JP3287704B2 - 基板保管装置及びそれを有する半導体製造装置 - Google Patents
基板保管装置及びそれを有する半導体製造装置Info
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/66—Containers specially adapted for masks, mask blanks or pellicles; Preparation thereof
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
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- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
- G03F7/70741—Handling masks outside exposure position, e.g. reticle libraries
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
ル、マスク、ウエハ等の基板(または原板)を所定の位
置に収納あるいは待機させ、必要に応じて半導体製造用
露光装置や基板洗浄装置あるいは基板検査装置等に供給
する基板保管装置、及びそれを有する半導体製造装置に
関する。
を実行するときに必要な基板もしくは基板を収納してい
る収納容器を収納棚から取り出し、この後基板を所望の
処理ステーションに搬送するように構成するのが一般的
である。また、このような半導体製造装置において、基
板搬送の全自動化を図るため収納棚から処理ステーショ
ンへ基板を搬送する途中でバーコードを読むようになす
ことも特開昭59−155133号公報で知られてい
る。
納棚から処理ステーションへ搬送する途中でバーコード
の読み取りを行なう従来技術では、読みで照合した結果
が予めプログラムした情報と異なった場合に、搬送途中
の基板を収納棚に戻した後にオペレーターに間違った基
板を収納している収納容器が収納棚に入っていたことを
知らせてオペレーターが収納容器を取り出せるようにな
るので、正しい基板への交換に時間がかかり装置の稼働
率を下げるという問題があった。
ので、その目的は装置の稼働率を向上させることのでき
る基板保管装置及びそれを有する半導体製造装置を提供
することにある。
成するため、本発明はオペレーターが収納容器を置く受
け取り台から収納容器を収納棚まで運ぶロボットにバー
コードリーダーを取り付け、収納容器に設けられたバー
コードを収納容器が受け取り台に保持されている際に読
み取るようにすることを特徴としている。
納された収納容器を装置外部より受け取る受け取り台
と、前記受け取り台と実質的に鉛直方向に並んで配置さ
れ前記収納容器を複数保管する収納棚と、前記受け取り
台と前記収納棚のそれぞれに対して前記収納容器を搬出
入するために、前記収納容器を保持するロボットハンド
を実質的に水平方向に沿って伸縮移動させる関節型ロボ
ットと、前記関節型ロボットが回転部分の略回転中心に
取り付けられており前記回転部分を回転させることで前
記ロボットハンドを実質的に水平面内で回転させる回転
機構と、前記ロボットハンドを実質的に鉛直方向に沿っ
て移動させるエレベータ機構と、前記回転部分上の前記
ロボットハンドの回転半径以内の位置に前記関節型ロボ
ットとは別に取り付けられ前記受け取り台に保持されて
いる前記収納容器のバーコードを前記受け取り台に保持
されている状態のままで読み取るバーコードリーダーを
有することを特徴としている。
バーコードリーダーの読み取り出力と予め与えられてい
る情報が異なるときに警告を発する警告手段を設けた
り、前記バーコードリーダーの読み取り出力と予め与え
られている情報が一致する時には前記収納容器は前記受
け取り台から搬出されるようにしても良い。前記受け取
り台から搬出された前記収納容器は前記エレベータ機構
により実質的に鉛直方向に沿って移動された後、前記収
納棚内に搬入されても良く、前記バーコードリーダーは
前記ロボットハンドと略同一高さに設けられたりしても
良い。
を加工するのに役立つ半導体製造装置において、パター
ン加工時に利用されるレチクルまたはマスクが収納され
た収納容器を装置外部より受け取る受け取り台と、前記
受け取り台と実質的に鉛直方向に並んで配置され前記収
納容器を複数保管する収納棚と、前記受け取り台と前記
収納棚のそれぞれに対して前記収納容器を搬出入するた
めに、前記収納容器を保持するロボットハンドを実質的
に水平方向に沿って伸縮移動させる関節型ロボットと、
前記関節型ロボットが回転部分の略回転中心に取り付け
られており前記回転部分を回転させることで前記ロボッ
トハンドを実質的に水平面内で回転させる回転機構と、
前記ロボットハンドを実質的に鉛直方向に沿って移動さ
せるエレベータ機構と、前記回転部分上の前記ロボット
ハンドの回転半径以内の位置に前記関節型ロボットとは
別に取り付けられ前記受け取り台に保持されている前記
収納容器のバーコードを前記受け取り台に保持されてい
る状態のままで読み取るバーコードリーダーを有するこ
とを特徴としている。
く収納棚に自動的に収納容器を運ぶ装置において、バー
コードの照合作業が早くなる効果があり、装置に収納内
容を確認させる最適なシステムが提供できる。また、バ
ーコードリーダーをロボットハンドと略同一高さで、回
転機構によるロボットハンドの回転半径以内の位置に設
けることにより、最もスペース効率の良い装置を提供で
きる。
基板保管装置の一実施例を示すもので、オペレーター1
がマスク、レチクル、ウエハ等の半導体製造工程で使用
される基板の入った収納容器2を半導体製造装置の受け
渡し台3に置いた状態を示している。
が考えられるが、例えばマスクやレチクル上の半導体装
置製造用のパターンを縮小投影光学系を介して半導体ウ
エハ上に投影するようになすと共に、ステップアンドリ
ピートまたはステップアンドスキャンによりウエハ上の
各ショット領域に斯かる縮小パターンを順に露光転写す
る所謂ステッパである。なお、各図においてAは装置上
面を示し、Bは装置側面を示すものである。
直方向上部には複数の収納容器2を保管する収納棚4が
あり、複数の収納容器を容器ごと保管する。各収納容器
2のオペレーター1とは反対側の側面にはバーコード2
aが張りつけてある。またオペレーター1に対して収納
棚4と受け渡し台3の裏側には収納容器2を取り出す関
節型のロボット5が設けられている。
可能で、回転する機構5cの上には収納容器2の受け取
り動作のために実質的に水平方向に沿って概略直線動作
をする関節5bがあり、関節5bの最上部には収納容器
2を載置(保持)することができるハンド5aがある。
またロボット5の回転機構5cにより回転される回転部
分で、ほぼ関節5bやハンド5aと同一高さで、回転時
に関節5bの回転半径より外に出ない位置にバーコード
リーダー6が取り付けられている。関節5bやハンド5
aの回転と共にバーコードリーダ6も回転され、その読
み取り面の方向を変えられる構造である。ロボット5は
実質的に鉛直(上下)方向に移動可能なようなエレベー
タ7に取り付いている。
プログラムに基づいてロボット5及びエレベータ7の動
作を制御すると共に、バーコードリーダ6の読み取り出
力を予め設定されている情報と照合する。また、コント
ローラ10はバーコードリーダー6の読み取り出力とコ
ントローラ10に予め与えられている情報が異なるとき
に、警告手段であるところの表示器11にそれを表示さ
せ警告する。または不図示の発音体等に警告音を発生さ
せる。
力と予め与えられている情報が一致する時には、ロボッ
トハンド5を動作させて受け取り台3からその収納容器
2を搬出させ保持した後に、エレベーター7によりロボ
ット5を上方に移動させ、その後ロボット5の動作によ
りその収納容器2を収納棚4の所定位置、例えば収納位
置4aに搬入させる。
る。なお、これらの動作はコントローラー10によって
制御される。図2は、オペレーター1が収納容器2を受
け渡し台3に置いた後、バーコードリーダー6が自動的
に収納容器2のバーコード2aを読む動作を示す。
受け渡し台3に収納容器2を受け取りに行くのとは異な
る向き、つまり図1に対しCW(時計)方向に90°回
転して、バーコードリーダー6の読み取り面を収納容器
2のバーコード2aに対向させる。この後バーコードリ
ーダー6は収納容器2のバーコード2aを読み取り、こ
の読み取り出力を予めコントローラー10内の記憶手段
にプログラムしていた基板(マスクまたはレチクル)情
報と比較する。そして情報が一致していなければ、収納
容器2を収納棚4には運ばず、受け取り台3に置いた収
納容器2が目的のものとは異なることを表示器11また
は不図示の発音体等でオペレーター1に知らせる。発音
体としては例えばアラームの様な物を使っても良い。
納容器2を受け取り台3から収納棚4に搬送する動作を
開始させる。図3から図7を用いて収納容器2を受け取
り台3から収納棚4に運ぶ動作を次に説明する。
(反時計)方向に90°回転し、受け取り台3にある収
納容器2を取りに行ける方向を向く。次に図4に示す様
にロボット5の関節5bが伸びて概略直線運動すること
で、受け取り台3にある収納容器2の下にハンド5aを
挿入し、この後ロボット5を上下動するエレベータ7に
より微小量上昇する。この動作でハンド5aは収納容器
2を受け取る。
器2はロボット5の上に引き出される。バーコードリー
ダー6は引き出された収納容器2やハンド5a及び関節
5bとほぼ同一高さの位置で、関節5bの動作でも干渉
しない位置に取りつけられていて、ロボット5の回転半
径内に取り付けられているのでスペース的に無駄がな
い。
ボット5に保持された収納容器2は実質的に鉛直方向に
沿って上昇する。エレベータ7によって上昇した収納容
器2は収納棚4の所定の開きスロット4aの高さで停止
する。この後ロボット5の関節5bが伸びて収納容器2
を収納棚4のスロット4a内に位置させ、この状態でエ
レベーター7がロボット5を微小量下降することでハン
ド5a上の収納容器2をスロット4aに置く。そして関
節5bを縮ませてハンド5aをスロット4aの外部に取
り出す。これで受け取り台3から収納棚4への一連の収
納容器搬送動作が完了する。
体製造装置内の基板処理ステーション、例えばステッパ
のレチクル(マスク)ステージにレチクルやマスクとし
ての基板を搬送するための動作を示すもので、収納棚4
から関節5bの動作で指定された収納容器2を取り出
し、ロボット5の回転で向きを収納棚4以外の中間棚8
の方向へ向ける。収納容器2内の基板を基板処理ステー
ションへ搬送する際、基板が取り出された収納容器2は
この中間棚8に保持された状態に維持される。
板枚数が多く収納棚に自動的に収納容器を運ぶ装置にお
いて、バーコードの照合作業が早くなる効果があり、装
置に収納内容を確認させる最適なシステムが提供でき
る。また、バーコードリーダーをロボットハンドと略同
一高さで、回転機構によるロボットハンドの回転半径以
内の位置に設ければ、最もスペース効率の良い装置を提
供できる。
ための図。
るための図。
めの図。
図。
図。
を説明するための図。
Claims (6)
- 【請求項1】 基板が収納された収納容器を装置外部よ
り受け取る受け取り台と、前記受け取り台と実質的に鉛
直方向に並んで配置され前記収納容器を複数保管する収
納棚と、前記受け取り台と前記収納棚のそれぞれに対し
て前記収納容器を搬出入するために、前記収納容器を保
持するロボットハンドを実質的に水平方向に沿って伸縮
移動させる関節型ロボットと、前記関節型ロボットが回
転部分の略回転中心に取り付けられており前記回転部分
を回転させることで前記ロボットハンドを実質的に水平
面内で回転させる回転機構と、前記ロボットハンドを実
質的に鉛直方向に沿って移動させるエレベータ機構と、
前記回転部分上の前記ロボットハンドの回転半径以内の
位置に前記関節型ロボットとは別に取り付けられ前記受
け取り台に保持されている前記収納容器のバーコードを
前記受け取り台に保持されている状態のままで読み取る
バーコードリーダーを有することを特徴とする基板保管
装置。 - 【請求項2】 前記バーコードリーダーの読み取り出力
と予め与えられている情報が異なるときに警告を発する
警告手段を有することを特徴とする請求項1に記載の基
板保管装置。 - 【請求項3】 前記バーコードリーダーの読み取り出力
と予め与えられている情報が一致する時、前記収納容器
は前記受け取り台から搬出されることを特徴とする請求
項1に記載の基板保管装置。 - 【請求項4】 前記受け取り台から搬出された前記収納
容器は前記エレベータ機構により実質的に鉛直方向に沿
って移動された後、前記収納棚内に搬入されることを特
徴とする請求項3に記載の基板保管装置。 - 【請求項5】 前記バーコードリーダーは前記ロボット
ハンドと略同一高さに設けられていることを特徴とする
請求項1に記載の基板保管装置。 - 【請求項6】 半導体ウエハにパターンを加工するのに
役立つ半導体製造装置において、パターン加工時に利用
されるレチクルまたはマスクが収納された収納容器を装
置外部より受け取る受け取り台と、前記受け取り台と実
質的に鉛直方向に並んで配置され前記収納容器を複数保
管する収納棚と、前記受け取り台と前記収納棚のそれぞ
れに対して前記収納容器を搬出入するために、前記収納
容器を保持するロボットハンドを実質的に水平方向に沿
って伸縮移動させる関節型ロボットと、前記関節型ロボ
ットが回転部分の略回転中心に取り付けられており前記
回転部分を回転させることで前記ロボットハンドを実質
的に水平面内で回転させる回転機構と、前記ロボットハ
ンドを実質的に鉛直方向に沿って移動させるエレベータ
機構と、前記回転部分上の前記ロボットハンドの回転半
径以内の位置に前記関節型ロボットとは別に取り付けら
れ前記受け取り台に保持されている前記収納容器のバー
コードを前記受け取り台に保持されている状態のままで
読み取るバーコードリーダーを有することを特徴とする
半導体製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20499994A JP3287704B2 (ja) | 1994-08-30 | 1994-08-30 | 基板保管装置及びそれを有する半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20499994A JP3287704B2 (ja) | 1994-08-30 | 1994-08-30 | 基板保管装置及びそれを有する半導体製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0870027A JPH0870027A (ja) | 1996-03-12 |
JP3287704B2 true JP3287704B2 (ja) | 2002-06-04 |
Family
ID=16499781
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20499994A Expired - Fee Related JP3287704B2 (ja) | 1994-08-30 | 1994-08-30 | 基板保管装置及びそれを有する半導体製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH0468537U (ja) * | 1990-10-25 | 1992-06-17 | ||
JPH05208716A (ja) * | 1992-01-13 | 1993-08-20 | Nec Corp | 自動保管棚装置 |
JPH05190407A (ja) * | 1992-01-17 | 1993-07-30 | Toshiba Corp | 半導体製造システム |
JPH0652657A (ja) * | 1992-07-30 | 1994-02-25 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | 磁気テープのバーコード読み取り方式 |
JPH0661685A (ja) * | 1992-08-06 | 1994-03-04 | Denshi Giken:Kk | 電子部品実装機 |
JPH06117161A (ja) * | 1992-10-08 | 1994-04-26 | Sanwa Shutter Corp | 開閉具の開閉駆動制御装置 |
-
1994
- 1994-08-30 JP JP20499994A patent/JP3287704B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0870027A (ja) | 1996-03-12 |
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