JP3287704B2 - 基板保管装置及びそれを有する半導体製造装置 - Google Patents
基板保管装置及びそれを有する半導体製造装置Info
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- JP3287704B2 JP3287704B2 JP20499994A JP20499994A JP3287704B2 JP 3287704 B2 JP3287704 B2 JP 3287704B2 JP 20499994 A JP20499994 A JP 20499994A JP 20499994 A JP20499994 A JP 20499994A JP 3287704 B2 JP3287704 B2 JP 3287704B2
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/66—Containers specially adapted for masks, mask blanks or pellicles; Preparation thereof
-
- G—PHYSICS
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- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
- G03F7/70741—Handling masks outside exposure position, e.g. reticle libraries
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体製造工程でレチク
ル、マスク、ウエハ等の基板（または原板）を所定の位
置に収納あるいは待機させ、必要に応じて半導体製造用
露光装置や基板洗浄装置あるいは基板検査装置等に供給
する基板保管装置、及びそれを有する半導体製造装置に
関する。
ル、マスク、ウエハ等の基板（または原板）を所定の位
置に収納あるいは待機させ、必要に応じて半導体製造用
露光装置や基板洗浄装置あるいは基板検査装置等に供給
する基板保管装置、及びそれを有する半導体製造装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置では、基板を用いた処理
を実行するときに必要な基板もしくは基板を収納してい
る収納容器を収納棚から取り出し、この後基板を所望の
処理ステーションに搬送するように構成するのが一般的
である。また、このような半導体製造装置において、基
板搬送の全自動化を図るため収納棚から処理ステーショ
ンへ基板を搬送する途中でバーコードを読むようになす
ことも特開昭５９−１５５１３３号公報で知られてい
る。
を実行するときに必要な基板もしくは基板を収納してい
る収納容器を収納棚から取り出し、この後基板を所望の
処理ステーションに搬送するように構成するのが一般的
である。また、このような半導体製造装置において、基
板搬送の全自動化を図るため収納棚から処理ステーショ
ンへ基板を搬送する途中でバーコードを読むようになす
ことも特開昭５９−１５５１３３号公報で知られてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、収
納棚から処理ステーションへ搬送する途中でバーコード
の読み取りを行なう従来技術では、読みで照合した結果
が予めプログラムした情報と異なった場合に、搬送途中
の基板を収納棚に戻した後にオペレーターに間違った基
板を収納している収納容器が収納棚に入っていたことを
知らせてオペレーターが収納容器を取り出せるようにな
るので、正しい基板への交換に時間がかかり装置の稼働
率を下げるという問題があった。
納棚から処理ステーションへ搬送する途中でバーコード
の読み取りを行なう従来技術では、読みで照合した結果
が予めプログラムした情報と異なった場合に、搬送途中
の基板を収納棚に戻した後にオペレーターに間違った基
板を収納している収納容器が収納棚に入っていたことを
知らせてオペレーターが収納容器を取り出せるようにな
るので、正しい基板への交換に時間がかかり装置の稼働
率を下げるという問題があった。
【０００４】本発明はこのような事情に鑑みなされたも
ので、その目的は装置の稼働率を向上させることのでき
る基板保管装置及びそれを有する半導体製造装置を提供
することにある。
ので、その目的は装置の稼働率を向上させることのでき
る基板保管装置及びそれを有する半導体製造装置を提供
することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段および作用】前記目的を達
成するため、本発明はオペレーターが収納容器を置く受
け取り台から収納容器を収納棚まで運ぶロボットにバー
コードリーダーを取り付け、収納容器に設けられたバー
コードを収納容器が受け取り台に保持されている際に読
み取るようにすることを特徴としている。
成するため、本発明はオペレーターが収納容器を置く受
け取り台から収納容器を収納棚まで運ぶロボットにバー
コードリーダーを取り付け、収納容器に設けられたバー
コードを収納容器が受け取り台に保持されている際に読
み取るようにすることを特徴としている。
【０００６】即ち、本発明の基板保管装置は、基板が収
納された収納容器を装置外部より受け取る受け取り台
と、前記受け取り台と実質的に鉛直方向に並んで配置さ
れ前記収納容器を複数保管する収納棚と、前記受け取り
台と前記収納棚のそれぞれに対して前記収納容器を搬出
入するために、前記収納容器を保持するロボットハンド
を実質的に水平方向に沿って伸縮移動させる関節型ロボ
ットと、前記関節型ロボットが回転部分の略回転中心に
取り付けられており前記回転部分を回転させることで前
記ロボットハンドを実質的に水平面内で回転させる回転
機構と、前記ロボットハンドを実質的に鉛直方向に沿っ
て移動させるエレベータ機構と、前記回転部分上の前記
ロボットハンドの回転半径以内の位置に前記関節型ロボ
ットとは別に取り付けられ前記受け取り台に保持されて
いる前記収納容器のバーコードを前記受け取り台に保持
されている状態のままで読み取るバーコードリーダーを
有することを特徴としている。
納された収納容器を装置外部より受け取る受け取り台
と、前記受け取り台と実質的に鉛直方向に並んで配置さ
れ前記収納容器を複数保管する収納棚と、前記受け取り
台と前記収納棚のそれぞれに対して前記収納容器を搬出
入するために、前記収納容器を保持するロボットハンド
を実質的に水平方向に沿って伸縮移動させる関節型ロボ
ットと、前記関節型ロボットが回転部分の略回転中心に
取り付けられており前記回転部分を回転させることで前
記ロボットハンドを実質的に水平面内で回転させる回転
機構と、前記ロボットハンドを実質的に鉛直方向に沿っ
て移動させるエレベータ機構と、前記回転部分上の前記
ロボットハンドの回転半径以内の位置に前記関節型ロボ
ットとは別に取り付けられ前記受け取り台に保持されて
いる前記収納容器のバーコードを前記受け取り台に保持
されている状態のままで読み取るバーコードリーダーを
有することを特徴としている。
【０００７】このような基板保管装置においては、前記
バーコードリーダーの読み取り出力と予め与えられてい
る情報が異なるときに警告を発する警告手段を設けた
り、前記バーコードリーダーの読み取り出力と予め与え
られている情報が一致する時には前記収納容器は前記受
け取り台から搬出されるようにしても良い。前記受け取
り台から搬出された前記収納容器は前記エレベータ機構
により実質的に鉛直方向に沿って移動された後、前記収
納棚内に搬入されても良く、前記バーコードリーダーは
前記ロボットハンドと略同一高さに設けられたりしても
良い。
バーコードリーダーの読み取り出力と予め与えられてい
る情報が異なるときに警告を発する警告手段を設けた
り、前記バーコードリーダーの読み取り出力と予め与え
られている情報が一致する時には前記収納容器は前記受
け取り台から搬出されるようにしても良い。前記受け取
り台から搬出された前記収納容器は前記エレベータ機構
により実質的に鉛直方向に沿って移動された後、前記収
納棚内に搬入されても良く、前記バーコードリーダーは
前記ロボットハンドと略同一高さに設けられたりしても
良い。
【０００８】また、本発明は、半導体ウエハにパターン
を加工するのに役立つ半導体製造装置において、パター
ン加工時に利用されるレチクルまたはマスクが収納され
た収納容器を装置外部より受け取る受け取り台と、前記
受け取り台と実質的に鉛直方向に並んで配置され前記収
納容器を複数保管する収納棚と、前記受け取り台と前記
収納棚のそれぞれに対して前記収納容器を搬出入するた
めに、前記収納容器を保持するロボットハンドを実質的
に水平方向に沿って伸縮移動させる関節型ロボットと、
前記関節型ロボットが回転部分の略回転中心に取り付け
られており前記回転部分を回転させることで前記ロボッ
トハンドを実質的に水平面内で回転させる回転機構と、
前記ロボットハンドを実質的に鉛直方向に沿って移動さ
せるエレベータ機構と、前記回転部分上の前記ロボット
ハンドの回転半径以内の位置に前記関節型ロボットとは
別に取り付けられ前記受け取り台に保持されている前記
収納容器のバーコードを前記受け取り台に保持されてい
る状態のままで読み取るバーコードリーダーを有するこ
とを特徴としている。
を加工するのに役立つ半導体製造装置において、パター
ン加工時に利用されるレチクルまたはマスクが収納され
た収納容器を装置外部より受け取る受け取り台と、前記
受け取り台と実質的に鉛直方向に並んで配置され前記収
納容器を複数保管する収納棚と、前記受け取り台と前記
収納棚のそれぞれに対して前記収納容器を搬出入するた
めに、前記収納容器を保持するロボットハンドを実質的
に水平方向に沿って伸縮移動させる関節型ロボットと、
前記関節型ロボットが回転部分の略回転中心に取り付け
られており前記回転部分を回転させることで前記ロボッ
トハンドを実質的に水平面内で回転させる回転機構と、
前記ロボットハンドを実質的に鉛直方向に沿って移動さ
せるエレベータ機構と、前記回転部分上の前記ロボット
ハンドの回転半径以内の位置に前記関節型ロボットとは
別に取り付けられ前記受け取り台に保持されている前記
収納容器のバーコードを前記受け取り台に保持されてい
る状態のままで読み取るバーコードリーダーを有するこ
とを特徴としている。
【０００９】
【００１０】
【００１１】
【００１２】このような本発明によれば、基板枚数が多
く収納棚に自動的に収納容器を運ぶ装置において、バー
コードの照合作業が早くなる効果があり、装置に収納内
容を確認させる最適なシステムが提供できる。また、バ
ーコードリーダーをロボットハンドと略同一高さで、回
転機構によるロボットハンドの回転半径以内の位置に設
けることにより、最もスペース効率の良い装置を提供で
きる。
く収納棚に自動的に収納容器を運ぶ装置において、バー
コードの照合作業が早くなる効果があり、装置に収納内
容を確認させる最適なシステムが提供できる。また、バ
ーコードリーダーをロボットハンドと略同一高さで、回
転機構によるロボットハンドの回転半径以内の位置に設
けることにより、最もスペース効率の良い装置を提供で
きる。
【００１３】
【実施例】図１は半導体製造装置に適用された本発明の
基板保管装置の一実施例を示すもので、オペレーター１
がマスク、レチクル、ウエハ等の半導体製造工程で使用
される基板の入った収納容器２を半導体製造装置の受け
渡し台３に置いた状態を示している。
基板保管装置の一実施例を示すもので、オペレーター１
がマスク、レチクル、ウエハ等の半導体製造工程で使用
される基板の入った収納容器２を半導体製造装置の受け
渡し台３に置いた状態を示している。
【００１４】ここで半導体製造装置としては種々のもの
が考えられるが、例えばマスクやレチクル上の半導体装
置製造用のパターンを縮小投影光学系を介して半導体ウ
エハ上に投影するようになすと共に、ステップアンドリ
ピートまたはステップアンドスキャンによりウエハ上の
各ショット領域に斯かる縮小パターンを順に露光転写す
る所謂ステッパである。なお、各図においてＡは装置上
面を示し、Ｂは装置側面を示すものである。
が考えられるが、例えばマスクやレチクル上の半導体装
置製造用のパターンを縮小投影光学系を介して半導体ウ
エハ上に投影するようになすと共に、ステップアンドリ
ピートまたはステップアンドスキャンによりウエハ上の
各ショット領域に斯かる縮小パターンを順に露光転写す
る所謂ステッパである。なお、各図においてＡは装置上
面を示し、Ｂは装置側面を示すものである。
【００１５】図１において、受け渡し台３の実質的な鉛
直方向上部には複数の収納容器２を保管する収納棚４が
あり、複数の収納容器を容器ごと保管する。各収納容器
２のオペレーター１とは反対側の側面にはバーコード２
ａが張りつけてある。またオペレーター１に対して収納
棚４と受け渡し台３の裏側には収納容器２を取り出す関
節型のロボット５が設けられている。
直方向上部には複数の収納容器２を保管する収納棚４が
あり、複数の収納容器を容器ごと保管する。各収納容器
２のオペレーター１とは反対側の側面にはバーコード２
ａが張りつけてある。またオペレーター１に対して収納
棚４と受け渡し台３の裏側には収納容器２を取り出す関
節型のロボット５が設けられている。
【００１６】ロボット５は実質的に水平面に沿って回転
可能で、回転する機構５ｃの上には収納容器２の受け取
り動作のために実質的に水平方向に沿って概略直線動作
をする関節５ｂがあり、関節５ｂの最上部には収納容器
２を載置（保持）することができるハンド５ａがある。
またロボット５の回転機構５ｃにより回転される回転部
分で、ほぼ関節５ｂやハンド５ａと同一高さで、回転時
に関節５ｂの回転半径より外に出ない位置にバーコード
リーダー６が取り付けられている。関節５ｂやハンド５
ａの回転と共にバーコードリーダ６も回転され、その読
み取り面の方向を変えられる構造である。ロボット５は
実質的に鉛直（上下）方向に移動可能なようなエレベー
タ７に取り付いている。
可能で、回転する機構５ｃの上には収納容器２の受け取
り動作のために実質的に水平方向に沿って概略直線動作
をする関節５ｂがあり、関節５ｂの最上部には収納容器
２を載置（保持）することができるハンド５ａがある。
またロボット５の回転機構５ｃにより回転される回転部
分で、ほぼ関節５ｂやハンド５ａと同一高さで、回転時
に関節５ｂの回転半径より外に出ない位置にバーコード
リーダー６が取り付けられている。関節５ｂやハンド５
ａの回転と共にバーコードリーダ６も回転され、その読
み取り面の方向を変えられる構造である。ロボット５は
実質的に鉛直（上下）方向に移動可能なようなエレベー
タ７に取り付いている。
【００１７】コントローラー１０は予め設定されている
プログラムに基づいてロボット５及びエレベータ７の動
作を制御すると共に、バーコードリーダ６の読み取り出
力を予め設定されている情報と照合する。また、コント
ローラ１０はバーコードリーダー６の読み取り出力とコ
ントローラ１０に予め与えられている情報が異なるとき
に、警告手段であるところの表示器１１にそれを表示さ
せ警告する。または不図示の発音体等に警告音を発生さ
せる。
プログラムに基づいてロボット５及びエレベータ７の動
作を制御すると共に、バーコードリーダ６の読み取り出
力を予め設定されている情報と照合する。また、コント
ローラ１０はバーコードリーダー６の読み取り出力とコ
ントローラ１０に予め与えられている情報が異なるとき
に、警告手段であるところの表示器１１にそれを表示さ
せ警告する。または不図示の発音体等に警告音を発生さ
せる。
【００１８】一方、バーコードリーダー６の読み取り出
力と予め与えられている情報が一致する時には、ロボッ
トハンド５を動作させて受け取り台３からその収納容器
２を搬出させ保持した後に、エレベーター７によりロボ
ット５を上方に移動させ、その後ロボット５の動作によ
りその収納容器２を収納棚４の所定位置、例えば収納位
置４ａに搬入させる。
力と予め与えられている情報が一致する時には、ロボッ
トハンド５を動作させて受け取り台３からその収納容器
２を搬出させ保持した後に、エレベーター７によりロボ
ット５を上方に移動させ、その後ロボット５の動作によ
りその収納容器２を収納棚４の所定位置、例えば収納位
置４ａに搬入させる。
【００１９】次に本実施例の動作を順を追って説明す
る。なお、これらの動作はコントローラー１０によって
制御される。図２は、オペレーター１が収納容器２を受
け渡し台３に置いた後、バーコードリーダー６が自動的
に収納容器２のバーコード２ａを読む動作を示す。
る。なお、これらの動作はコントローラー１０によって
制御される。図２は、オペレーター１が収納容器２を受
け渡し台３に置いた後、バーコードリーダー６が自動的
に収納容器２のバーコード２ａを読む動作を示す。
【００２０】先ずロボット５が回転機構５ｃにより本来
受け渡し台３に収納容器２を受け取りに行くのとは異な
る向き、つまり図１に対しＣＷ（時計）方向に９０°回
転して、バーコードリーダー６の読み取り面を収納容器
２のバーコード２ａに対向させる。この後バーコードリ
ーダー６は収納容器２のバーコード２ａを読み取り、こ
の読み取り出力を予めコントローラー１０内の記憶手段
にプログラムしていた基板（マスクまたはレチクル）情
報と比較する。そして情報が一致していなければ、収納
容器２を収納棚４には運ばず、受け取り台３に置いた収
納容器２が目的のものとは異なることを表示器１１また
は不図示の発音体等でオペレーター１に知らせる。発音
体としては例えばアラームの様な物を使っても良い。
受け渡し台３に収納容器２を受け取りに行くのとは異な
る向き、つまり図１に対しＣＷ（時計）方向に９０°回
転して、バーコードリーダー６の読み取り面を収納容器
２のバーコード２ａに対向させる。この後バーコードリ
ーダー６は収納容器２のバーコード２ａを読み取り、こ
の読み取り出力を予めコントローラー１０内の記憶手段
にプログラムしていた基板（マスクまたはレチクル）情
報と比較する。そして情報が一致していなければ、収納
容器２を収納棚４には運ばず、受け取り台３に置いた収
納容器２が目的のものとは異なることを表示器１１また
は不図示の発音体等でオペレーター１に知らせる。発音
体としては例えばアラームの様な物を使っても良い。
【００２１】一方、この情報が一致している場合には収
納容器２を受け取り台３から収納棚４に搬送する動作を
開始させる。図３から図７を用いて収納容器２を受け取
り台３から収納棚４に運ぶ動作を次に説明する。
納容器２を受け取り台３から収納棚４に搬送する動作を
開始させる。図３から図７を用いて収納容器２を受け取
り台３から収納棚４に運ぶ動作を次に説明する。
【００２２】先ず図３に示す様に、ロボット５がＣＣＷ
（反時計）方向に９０°回転し、受け取り台３にある収
納容器２を取りに行ける方向を向く。次に図４に示す様
にロボット５の関節５ｂが伸びて概略直線運動すること
で、受け取り台３にある収納容器２の下にハンド５ａを
挿入し、この後ロボット５を上下動するエレベータ７に
より微小量上昇する。この動作でハンド５ａは収納容器
２を受け取る。
（反時計）方向に９０°回転し、受け取り台３にある収
納容器２を取りに行ける方向を向く。次に図４に示す様
にロボット５の関節５ｂが伸びて概略直線運動すること
で、受け取り台３にある収納容器２の下にハンド５ａを
挿入し、この後ロボット５を上下動するエレベータ７に
より微小量上昇する。この動作でハンド５ａは収納容器
２を受け取る。
【００２３】次に図５に示す様に関節５ｂが縮み収納容
器２はロボット５の上に引き出される。バーコードリー
ダー６は引き出された収納容器２やハンド５ａ及び関節
５ｂとほぼ同一高さの位置で、関節５ｂの動作でも干渉
しない位置に取りつけられていて、ロボット５の回転半
径内に取り付けられているのでスペース的に無駄がな
い。
器２はロボット５の上に引き出される。バーコードリー
ダー６は引き出された収納容器２やハンド５ａ及び関節
５ｂとほぼ同一高さの位置で、関節５ｂの動作でも干渉
しない位置に取りつけられていて、ロボット５の回転半
径内に取り付けられているのでスペース的に無駄がな
い。
【００２４】次に図６に示す様にエレベータ７によりロ
ボット５に保持された収納容器２は実質的に鉛直方向に
沿って上昇する。エレベータ７によって上昇した収納容
器２は収納棚４の所定の開きスロット４ａの高さで停止
する。この後ロボット５の関節５ｂが伸びて収納容器２
を収納棚４のスロット４ａ内に位置させ、この状態でエ
レベーター７がロボット５を微小量下降することでハン
ド５ａ上の収納容器２をスロット４ａに置く。そして関
節５ｂを縮ませてハンド５ａをスロット４ａの外部に取
り出す。これで受け取り台３から収納棚４への一連の収
納容器搬送動作が完了する。
ボット５に保持された収納容器２は実質的に鉛直方向に
沿って上昇する。エレベータ７によって上昇した収納容
器２は収納棚４の所定の開きスロット４ａの高さで停止
する。この後ロボット５の関節５ｂが伸びて収納容器２
を収納棚４のスロット４ａ内に位置させ、この状態でエ
レベーター７がロボット５を微小量下降することでハン
ド５ａ上の収納容器２をスロット４ａに置く。そして関
節５ｂを縮ませてハンド５ａをスロット４ａの外部に取
り出す。これで受け取り台３から収納棚４への一連の収
納容器搬送動作が完了する。
【００２５】図７は一連の収納動作が完了した後、半導
体製造装置内の基板処理ステーション、例えばステッパ
のレチクル（マスク）ステージにレチクルやマスクとし
ての基板を搬送するための動作を示すもので、収納棚４
から関節５ｂの動作で指定された収納容器２を取り出
し、ロボット５の回転で向きを収納棚４以外の中間棚８
の方向へ向ける。収納容器２内の基板を基板処理ステー
ションへ搬送する際、基板が取り出された収納容器２は
この中間棚８に保持された状態に維持される。
体製造装置内の基板処理ステーション、例えばステッパ
のレチクル（マスク）ステージにレチクルやマスクとし
ての基板を搬送するための動作を示すもので、収納棚４
から関節５ｂの動作で指定された収納容器２を取り出
し、ロボット５の回転で向きを収納棚４以外の中間棚８
の方向へ向ける。収納容器２内の基板を基板処理ステー
ションへ搬送する際、基板が取り出された収納容器２は
この中間棚８に保持された状態に維持される。
【００２６】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明によれば、基
板枚数が多く収納棚に自動的に収納容器を運ぶ装置にお
いて、バーコードの照合作業が早くなる効果があり、装
置に収納内容を確認させる最適なシステムが提供でき
る。また、バーコードリーダーをロボットハンドと略同
一高さで、回転機構によるロボットハンドの回転半径以
内の位置に設ければ、最もスペース効率の良い装置を提
供できる。
板枚数が多く収納棚に自動的に収納容器を運ぶ装置にお
いて、バーコードの照合作業が早くなる効果があり、装
置に収納内容を確認させる最適なシステムが提供でき
る。また、バーコードリーダーをロボットハンドと略同
一高さで、回転機構によるロボットハンドの回転半径以
内の位置に設ければ、最もスペース効率の良い装置を提
供できる。
【図１】本発明の一実施例を示す側面図。
【図２】本実施例のバーコード読み取り動作を説明する
ための図。
ための図。
【図３】本実施例の収納容器取り出し準備動作を説明す
るための図。
るための図。
【図４】本実施例の収納容器取り出し動作を説明するた
めの図。
めの図。
【図５】本実施例の収納容器搬送動作を説明するための
図。
図。
【図６】本実施例の収納容器装着動作を説明するための
図。
図。
【図７】本実施例の基板処理ステーションへの搬送動作
を説明するための図。
を説明するための図。
２ 収納容器 ３ 受け渡し台 ４ 収納棚 ５ ロボット ６ バーコードリーダー ７ エレベータ ８ 中間棚 １０ コントローラー １１ 表示器
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−208716（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−262304（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−52657（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−117161（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−190407（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−61685（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−22448（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−68537（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/68 B65G 1/137 B65G 1/00
Claims (6)
- 【請求項１】 基板が収納された収納容器を装置外部よ
り受け取る受け取り台と、前記受け取り台と実質的に鉛
直方向に並んで配置され前記収納容器を複数保管する収
納棚と、前記受け取り台と前記収納棚のそれぞれに対し
て前記収納容器を搬出入するために、前記収納容器を保
持するロボットハンドを実質的に水平方向に沿って伸縮
移動させる関節型ロボットと、前記関節型ロボットが回
転部分の略回転中心に取り付けられており前記回転部分
を回転させることで前記ロボットハンドを実質的に水平
面内で回転させる回転機構と、前記ロボットハンドを実
質的に鉛直方向に沿って移動させるエレベータ機構と、
前記回転部分上の前記ロボットハンドの回転半径以内の
位置に前記関節型ロボットとは別に取り付けられ前記受
け取り台に保持されている前記収納容器のバーコードを
前記受け取り台に保持されている状態のままで読み取る
バーコードリーダーを有することを特徴とする基板保管
装置。 - 【請求項２】 前記バーコードリーダーの読み取り出力
と予め与えられている情報が異なるときに警告を発する
警告手段を有することを特徴とする請求項１に記載の基
板保管装置。 - 【請求項３】 前記バーコードリーダーの読み取り出力
と予め与えられている情報が一致する時、前記収納容器
は前記受け取り台から搬出されることを特徴とする請求
項１に記載の基板保管装置。 - 【請求項４】 前記受け取り台から搬出された前記収納
容器は前記エレベータ機構により実質的に鉛直方向に沿
って移動された後、前記収納棚内に搬入されることを特
徴とする請求項３に記載の基板保管装置。 - 【請求項５】 前記バーコードリーダーは前記ロボット
ハンドと略同一高さに設けられていることを特徴とする
請求項１に記載の基板保管装置。 - 【請求項６】 半導体ウエハにパターンを加工するのに
役立つ半導体製造装置において、パターン加工時に利用
されるレチクルまたはマスクが収納された収納容器を装
置外部より受け取る受け取り台と、前記受け取り台と実
質的に鉛直方向に並んで配置され前記収納容器を複数保
管する収納棚と、前記受け取り台と前記収納棚のそれぞ
れに対して前記収納容器を搬出入するために、前記収納
容器を保持するロボットハンドを実質的に水平方向に沿
って伸縮移動させる関節型ロボットと、前記関節型ロボ
ットが回転部分の略回転中心に取り付けられており前記
回転部分を回転させることで前記ロボットハンドを実質
的に水平面内で回転させる回転機構と、前記ロボットハ
ンドを実質的に鉛直方向に沿って移動させるエレベータ
機構と、前記回転部分上の前記ロボットハンドの回転半
径以内の位置に前記関節型ロボットとは別に取り付けら
れ前記受け取り台に保持されている前記収納容器のバー
コードを前記受け取り台に保持されている状態のままで
読み取るバーコードリーダーを有することを特徴とする
半導体製造装置。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20499994A JP3287704B2 (ja) | 1994-08-30 | 1994-08-30 | 基板保管装置及びそれを有する半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20499994A JP3287704B2 (ja) | 1994-08-30 | 1994-08-30 | 基板保管装置及びそれを有する半導体製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0870027A JPH0870027A (ja) | 1996-03-12 |
| JP3287704B2 true JP3287704B2 (ja) | 2002-06-04 |
Family
ID=16499781
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20499994A Expired - Fee Related JP3287704B2 (ja) | 1994-08-30 | 1994-08-30 | 基板保管装置及びそれを有する半導体製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3287704B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
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|---|---|---|---|---|
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| JPH0652657A (ja) * | 1992-07-30 | 1994-02-25 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | 磁気テープのバーコード読み取り方式 |
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-
1994
- 1994-08-30 JP JP20499994A patent/JP3287704B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0870027A (ja) | 1996-03-12 |
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