KR100304768B1

KR100304768B1 - 자동보관선반및자동보관방법

Info

Publication number: KR100304768B1
Application number: KR1019980002233A
Authority: KR
Inventors: 게이이찌 안도
Original assignee: 가네꼬 히사시; 닛본 덴기 가부시끼가이샤
Priority date: 1997-01-24
Filing date: 1998-01-24
Publication date: 2001-11-02
Also published as: US6398476B1; JPH10203610A; KR19980070828A; TW348158B; JP2968742B2

Abstract

본 발명은 웨이퍼 캐리어(6)를 수납하는 수납 박스(1)를 자동적으로 입출고하는 자동 보관 선반 및 보관 방법에 있어서, 보관 선반(8)을 크게 하지 않고, 또 웨이퍼 캐리어(6)를 수납하는 반송용 수납 박스의 정체 없이 원활하게 입출고를 행할 수 있다.

본 발명은 보관 선반(8)의 입출고구(15)를 하나로 하여 공통화하고, 수납 박스(1)의 보관 선반(8)으로의 입출고 계획에 기초하여 수납 박스(1)의 입출고 시에 입출고구(15)에 항상 비어있는 수납 박스가 남아 있도록 제어한다.

Description

자동 보관 선반 및 자동 보관 방법{AUTOMATIC STORING SHELF AND AUTOMATIC STORING METHOD}

본 발명은 반도체 장치의 제조 공정에서 처리될 웨이퍼나 노광 장치의 레티클(reticle) 등의 복수의 판형의 공작물(工作物)을 수납하는 반송용 수납 캐리어를 수납 박스에 넣고, 이 수납 박스를 보관 선반에 입출고시키는 자동 보관 선반 및 자동 보관 방법에 관한 것이다.

통상, 반도체 제조 라인에서는, 반도체 소자의 미세화 및 고집적화에 따른 공작물인 웨이퍼로의 진애(塵埃) 부착을 최대로 방지하기 위해, 라인의 제조 장치로서 웨이퍼를 처리하기 직전까지 웨이퍼를 수납하는 웨이퍼 캐리어를 수납 박스에 넣어 바깥 공기로부터 차단하여 보관을 행하였다. 또한, 인체로부터 발진(發塵)하는 티끌을 막기 위해, 수납 박스의 개구의 개폐나 웨이퍼 캐리어의 반송은 사람이 개재하지 않도록 자동화되어 있었다. 이와 같이 티끌이 부착되는 것을 꺼리는 노광 장치의 레티클도 마찬가지 형태의 보관 관리가 이루어지고 있었다. 여기서는, 웨이퍼에 한정하여 설명한다.

도 1은 종래의 자동 보관 선반 및 자동 보관 방법의 일례를 설명하기 위한 사시도이다. 종래, 이러한 종류의 보관 선반으로의 입출고 방법은, 예를 들어 도 1에 도시된 바와 같이, 이전 공정에서 처리가 종료된 웨이퍼를 수납하는 웨이퍼 캐리어(6)는 다음의 처리를 행하기까지의 사이에, 수납 박스(1)에 넣어진 상태로 보관 선반(8) 내에 수납되어 보관되고 있었다. 또한, 다음 공정의 처리를 행하기 위해, 보관 선반(8)에서 출고할 때에는 수납 박스(1)로부터 웨이퍼 캐리어(6)를 인출하고, 웨이퍼 캐리어(6)는 반송차(11)에서 다음의 제조 장치로 운반되어 제조 장치의 스테이션에 옮겨 실렸다.

또, 제조 장치(12)에서 처리된 웨이퍼를 수납하는 웨이퍼 캐리어(6)는, 반송차(11)에서 보관 선반(8)으로 운반되어 보관 선반(8)의 입고구(13) 바로 앞의 스테이션에 옮겨 실리고, 수납 박스(1)에 웨이퍼 캐리어(6)가 수납되어 보관 선반(8) 내로 반송되며, 도시되지 않은 적재 크레인에 의해 보관 선반(8)의 원하는 선반부에 옮겨 실려 보관된다.

또한, 웨이퍼의 처리가 끝나 보관 선반(8)에 입고된 웨이퍼 캐리어(6)를 다음 공정의 보관 선반으로 반송할 경우에는, 적재 크레인에 의해 보관 선반(8)에서 웨이퍼 캐리어를 수납하는 수납 박스를 인출하고, 출고구(14)의 스테이션에 수납 박스를 적재하며, 개폐 기구(7)에 의해 케이스(3)를 없애 웨이퍼 캐리어(6)를 드러낸다. 그리고, 반송차(11)의 로봇 아암에 의해 웨이퍼 캐리어(6)가 반송차(11)의 하물대에 옮겨 실려 다음 공정으로 반송된다.

이렇게 웨이퍼 캐리어의 반송이 행하여지면, 이와 동시에 개폐 기구(3)가 동작하여, 케이스(3)를 받침대(2)에 배치함으로써, 비어있는 상태의 수납 박스를 조립한다. 조립된 빈 수납 박스는 보관 선반(8) 내의 적재 크레인의 포오크로 집어져 출고구(14)로부터 보관 선반(8) 내로 반송되어 소정의 선반에 수납된다.

이와 같이, 비교적 짧은 시간으로 반송되는 웨이퍼 캐리어(6)는 티끌이 붙을 기회가 적기 때문에 벗겨진 상태로 반송되지만, 장시간 정류하는 보관 선반(8) 내의 웨이퍼 캐리어(6)는 티끌이 웨이퍼에 부착되지 않도록 수납 박스(1)에 넣어진 상태로 보관 선반에 수납되어 보관되었다.

그러나, 최근 반도체 장치는 주문형(customer) IC 등과 같이 다품종 소량 생산 경향을 취하고, 1 로트(rot)에 대한 웨이퍼 매수가 감소하여, 예를 들어 하나의 웨이퍼 캐리어에 대해 웨이퍼 매수가 1 내지 3매 정도라는 매우 적은 매수의 웨이퍼를 수납하는 데 이르렀다. 이 때문에 상술한 종래의 자동 보관 선반에서는 이하에 서술하는 문제점이 생기는 결과를 초래한다.

먼저, 제1 문제점으로서는, 적은 로트의 IC를 제작하면, 웨이퍼 캐리어(6)에 수납할 웨이퍼의 매수가 줄기 때문에, 하나의 웨이퍼 캐리어 당 제조 장치에 의한 처리 시간이 매우 짧게 된다. 그 결과, 웨이퍼 캐리어의 단위 시간 당 반송 회수가 증가하고, 보관 선반의 능력을 압박한다. 보관 선반의 능력 부족을 해소하기 위해, 보관 선반의 대수 증가가 필요하게 되지만, 제조 장치 사이의 공간에 제한이 있어 보관 선반을 더 설치할 수 없다.

또한, 제2 문제점으로서는, 적재 크레인에 의한 빈 수납 박스의 보관 선반의 입출고구로의 반송 및 선반으로의 주고받는 동작 시간이 포함됨으로써, 짧은 웨이퍼 캐리어의 반송 시간에 비하여 보관 선반 내의 반송 시간이 오래 걸리고, 보관 선반 앞에 웨이퍼 캐리어가 정체하여, 벗겨진 채 방치된 웨이퍼에 진애가 부착될 기회가 증가하게 되어 품질에 중대한 결함도 초래하게 된다.

또한, 제3 문제점으로서는, 상기 정체 때문에 공정 내에서 제조하고 남은 나머지가 증가하고, 제조 능력을 저하시켜 리드 타임을 악화시킴과 동시에, 제조 장치의 가동률이 저하되어 생산 효율을 악화시키게 된다.

따라서, 본 발명의 목적은 보관 선반을 증가시키는 일 없이 또 공작물을 수납하는 수납 캐리어의 정체 없이 원활하게 수납 박스의 입출고를 행할 수 있는 자동 보관 선반 및 자동 보관 방법을 제공하는 데 있다.

본 발명의 특징은, 반송차로 반송됨과 함께, 복수매의 판형의 공작물을 1방향으로 나란히 배치하여 수납하는 상자 형태의 캐리어를 수납하는 수납 박스를 입고해 일시적으로 보관한 후 다시 상기 수납 박스로부터 상기 캐리어를 인출해 상기 반송차에 옮겨 실어 출고하는 자동 보관 선반에 있어서, 상기 수납 박스가 출입하는 입출고구를 가짐과 함께 상기 수납 박스가 수납되는 복수의 선반부를 구비하는 보관 선반, 상기 보관 선반의 상기 입출고구와 상기 보관 선반 내를 주행하여 상기 선반부에 상기 수납 박스를 옮겨 싣거나 인출하여 상기 수납 박스를 반송하는 적재 크레인, 상기 입출고의 앞에 정류하는 상기 수납 박스를 개폐하는 개폐 기구, 및 미리 설정된 상기 수납 박스의 입출고 계획에 기초하여 동작시켜 상기 수납 박스의 입고 혹은 출고를 행하는 상기 입출고의 앞에 빈 상기 수납 박스를 정류시키는 제어부를 구비하는 자동 보관 선반에 있다.

또한, 상기 빈 수납 박스를 수납하는 상기 선반부가 상기 입출고구에 가까운 보관 선반 내에 있는 것이 바람직하다. 또한, 상기 공작물은 반도체 기판인 웨이퍼이거나 혹은 노광 장치의 레티클이다.

본 발명의 다른 특징은, 미리 설정된 입출고 계획에 기초하여, 반송되어 오는 캐리어를 미리 입출고구의 앞에 놓인 빈 수납 박스에 수납하고, 상기 캐리어를 수납한 상기 수납 박스를 보관 선반에 보관한 후, 상기 보관 선반에 보관되어 있는 다른 수납 박스를 상기 입출고구로 반송하고 상기 수납 박스를 열어 상기 캐리어를 인출하여, 상기 빈 수납 박스를 상기 입출고의 앞에 남겨두는 자동 보관 방법이거나, 혹은 미리 설정된 입출고 계획에 기초하여, 보관 선반에 보관되어 있는 수납 박스를 입출고구로 반송하고, 상기 수납 박스를 열어 캐리어를 인출하여, 상기 빈 수납 박스를 상기 입출고의 앞에 남겨두고, 반송되어 오는 다른 캐리어를 상기 빈수납 박스에 수납하여 상기 보관 선반에 보관하는 자동 보관 방법이다.

도 1은 종래의 자동 보관 선반 및 자동 보관 방법의 일례를 설명하기 위한 사시도.

도 2는 본 발명의 자동 보관 선반의 제1 실시예를 설명하기 위한 사시도 및 모식 단면도.

도 3은 도 2의 자동 보관 선반으로의 수납 박스의 입출고 동작만을 설명하기 위한 플로우차트.

도 4는 도 2의 자동 보관 선반으로의 수납 박스의 입출고 계획인 반송 요구 테이블을 나타내는 표.

도 5는 도 4의 반송 요구 테이블에 기초하여 도 2의 자동 보관 선반의 동작을 설명하기 위한 플로우차트.

도 6은 도 2의 자동 보관 선반으로의 웨이퍼 캐리어의 입출고 동작인 자동 보관 방법의 실시예를 설명하기 위한 플로우차트.

〈도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명〉

1 : 수납 박스

1a : 빈 수납 박스

2 : 받침대

3 : 케이스

6 : 웨이퍼 캐리어

7 : 개폐 기구

8 : 보관 선반

11 : 반송차

12 : 제조 장치

13 : 출고구(出庫口)

14 : 입고구(入庫口)

15 : 입출고구(入出庫口)

16 : 적재 크레인

17 : 선반부

18 : 스테이지

이하, 본 발명에 대해서 도면을 참조하여 설명한다.

도 2의 (a) 및 도 2의 (b)는 본 발명의 자동 보관 선반의 제1 실시예를 설명하기 위한 사시도 및 모식 단면도이다. 이 자동 보관 선반은, 도 2에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 캐리어(6)가 넣어지는 수납 박스(1)가 수납되는 복수의 선반부(17)가 상하 좌우로 배치되는 밀폐 구조인 긴 보관 선반(8), 처리가 끝난 웨이퍼가 넣어진 웨이퍼 캐리어(6)가 반송차(11)로 반송될 때 받침대(2)를 사이에 두고 옮겨 실리는 보관 선반(8)의 입출고구(15)의 스테이지(18), 보관 선반(8) 내부를 긴 방향으로 왕복 주행하고 상하로 움직여 임의의 선반부(17)에 수납 박스(1)를 넣고 꺼낼 수 있는 포오크를 구비하는 적재 크레인(16), 스테이지(18)에 옮겨 실린 수납 박스(1)의 케이스(3)를 열거나 혹은 웨이퍼 캐리어(6)에 케이스(3)를 덮음으로써 수납 박스(1)를 개폐하는 개폐 기구(7), 및 도면에 도시되지는 않았지만, 보관 선반(8) 중 어느 하나의 선반부(17)의 수납 박스(1)를 입출고구(15)로 반송하여 웨이퍼 캐리어(6)를 입출고구(15)에서 출고시키거나 혹은 제조 장치로부터 입출고구(15)로 웨이퍼 캐리어(6)를 반송시켜 보관 선반(8) 중 어느 하나의 선반부(17)로 입고할 지를 미리 설정한 입출고 계획에 기초하여 개폐 기구(7) 및 적재 크레인(16)의 동작을 제어하는 제어부를 구비하고 있다.

보관 선반(8)은, 적재 크레인(16)이 주행하는 중앙 부분의 양측에 복수의 선반부(17)가 상하 좌우에 배치되어 있다. 이들 선반부(17)의 위치는 지정된 제조장치에 따라 나뉘어 있다. 따라서, 적재 크레인(16)의 주행 거리를 가능한 한 짧게 하기 위해서는, 제조 장치의 지정된 빈도가 높은 선반부(17)는 입출고구(15)에 가까운 위치의 선반부(17)에 배치하는 것이 바람직하다. 또한, 입출고구(15)의 개폐 기구에 의해 개폐되는 수납 박스(1) 이외에 청정화 된 여분의 수납 박스(1a)를 입출고구(15)에 가까운 위치의 선반부(17)에 수납하는 것이 바람직하다. 또, 스테이지(18)에 받침대(2)가 있는 지의 여부를 검지하는 센서를 설치하고, 입출고구(15) 앞에 빈 수납 박스가 정류(停留)하고 있는 지의 여부를 확인한다. 또한, 케이스(3)가 열려 있는 지의 여부는 개폐 기구(7)의 센서로서 확인한다.

도 3의 (a) 및 도 3의 (b)는 도 2의 자동 보관 선반으로의 수납 박스의 입출고 동작만을 설명하기 위한 플로우차트이다. 이하, 자동 보관 선반에서의 수납 박스의 출고 동작을 도 2 및 도 3의 (a)를 참조하여 설명한다. 먼저, 도 3의 (a)의 단계 A에서, 도 2의 입출고구(15)의 스테이지(18)에 빈 수납 박스의 유무를 판정한다. 혹 수납 박스가 없으면, 도 3의 (a)의 단계 D에서 도 2의 적재 크레인(16)으로 소정의 선반부(17)에서 수납 박스(1)를 인출해 입출고구(15)로 반송하여 스테이지(18)에 옮겨 싣는다. 그리고, 단계 E에서 개폐 기구(7)를 동작시켜 케이스(3)를 열고, 이어서 단계 F에서 반송차(11)의 아암으로 받침대(2)로부터 웨이퍼 캐리어(6)를 반송차(11)의 하물대에 옮겨 싣는다. 혹 단계 A에서 빈 수납 박스가 있으면, 단계 B에서 개폐 기구(7)에 의해 케이스(3)로 받침대(2)를 덮고, 단계 C에서 빈 수납 박스(1a)를 적재 크레인(16)으로 보관 선반(8) 내에 넣어 소정의 선반부(17)에 수납한다.

또한, 보관 선반(8)에 입고할 때는, 도 3의 (b)의 단계 A에서 도 2의 입출고구(15) 앞의 스테이지(18)에 빈 수납 박스가 있는 지 없는 지를 판정한다. 이 판정에서, 빈 수납 박스가 없으면, 단계 B에서 적재 크레인(16)으로 보관 선반(8)의 소정의 선반부(17)에서 빈 수납 박스(1a)를 인출하고, 입출고구(15)의 스테이지(18)로 반송한다. 그리고, 단계 C에서 개폐 기구(7)에 의해 빈 수납 박스의 케이스(3)가 들어 올려진다. 또한, 단계 A에서 케이스(3)가 열려 있는 상태의 빈 수납 박스가 있을 경우에는 바로 단계 D로 진행하고, 반송차(11)로 운반되어 오는 웨이퍼 캐리어(6)를 받침대(2)에 옮겨 싣는다. 그리고, 단계 E에서 케이스(3)를 닫고, 단계 F에서 웨이퍼 캐리어(6)를 수납하는 수납 박스(1)를 적재 크레인(16)에 의해 보관 선반(8)의 소정의 선반부(17)에 옮겨 싣는다.

이와 같이, 하나의 입출고구(15)를 보관 선반에 설치하고, 반드시 출고 후에는 입출고구(15) 앞에 빈 수납 박스를 정류시키며, 보관 선반으로의 입고 및 출고를 나눠 동작시킴으로써 하나의 적재 크레인을 유효하게 동작시켜 입출고 동작의 효율을 높일 수 있다.

도 4는 도 2의 자동 보관 선반으로의 수납 박스의 입출고 계획인 반송 요구 테이블을 나타내는 표이고, 도 5는 도 4의 반송 요구 테이블에 기초하는 동작을 설명하기 위한 플로우차트이다. 상술한 입출고 동작에 있어서는, 단순히 입출고구(15)에 빈 수납 박스가 있는 것을 전제로 하여 행하고 있었지만, 실제의 입출고 동작도 도 2, 도 4 및 도 5를 참조하여 설명한다.

먼저, 도 5의 단계 A에서, 제어부(도시되지 않음)의 설정 기억부에 입출고계획인 도 4의 반송 요구 테이블이 등록되어 있는 지의 여부를 판정한다. 혹시 등록되어 있으면, 아무런 동작도 행하지 않고 반송 요구가 등록되기까지 기다린다. 반송 요구가 등록되어 있으면 단계 B로 진행하고, 도 2의 입출고구(15) 앞에 빈 수납 박스가 있는 지의 여부를 확인한다. 만약 있으면, 단계 D에 의해 도 4의 반송 요구 테이블에서 입고 요구를 검색한다. 이어서 단계 E에 의해 입고 요구의 유무를 조정한다. 여기서, 도 4의 반송 요구 테이블에서, 예를 들어 등록 번호 3, 4, 5와 같이 있으면 단계 H로 진행하고, 등록 번호가 작은 번호의 입고 요구를 선택해 웨이퍼 캐리어를 반송시켜 수납 박스의 입고를 도 3의 (b)에 도시하는 바와 같이 개시한다.

또한, 단계 E에서 도 4의 반송 요구 테이블에서 입고 요구가 없을 경우는, 단계 G로 진행하여, 도 3의 (a)에 도시된 플로우차트와 같이 동작시켜 웨이퍼 캐리어를 수납하는 수납 박스(1)를 출고시킨다. 한편, 단계 B에서 빈 수납 박스가 입출고구(15)에 없을 경우는 단계 C로 진행하여 도 4의 반송 요구 테이블을 검색하고, 단계 F에서 출고 요구의 유무를 조정한다. 그리고, 출고 요구가 등록 번호 1, 2, 6과 같이 있으면, 등록이 빠른 번호의 출고 요구를 선택해 단계 G에서 도 3의 (a)에 도시된 동작으로 수납 박스를 출고한다. 또한, 등록 번호가 없으면 단계 H로 진행하여, 도 3의 (b)와 같이 수납 박스의 입고 동작을 행할 수 있다.

이와 같이, 빈 수납 박스가 입출고구(15) 앞에 존재하는 지의 여부를 확인하고, 유무에 의해 입고 혹은 출고를 정함으로써 불필요한 빈 수납 박스의 반송 동작이 없게 되어 보관 선반(8) 내에서의 반송 효율이 올라간다는 이점이 있다.

도 6의 (a) 및 도 6의 (b)는 도 2의 자동 보관 선반으로의 웨이퍼 캐리어의 입출고 동작인 자동 보관 방법의 실시예를 설명하기 위한 플로우차트이다. 이 입출고 동작에 의한 자동 보관 방법은, 먼저 도 6의 (a)의 단계 A에서, 도 2의 입출고구(15) 앞에 빈 수납 박스의 유무를 확인한다. 혹시 있으면, 단계 B로 진행하여, 도 4의 반송 요구 테이블에 입고 요구를 검색한다. 다음에, 반송 요구 테이블에 입고 요구가 있으면 단계 D 및 E로 진행하여, 도 2의 제조 장치로부터 반송차(11)로 태워 보내져 오는 웨이퍼 캐리어(6)를 빈 수납 박스의 받침대(2)에 옮겨 싣는다. 그리고, 단계 F 및 G에서 웨이퍼 캐리어(6)를 탑재하는 받침대(2)에 케이스(3)를 덮고, 적재 크레인(16)에 의해 수납 박스(1)를 보관 선반에 넣어 선반부(17)에 수납한다.

혹시 단계 C에서 입고 요구가 없으면, 단계 F 및 G에서 빈 수납 박스를 닫고, 적재 크레인(16)으로 빈 수납 박스를 보관 선반(8) 안으로 넣으며 수납 박스를 소정의 선반부(17)에 수납한다. 빈 수납 박스 혹은 웨이퍼 캐리어를 수납하는 수납 박스(1)가 선반부(17)에 탑재되면서 단계 H에서 도 4의 등록 번호가 빠른 번호의 출고 요구의 수납 박스를 적재 크레인(16)으로 인출해 입출고구(15)로 반송한다. 그리고, 단계 I 및 J에 의해 입출고구(15) 앞에 탑재된 수납 박스(1)의 케이스(3)를 개폐 기구(7)로 열고, 받침대(2) 상의 웨이퍼 캐리어(6)를 반송차(11)에 옮겨 싣는다.

또한, 단계 A에서 입출고구(15)에 빈 수납 박스가 없을 때는, 단계 H로 점프하고, 보관 선반(8)의 선반부(17)에 수납된 빠른 등록 번호의 수납 박스(1)를 적재크레인으로 인출해 입출고구(15)로 반송하며, 케이스(3)를 열어 웨이퍼 캐리어(6)를 반송차에 옮겨 싣는다.

이와 같이, 단계 C에서 입고 요구가 있으면, 출고 동작을 일시 중단하고 입고 동작을 행함으로써, 입출고구(15)에 있는 빈 수납 박스에 웨이퍼 캐리어를 수납한 상태로 보관 선반(8)에 수납할 수 있고, 빈 상태의 수납 박스의 보관 선반(8)으로의 반송이 필요 없게 된다. 한편, 빈 수납 박스가 없을 경우에도, 출고에 의해 빈 수납 박스가 입출고구(15)에 남기 때문에 보관 선반(8)으로부터 빈 수납 박스를 인출할 필요가 없게 되어 매우 원활하게 수납 박스의 입출고가 행하여진다.

다음에, 도 2 및 도 6의 (b)를 참조하여 입출고 동작에 의한 다른 자동 보관 방법을 설명한다. 먼저, 도 6의 (b)의 단계 A에서 도 2의 제조 장치(12)로부터 반송차(11)에 웨이퍼 캐리어(6)가 태워져 입출고구(15)로 보내져 온다. 다음에, 단계 B에서 입출고구(15)의 스테이지(18)에 빈 수납 박스가 있는 지의 여부를 판정한다. 혹시 없으면, 단계 C에서 도 4의 반송 요구 테이블로부터 출고 요구를 검색한다. 그리고, 단계 D에서 출고 요구가 있으면, 단계 E에서 출고 요구의 등록 번호의 수납 박스를 적재 크레인(16)으로 인출해 입출고구(15)로 반송한다. 그리고, 단계 F 및 G에서, 스테이지(18) 상의 수납 박스의 케이스(3)를 열고, 웨이퍼 캐리어(6)를 반송차(11)에 옮겨 싣는다. 그리고, 단계 K, L 및 M에 의해 입출고구(15) 앞에 남겨진 받침대(2)에 웨이퍼 캐리어(6)를 옮겨 싣고, 케이스(3)를 덮어 보관 선반(8)의 선반부(17)에 수납 박스(1)를 수납한다.

혹시, 단계 B에서 빈 수납 박스가 있으면, 단계 K로 점프하고, 단계 K, L, M으로 차례로 진행하여, 입출고구(15) 앞에 남겨진 받침대(2)에 웨이퍼 캐리어(6)를 옮겨 싣고 케이스(3)를 덮어 보관 선반(8)의 선반부(17)에 수납 박스(1)를 수납한다. 또한, 단계 D에 있어서 도 4의 반송 요구 테이블에 출고 요구가 없을 경우에는 단계 H에서 빈 수납 박스를 보관 선반(8)에서 인출해 입출고구(15)로 반송하고, 단계 I에서 수납 박스의 케이스(3)를 열며, 단계 K, L, M으로 진행하여 입고를 완료시킨다.

이와 같이 단계 G에서 웨이퍼 캐리어가 반송차(11)에 옮겨 실려서 출고된 직후에, 입고해야 할 웨이퍼 캐리어를 남겨진 빈 수납 박스의 받침대(2)에 옮겨 실음으로써 반송차(11)의 이동 거리가 단축되며, 상술의 동작과 마찬가지로 빈 수납 박스의 반송은 전무하게 된다.

또, 노광 장치의 레티클의 경우도 마찬가지로 이 자동 보관 선반 및 보관 방법을 적용할 수 있다. 이 경우는, 1 로트의 웨이퍼에 전사해야 할 패턴을 갖는 복수 매의 레티클을 캐리어에 수납하고, 이 캐리어를 수납하는 수납 박스의 입출고 동작을 하면 원하는 목적을 달성할 수 있다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명은, 보관 선반의 입출고구를 하나로 하여 공통화하고, 수납 박스의 보관 선반으로의 입출고 계획에 기초하여 수납 박스의 입출고 시 입출고구에 항상 빈 수납 박스가 남도록 제어함으로써 종래 행하고 있었던 빈 수납 박스의 보관 선반으로의 입출고가 없게 되며, 수납 박스의 입출고 시간을 단축하여 입출고의 효율이 향상한다는 효과가 있다.

또한, 보관 선반의 출입구를 하나로 하는 것으로, 보관 선반으로의 수납 박스의 입고와 출고를 입출고 계획에 기초하여 순차적으로 행하기 때문에, 반송차의 주행이 정체 없이 원활하게 운용될 수 있고, 캐리어의 정체에 따른 공작물의 티끌의 부착이 없어 그에 따른 품질의 결함이 전무하게 되는 효과가 얻어졌다.

또, 보관 선반의 반송 효율이 향상함으로써 보관 선반의 능력이 향상하고, 적은 로트화에 따라 반송 회수가 증가해도 보관 선반을 증가시킬 필요가 없어 상면적(床面積)도 작게 되어 설비 비용이 싼 가격으로 된다는 효과가 있다.

Claims

반송차로 반송됨과 함께 복수매의 판형의 공작물을 1방향으로 배치하여 수납하는 상자형의 캐리어를 수납하는 수납 박스를 입고해 일시적으로 보관한 후 다시 상기 수납 박스로부터 상기 캐리어를 인출해 상기 반송차에 옮겨 실어 출고하는 자동 보관 선반에 있어서,

상기 수납 박스가 출입하는 입출고구(入出庫口)를 가짐과 함께 상기 수납 박스가 수납되는 복수의 선반부를 구비하는 보관 선반;

상기 보관 선반의 상기 입출고구와 상기 보관 선반 내를 주행하여 상기 선반부에 상기 수납 박스를 옮겨 싣거나 인출하여 상기 수납 박스를 반송하는 적재 크레인;

상기 입출고구의 앞에 정류(停留)하는 상기 수납 박스를 개폐하는 개폐 기구; 및

미리 설정된 상기 수납 박스의 입출고 계획에 기초하여 상기 적재 크레인을 동작시켜 상기 수납 박스의 입고 혹은 출고를 행하고 또한 빈 수납 박스는 상기 보관 선반내에 되돌리는 일없이 상기 입출고구의 앞에 상기 빈 수납 박스를 정류시키는 제어부

를 구비하는 것을 특징으로 하는 자동 보관 선반.
제1항에 있어서, 상기 빈 수납 박스를 수납하는 상기 선반부가 상기 입출고구에 가까운 상기 보관 선반 내에 있는 것을 특징으로 하는 자동 보관 선반.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 공작물이 반도체 기판인 웨이퍼인 것을 특징으로 하는 자동 보관 선반.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 공작물이 노광 장치의 레티클인 것을 특징으로 자동 보관 선반.
반송차로 반송됨과 함께 복수매의 판형 공작물을 1방향으로 배치하여 수납하는 상자형 캐리어를 수납하는 수납 박스가 출입하는 입출고구를 가짐과 함께 상기 수납 박스가 수납되는 복수의 선반부를 구비하는 보관 선반, 상기 보관 선반의 상기 입출고구와 상기 보관 선반내를 주행하여 상기 선반부에 상기 수납 박스를 옮겨 싣거나 인출하여 상기 수납 박스를 반송하는 적재 크레인, 및 상기 입출고구의 앞에 정류하는 상기 수납 박스를 개폐하는 개폐 기구를 구비하는 자동 보관 선반의 자동 보관 방법에 있어서,

미리 설정된 상기 수납 박스의 입출고 계획에 기초하여, 반송되어 오는 상기 캐리어를 미리 입출고구의 앞에 놓인 빈 수납 박스에 수납하는 단계;

상기 캐리어를 수납한 상기 수납 박스를 보관 선반에 수납하고 나서, 상기 보관 선반에 보관되어 있는 다른 수납 박스를 상기 적재 크레인으로 인출하여 상기 입출고구로 반송하는 단계; 및

상기 개폐 기구에 의해 상기 다른 수납 박스를 열어 상기 캐리어를 인출하고, 비어 있는 상기 다른 수납 박스를 상기 입출고구의 앞에 남겨두는 단계

를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 보관 방법.
제5항에 있어서,

상기 입출고구의 앞에 남겨진 비어 있는 상기 다른 수납 박스에 반송되어 오는 다른 상기 캐리어를 수납하고, 그후에 상기 적재 크레인에 의해 상기 보관 선반에 입고하여 보관하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 보관 방법.