KR102160106B1 - 웨이퍼 이송 장치 - Google Patents

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KR102160106B1
KR102160106B1 KR1020140083058A KR20140083058A KR102160106B1 KR 102160106 B1 KR102160106 B1 KR 102160106B1 KR 1020140083058 A KR1020140083058 A KR 1020140083058A KR 20140083058 A KR20140083058 A KR 20140083058A KR 102160106 B1 KR102160106 B1 KR 102160106B1
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Abstract

웨이퍼 이송 장치는 FOSB를 다수 저장하는 스토커와, 상기 스토커와 인접하도록 구비되며, 상기 FOSB가 놓여지는 제1 로드 포트 및 FOUP이 놓여지는 제2 로드 포트를 갖는 EFEM과, 상기 스토커에 구비되며, 웨이퍼들이 적재된 FOSB를 상기 제1 로드 포트에 로딩하거나, 상기 제1 로드 포트로부터 빈 FOSB를 언로딩하는 제1 로봇 및 상기 EFEM의 내부에 구비되며, 상기 제1 로드 포트에 안착된 FOSB로부터 상기 웨이퍼를 인출하여 상기 제2 로드 포트에 안착된 FOUP에 적재하는 제2 로봇을 포함한다. 따라서, 상기 웨이퍼의 이송을 자동화할 수 있다.

Description

웨이퍼 이송 장치{Apparatus for transferring a wafer}
본 발명은 웨이퍼 이송 장치에 관한 것으로, 반도체 소자를 제조하기 위해 웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자 제조 공정은 웨이퍼를 대상으로 사진, 식각, 확산, 증착 및 금속 공정 등의 다양하게 이루어지는 단위 공정을 반복적으로 수행하여 이루어진다. 각 단위 공정에서는 웨이퍼를 다수 적재된 웨이퍼 캐리어를 이용하여 웨이퍼를 이동하거나 상기 웨이퍼 캐리어 상태로 각 공정에 투입한다.
상기 웨이퍼 캐리어는 전면 개방 운반 용기(FOSB, Front Opening Shipping Box)와 전면 개방 일체식 포드(FOUP, Front Open Unified Pod)가 제조되어 사용되고 있다.
상기 FOUP은 공정 용도로서, 주로 직접 생산 프로세스에 투입되는 데에 사용된다. 상기 FOUP에는 다수의 웨이퍼가 수평하게 적재되며, 상기 웨이퍼는 상기 FOUP의 도어를 통하여 출입한다.
상기 FOSB는 주로 웨이퍼를 보관하거나 이동시키는 쉬핑(Shipping) 용도로 이용된다. 상기 FOSB는 상기 FOUP과 유사한 구조를 가지며, 도어를 통해 상기 웨이퍼가 출입한다.
상기 FOSB를 이용하여 이송된 웨이퍼는 상기 FOUP으로 옮겨진 후 각 생산 프로세스에 투입된다. 상기 FOSB 및 상기 FOUP은 특정 위치에 위치한 상태에서 로봇이 상기 웨이퍼를 상기 FOSB에서 상기 FOUP으로 이송한다.
이때, 작업자가 수작업으로 상기 FOSB 및 상기 FOUP을 상기 특정 위치에 로딩한다. 작업자가 상기 FOSB 및 상기 FOUP를 반복적으로 로딩해야 하므로, 작업자의 신체에 무리가 발생할 수 있다. 또한, 상기 FOSB 및 상기 FOUP가 수작업에 의해 로딩되므로, 상기 웨이퍼를 상기 FOSB에서 상기 FOUP으로 이송하는 공정의 자동화가 어렵다.
본 발명은 FOSB 및 FOUP를 자동으로 공급하는 웨이퍼 이송 장치를 제공한다.
본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치는 FOSB를 다수 저장하는 스토커와, 상기 스토커와 인접하도록 구비되며, 상기 FOSB가 놓여지는 제1 로드 포트 및 FOUP이 놓여지는 제2 로드 포트를 갖는 EFEM과, 상기 스토커에 구비되며, 웨이퍼들이 적재된 FOSB를 상기 제1 로드 포트에 로딩하거나, 상기 제1 로드 포트로부터 빈 FOSB를 언로딩하는 제1 로봇 및 상기 EFEM의 내부에 구비되며, 상기 제1 로드 포트에 안착된 FOSB로부터 상기 웨이퍼를 인출하여 상기 제2 로드 포트에 안착된 FOUP에 적재하는 제2 로봇을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 스토커는 상기 웨이퍼들이 적재된 FOSB가 투입되는 제1 포트, 상기 빈 FOSB가 배출되는 제2 포트 및, 상기 FOSB들이 놓여지는 선반을 포함하고, 상기 제1 로봇은 상기 제1 포트 및 제2 포트와 상기 선반 사이 및 상기 선반과 상기 제1 로드 포트 사이에서 상기 FOSB를 이송할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 웨이퍼 이송 장치는 상기 제2 로드 포트로 빈 FOUP을 로딩하거나, 상기 제2 로드 포트로부터 상기 웨이퍼가 적재된 FOUP을 언로딩하는 OHT를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 웨이퍼 이송 장치는 상기 EFEM의 내부에는 상기 FOSB로부터 인출된 웨이퍼를 정렬하기 위한 얼라이너를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 웨이퍼 이송 장치는 상기 스토커에 구비되며, 상기 FOSB에 대한 정보를 획득하기 위해 상기 FOSB에 부착된 코드를 인식하는 제1 리더와, 상기 EFEM에 구비되며, 상기 FOUP에 대한 정보를 획득하기 위해 FOUP에 부착된 코드를 인식하는 제2 리더 및 상기 얼라이너의 상방에 구비되며, 상기 얼라이너에서 정렬되는 웨이퍼의 식별 마크를 인식하는 제3 리더를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 웨이퍼 이송 장치는 상기 EFEM 및 상기 스토커가 다수 구비되는 경우, 상기 스토커들 사이에 구비되며, 상기 FOSB를 하나의 스토커에서 다른 스토커로 이송하기 위한 컨베이어를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치는 스토커에 다수의 FOSB들을 저장하고, 상기 FOSB들을 제1 로봇을 이용하여 EFEM의 제1 로드 포트로 공급할 수 있다. 또한, FOUP을 OHT를 이용하여 제2 로드 포트로 공급할 수 있다. 그리고, 상기 FOSB의 웨이퍼들을 제2 로봇을 이용하여 상기 FOUP으로 이동할 수 있다. 상기 FOSB 및 상기 FOUP의 로딩과 상기 웨이퍼의 이송을 자동화할 수 있다.
또한, 작업자가 상기 FOSB 및 상기 FOUP를 반복적으로 로딩할 필요가 없으므로, 작업자의 신체에 이상이 발생할 가능성을 제거할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 EFEM, 제2 로봇 및 얼라이너를 설명하기 위한 확대도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 이송 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 EFEM, 제2 로봇 및 얼라이너를 설명하기 위한 확대도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 웨이퍼 이송 장치(100)는 스토커(110), EFEM(120), 제1 로봇(130), 제2 로봇(140), 얼라이너(150), OHT(160) 및 컨베이어(170)를 포함한다.
스토커(110)는 다수의 FOSB(10)들을 저장한다. 즉, 스토커(110)는 각 공정 장치의 처리 능력과 처리 시간의 차이 등에 의해 발생하는 버퍼링(buffering) 문제를 해소하기 위해, 웨이퍼(30)들이 적재된 FOSB(10)를 다른 반도체 제조 공정 장치로 이송하기 전에 임시로 보관한다. 스토커(110)는 대략 직육면체 형상을 가질 수 있다.
스토커(110)는 선반(112), 제1 포트(114) 및 제2 포트를 포함한다.
선반(112)은 FOSB(10)들을 실제적으로 보관하는 장소이다. 선반(112)은 복수개의 셀(cell)로 구획될 수 있으며, 각 셀은 1개의 FOSB(10)를 보관할 수 있다. 여기서, 선반(112)은 다층 형태로 설치될 수 있다.
제1 포트(114)는 스토커(110)의 일측에 구비되며, 웨이퍼(30)들이 적재된 FOSB(10)들이 스토커(110)로 투입되는 통로이다. 제2 포트(116)는 스토커(110)의 일측에 구비되며, 빈 FOSB(10)들이 스토커(110)로부터 배출되는 통로이다. 예를 들면, 제1 포트(114) 및 제2 포트(116)는 스토커(110)로부터 돌출되도록 배치되거나, 스토커(110)의 선반(112)들 사이에 배치될 수 있다.
FOSB(10)들은 무인 반송 대차 라인을 따라 주행하는 무인 반송 대차(미도시)에 의해 제1 포트(114)로 투입되거나, 제2 포트(116)로부터 배출될 수 있다.
제1 포트(114) 및 제2 포트(116)는 서로 인접하도록 배치되어 하나의 무인 반송 대차에 의해 FOSB(10)들이 투입 및 배출될 수 있다. 제1 포트(114) 및 제2 포트(116)는 서로 이격되거나 스토커(110)의 다른 측면에 배치되어 서로 다른 무인 반송 대차들에 의해 FOSB(10)들이 투입 및 배출될 수 있다.
한편, 제1 포트(114) 및 제2 포트(116)가 통합되어 하나의 포트에서 FOSB(10)들의 투입 및 배출이 이루어질 수도 있다.
스토커(110)는 제1 리더(118)를 더 포함할 수 있다. 제1 리더(118)는 스토커(110), 구체적으로, 제1 포트(114)에 구비될 수 있다. 제1 리더(118)는 제1 포트(114)를 통해 투입되는 FOSB(10)에 부착된 코드를 인식하여 FOSB(10)에 대한 정보를 획득한다. 상기 정보는 FOSB(10)에 적재된 웨이퍼(30)에 대한 정보일 수 있다.
상기 코드는 바코드 또는 RF 태그일 수 있으며, 제1 리더(118)는 바코드 리더 또는 RF 리더일 수 있다.
EFEM(120)은 스토커(110)와 인접하도록 배치된다. EFEM(120)은 팬 필터 유닛을 이용하여 하강 기류를 형성함으로써 내부를 청정 상태로 유지한다.
또한, EFEM(120)은 제1 로드 포트(122) 및 제2 로드 포트(124)를 포함한다.
제1 로드 포트(122)는 EFEM(120)의 일측면에 구비될 수 있다. 이때, 제1 로드 포트(122)는 스토커(110)의 내부에 위치할 수도 있다.
제1 로드 포트(112)는 웨이퍼(30)들이 적재된 FOSB(10)을 지지한다. 또한, 제1 로드 포트(112)는 제1 도어 오픈 유닛(미도시) 및 매핑 센서(미도시)를 포함한다.
상기 제1 도어 오픈 유닛은 제1 로드 포트(112)에 안착된 FOSB(10)의 도어를 개폐시킨다. 상기 매핑 센서는 상기 도어가 개방된 FOSB(10)에서 웨이퍼(30)의 유무 및 위치를 확인한다.
제2 로드 포트(124)는 제1 로드 포트(122)가 구비된 일측면과 다른 측면에 구비될 수 있다. 제2 로드 포트(114)는 빈 FOUP(20)을 지지한다.
또한, 제2 로드 포트(114)는 FOUP(20)의 도어를 개폐시키기 위한 제2 도어 오픈 유닛(미도시)을 포함한다.
EFEM(120)은 제2 리더(126)를 더 포함할 수 있다. 제2 리더(126)는 EFEM(120), 구체적으로, 제2 로드 포트(124)에 구비될 수 있다. 제2 리더(126)는 제2 로드 포트(124)에 안착된 FOUP(20)에 부착된 코드를 인식하여 FOUP(20)에 정보를 획득한다.
상기 코드는 바코드 또는 RF 태그일 수 있으며, 제2 리더(126)는 바코드 리더 또는 RF 리더일 수 있다.
제1 로봇(130)은 스토커(110) 내부에서 FOSB(10)들을 이송한다. 예를 들면, 제1 로봇(130)은 스토커(110)의 장방향을 따라 이동할 수 있다.
제1 로봇(130)은 선반(112)과 제1 포트(114) 및 제2 포트(116) 사이에서 FOSB(10)를 이송한다. 구체적으로, 제1 로봇(130)은 제1 포트(114)로부터 웨이퍼(30)가 적재된 FOSB(10)를 선반(112)으로 이송하고, 선반(112)으로부터 빈 FOSB(10)를 제2 포트(116)로 이송한다.
제1 로봇(130)은 선반(112)과 제1 로드 포트(122) 사이에서 FOSB(10)를 이송한다. 구체적으로, 제1 로봇(130)은 선반(112)으로부터 웨이퍼(30)가 적재된 FOSB(10)를 제1 로드 포트(122)로 이송하고, 제1 로드 포트(122)로부터 빈 FOSB(10)를 선반(112)으로 이송한다.
제2 로봇(140)은 EFEM(120)의 내부에 구비되며, 웨이퍼(30)를 이송한다. 구체적으로, 제2 로봇(140)은 제1 로드 포트(122)의 FOSB(10)에 적재된 웨이퍼(30)들을 인출하여 제2 로드 포트(124)의 FOUP(20)의 내부에 적재한다.
제2 로봇(140)은 FOSB(10)에 적재된 웨이퍼(30)들을 FOUP(20)으로 바로 이송할 수 있지만, FOSB(10)에 적재된 웨이퍼(30)들을 EFEM(120)의 내부에 구비된 얼라이너(150)에서 정렬한 후 FOUP(20)으로 이송할 수도 있다.
얼라이너(150)는 EFEM(120)의 내부에 구비되며, FOSB(10)로부터 인출된 웨이퍼(30)를 정렬한다. 구체적으로, 얼라이너(150)는 웨이퍼(30)를 지지한 상태로 회전시키면서 센서로 웨이퍼(30)의 플랫존 또는 노치를 감지함으로써 웨이퍼(30)를 정렬한다.
웨이퍼(30)는 얼라이너(150)에 의해 정렬된 후 제2 로봇(140)에 의해 FOUP(20)으로 이송되므로, FOUP(20)에는 웨이퍼(30)들이 정렬된 상태로 적재될 수 있다. 그러므로, 웨이퍼(30)들에 대한 후속 공정시 별도로 웨이퍼(30)들을 정렬할 필요가 없다.
한편, 얼라이너(150)는 제3 리더(152)를 더 포함할 수 있다. 제3 리더(152)는 얼라이너(150)의 상방에 배치될 수 있다. 제3 리더(152)는 얼라이너(150)에서 정렬된 웨이퍼(30)의 식별 마크를 인식한다. 따라서, 각 웨이퍼(30)에 대한 정보를 획득할 수 있다.
상기 식별 마크는 숫자 및 문자로 이루어질 수 있으며, 제3 리더(152)는 OCR RF 리더일 수 있다.
OHT(160)는 제2 로드 포트(124)의 상방을 지나도록 구비되며, FOUP(20)을 이송한다. 구체적으로, OHT(160)는 빈 FOUP(20)을 제2 로드 포트(124)로 로딩하고, 웨이퍼(30)가 적재된 FOUP(20)을 제2 로드 포트(124)로부터 언로딩한다. 또한, OHT(160)는 웨이퍼(30)가 적재된 FOUP(20)을 다른 공정 장치로 이송한다.
스토커(110) 및 EFEM(120)이 다수 구비되는 경우, 컨베이어(170)는 스토커(110)들 사이에 배치되어 FOSB(10)를 하나의 스토커(110)에서 다른 스토커(110)로 이송한다.
어느 하나의 스토커(110)와 인접한 EFEM(120) 내부에 구비된 제2 로봇(140)이나 얼라이너(150)가 고장나는 경우, 스토커(110)에 저장된 FOSB(10)의 웨이퍼(30)를 정렬된 상태로 FOUP(20)으로 이송하기 어렵다. 이 경우, 스토커(110)에 저장된 FOSB(10)를 컨베이어(170)를 이용하여 다른 스토커(110)로 이송할 수 있다. 따라서, 정상 상태의 제2 로봇(140)이나 얼라이너(150)를 이용하여 FOSB(10)에 적재된 웨이퍼(30)를 정렬된 상태로 FOUP(20)으로 이송할 수 있다.
이하에서는 웨이퍼 이송 장치(100)를 이용한 웨이퍼 이송 방법에 대해 간단하게 설명한다.
먼저, 무인 반송 대차를 이용하여 웨이퍼(30)가 적재된 FOSB(10)를 스토커(110)의 제1 포트(114)로 투입한다. 제1 리더(118)는 제1 포트(114)로 투입된 FOSB(10)에 부착된 코드를 인식하여 FOSB(10)에 대한 정보를 획득한다.
다음으로, 제1 로봇(130)은 제1 포트(114)로부터 웨이퍼(30)가 적재된 FOSB(10)를 선반(112)으로 이송한다. 또한, 제1 로봇(130)은 선반(112)으로부터 웨이퍼(30)가 적재된 FOSB(10)를 제1 로드 포트(122)로 이송한다.
한편, OHT(160)가 빈 FOUP(20)을 제2 로드 포트(124)로 로딩한다.
웨이퍼(30)가 적재된 FOSB(10)가 제1 로드 포트(122)에 로딩되면, 제1 도어 오픈 유닛이 제1 로드 포트(122)에 안착된 FOSB(10)의 도어를 개방시키면서 매핑 센서로 FOSB(10)에서 웨이퍼(30)의 유무 및 위치를 확인한다.
또한, 빈 FOUP(20)이 제2 로드 포트(124)에 안착되면, 제2 리더(126)가 FOUP(20)에 부착된 코드를 인식하여 FOUP(20)에 정보를 획득하고, 제2 도어 오픈 유닛이 제2 로드 포트(124)에 안착된 FOUP(20)의 도어를 개방시킨다.
이후, 제2 로봇(140)이 FOSB(10)에 적재된 웨이퍼(30)들을 얼라이너(150)로 이송하여 정렬한 후 FOUP(20)으로 이송한다. 얼라이너(150)는 웨이퍼(30)를 지지한 상태로 회전시키면서 센서로 웨이퍼(30)의 플랫존 또는 노치를 감지함으로써 웨이퍼(30)를 정렬한다. 이때, 제3 리더(152)는 얼라이너(150)에서 정렬된 웨이퍼(30)의 식별 마크를 인식하여 각 웨이퍼(30)에 대한 정보를 획득할 수 있다.
웨이퍼(30)들의 이송이 완료되면, 상기 제1 도어 오프 유닛은 FOSB(10)의 도어를 차단하고, 상기 제2 도어 오픈 유닛은 FOUP(20)의 도어를 차단한다.
FOUP(20)의 도어가 차단되면, OHT(160)가 웨이퍼(30)가 적재된 FOUP(20)을 후속 공정 장치로 이송한다.
한편, FOSB(10)의 도어가 차단되면, 제1 로봇(130)은 제1 로드 포트(122)로부터 빈 FOSB(10)를 선반(112)으로 이송한다. 또한, 선반(112)으로부터 빈 FOSB(10)를 제2 포트(116)로 이송한다. 이후, 무인 반송 대차를 이용하여 빈 FOSB(10)를 스토커(110)의 제2 포트(116)를 통해 배출한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치는 FOSB의 로딩 및 언로딩, FOUP의 로딩 및 언로딩, 웨이퍼 이송 및 정렬을 작업자 없이 자동으로 수행할 수 있다. 따라서, 상기 웨이퍼의 이송 공정을 자동화하여 노동력을 절감할 수 있다.
또한, 상기 스토커가 다수의 FOSB들을 저장할 수 있으므로, 반도체 제조 공정 장치의 처리 능력과 처리 시간의 차이 등에 의해 발생하는 버퍼링(buffering) 문제를 해소할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 웨이퍼 이송 장치 110 : 스토커
120 : EFEM 130 : 제1 로봇
140 : 제2 로봇 150 : 얼라이너
160 ; OHT 170 : 컨베이어
10 : FOSB 20 : FOUP
30 : 웨이퍼

Claims (6)

  1. FOSB(Front Opening Shipping Box)를 다수 저장하는 스토커(Stocker);
    상기 스토커와 인접하도록 구비되며, 상기 FOSB가 놓여지는 제1 로드 포트 및 FOUP(Front Open Unified Pod)이 놓여지는 제2 로드 포트를 갖는 EFEM(Equipment Front End Module);
    상기 스토커에 구비되며, 웨이퍼들이 적재된 FOSB를 상기 제1 로드 포트에 로딩하거나, 상기 제1 로드 포트로부터 빈 FOSB를 언로딩하는 제1 로봇; 및
    상기 EFEM의 내부에 구비되며, 상기 제1 로드 포트에 안착된 FOSB로부터 상기 웨이퍼를 인출하여 상기 제2 로드 포트에 안착된 FOUP에 적재하는 제2 로봇을 포함하고,
    상기 스토커는 상기 웨이퍼들이 적재된 FOSB가 투입되는 제1 포트, 상기 빈 FOSB가 배출되는 제2 포트 및, 상기 FOSB들이 놓여지는 선반을 포함하고,
    상기 제1 로봇은 상기 제1 포트 및 제2 포트와 상기 선반 사이 및 상기 선반과 상기 제1 로드 포트 사이에서 상기 FOSB를 이송하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 제2 로드 포트로 빈 FOUP을 로딩하거나, 상기 제2 로드 포트로부터 상기 웨이퍼가 적재된 FOUP을 언로딩하는 OHT(Overhead Hoist Transport)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 EFEM의 내부에는 상기 FOSB로부터 인출된 웨이퍼를 정렬하기 위한 얼라이너를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 스토커에 구비되며, 상기 FOSB에 대한 정보를 획득하기 위해 상기 FOSB에 부착된 코드를 인식하는 제1 리더;
    상기 EFEM에 구비되며, 상기 FOUP에 대한 정보를 획득하기 위해 FOUP에 부착된 코드를 인식하는 제2 리더; 및
    상기 얼라이너의 상방에 구비되며, 상기 얼라이너에서 정렬되는 웨이퍼의 식별 마크를 인식하는 제3 리더를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 EFEM 및 상기 스토커가 다수 구비되는 경우, 상기 스토커들 사이에 구비되며, 상기 FOSB를 하나의 스토커에서 다른 스토커로 이송하기 위한 컨베이어를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
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