし、既存の製造ラインに通せない中間の規格寸法
の基板を試験的に少量だけ通す場合がある。このような
場合に、従来では、その都度当該ガイドローラ12や段付
きローラ13の幅間隔Ｌを変更していた。このため次のよ
うな不都合を生じていた。

イ．当該製造ラインの幅間隔Ｌをその都度変更し、後で
復元するには、多大の手間を必要とし、しかも、その間
は製造ラインが停止するため、稼働率が低下する。

ロ．その上、基板搬送装置は当該幅間隔Ｌを変更できる
構造でなければならず、基板搬送装置の構造が複雑化
し、高価になる。

かかる弊害を無くするため、本考案者は先に第11図に
示すような基板搬送用治具を考案した。

それは、矩形板状のフレーム本体101に基板装着口102
を開口形成し、当該フレーム本体101は搬送方向Ａと交
差する方向の外形寸法ｌを基板搬送装置の搬送可能な寸
法幅Ｌに設定し、基板装着口102の内周縁に沿って、段
差状の基板載置部103を形成し、基板装着口２内に装着
した基板110の下面周縁部を基板載置部103で支えるよう
に構成したものである。

この先考案例によれば、上記イ．ロの難点を解消でき
るものの、なお、次のような問題が残る。

ハ．基板はその下面の全周縁部が基板装着口の内周の全
域に額縁状に形成された基板載置部と接触することにな
るため、その接触部に残留する処理液のエアナイフ等に
よる液切れが悪い。

ニ．また、基板収容カセット内へ基板を収容する際に、
フレーム本体とともに、収容することになるが、これを
立て向きに収容する場合には、基板がフレーム本体から
脱落して円滑に収容できない。このため、基板収容カセ
ットを介して次工程へ移送する場合等に不都合である。

本考案はこのような事情を考慮してなされたもので、
上記イ〜ニに記載した難点を解消することを技術課題と
する。

《課題を解決するための手段》 本考案は上記の課題を解決するものとして以下のよう
に構成される。

即ち、矩形板状のフレーム本体に基板装着口を開口形
成し、当該フレーム本体は、搬送方向と交差する方向の
外形寸法を基板搬送装置の搬送可能な寸法幅に設定し、 基板装着口の内縁に沿って、複数の基板載置部と複数
の基板当接片を付設して、基板装着口内に装着した基板
の下面縁部を基板載置部で支え、基板の外縁に基板当接
片を当接させて基板を保持するように構成し、 基板装着口は、その内縁のうち基板搬送方向に沿う少
なくとも一方の内縁を搬送方向に対して傾斜させて、搬
送方向前方の間口が後方の間口より広くなるように開口
形成し、 複数の基板当接片のうちの一つを当該傾斜内縁に沿っ
て移動可能に設け、当該基板当接片で基板の側面を押圧
するように構成したことを特徴とするものである。

《作用》 本考案では、フレーム本体の外形寸法が先考案例と同
様、基板搬送装置の搬送可能な寸法幅に設定されてお
り、所定の規格寸法とは異なるサイズの基板を当該フレ
ーム本体の基板装着口に装着して既存の製造ラインに通
すことになる。従って、基板搬送装置のガイドローラや
段付きローラの幅間隔を変更する必要がなくなる。

また、基板は基板装着口の内縁に沿って付設された複
数の基板載置部と複数の基板当接片とで保持される。従
って、基板の周縁部はこれらの基板載置部や基板当接片
と複数個所で接触するだけであるから、接触部に残留す
る処理液はエアナイフ等によって容易に除去できる。

そして、前方の開口が後方の間口より広く形成されて
いる当該基板装着口の基板搬送方向に沿う傾斜内縁に
は、複数の基板当接片のうちの一つが移動可能に付設さ
れており、当該基板当接片が後方へ向けて移動させるこ
とにより、基板を押圧保持できる。従って基板の進行方
向に対向させてブラシローラ等を作用させた場合でも、
基板当接片は後方側へ付勢されるため常に基板押圧側に
作用することになる。

また、基板収納カセット内にフレーム本体を立て向き
にして収容する場合でも、基板装着口の間口が広い前方
を上向きにして収容すれば、基板がフレーム本体から脱
落するおそれはない。

《実施例》 以下本考案の実施例を図面に基づいて説明する。第１
図は本考案の第１の実施例を示す基板搬送用治具の斜視
図である。

この基板搬送用治具は、矩形板状のフレーム本体１に
基板装着口２を開口形成し、当該フレーム本体１は、搬
送方向Ａと交差する方向の外形寸法ｌを基板搬送装置の
搬送可能な寸法幅Ｌに設定し、基板装着口２の内縁に沿
って、複数の基板載置部３…と複数の基板当接片４…を
設け、基板装着口２内に装着した基板10の下面縁部を基
板載置部３で支え、基板10の外縁に基板当接片４を当接
させて基板10を保持するように構成されれいる。

上記フレーム本体１は、各種表面処理条件を考慮して
耐熱性、耐食性を有するフッ素樹脂材料で形成されてい
る。なお、同図中の符号８はフレーム本体識別用のバー
コードである。

基板装着口２は、搬送方向Ａの前方の開口が後方の間
口より広くなるように四角形に開口形成されており、基
板装着口２の内縁のうち、搬送方向Ａに沿う一方の内縁
2aを搬送方向に対して傾斜させるとともに、開口の広い
前方の内縁2bを交差方向に傾斜させてある。

基板載置部３は基板装着口２の少なくとも３カ所のコ
ーナーに付設され、必要に応じて全コーナーに付設して
も良い。

この基板載置部３は第２図に示すように、上面3sがわ
ずかに下り勾配に形成され、基板10のコーナー部分10s
が点接触するようになっている。これにより接触部での
処理液の残留が極めてわずかになり、エアナイフ等によ
る液切り効果が向上する。なお、基板載置部３は、フレ
ーム本体１と一体に形成して、フレーム本体１の下面が
面一となるようにすることもできる。

基板当接片4aは基板装着口２の各内縁2a〜2dにそれぞ
れ１個ずつ配置される。そして、傾斜内縁2a、2dには可
動式の当接片4a・4bが付設され、これらと対向する他の
内縁2c・2dには固定式の当接片4c・4dがフレーム本体１
と一体に形成されており、それぞれ可動式の当接片4a・
4bを間口の狭い方へスライドさせることにより、基板10
の側面に押圧して基板10を保持するように構成されてい
る。

上記可動式当接片4aは第１図及び第３図に示すよう
に、平面視円形状の摺動子に摺動溝５を凹設し、この摺
動溝５内に上記傾斜内縁2aを嵌入し、この傾斜内縁2aに
沿って移動可能に構成されている。なお、これらの図中
符号６は外れ止め用のピンであり、７は当該ピン６の挿
通用長孔である。上記可動式当接片4a・4bは、基板10を
押圧保持する点を考慮して、軟質材料で形成するのが望
ましく、本実施例では耐熱、耐食性も考慮してフッ素樹
脂材料で形成されている。

第４図は可動式当接片4aの変形例を示す要部断面図で
ある。この変形例は、基板10との当接面4sがＶ字状に形
成され、又外れ止め用のピンがなく、傾斜内縁2aに着脱
自在に付設できる点が先のものと異なる。

第５図は本考案に係る第２の実施例を示す斜視図であ
る。この実施例では、基板装着口２の内縁のうち、搬送
方向Ａに沿う一方の内縁2aのみを搬送方向に対して傾斜
させ、各基板当接片4a・4c・4dと一体に基板載置部３を
設けた点が先の実施例１と異なる。この実施例では、仮
想線で示すように、ひとまわり小さい寸法の基板10aに
対しても適用し得るようになっている。

第６図は第５図中の基板当接片4aの要部断面図であ
る。この変形例では、基板当接片4aと一体に形成された
基板載置部３の上面3sが下り勾配になっている。

第７図は本考案に係る第３の実施例を示す平面図であ
る。この実施例は、第５図に示したものにおいて、基板
装着口２の内縁のうち、一方の内縁2aに対向する他方の
内縁2cについても、搬送方向Ａに対して傾斜させて左右
対称に形成し、それぞれ第６図の可動式当接片4aを付設
し、後方の２カ所のコーナーに別の基板載置部３を固設
している点が第２の実施例と異なる。この実施例におい
ても、ひとまわり小さい寸法の基板10aを保持できる。

第８図は本考案に係る第４の実施例を示す平面図であ
る。この実施例は第７図において、フレーム本体１の前
枠部分を除去して基板装着口２の前部を解放状に形成し
た点が第３の実施例と異なる。

なお、上記実施例では、可動式の基板当接片4a・4bが
摺動溝５を有するものについて例示したが、これに限る
ものではない。

また、従来例２のような基板搬送装置で基板搬送用治
具を搬送しうるよう、フレーム本体１の下面より当該当
接片が突出してないよう、適宜変更を加えて実施するこ
とができる。

《考案の効果》 以上の説明で明らかなように、本考案は前記のように
構成され、作用することから、次のような効果を奏す
る。

イ．本考案に係る治具を用いることにより、所定の規格
寸法とは異なるサイズの基板を、既存の製造ラインに通
すことができるので、製造ラインを停止させなくても済
む。これにより製造ラインの幅間隔を変更し、再度復元
する手間が一切不要になり、又製造ラインの稼動率が向
上する。

ロ．また、従来必要であった搬送可能な幅間隔を変更し
うる構造が不要となるので、搬送装置の構造をそれだけ
簡素化でき、安価に実施できる。

ハ．散点状に配置した複数の基板載置部と複数の基板当
接片とによって基板を保持する構造であるから、先考案
例のものに比べて接触部に残留する処理液は少なく、エ
アナイフ等による液切り効果が向上する。

ニ．フレーム本体とともに基板を立て向きにカセット内
へ収容する場合でも、間口の広い前方を上にすれば基板
がフレーム本体から脱落するおそれはない。従って、所
定寸法の基板と同様、基板収容カセットを介して治具と
ともに基板を次工程へ移送することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第８図は本考案の実施例に関し、第１図は第１
の実施例を示す基板搬送用治具の斜視図、第２図は第１
中のII-II線断面図、第３図は第１図中のIII-III線断面
図、第４図は基板当接片の変形例を示す第３図相当図、
第５図は第２の実施例を示す斜視図、第６図は第５図中
の基板当接片の第３図相当図、第７図及び第８図はそれ
ぞれ第３の実施例及び第４の実施例を示す平面図、第９
図はガイドローラを備えるローラコンベアの平面図、第
10図は段付きローラを備えるローラコンベアの正面図、
第11図は先考案例に係る基板搬送用治具の斜視図であ
る。 １……フレーム本体、２……基板装着口、2a・2b・2c・
2d……基板装着口の内縁、３……基板載置部、４・4a・
4b・4c・4d……基板当接片、10……基板、ｌ……フレー
ム本体の搬送方向と交差する方向の外形寸法。

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】矩形板状のフレーム本体に基板装着口を開
   口形成し、当該フレーム本体は、搬送方向と交差する方
   向の外形寸法を基板搬送装置の搬送可能な寸法幅に設定
   し、 基板装着口の内縁に沿って、複数の基板載置部と複数の
   基板当接片を付設して、基板装着口内に装着した基板の
   下面縁部を基板載置部で支え、基板の外縁に基板当接片
   を当接させて基板を保持するように構成し、 基板装着口は、その内縁のうち基板搬送方向に沿う少な
   くとも一方の内縁を搬送方向に対して傾斜させて、搬送
   方向前方の間口が後方の間口より広くなるように開口形
   状し、 複数の基板当接片のうちの一つを当該傾斜内縁に沿って
   移動可能に設け、当該基板当接片で基板の側面を押圧す
   るように構成したことを特徴とする基板搬送用治具