JP3267266B2 - カセットストッカー及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
カセットストッカー及び半導体装置の製造方法Info
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- JP3267266B2 JP3267266B2 JP9788899A JP9788899A JP3267266B2 JP 3267266 B2 JP3267266 B2 JP 3267266B2 JP 9788899 A JP9788899 A JP 9788899A JP 9788899 A JP9788899 A JP 9788899A JP 3267266 B2 JP3267266 B2 JP 3267266B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置の製造
方法に関し、特に半導体製造におけるカセットストッカ
ーを利用した半導体装置の製造方法に関する。
方法に関し、特に半導体製造におけるカセットストッカ
ーを利用した半導体装置の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の技術としては、図２に示すように
カセットストッカー１は、カセット棚部２、移載機３、
入出庫口４、搬送系との受け渡し部５、制御部６から構
成されており、カセットの入手または自動による出し入
れ、ＩＤ認識、および保管、管理を行う。また、保管で
きるカセットは１種類である。
カセットストッカー１は、カセット棚部２、移載機３、
入出庫口４、搬送系との受け渡し部５、制御部６から構
成されており、カセットの入手または自動による出し入
れ、ＩＤ認識、および保管、管理を行う。また、保管で
きるカセットは１種類である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、かかる従来の
カセットストッカーは、カセットの入手または自動によ
る出し入れ、ＩＤ認識、および保管、管理の機能しかな
く、また保管できるのは１種類のカセットだけである。
従って２種類以上のカセットが混在する工程、たとえば
カセットの交換で、安価で軽量な搬送用カセットから耐
薬品性の処理用カセットヘのウエハの移替えを必要とす
る場合には、カセットチェンジャーおよびそれぞれのカ
セットを空カセットも含めて保管、管理する２種類のカ
セットストッカーが必要となり、設置スペースが大きく
なるという問題点を有していた。
カセットストッカーは、カセットの入手または自動によ
る出し入れ、ＩＤ認識、および保管、管理の機能しかな
く、また保管できるのは１種類のカセットだけである。
従って２種類以上のカセットが混在する工程、たとえば
カセットの交換で、安価で軽量な搬送用カセットから耐
薬品性の処理用カセットヘのウエハの移替えを必要とす
る場合には、カセットチェンジャーおよびそれぞれのカ
セットを空カセットも含めて保管、管理する２種類のカ
セットストッカーが必要となり、設置スペースが大きく
なるという問題点を有していた。
【０００４】そこで、本発明は従来のこのような問題点
を解決するため、１台でウエハの移替えおよび２種類以
上のカセットの保管ができる省スペースのカセットスト
ッカーを提供することを目的とする。
を解決するため、１台でウエハの移替えおよび２種類以
上のカセットの保管ができる省スペースのカセットスト
ッカーを提供することを目的とする。
【０００５】また、従来のカセットストッカーは、別置
のカセットチェンジャーとカセットストッカー間でのカ
セットの受け渡しで必要となり、全自動化することは難
しいという問題点を有していた。
のカセットチェンジャーとカセットストッカー間でのカ
セットの受け渡しで必要となり、全自動化することは難
しいという問題点を有していた。
【０００６】本発明の他の目的は、カセットストッカー
内にカセットチャンジャーを組み込むことにより、カセ
ットの受け渡しを不要として、自動化し易いカセットス
トッカーを提供することを目的とする。
内にカセットチャンジャーを組み込むことにより、カセ
ットの受け渡しを不要として、自動化し易いカセットス
トッカーを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明のカセットストッカーは、種類の異なるウエ
ハカセット間でのウエハの移替えが可能なカセットチェ
ンジャーと、前記種類の異なるウエハカセットを混載し
て収納するカセット棚と、前記カセット棚と前記カセッ
トチェンジャーとの間で前記ウエハカセットを移載する
移載機と、を備えるカセットストッカーであって、前記
カセット棚は、前記移載機の移動スペースを挟むように
設置された第１のカセット棚と第２のカセット棚とを含
むことを特徴とする。また、本発明のカセットストッカ
ーはさらに、前記カセットストッカーは、複数の工程間
でウエハカセットを搬送する工程間搬送路と、前記カセ
ットストッカーと半導体製造装置との間でウエハカセッ
トを搬送する工程内搬送路と、の間に設置され、かつ、
前記第１のカセット棚は、前記工程間搬送路との間でウ
エハカセットを入出する第１の入出庫口を含むととも
に、前記第２のカセット棚は、前記工程内搬送路との間
でウエハカセットを入出する第２の入出庫口を含むこと
を特徴とする。さらに本発明の半導体装置の製造方法
は、上記いずれかのカセットストッカーを用いてウエハ
カセットを保管することを特徴とする。
め、本発明のカセットストッカーは、種類の異なるウエ
ハカセット間でのウエハの移替えが可能なカセットチェ
ンジャーと、前記種類の異なるウエハカセットを混載し
て収納するカセット棚と、前記カセット棚と前記カセッ
トチェンジャーとの間で前記ウエハカセットを移載する
移載機と、を備えるカセットストッカーであって、前記
カセット棚は、前記移載機の移動スペースを挟むように
設置された第１のカセット棚と第２のカセット棚とを含
むことを特徴とする。また、本発明のカセットストッカ
ーはさらに、前記カセットストッカーは、複数の工程間
でウエハカセットを搬送する工程間搬送路と、前記カセ
ットストッカーと半導体製造装置との間でウエハカセッ
トを搬送する工程内搬送路と、の間に設置され、かつ、
前記第１のカセット棚は、前記工程間搬送路との間でウ
エハカセットを入出する第１の入出庫口を含むととも
に、前記第２のカセット棚は、前記工程内搬送路との間
でウエハカセットを入出する第２の入出庫口を含むこと
を特徴とする。さらに本発明の半導体装置の製造方法
は、上記いずれかのカセットストッカーを用いてウエハ
カセットを保管することを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施例を図面にも
とづいて説明する。図１において、カセットストッカー
１は従来からあるカセット棚２、移載機３、手動用入出
庫口４、自動用入出庫口（搬送系との受け渡し部）５
ａ、５ｂ、制御部６に加えてカセットチェンジャー７を
備えている。
とづいて説明する。図１において、カセットストッカー
１は従来からあるカセット棚２、移載機３、手動用入出
庫口４、自動用入出庫口（搬送系との受け渡し部）５
ａ、５ｂ、制御部６に加えてカセットチェンジャー７を
備えている。
【０００９】またこのカセットストッカー１には２系統
の搬送系、工程間搬送８と工程内搬送９（カセットスト
ッカー１と製造装置１０の間）が接続されている。搬送
されるカセットは、工程間搬送８においては安価で軽量
な搬送用カセット１１であり、工程内搬送９においては
耐薬品性、耐熱性のある処理用カセット１２である。
の搬送系、工程間搬送８と工程内搬送９（カセットスト
ッカー１と製造装置１０の間）が接続されている。搬送
されるカセットは、工程間搬送８においては安価で軽量
な搬送用カセット１１であり、工程内搬送９においては
耐薬品性、耐熱性のある処理用カセット１２である。
【００１０】工程間搬送８により搬送されてきた搬送用
カセット１１は、自動用入出庫口５ａからカセットスト
ッカー１内に収納される。カセットストッカー１内に収
納されたウエハの入った搬送用カセット１１と、カセッ
ト棚２に収納されている空の処理用カセット１２は、移
載機３によりカセットチェンジャー７のカセットステー
ジ部へ移動される。このとき、空の処理用カセット１２
がカセット棚２のどの位置に収納されているかといった
情報は制御部６によって管理されている。つまり、制御
部６で管理された情報に基づいてカセット棚２から空の
処理用カセット１２を取り出すことが可能となってい
る。その後ウエハは搬送用カセット１１から処理用カセ
ット１２へ移替えられる。ウエハの入った処理用カセッ
ト１２は移載機３により、工程内搬送９と受け渡しを行
う自動用入出庫口５ｂに出され、空の搬送用カセット１
１は空いているカセット棚２に収納される。このとき、
制御部６によって管理された情報に基づき、カセット棚
２の空いている場所へ空の搬送用カセット１１が保管さ
れる。また、制御部６では、空の搬送用カセット１１が
カセット棚２のどの位置へ保管されたかという情報も同
時に管理する。自動用入出庫口５ｂに出された処理用カ
セット１２は、工程内搬送９により製造装置１０へ運ば
れて処理される。
カセット１１は、自動用入出庫口５ａからカセットスト
ッカー１内に収納される。カセットストッカー１内に収
納されたウエハの入った搬送用カセット１１と、カセッ
ト棚２に収納されている空の処理用カセット１２は、移
載機３によりカセットチェンジャー７のカセットステー
ジ部へ移動される。このとき、空の処理用カセット１２
がカセット棚２のどの位置に収納されているかといった
情報は制御部６によって管理されている。つまり、制御
部６で管理された情報に基づいてカセット棚２から空の
処理用カセット１２を取り出すことが可能となってい
る。その後ウエハは搬送用カセット１１から処理用カセ
ット１２へ移替えられる。ウエハの入った処理用カセッ
ト１２は移載機３により、工程内搬送９と受け渡しを行
う自動用入出庫口５ｂに出され、空の搬送用カセット１
１は空いているカセット棚２に収納される。このとき、
制御部６によって管理された情報に基づき、カセット棚
２の空いている場所へ空の搬送用カセット１１が保管さ
れる。また、制御部６では、空の搬送用カセット１１が
カセット棚２のどの位置へ保管されたかという情報も同
時に管理する。自動用入出庫口５ｂに出された処理用カ
セット１２は、工程内搬送９により製造装置１０へ運ば
れて処理される。
【００１１】また、製造装置１０で処理された処理用カ
セット１２内のウエハは、上記と逆の手順によりカセッ
トストッカー１へ運ばれ、搬送用カセット１１内ヘカセ
ットチェンジをされた後、工程間搬送８によって次工程
のカセットストッカーへ搬送される。
セット１２内のウエハは、上記と逆の手順によりカセッ
トストッカー１へ運ばれ、搬送用カセット１１内ヘカセ
ットチェンジをされた後、工程間搬送８によって次工程
のカセットストッカーへ搬送される。
【００１２】以上のような実施例において、１台のカセ
ットストッカー１の内部でカセットチェンジ（ウエハの
移替え）を行い、搬送用カセット１１と処理用カセット
１２の両方を保管、管理することができる。また、カセ
ット棚２は搬送カセット用、処理カセット用と専用化せ
ず、任意の位置に混在させて保管できるようにするとカ
セット棚２は有効に利用できるため、より省スペースな
カセットストッカー１が構成できる。
ットストッカー１の内部でカセットチェンジ（ウエハの
移替え）を行い、搬送用カセット１１と処理用カセット
１２の両方を保管、管理することができる。また、カセ
ット棚２は搬送カセット用、処理カセット用と専用化せ
ず、任意の位置に混在させて保管できるようにするとカ
セット棚２は有効に利用できるため、より省スペースな
カセットストッカー１が構成できる。
【００１３】なお、上記のような構成のカセットストッ
カー１は、作業者が介在することなしに製造装置１０ま
でのカセットの自動搬送が可能となるため、自動化には
きわめて有効である。
カー１は、作業者が介在することなしに製造装置１０ま
でのカセットの自動搬送が可能となるため、自動化には
きわめて有効である。
【００１４】
【発明の効果】本発明の半導体装置の製造方法は、以上
説明したように、カセットストッカー内にカセットチェ
ンジャーを有し、ウエハの移替えを行うとともに、２種
類以上のカセットを同一のカセット棚の任意の位置に混
在して保管することによって、省スペースを実現したカ
セットストッカーを用いて半導体装置を製造することが
可能になるという効果がある。
説明したように、カセットストッカー内にカセットチェ
ンジャーを有し、ウエハの移替えを行うとともに、２種
類以上のカセットを同一のカセット棚の任意の位置に混
在して保管することによって、省スペースを実現したカ
セットストッカーを用いて半導体装置を製造することが
可能になるという効果がある。
【図１】本発明のカセットストッカーの構成図。
【図２】従来のカセットストッカーの構成図。
１・・・カセットストッカー ２・・・カセット棚 ３・・・移載機 ４・・・手動用入出庫口 ５・・・自動用入出庫口 ６・・・制御部 ７・・・カセットチェンジャー ８・・・工程間搬送 ９・・・工程内搬送 １０・・・製造装置 １１・・・搬送用カセット １２・・・処理用カセット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/68 B65D 85/86 B65G 49/07
Claims (3)
- 【請求項１】 種類の異なるウエハカセット間でのウエ
ハの移替えが可能なカセットチェンジャーと、前記種類
の異なるウエハカセットを混載して収納するカセット棚
と、前記カセット棚と前記カセットチェンジャーとの間
で前記ウエハカセットを移載する移載機と、を備えるカ
セットストッカーであって、 前記カセット棚は、前記移載機の移動スペースを挟むよ
うに設置された第１のカセット棚と第２のカセット棚と
を含むことを特徴とするカセットストッカー。 - 【請求項２】 請求項１において、 前記カセットストッカーは、複数の工程間でウエハカセ
ットを搬送する工程間搬送路と、前記カセットストッカ
ーと半導体製造装置との間でウエハカセットを搬送する
工程内搬送路と、の間に設置され、かつ、 前記第１のカセット棚は、前記工程間搬送路との間でウ
エハカセットを入出する第１の入出庫口を含むととも
に、 前記第２のカセット棚は、前記工程内搬送路との間でウ
エハカセットを入出する第２の入出庫口を含むことを特
徴とする請求項１記載のカセットストッカー。 - 【請求項３】 請求項１または２に記載のカセットスト
ッカーを用いてウエハカセットを保管することを特徴と
する半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9788899A JP3267266B2 (ja) | 1999-04-05 | 1999-04-05 | カセットストッカー及び半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9788899A JP3267266B2 (ja) | 1999-04-05 | 1999-04-05 | カセットストッカー及び半導体装置の製造方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14806790A Division JP3000624B2 (ja) | 1990-06-06 | 1990-06-06 | カセットストッカー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11330221A JPH11330221A (ja) | 1999-11-30 |
| JP3267266B2 true JP3267266B2 (ja) | 2002-03-18 |
Family
ID=14204301
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9788899A Expired - Fee Related JP3267266B2 (ja) | 1999-04-05 | 1999-04-05 | カセットストッカー及び半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3267266B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1170747C (zh) * | 2001-02-08 | 2004-10-13 | 奇美电子股份有限公司 | 库存传输系统 |
| KR101675857B1 (ko) * | 2010-11-09 | 2016-11-14 | 엘지디스플레이 주식회사 | 무인 제어 시스템 |
-
1999
- 1999-04-05 JP JP9788899A patent/JP3267266B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11330221A (ja) | 1999-11-30 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20010703 |
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| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20011211 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090111 Year of fee payment: 7 |
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