JP2610918B2 - 被処理体の処理方法及び処理装置 - Google Patents
被処理体の処理方法及び処理装置Info
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- JP2610918B2 JP2610918B2 JP32892187A JP32892187A JP2610918B2 JP 2610918 B2 JP2610918 B2 JP 2610918B2 JP 32892187 A JP32892187 A JP 32892187A JP 32892187 A JP32892187 A JP 32892187A JP 2610918 B2 JP2610918 B2 JP 2610918B2
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- Japan
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- cassette
- processed
- processing
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Conveyance By Endless Belt Conveyors (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は被処理体の処理方法及び処理装置に関する。
［従来技術及び発明が解決しようとする問題点］ 半導体製造工程において、一般に被処理体、例えばウ
ェハはレジストコート、エッチング、イオン注入、拡
散、酸化、金属膜蒸着、ホトリソグラフィー等の各工程
を経て製造、処理されている。
ェハはレジストコート、エッチング、イオン注入、拡
散、酸化、金属膜蒸着、ホトリソグラフィー等の各工程
を経て製造、処理されている。
これらの一連の製造工程において、ウェハは内壁に多
段に形成された収納溝等を有するカセットに複数枚収納
されて順次各工程に搬送されている。ウェハを収納した
カセットは多数使用され、逐次前術のような前処理工程
段階を経て製造されるため、処理順を正しく行い、ウェ
ハの経歴を知ることができるようにしておく必要があ
る。多数のカセットを使用する場合、カセットが認識手
段を持たないと、カセットの処理順が狂ってしまい、従
ってウェハの処理順も正しくなされなくなってしまうと
いう欠点があった。また、一処理工程中においてはカセ
ットをカセット収納部に収納し、カセットを上下移動さ
せて、カセットの下方に装備されたベルトコンベア等の
搬送手段で、ウェハの搬送を行っている。
段に形成された収納溝等を有するカセットに複数枚収納
されて順次各工程に搬送されている。ウェハを収納した
カセットは多数使用され、逐次前術のような前処理工程
段階を経て製造されるため、処理順を正しく行い、ウェ
ハの経歴を知ることができるようにしておく必要があ
る。多数のカセットを使用する場合、カセットが認識手
段を持たないと、カセットの処理順が狂ってしまい、従
ってウェハの処理順も正しくなされなくなってしまうと
いう欠点があった。また、一処理工程中においてはカセ
ットをカセット収納部に収納し、カセットを上下移動さ
せて、カセットの下方に装備されたベルトコンベア等の
搬送手段で、ウェハの搬送を行っている。
しかし、この方法ではウェハはカセットの下方から順
次取り出され、収納される時はカセットの上方から順次
収納されるため処理順番が狂ってしまうという欠点があ
った。また、他の手段としてカセット内壁の収納溝に収
納されたウェハを取り出し機構で取り出す方法もある
が、ウェハの収納位置及び収納間隔を一定値としてめく
ら操作で取り出し、挿入を行っていたので、ウェハの破
損や抜き取り検査等で欠番があった場合等、ウェハの適
正な位置の取り出し挿入が行われないという欠点があっ
た。
次取り出され、収納される時はカセットの上方から順次
収納されるため処理順番が狂ってしまうという欠点があ
った。また、他の手段としてカセット内壁の収納溝に収
納されたウェハを取り出し機構で取り出す方法もある
が、ウェハの収納位置及び収納間隔を一定値としてめく
ら操作で取り出し、挿入を行っていたので、ウェハの破
損や抜き取り検査等で欠番があった場合等、ウェハの適
正な位置の取り出し挿入が行われないという欠点があっ
た。
特に、ASIC対応で少量多品種になると製造ラインでの
無人搬送車による搬送エラーや製造装置のトラブルによ
る搬送エラー等が多々発生する。このような場合におい
ても処理は常に同一種は同一条件処理が望ましいため、
処理の再配列が望まれる。
無人搬送車による搬送エラーや製造装置のトラブルによ
る搬送エラー等が多々発生する。このような場合におい
ても処理は常に同一種は同一条件処理が望ましいため、
処理の再配列が望まれる。
本発明の目的は上記欠点を解消し、被処理体の各処理
工程における処理を正確に行うことができる被処理体の
処理方法及び処理装置を提供することにある。
工程における処理を正確に行うことができる被処理体の
処理方法及び処理装置を提供することにある。
［問題点を解決するための手段］ 本発明の被処理体の処理方法は、複数の被処理体を収
納する第１のカセットに設けられた被識別部を検出する
工程と、この検出した信号と予め記憶された複数の処理
工程の情報とを比較する工程と、この比較した信号に基
づいて本来搬送されるべきカセットであるか認識する工
程と、この認識に基づいて第１のカセットが誤った順番
のものであるとき、報知手段により報知させる工程と、
第１のカセットが正しい順番のものであるとき、被処理
体の各々に設けられた被識別部を検出する工程と、この
検出した信号と予め記憶された複数の処理工程の情報と
を比較する工程と、この比較した信号に基づいてカセッ
ト内に収納された被処理体を少なくとも１つ以上の処理
装置に搬送する工程と、処理装置にて処理された処理済
の被処理体を第２のカセット内に収納する工程とを含む
ものである。
納する第１のカセットに設けられた被識別部を検出する
工程と、この検出した信号と予め記憶された複数の処理
工程の情報とを比較する工程と、この比較した信号に基
づいて本来搬送されるべきカセットであるか認識する工
程と、この認識に基づいて第１のカセットが誤った順番
のものであるとき、報知手段により報知させる工程と、
第１のカセットが正しい順番のものであるとき、被処理
体の各々に設けられた被識別部を検出する工程と、この
検出した信号と予め記憶された複数の処理工程の情報と
を比較する工程と、この比較した信号に基づいてカセッ
ト内に収納された被処理体を少なくとも１つ以上の処理
装置に搬送する工程と、処理装置にて処理された処理済
の被処理体を第２のカセット内に収納する工程とを含む
ものである。
更に、本発明の被処理体の処理方法は、第１のカセッ
トには全て同一の処理がなされる前記被処理体が収納さ
れるかまたは異なる処理がなされる前記被処理体が収納
されるのもであってもよく、また、第１のカセットと第
２のカセットは、同一のカセットであってもよく、処理
済の被処理体は、この被処理体に設けられた被処理部を
検出された後、この検出信号に基づいて第２のカセット
内に収納されるものであってもよく、被処理体は被識別
部の信号に基づいて、複数の処理室に搬送され、複数の
処理工程で処理されるものであってもよい。
トには全て同一の処理がなされる前記被処理体が収納さ
れるかまたは異なる処理がなされる前記被処理体が収納
されるのもであってもよく、また、第１のカセットと第
２のカセットは、同一のカセットであってもよく、処理
済の被処理体は、この被処理体に設けられた被処理部を
検出された後、この検出信号に基づいて第２のカセット
内に収納されるものであってもよく、被処理体は被識別
部の信号に基づいて、複数の処理室に搬送され、複数の
処理工程で処理されるものであってもよい。
また、本発明の処理装置は、被処理体を収納する第１
のカセットに設けられた被識別部を検出部と、この検出
した信号と予め記憶された複数の処理工程の情報とを比
較する比較部と、この比較した信号に基づいて本来搬送
されるべきカセットであるか認識しこの認識に基づいて
第１のカセットが誤った順番のものであるとき、報知す
る報知手段と、第１のカセットが正しい順番のものであ
るとき、被処理体の各々に設けられた被識別部を検出す
る検出部と、この検出した信号と予め記憶された複数の
処理工程の情報とを比較する比較部と、この比較した信
号に基づいてカセット内に収納された被処理体を少なく
とも１つ以上の処理部に搬送する搬送手段と、処理部に
て処理された処理済の被処理体を第２のカセット内に収
納する搬送手段とを含むものである。
のカセットに設けられた被識別部を検出部と、この検出
した信号と予め記憶された複数の処理工程の情報とを比
較する比較部と、この比較した信号に基づいて本来搬送
されるべきカセットであるか認識しこの認識に基づいて
第１のカセットが誤った順番のものであるとき、報知す
る報知手段と、第１のカセットが正しい順番のものであ
るとき、被処理体の各々に設けられた被識別部を検出す
る検出部と、この検出した信号と予め記憶された複数の
処理工程の情報とを比較する比較部と、この比較した信
号に基づいてカセット内に収納された被処理体を少なく
とも１つ以上の処理部に搬送する搬送手段と、処理部に
て処理された処理済の被処理体を第２のカセット内に収
納する搬送手段とを含むものである。
［実施例］ 以下本発明の処理方法及び処理装置の実施例を図面を
参照して説明する。
参照して説明する。
カセット及び被処理体、例えばウェハの被識別部とし
て、バーコードやアナログ数値など複数小孔を穿孔し、
これらの位置の組合せあるいは単に番号や記号を付す等
の方法を用いることによりウェハの品種、ロット番号等
を表示した被識別部を形成することができる。第１図に
カセット１及びウェハ２にバーコードａを貼着した例を
示す。ウェハ２においてはオリエンテーションフラット
部に沿って形成してもよい。
て、バーコードやアナログ数値など複数小孔を穿孔し、
これらの位置の組合せあるいは単に番号や記号を付す等
の方法を用いることによりウェハの品種、ロット番号等
を表示した被識別部を形成することができる。第１図に
カセット１及びウェハ２にバーコードａを貼着した例を
示す。ウェハ２においてはオリエンテーションフラット
部に沿って形成してもよい。
これらの被識別部を認識する検出部として光情報処理
装置等を用いる。光情報処理装置を用いたカセット認識
方法を第２図を用いて説明する。
装置等を用いる。光情報処理装置を用いたカセット認識
方法を第２図を用いて説明する。
第２図において、ウェハの処理工程装置であるＡ及び
Ｂで処理済例えばレジスト塗布工程、露光工程済のウェ
ハＷが収納されているカセット11は上面に被識別部であ
る小孔を穿孔された板状体ａ′が貼着され、搬送ベルト
ｂによりカセット11は搬送され、被識別部である板状体
ａ′を認識する認識手段である光情報処理装置４及び反
射板５により認識され、比較部及び判断部であるCPUに
予め組まれたカセット別工程順の辞書からの命令に基づ
き、各カセットにつき搬送先が決定され、ウェハＷの次
の処理が行われる処理部であるＣ装置へ搬送される。
Ｂで処理済例えばレジスト塗布工程、露光工程済のウェ
ハＷが収納されているカセット11は上面に被識別部であ
る小孔を穿孔された板状体ａ′が貼着され、搬送ベルト
ｂによりカセット11は搬送され、被識別部である板状体
ａ′を認識する認識手段である光情報処理装置４及び反
射板５により認識され、比較部及び判断部であるCPUに
予め組まれたカセット別工程順の辞書からの命令に基づ
き、各カセットにつき搬送先が決定され、ウェハＷの次
の処理が行われる処理部であるＣ装置へ搬送される。
光情報処理装置４はレーザ光射光口６よりレーザ光線
を射光し、カセット11上の板状体ａ′を照射して反射光
を反射板５に反射させ反射光により穿孔位置をITVカメ
ラ（図示せず）等により光電的に検出するものである。
検出出力信号と予め記憶された認識辞書と比較照合し、
一致する辞書内容を認識情報として出力する。さらに光
情報処理装置４の出力はカセットの処理順が記憶された
記憶装置（図示せず）に入力され、カセットの処理順を
出力することができる。これらの認識手段により、次の
処理の行われる装置Ｃ例えばUV硬化処理工程で処理後、
次の現像工程（図示せず）へ搬送されるかあるいは直接
次の現像工程へ搬送する場合、搬送されるべきカセット
を探索し、正しい順番のカセットが認識されればそのま
ま搬送し、誤った順番のカセットが認識されれば、例え
ばブザー等の報知手段（図示せず）で表示させる。この
ようにしてカセット処理順に正しく認識処理することが
できる。
を射光し、カセット11上の板状体ａ′を照射して反射光
を反射板５に反射させ反射光により穿孔位置をITVカメ
ラ（図示せず）等により光電的に検出するものである。
検出出力信号と予め記憶された認識辞書と比較照合し、
一致する辞書内容を認識情報として出力する。さらに光
情報処理装置４の出力はカセットの処理順が記憶された
記憶装置（図示せず）に入力され、カセットの処理順を
出力することができる。これらの認識手段により、次の
処理の行われる装置Ｃ例えばUV硬化処理工程で処理後、
次の現像工程（図示せず）へ搬送されるかあるいは直接
次の現像工程へ搬送する場合、搬送されるべきカセット
を探索し、正しい順番のカセットが認識されればそのま
ま搬送し、誤った順番のカセットが認識されれば、例え
ばブザー等の報知手段（図示せず）で表示させる。この
ようにしてカセット処理順に正しく認識処理することが
できる。
カセット認識方法の他の実施例として、バッファリン
グ機構であるカセットステーションを用いる方法があ
る。第３図に図示のカセットステーションの斜視図を参
照してカセットステーションを説明する。カセットステ
ーション20上にカセット載置位置22〜27を設け、ここに
被識別部がある例えばバーコードａ−１が貼着されたカ
セット11が載置される。ウェハ処理装置Ｄで処理済のウ
ェハを収納したカセットステーション20上のカセット載
置位置22〜27にロボットアーム21により載置される。載
置されたカセットは次工程の行われる処理装置Ｅにロボ
ットアーム21の先端に設けられた光情報処理装置41によ
りレーザ光をバーコードａ−１に照射し、その反射光に
より読み取りを行い、正しい順番のカセットが搬送され
るようになっている。
グ機構であるカセットステーションを用いる方法があ
る。第３図に図示のカセットステーションの斜視図を参
照してカセットステーションを説明する。カセットステ
ーション20上にカセット載置位置22〜27を設け、ここに
被識別部がある例えばバーコードａ−１が貼着されたカ
セット11が載置される。ウェハ処理装置Ｄで処理済のウ
ェハを収納したカセットステーション20上のカセット載
置位置22〜27にロボットアーム21により載置される。載
置されたカセットは次工程の行われる処理装置Ｅにロボ
ットアーム21の先端に設けられた光情報処理装置41によ
りレーザ光をバーコードａ−１に照射し、その反射光に
より読み取りを行い、正しい順番のカセットが搬送され
るようになっている。
バーコードａ−１の読み取りは、レーザー光がバーコ
ードの位置に照射されるようにロボットアーム21の移動
により行ってもよいし、またカセットステーション20を
回転機構に接続し、カセットステーション20の回転で行
ってもよい。また、バーコードの読み取りはロボットア
ームの先端に設置したものでなく他に設置した光情報処
理装置42を使用して、カセットのａ−２の位置に貼着し
たバーコードを読み取るようにしてもよい。光情報処理
装置42はカセットの処理順を記憶させた記憶装置（図示
せず）に接続され、カセットの処理順を認識することが
できる。
ードの位置に照射されるようにロボットアーム21の移動
により行ってもよいし、またカセットステーション20を
回転機構に接続し、カセットステーション20の回転で行
ってもよい。また、バーコードの読み取りはロボットア
ームの先端に設置したものでなく他に設置した光情報処
理装置42を使用して、カセットのａ−２の位置に貼着し
たバーコードを読み取るようにしてもよい。光情報処理
装置42はカセットの処理順を記憶させた記憶装置（図示
せず）に接続され、カセットの処理順を認識することが
できる。
また、上記の実施例はカセットに貼着したバーコード
等の被識別部により処理順を認識したが、第２図に示す
ような一処理工程をそれぞれ装置Ｄ、Ｅのように１台の
装置で行う場合は、カセットステーション20の載置位置
22〜27により処理順を認識してもよい。
等の被識別部により処理順を認識したが、第２図に示す
ような一処理工程をそれぞれ装置Ｄ、Ｅのように１台の
装置で行う場合は、カセットステーション20の載置位置
22〜27により処理順を認識してもよい。
以上のカセットの認識手段を有した処理方法の実施例
の他に、予めカセットの処理順を記録したおいたものに
カセットの処理順を照合し、人の判断によって搬送して
もよいことは言うまでもない。
の他に、予めカセットの処理順を記録したおいたものに
カセットの処理順を照合し、人の判断によって搬送して
もよいことは言うまでもない。
また、ウェハの認識手段を有する処理方法の実施例と
して、ウェハの収納位置によりウェハの処理順を認識す
る手段を有する処理方法を実現する処理装置の一実施例
を第４図（ａ）正面図、第４図（ｂ）断面図、第４図
（ｃ）側面図を用いて説明する。即ち、ASIC対応で１カ
セット内に複数品種のウェハが不順に設けられている場
合、同一品種を整理して取り出す場合の実施例を説明す
る。
して、ウェハの収納位置によりウェハの処理順を認識す
る手段を有する処理方法を実現する処理装置の一実施例
を第４図（ａ）正面図、第４図（ｂ）断面図、第４図
（ｃ）側面図を用いて説明する。即ち、ASIC対応で１カ
セット内に複数品種のウェハが不順に設けられている場
合、同一品種を整理して取り出す場合の実施例を説明す
る。
第４図（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）においてカセット30
は２本の支柱32及び32aが底板31及び上板31aにより固定
され、２本の支柱32及び32aにさん状に並設された棒状
体33から形成され、棒状体33で決定する１平面上にウェ
ハＷが１枚収納される。支柱32の後方先端に吸引装置
（図示せず）に接続された吸着口（図示せず）を設けた
ウェハ収納アーム34が上下駆動及び回転駆動機構34aに
接続され、受け取りベルト36により搬送されるウェハを
ウェハ収納アーム34で吸着できるようになっている。ま
た、支柱32aの前方にウェハ収納アーム34と同様に先端
に吸引装置（図示せず）に接続された吸着口（図示せ
ず）を設けたウェハ取り出しアーム35が上下駆動及び回
転駆動機構35aに接続され、吸着したウェハを送り出し
ベルト37上に搬送することができる。前述のウェハ搬送
装置は記憶装置に接続され、ウェハＷの収納場所である
カセット30収納段33を記憶することができ、それにより
所望のウェハの収納場所から取り出しが可能になってい
る。
は２本の支柱32及び32aが底板31及び上板31aにより固定
され、２本の支柱32及び32aにさん状に並設された棒状
体33から形成され、棒状体33で決定する１平面上にウェ
ハＷが１枚収納される。支柱32の後方先端に吸引装置
（図示せず）に接続された吸着口（図示せず）を設けた
ウェハ収納アーム34が上下駆動及び回転駆動機構34aに
接続され、受け取りベルト36により搬送されるウェハを
ウェハ収納アーム34で吸着できるようになっている。ま
た、支柱32aの前方にウェハ収納アーム34と同様に先端
に吸引装置（図示せず）に接続された吸着口（図示せ
ず）を設けたウェハ取り出しアーム35が上下駆動及び回
転駆動機構35aに接続され、吸着したウェハを送り出し
ベルト37上に搬送することができる。前述のウェハ搬送
装置は記憶装置に接続され、ウェハＷの収納場所である
カセット30収納段33を記憶することができ、それにより
所望のウェハの収納場所から取り出しが可能になってい
る。
以上のような構成のウェハ処理装置におけるウェハの
処理方法を説明する。前処理の一工程におけるカセット
収納部にウェハが収納されたカセット30を収納すると、
ウェハ取り出しアーム35が上下駆動機構35aにより上昇
され、第１に処理すべきウェハＷが収納されている目的
の収納段に達すると、回転駆動機構35aにより軌道35cを
描いて取り出しアーム35がウェハＷの位置に達するよう
に回転され、ウェハＷを吸着した後再び軌道35cを描い
て逆に回転され、上下駆動機構35aにより、送り出しベ
ルト37の位置まで下降される。取り出しアーム35が送り
出しベルト37に接触すると吸引を停止させ、ウェハＷは
送り出しベルト37上に載置され、送り出しベルト37によ
り処理装置に搬送される。以上のような動作を繰り返す
ことによりウェハの処理順を正しく処理することができ
る。処理装置で処理済のウェハは受け取りベルト36によ
り搬送され収納アーム34に吸着され、上下駆動機構34a
により収納アーム34を任意の空段まで上昇させ、目的の
段に達すると回転駆動機構34aにより軌道34cを描くよう
に回転させ、ウェハが収納位置上に来た時、吸引を停止
させ収納する。ウェハ収納後、回転駆動機構34aにより
軌道34cを描くように逆に回転させ上下駆動機構34aによ
り収納アーム34が受け取りベルト36に接するまで下降さ
せる。以上のような動作を反復することによりウェハを
順次所定の順番になるよう収納することができる。
処理方法を説明する。前処理の一工程におけるカセット
収納部にウェハが収納されたカセット30を収納すると、
ウェハ取り出しアーム35が上下駆動機構35aにより上昇
され、第１に処理すべきウェハＷが収納されている目的
の収納段に達すると、回転駆動機構35aにより軌道35cを
描いて取り出しアーム35がウェハＷの位置に達するよう
に回転され、ウェハＷを吸着した後再び軌道35cを描い
て逆に回転され、上下駆動機構35aにより、送り出しベ
ルト37の位置まで下降される。取り出しアーム35が送り
出しベルト37に接触すると吸引を停止させ、ウェハＷは
送り出しベルト37上に載置され、送り出しベルト37によ
り処理装置に搬送される。以上のような動作を繰り返す
ことによりウェハの処理順を正しく処理することができ
る。処理装置で処理済のウェハは受け取りベルト36によ
り搬送され収納アーム34に吸着され、上下駆動機構34a
により収納アーム34を任意の空段まで上昇させ、目的の
段に達すると回転駆動機構34aにより軌道34cを描くよう
に回転させ、ウェハが収納位置上に来た時、吸引を停止
させ収納する。ウェハ収納後、回転駆動機構34aにより
軌道34cを描くように逆に回転させ上下駆動機構34aによ
り収納アーム34が受け取りベルト36に接するまで下降さ
せる。以上のような動作を反復することによりウェハを
順次所定の順番になるよう収納することができる。
以上ウェハの処理順が狂わないように順次カセット収
納段からの取り出し収納について説明したが、抜き取り
検査等任意の収納段へのウェハの収納及び取り出し操作
ができることは言うまでもない。
納段からの取り出し収納について説明したが、抜き取り
検査等任意の収納段へのウェハの収納及び取り出し操作
ができることは言うまでもない。
以上説明したウェハ収納位置による処理順認識手段を
用いた処理方法の他に、各処理装置において、バーコー
ドや複数の小孔を穿孔し、その位置の組合せ等のウェハ
上の被識別部に光情報処理装置等を用いてレーザ光を照
射し、ウェハの識別を行いウェハの搬送を行ってもよ
い。
用いた処理方法の他に、各処理装置において、バーコー
ドや複数の小孔を穿孔し、その位置の組合せ等のウェハ
上の被識別部に光情報処理装置等を用いてレーザ光を照
射し、ウェハの識別を行いウェハの搬送を行ってもよ
い。
［発明の効果］ 本発明によれば、カセットに設けられた被識別部を検
出し誤った順番のカセットであるとき報知手段により報
知し、正しい順番のカセットであるとき、被処理体の各
々に設けられた被識別部を検出することにより、被処理
体の順次なされる処理の工程において、処理順を狂わす
ことなく正確に処理を行うことができる。
出し誤った順番のカセットであるとき報知手段により報
知し、正しい順番のカセットであるとき、被処理体の各
々に設けられた被識別部を検出することにより、被処理
体の順次なされる処理の工程において、処理順を狂わす
ことなく正確に処理を行うことができる。
第１図（ａ）及び（ｂ）は本発明に係わるウェハ及びカ
セットの一実施例を示す図、第２図及び第３図はそれぞ
れ被処理体の処理方法の一実施例を示す図、第４図
（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）はそれぞれ本発明の被処理体
の処理方法に用いられる処理装置を示す図である。 １、11、30……カセット ２……ウェハ ４、41、42……光情報処理装置（検出部） ５……反射板 20……カセットステーション 21……ロボットアーム 22〜27カセット載置位置 32、32a……支柱 33……棒状体 34……収納アーム 35……取り出しアーム 34a、35a……上下及び回転駆動機構 34c、35c……軌道 36……受け取りベルト 37……送り出しベルト ａ、ａ−１、ａ−２……バーコード（被識別部） ａ′……小孔穿孔板（被識別部） Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ……処理装置（処理部）
セットの一実施例を示す図、第２図及び第３図はそれぞ
れ被処理体の処理方法の一実施例を示す図、第４図
（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）はそれぞれ本発明の被処理体
の処理方法に用いられる処理装置を示す図である。 １、11、30……カセット ２……ウェハ ４、41、42……光情報処理装置（検出部） ５……反射板 20……カセットステーション 21……ロボットアーム 22〜27カセット載置位置 32、32a……支柱 33……棒状体 34……収納アーム 35……取り出しアーム 34a、35a……上下及び回転駆動機構 34c、35c……軌道 36……受け取りベルト 37……送り出しベルト ａ、ａ−１、ａ−２……バーコード（被識別部） ａ′……小孔穿孔板（被識別部） Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ……処理装置（処理部）
Claims (6)
- 【請求項１】複数の被処理体を収納する第１のカセット
に設けられた被識別部を検出する工程と、この検出した
信号と予め記憶された複数の処理工程の情報とを比較す
る工程と、この比較した信号に基づいて本来搬送される
べきカセットであるか認識する工程と、この認識に基づ
いて前記第１のカセットが誤った順番のものであると
き、報知手段により報知させる工程と、前記第１のカセ
ットが正しい順番のものであるとき、前記被処理体の各
々に設けられた被識別部を検出する工程と、この検出し
た信号と予め記憶された複数の処理工程の情報とを比較
する工程と、この比較した信号に基づいて前記カセット
内に収納された被処理体を少なくとも１つ以上の処理装
置に搬送する工程と、前記処理装置にて処理された処理
済の前記被処理体を第２のカセット内に収納する工程と
を含むこと特徴とする被処理体の処理方法。 - 【請求項２】前記第１のカセットには全て同一の処理が
なされる前記被処理体が収納されるかまたは異なる処理
がなされる前記被処理体が収納されることを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の被処理体の処理方法。 - 【請求項３】前記第１のカセットと前記第２のカセット
は、同一のカセットであることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の被処理体の処理方法。 - 【請求項４】前記処理済の前記被処理体は、この被処理
体に設けられた前記被識別部を検出された後、この検出
信号に基づいて前記第２のカセット内に収納されること
を特徴とする特許請求の範囲第１項または特許請求の範
囲第２項記載の被処理体の処理方法。 - 【請求項５】前記被処理体は前記被識別部の信号に基づ
いて、複数の処理室に搬送され、複数の処理工程で処理
されることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の被
処理体の処理方法。 - 【請求項６】複数の被処理体を収納する第１のカセット
に設けられた被識別部を検出部と、この検出した信号と
予め記憶された複数の処理工程の情報とを比較する比較
部と、この比較した信号に基づいて本来搬送されるべき
カセットであるか認識しこの認識に基づいて前記第１の
カセットが誤った順番のものであるとき、報知する報知
手段と、前記第１のカセットが正しい順番のものである
とき、前記被処理体の各々に設けられた被識別部を検出
する検出部と、この検出した信号と予め記憶された複数
の処理工程の情報とを比較する比較部と、この比較した
信号に基づいて前記カセット内に収納された被処理体を
少なくとも１つ以上の処理部に搬送する搬送手段と、前
記処理部にて処理された処理済の前記被処理体を第２の
カセット内に収納する搬送手段とを含むことを特徴とす
る被処理体の処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32892187A JP2610918B2 (ja) | 1987-12-25 | 1987-12-25 | 被処理体の処理方法及び処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32892187A JP2610918B2 (ja) | 1987-12-25 | 1987-12-25 | 被処理体の処理方法及び処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01170013A JPH01170013A (ja) | 1989-07-05 |
| JP2610918B2 true JP2610918B2 (ja) | 1997-05-14 |
Family
ID=18215579
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32892187A Expired - Lifetime JP2610918B2 (ja) | 1987-12-25 | 1987-12-25 | 被処理体の処理方法及び処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2610918B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2644912B2 (ja) | 1990-08-29 | 1997-08-25 | 株式会社日立製作所 | 真空処理装置及びその運転方法 |
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| USRE39823E1 (en) | 1990-08-29 | 2007-09-11 | Hitachi, Ltd. | Vacuum processing operating method with wafers, substrates and/or semiconductors |
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| JPS58133935U (ja) * | 1982-03-02 | 1983-09-09 | 三菱電機株式会社 | 半導体ウエハ収納用マガジン |
-
1987
- 1987-12-25 JP JP32892187A patent/JP2610918B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01170013A (ja) | 1989-07-05 |
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