JP2015076472A - 薬液容器交換装置、容器載置モジュール及び薬液容器の交換方法 - Google Patents
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Abstract
Description
しかしながらこれらの特許文献のいずれにおいてもテーブルや設置区画に配置されている使用済みの容器と新しい容器とを交換する際に、液の変質やパーティクルの混入を抑制する技術は言及されていない。
前記容器配置部に配置されている薬液容器に対して、前記薬液供給路の基端側を着脱する着脱機構と、
基板に対して液処理を行うための薬液が貯留されている新たな薬液容器を搬入し、使用済みの薬液容器を搬出するための搬入出ポートと、
前記容器配置部から使用済みの薬液容器を前記搬入出ポートに搬送し、搬入出ポートから新たな薬液容器を前記容器配置部に搬送する容器搬送機構と、を備えたことを特徴とする。
(a)前記薬液供給路が取り外された後の使用済みの薬液容器の薬液取り出し口を蓋部により閉じ、新たな薬液容器の蓋部を取り外して薬液取り出し口を開く蓋部開閉機構を備えたこと。この蓋部開閉機構は、薬液配置部に配置された薬液容器に対して蓋部の開閉を行うように設けられていること。
(b)前記容器配置部及び容器搬送機構の搬送領域は、外部雰囲気から区画されていること。このとき、前記外部から区画された空間に清浄気体を供給する気体供給部を備えたこと。また、前記外部から区画された空間に不活性ガスを供給するための不活性ガス供給部を備えたこと。
(c)前記容器配置部は、複数の薬液容器を横方向に並べることが可能な棚段が上下方向に複数段、積み重ねられた容器棚として構成されていること。または、前記容器配置部は、薬液容器が配置される複数の配置領域を横方向に並べて構成され、前記容器配置部と、前記薬液供給路を介して送られた薬液を基板に供給して液処理を行う液処理モジュールを備えた処理ブロックとが積み重ねて配置されていること。
(d)前記容器配置部には、予め設定された複数の配置位置に種類の異なる薬液を貯溜した薬液容器が対応付けて配置され、前記搬入出ポートに搬入された薬液容器に貯留されている薬液の種類を識別する識別情報を取得する取得部と、前記容器搬送機構を制御する搬送制御部と、を備え、前記搬送制御部は、前記取得部にて取得された識別情報が示す薬液の種類が、前記搬入出ポートに搬入された薬液容器の搬送先の配置位置に対応付けられている薬液の種類と一致している場合に、当該配置位置へ薬液容器を搬送すること。
(e)前記薬液供給路は、基板にレジストを塗布するレジスト塗布モジュールと、露光後の基板に対して現像液を供給する現像モジュールとに接続され、前記複数の容器載置部には、レジスト液または現像液を貯溜した薬液容器が載置されること。
薬液ブロックD2には、外部から搬入された薬液容器50がトレー50に収容された状態で載置されるトレー載置台69と、各液処理モジュールへ薬液を供給するために薬液容器50が配置される容器配置部を構成する複数の容器載置モジュール6と、これらトレー載置台69と各容器載置モジュール6との間で薬液容器50を搬送する容器搬送機構7と、を備えている。
トレー載置台69や容器搬入出口64a、容器搬入出路64bは、本実施の形態の搬入出ポートを構成している。
ここで薬液の種類を識別する識別情報を取得する手法は、バーコード502とバーコードリーダ81との組み合わせに限られるものではない。ICタグを薬液容器50やトレー51に設け、このICタグと通信を行って識別情報を取得する通信部をトレー載置台69の近傍に配置してもよい。
開閉部621は、薬液容器50を密封する蓋部501の外周面に密着して嵌合する開口を備えた部材であり、前記開口を下方側へ向けて支持アーム622の先端部に保持されている。開閉部621は、支持アーム622内に設けられた不図示の駆動機構により、蓋部501を開ける方向と、閉じる方向とに、鉛直軸周りに回転自在に構成されている。
また、薬液容器50の開口を密閉せずに、当該開口から周囲の気体を取り込んで薬液容器50内の圧力を維持する場合には、容器載置モジュール6の前面に開閉扉(シャッタ)を設けて容器載置モジュール6内を密閉可能とし、この区画内に不活性ガスを供給しながら薬液を払い出してもよい。
また、移動レール752の伸びる方向に沿って横方向に移動する昇降レール751との干渉を避けるため、ウエハ搬送路65には昇降レール751を通過させるための切り欠き部651が設けられている(図3)。切り欠き部651の幅は、昇降レール751を通過させることが可能であり、且つ、薬液ブロックD2内、ウエハ搬送路65内の各々の雰囲気が混じり合うことによって、既述の薬液成分やシャトルアーム66にて発生したパーティクルによる汚染が問題とならない程度に十分に狭くなっている。また、これらの雰囲気の混じり合いが発生しにくくなるように、切り欠き部651を形成するウエハ搬送路65の切り欠き面の一方側から、他方側へ向けて清浄空気を流してエアカーテンを形成してもよい。
ウエハWは、キャリアCからロット毎に1枚ずつ搬出され、搬送アーム23により、ウエハ搬送路65内のシャトルアーム66に受け渡され、当該ウエハ搬送路65内を搬送された後、前記受け渡しモジュールTRS0に載置される。受け渡しモジュールTRS0のウエハWは、受け渡しアーム32により、受け渡しモジュールTRS1、TRS2を介してBCT層B1、B2に振り分けられる。
COT層B3、B4内に搬入されたウエハWは、レジスト膜形成モジュール→加熱モジュール→保護膜形成モジュールITC→加熱モジュール→タワーT2の受け渡しモジュールTRSの順に搬送されつつ処理が行われる。
DEV層B5、B6に搬入されたウエハWは、加熱モジュール→現像モジュール→加熱モジュール→タワーT1の受け渡しモジュールTRSの順に搬送されつつ処理が行われ、キャリアブロックD1との受け渡し用の受け渡しモジュールTRS0に移載された後、シャトルアーム66によってウエハ搬送路65内を搬送され、搬送アーム23に受け渡されてキャリアCに戻される。
図4に示すように容器棚60の各容器載置モジュール6には薬液容器50が配置され、各液処理モジュール33と接続された薬液容器50から、液処理の進行状況に応じて薬液が供給されている(スタート)。この際、各容器載置モジュール6における薬液容器50の薬液の液面などを監視し、使用済みの薬液容器50があるか否かを検知する(ステップS101)、使用済みの薬液容器50がなければそのまま監視を継続する(ステップS101;NO)。
この期間中、塗布、現像装置1は、新しい薬液容器50の搬入を待ち(ステップS103)、新しい薬液容器50の搬入が検知されるまで待ち状態を継続する(ステップS103;NO)。
以上の動作により、使用済みとなった薬液容器50が、新たな薬液容器50と交換されたら、新たな使用済みの薬液容器50があるか否かの監視を継続する(ステップS101)。
ウエハ搬送路65を設けることにより、薬液ブロックD2内の雰囲気と区画された空間を介してウエハWの搬送を行う場合には、図3、図4に示した例の他、処理ブロックD3におけるタワーT1や受け渡しアーム32の配置領域と、単位ブロックB1〜B6が積層されている領域との間(図13の薬液ブロックD2a)、処理ブロックD3とインターフェイスブロックD4との間(同図の薬液ブロックD2b)、インターフェイスブロックD4と露光装置D5との間(同図の薬液ブロックD2c)にも薬液ブロックD2a〜D2cを配置することができる。例えば図14には、処理ブロックD3とインターフェイスブロックD4との間に薬液ブロックD2aを配置した例を示してある。
図18、図19に示すように、本例では5個の容器載置モジュール6(配置領域)が横方向に1列に並べられ、これらの列を4列配置することにより、合計20個の薬液容器50を収容可能な容器配置部が構成されている。図18に示すように容器載置モジュール6の列は、容器搬送機構7cが移動するための間隔を開けて配置されており、これらの列の間には容器搬送機構7cの移動経路を成す走行レール76がU字状に配置されている。
また、フランジ部513の各側面に沿って8つの貫通孔514を設けることにより、トレー51aのいずれの方向からもアーム722aを挿入できる。この結果、薬液ブロックD2への搬入時に一定の方向にトレー51aの向きを揃えなくても容器搬送機構7、7a〜7cへのトレー51aの受け渡しが可能となる。
さらに容器搬送機構7は、複数の薬液容器50を同時に搬送する機能を備えていなくてもよい。この場合は、交換が行われる容器載置モジュール6から使用済みの薬液容器50を取り出してトレー載置台69に搬送し、この薬液容器50が搬出された後、新しい薬液容器50を受け取って使用済みの薬液容器50が取り出された容器載置モジュール6に搬送すればよい。
D2、D2a〜D2f
薬液ブロック
1、1a〜1d
塗布、現像装置
33 液処理モジュール
336 薬液ノズル
338 薬液供給路
50 薬液容器
501 蓋部
502 バーコード
51、51a
トレー
6 薬液配置モジュール
60 容器棚
61 ノズル着脱機構
611 吸引ノズル
62 蓋部開閉機構
63 不活性ガス供給部
64a 容器搬入出口
64b 容器搬入出路
65 ウエハ搬送路
67 ファンフィルタユニット(FFU)
69 トレー載置台
7、7a〜7c
容器搬送機構
8 制御部
81 バーコードリーダ
Claims (12)
- 各々薬液供給路の基端側が装着された複数の薬液容器が配置される容器配置部と、
前記容器配置部に配置されている薬液容器に対して、前記薬液供給路の基端側を着脱する着脱機構と、
基板に対して液処理を行うための薬液が貯留されている新たな薬液容器を搬入し、使用済みの薬液容器を搬出するための搬入出ポートと、
前記容器配置部から使用済みの薬液容器を前記搬入出ポートに搬送し、搬入出ポートから新たな薬液容器を前記容器配置部に搬送する容器搬送機構と、を備えたことを特徴とする薬液容器交換装置。 - 前記薬液供給路が取り外された後の使用済みの薬液容器の薬液取り出し口を蓋部により閉じ、新たな薬液容器の蓋部を取り外して薬液取り出し口を開く蓋部開閉機構を備えたことを特徴とする請求項1に記載の薬液容器交換装置。
- 前記蓋部開閉機構は、薬液配置部に配置された薬液容器に対して蓋部の開閉を行うように設けられていることを特徴とする請求項2に記載の薬液容器交換装置。
- 前記容器配置部及び容器搬送機構の搬送領域は、外部雰囲気から区画されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載の薬液容器交換装置。
- 前記外部から区画された空間に清浄気体を供給する気体供給部を備えたことを特徴とする請求項4に記載の薬液容器交換装置。
- 前記外部から区画された空間に不活性ガスを供給するための不活性ガス供給部を備えたことを特徴とする請求項4または5に記載の薬液容器交換装置。
- 前記容器配置部は、複数の薬液容器を横方向に並べることが可能な棚段が上下方向に複数段、積み重ねられた容器棚として構成されていることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか一つに記載の薬液容器交換装置。
- 前記容器配置部は、薬液容器が配置される複数の配置領域を横方向に並べて構成され、前記容器配置部と、前記薬液供給路を介して送られた薬液を基板に供給して液処理を行う液処理モジュールを備えた処理ブロックとが積み重ねて配置されていることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか一つに記載の薬液容器交換装置。
- 前記容器配置部には、予め設定された複数の配置位置に種類の異なる薬液を貯溜した薬液容器が対応付けて配置され、
前記搬入出ポートに搬入された薬液容器に貯留されている薬液の種類を識別する識別情報を取得する取得部と、前記容器搬送機構を制御する搬送制御部と、を備え、
前記搬送制御部は、前記取得部にて取得された識別情報が示す薬液の種類が、前記搬入出ポートに搬入された薬液容器の搬送先の配置位置に対応付けられている薬液の種類と一致している場合に、当該配置位置へ薬液容器を搬送することを特徴とする請求項1ないし8のいずれか一つに記載の薬液容器交換装置。 - 前記薬液供給路は、基板にレジストを塗布するレジスト塗布モジュールと、露光後の基板に対して現像液を供給する現像モジュールとに接続され、前記複数の容器載置部には、レジスト液または現像液を貯溜した薬液容器が載置されることを特徴とする請求項1ないし9のいずれか一つに記載の薬液容器交換装置。
- 薬液供給路の基端側が装着された薬液容器が配置される容器載置モジュールであって、
前記容器載置モジュールに載置され、基板に対して液処理を行うための薬液が貯留されている前記薬液容器に対して、前記薬液供給路の基端側を着脱する着脱機構と、
前記容器載置モジュール内に清浄気体を供給する気体供給部と、を備えたことを特徴とする容器載置モジュール。 - 基板に対して液処理をおこなうための薬液を供給する薬液容器の交換方法であって、
使用済みの薬液容器に装着された薬液供給路の基端側を取り外す工程と、
前記薬液供給路の基端側を新たな薬液容器に取り付ける工程と、を含み、
前記取り外し工程と前記取り付け工程とを外部雰囲気から区画された空間にて行うことを特徴とする薬液容器の交換方法。
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