JPH0450255Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、半導体製造工程に用いられるフオト
マスクブランク、フオトマスク及びそれらのガラ
ス基板、並びにシリコンウエハ等の半導体基板等
の物品を収納する収納容器を搬送する装置に関
し、特に、前記物品を洗浄するときに用いられる
収納容器を搬送し、その搬送工程において、収納
容器を介し、その収納容器に収納された物品を識
別するために好適な搬送装置に関するものであ
る。

〔従来の技術〕

従来、この種の搬送装置としては、例えば、ベ
ルトコンベアからなる移動装置と、この移動装置
のコンベアベルト上に載置して搬送される、板状
のフオトマスクブランク用ガラス基板（以下、
「ガラス基板」という。）を収納した収納容器と、
後記するバーコードシンボルを識別するバーコー
ドリーダとからなつていた。そして、この収納容
器の表面には、このフオトマスクブランクの大き
さ、ガラス基板の種類等を識別するためのバーコ
ードが印刷されたり、バーコードを印刷したラベ
ルが貼り付けられたりしていた。

次に、この搬送装置を洗浄工程に用いる方法を
以下に述べる。先ず、コンベアベルト上にガラス
基板を収納した収納容器を載置した第１ベルトコ
ンベアを、洗浄装置（例えば、アルカリ超音波洗
浄槽、酸洗浄槽、純水超音波洗浄槽を有する洗浄
装置。）の一方側（洗浄装置内に、収納容器をい
れる側。）に設置し、洗浄装置のもう一方側（洗
浄装置から収納容器をとり出す側。）に第２ベル
トコンベアを設置する。そして、前記第２ベルト
コンベアの近傍には、バーコードリーダを設置す
る。次に、第１ベルトコンベア上の収納容器を洗
浄装置方向へ移動し、洗浄装置内へ搬送する。次
に、洗浄装置内で、アルカリ液、酸液、純水等で
ガラス基板を洗浄し、その後、収納容器を第２ベ
ルトコンベア上に移動する。次に、第２ベルトコ
ンベアを作動し、バーコードリーダ近傍に収納容
器を移動する。そして、バーコードリーダによつ
てバーコードを読み取り、ターミナルコンピユ−
タによつて洗浄工程を終了したガラス基板を大き
さ、種類等を管理する。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかしながら、従来の装置では、洗浄時におい
て、バーコードが溶けてしまつたり、バーコード
を印刷したラベルが剥がれることがあり、収納容
器を識別することができないことがあつた。さら
に、剥がれたラベルが洗浄液中に入つたり、溶け
たバーコードによつて、洗浄液が汚染される欠点
があつた。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案は前記問題点を除去するためになされた
もので、物品を収納する収納容器と、前記収納容
器を載置部へ載置し、前記載置部の移動と共に前
記収納容器を移動せしめる移動装置と、前記収納
容器を識別する識別検出装置と、前記移動装置の
停止動作を指示する停止指示器と、前記収納容器
が前記識別検出装置における識別検出位置に移動
したことを確認する確認検出器とを備え、前記収
納容器の移動方向側面の下部には、前記識別検出
装置に対応する、凹部又は凸部を有する識別部
と、前記確認検出器に対応する確認部とを設け、
かつ前記停止指示器に対応する、前記移動装置を
停止指示する部分を前記収納容器の面に設け、前
記収納容器に設けられた、前記識別部と前記確認
部とを前記移動装置の載置部より突出させて前記
収納容器を載置し、前記移動装置により移動し、
前記停止指示器と前記収納容器の停止指示する部
分とにより停止し、前記確認検出器と前記確認部
とにより前記識別検出装置における識別検出位置
に移動したことを確認し、前記識別検出装置と前
記識別部とにより前記収納容器を識別することを
特徴とする搬送装置である。

なお、本考案の収納容器としては、４側面と、
そのうちの一対の相対向する側面間をさし渡し
し、物品、例えばガラス基板を保持するための凹
凸を有する棒状対とからなるものや、４側面と底
面とからなり、その側面の一対の相対向した側面
に、Ｖ字状の溝を設けたもの等であつてもよく、
また、識別部の凹部は、収納容器の移動方向側面
の下部に設けられた凹み、凹状の切欠き及び貫通
孔等であつてもよい。さらに、確認部としては、
確認検出器によつて種々の態様があり、例えば確
認検出器が近接スイツチ及び光電スイツチのとき
は、凸部や、凹状の切欠きや、収納容器の一側面
が確認部となる。

〔作用〕

本考案の収納容器の面に切欠き等の凹部又は凸
部の識別部を設けているので、収納容器の識別が
でき、また収納容器の位置を確認する確認部が収
納容器それ自体に設けられているので、収納容器
が識別検出装置が設けられている位置に移動した
ことを確認することができる。

〔実施例〕

以下、本考案の一実施例を第１図〜第４図に基
づいて詳述する。なお、第１図は本例の部分斜視
図、第２図は本例の部分拡大正面図、第３図は本
例の部分拡大底面図であり、第４図は本例の検出
距離を示す模式図である。

本例の搬送装置１は、ガラス基板２（主表面
（大きい面）５インチ（125mm）×５インチ（125
mm））を収納するための収納容器３（縦300mm、横
200mm、高さ80mm）と、この収納容器３を移動さ
せるための移動装置の一構成要素であるベルトコ
ンベア４（ただし、駆動装置は図示せず。）と、
収納容器３をベルトコンベア４上に載置するため
に形成された載置部４３と、前記収納容器３を識
別する識別検出装置５と、前記移動装置の一構成
要素であるベルトコンベア４の停止動作を指示す
るための停止指示器である光電スイツチ７と、前
記収納容器３が識別検出装置５の識別検出位置に
移動したことを確認する確認検出器６とから基本
的に構成されている。

そして、収納容器３は、収納容器３の移動方向
（矢印Ａ方向）と平行な一対の相対向した側面３
１，３２（ステンレス製で、厚さ１mm）と、移動
方向と垂直な一対の相対向した側面３３，３４
（ステンレス製で、厚さ１mm）と、ソロバン玉状
の凹凸部を有する棒状体３５，３６，３７とから
なり、前記した側面３１，３２の上端にはそれぞ
れ、棒状体３５，３６を挿入保持する断面Ｕ字状
の保持部３１１，３１２，３１３，３１４と保持
部３２１，３２２，３２３，３２４を設けてあ
り、保持部３１１と保持部３２１と、保持部３１
２と保持部３２２と、保持部３１３と保持部３２
３と、並びに保持部３１４と保持部３２４とは、
それぞれ相対向している。なお、側面３３は後記
するように、停止指示器である光電スイツチ４７
と対応し、移動装置の一構成要素であるベルトコ
ンベア４を停止指示するための作用をする部分で
ある。さらに、側面３１，３２にはそれぞれ、後
記する切欠きの凹部３８１〜３８４よりも上方の
位置に、棒状体３７を挿入保持する断面Ｕ字状の
貫通孔と断面円状の貫通孔を上下方向に隣接して
組み合わせた貫通保持部３１５と貫通保持部３２
５とを相対向して設けてある。また、前記収納容
器３の側面３１の移動方向下部には、この収納容
器３を識別するため、後記する識別検出装置５に
対応する４つの凹部を有する識別部３８を設け、
それぞれの区域を、切欠かれた凹状の切欠部３８
１，３８２，３８３，３８４と、未切欠部３８
５，３８６，３８７，３８８の８つの区域にして
いる。なお、この切欠部３８１〜３８４及び未切
欠部３８５〜３８８で識別部３８を構成し、切欠
部３８１〜３８４及び未切欠部３８５〜３８８の
寸法は、高さｈが３mmで。幅Ｗが20mmである。切
欠部３８１と未切欠部３８５は、ガラス基板２の
主表面の寸法を、切欠部３８２と未切欠部３８６
は、ガラス基板２の厚さを、切欠部３８３と未切
欠部３８７は、ガラス基板２の材質の種類を、及
び切欠部３８４と未切欠部３８８は、ガラス基板
２の平面度を、それぞれ識別するためのものであ
る。本例で示した識別部３８の形状は、主表面の
大きさが６インチ（130mm）×６インチ（130mm）、
厚さが0.09インチ（0.225mm）、ガラスがボロシリ
ケートガラス及び平面度が2μｍであることを示
している。また、本例の識別部３８の形状を逆に
したとき、すなわち切欠部と未切欠部とを逆にし
たときは、主表面の大きさが７インチ（175mm）×
７インチ（175mm）、厚さが0.12インチ（0.3mm）、
ガラスが石英ガラス及び平面度が3μｍであるこ
とを示すことになる。なお、このときは、当然、
ガラス基板は７インチ（175mm）×７インチ（175
mm）×0.12インチ（0.3mm）のものが収納されるの
で、棒状体３５，３６をそれぞれ、保持部３１
１，３２１，３１４，３２４に挿入する。さら
に、この側面３１には、収納容器３の位置を確認
検出するための凹状に切欠かれた後述する確認検
出器６に対応する確認部３９が、収納容器３の移
動方向の側面下部に前述した切欠部と同様の大き
さで設けられている。

次に、ベルトコンベア４は、コンベアベルト４
１（幅180mm）と、略々前記収納容器３の載置位
置を決めるために、このベルト４１上に設けられ
た位置決め部材４２とを備えている。そして、４
つの位置決め部材４２で囲まれたコンベアベルト
４１の部分は収納容器３を載置する載置部４３と
なつている。

次に、識別検出装置５は、物理的接触なしに対
象物の有無を検出し、操作信号として取り出すこ
とのできる近接スイツチ５１，５２，５３，５
４，５５，５６，５７，５８（例えば、立石電機
(株)製のアンプ分離形近接スイツチE2C（円柱形の
高周波発振形の近接スイツチである。）を備え、
この近接スイツチの垂直検出距離L₁は1.5mm、水
平検出距離L₂は15mmである。L₁及びL₂は第４図
参照。）からなつている。この識別検出装置５の
構成要素である近接スイツチ５１〜５８は、収納
容器３が移動し、停止したとき、前記識別部３８
の切欠部３８１〜３８４及び未切欠部３８５〜３
８８にそれぞれ対応するように、20mm間隔でスイ
ツチ保持部（図示せず。）により、側面３１の下
端から１mm下方に設置し、保持されている。ここ
で、この種のスイツチの検出距離は、一般に、第
４図に示すように、先ず、垂直検出距離L₁は、
検出物体８を基準軸９方向に接近させて、近接ス
イツチ１０の基準面１１から測定した距離で表し
（同図ａ）、水平検出距離L₂は、検出物体８を基
準面１１と平行に移動させて、基準軸９からの距
離で表し、この距離L₂は、通過位置（基準面１
１からの距離）によつて変化するので、軌跡１２
として現れる（同図ｂ）。以上のように本実施例
の搬送装置は、識別検出装置５と収納容器３の識
別部３８とにより収納容器３を識別することが可
能となる。

次に、確認検出器６は、前述した識別検出装置
５と同様の近接スイツチである近接スイツチ６１
を備え、近接スイツチ６１の設置位置は識別検出
装置５の近接スイツチと同方向に設けられてい
る。そして、この確認検出器６は、前記確認部３
９と対応し、この確認検出器６と前記確認部３９
とによつて収納容器３が識別検出装置５における
識別検出装置に移動したことを確認する。

さらに、本例の停止指示器である光電スイツチ
７は、前記した識別検出装置５の構成要素である
近接スイツチ５１〜５８及び確認検出器６の構成
要素である光電スイツチ６１と同様に、物理的接
触なしに対象物の有無を検出するもので、例え
ば、反射型の光電スイツチである立石電機(株)製の
E32−2002F（検出距離：２cm）であり、この光電
スイツチ７は、収納容器３の側面３２から１cm離
れ、この側面３２の上端延長線から下方15cmの位
置に光電スイツチ保持部（図示せず。）によつて
保持されている。なお、移動装置の一構成要素で
あるベルトコンベア４を停止させるのは、識別検
出装置５の検出精度を低下させないためである。

次に、本例の搬送及び識別方法を下記に述べ
る。

先ず、第１図および第３図に示すように、ガラ
ス基板２を収納した収納容器３を、収納容器３の
識別部３８と確認部３９とがベルトコンベア４の
位置決め部４２間のコンベアベルト４１上の載置
部４３から突出させて載置し、移動装置の一構成
要素であるベルトコンベア４を収納容器３がＡ方
向に移動するように作動させる。このとき、光電
スイツチ７も収納容器３を検出できる状態にして
おく。次に、ベルトコンベア４を停止指示する部
分である前記収納容器３の側面３３の先端を停止
指示器である光電スイツチ７が検出すると、この
検出信号（停止指示する信号）を受けてベルトコ
ンベア４を停止させると共に、正確に収納容器３
が、識別検出装置５上方に移動していることを確
認すべく確認検出器６の構成要素である近接スイ
ツチ６１を作動させ、検出できなければ（確認部
３９は凹部であることから、確認部３９のところ
に停止すれば検出できない。）正確に停止してい
るとの判断で、識別検出装置５を作動させる。す
なわち、識別検出装置５の構成要素である近接ス
イツチ５１〜５８を作動させ、検出できなければ
（切欠部３８１〜３８４のところは検出できな
い。）ONの信号を発し、検出できればOFFの信
号を発し、この信号を受けて前記したガラス基板
２の主表面の寸法等を識別する。次に、近接スイ
ツチ５１〜５８の作動を停止し、かつ確認検出器
６の構成要素である近接スイツチ６１の作動も停
止し、ベルトコンベア４を作動して、収納容器３
を従来と同様に洗浄工程に移動させる。このと
き、光電スイツチ７によつて収納容器３を検出し
ているが、収納容器３を検出しなくなるまで、す
なわち、側面３４が通過するまで、ベルトコンベ
ア４が停止しないようにしておく。そして、側面
３４が光電スイツチ７を通過した後、再度光電ス
イツチ７によつて収納容器３を検出したら、ベル
トコンベア４を停止するようにする。

本例は、以上のような構造であるから、先ず、
洗浄工程の洗浄液に収納容器を浸漬しても識別部
が破損することもないことから、収納容器を繰り
返し使用することができ、確実に識別することが
でき、さらに、洗浄液を汚染することもない。ま
た、収納容器３の側面３１の下端に確認部３９を
設け、この確認部３９と確認検出器６とによつて
位置を確認しているので、たとえ停止位置が不正
確であつても、ベルトコンベア４にフイードバツ
クし、ベルトコンベア４を適当に作動させれば充
分に所望する位置に収納容器３を配置することが
できる。また、本例においては、収納容器３を、
収納容器３の識別部３８と確認部３９とがコンベ
アベルト４１上の載置部４３より突出させて載置
し、さらに識別検出装置５を収納容器３の下方に
設けているため、スペースを大きくとる必要もな
い。

以上、前記実施例においては、移動装置である
ベルトコンベアを停止させるためにのみ光電スイ
ツチを用いたが、確認検出器として用いてもよ
い。すなわち、例えば、ベルトコンベアの停止精
度が±１mm以下であるとき、識別部の切欠部や未
切欠部の幅Ｗを水平検出距離よりも２mm以上大き
くすれば充分、確認検出器として作用する、な
お、この場合は、前記実施例の側面３１に設けら
れた確認部３９は不要となり、その作用をするも
のは、側面３３となる。さらに、前記実施例にお
いての識別部を、先ず全て切り欠いておき、その
切り欠かれた上面に溝を形成し、必要に応じて、
前記未切欠部に相当し、かつ前記溝に嵌合する凸
部を有する断面矩形状物を取りつけてもよい。そ
して断面矩形状物を着脱自在にしておけば、多種
の収納容器を用意しなくとも済む。また、前記実
施例では、識別部として凹部を設けたが、側面３
１に凸部を設けても同様の効果がある。また、識
別部３８は側面３１のみに設けたが、もう一方の
側面３２にも設けてもよい。また、前記実施例で
は、収納容器を形成する側面の材質が、ステンレ
スであるから近接スイツチを識別検出装置に用い
たが、収納容器が四弗化エチレンのような樹脂の
ときは、近接スイツチが使用できないので光電ス
イツチを用いる。

〔考案の効果〕

本考案によれば、確実に収納容器を介して、収
納容器の物品を識別することができ、自動搬送、
自動識別及びそれらによる生産管理の合理化と正
確性の向上をもたらし、さらに識別検出装置を収
納容器の下方に設けることができるので省スペー
ス化にもつながる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第３図は、本考案の一実施例を示す図
であり、第１図は部分斜視部、第２図は部分拡大
正面図、第３図は部分拡大底面図である。第４図
ａ，ｂは、本考案の一実施例の近接スイツチの一
般的な検出距離を示す模式図である。 １……搬送装置、３……収納容器、４……ベル
トコンベア、５……光電スイツチ、３１，３２，
３３，３４……側面、３８……識別部、３９……
確認部、４３……載置部、５１，５２，５３，５
４，５５，５６，５７，５８……近接スイツチ、
３８１，３８２，３８３，３８４……切欠部、３
８５，３８６，３８７，３８８……未切欠部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 物品を収納する収納容器と、 前記収納容器を載置部へ載置し、前記載置部の
   移動と共に前記収納容器を移動せしめる移動装置
   と、 前記収納容器を識別する識別検出装置と、 前記移動装置の停止動作を指示する停止指示器
   と、 前記収納容器が前記識別検出装置における識別
   検出位置に移動したことを確認する確認検出器と
   を備え、 前記収納容器の移動方向側面の下部には、前記
   識別検出装置に対応する、凹部又は凸部を有する
   識別部と、前記確認検出器に対応する確認部とを
   設け、 かつ前記停止指示器に対応する、前記移動装置
   を停止指示する部分を前記収納容器の面に設け、 前記収納容器に設けられた、前記識別部と前記
   確認部とを前記移動装置の載置部より突出させて
   前記収納容器を載置し、前記移動装置により移動
   し、前記停止指示器と前記収納容器の停止指示す
   る部分とにより停止し、前記確認検出器と前記確
   認部とにより前記識別検出装置における識別検出
   位置に移動したことを確認し、前記識別検出装置
   と前記識別部とにより前記収納容器を識別するこ
   とを特徴とする搬送装置。