KR20090003227A - 웨이퍼용 보관고 및 그 보관 제어 방법 - Google Patents

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구니히사 미요시
도시타카 오노
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Abstract

반송 효율이나 수납 효율이 좋고, 진애의 영향을 방지하는 동시에, 보관중의 웨이퍼로부터 발생하는 가스에 의해서도 영향을 받는 경우가 없는 웨이퍼용 보관고 및 그 보관 제어 방법을 제공하는 것이다.
웨이퍼용 보관고는, 내부에 웨이퍼를 수납하는 보관용 카세트(11)와, 보관용 카세트(11)를 복수개 배치하는 수납선반(12A,12B)과, 수납선반(12A,12B)에 대향하여 배치되는 웨이퍼 반송부(20)를 보관고 본체(10)내에 구비하고, 반송용 카세트(15,16)를 보관고 본체(10)에 반입반출하는 입출고(17)를 가지며, 보관고 본체(10) 내에는 불활성 가스가 공급되고, 웨이퍼 반송부(20)에서는, 보관고 본체(10)내에 반입된 반송용 카세트(15,16)로부터 꺼낸 웨이퍼를 보관용 카세트(11)에 수납하고, 보관용 카세트(11)로부터 꺼낸 웨이퍼를 반송용 카세트(15,16)에 수납하는 것으로서, 보관용 카세트(11)에는 밀폐기능을 확보할 수 있는 문을 가지며, 웨이퍼의 보관용 카세트(11)내에의 반입시 및 보관용 카세트(11) 외부로의 반출시 이외에는, 문을 폐색하는 것을 특징으로 한다.

Description

웨이퍼용 보관고 및 그 보관 제어 방법{WAFER STORING CABINET AND STORAGE CONTROL METHOD THEREOF}
본 발명은, 반도체 웨이퍼, 액정 유리 기판, 자기 디스크 등의 정밀 기판을, 특히 제조 단계에서 일시적으로 보관하기 위한 웨이퍼용 보관고 및 그 보관 제어 방법에 관한 것이다.
클린룸내의 보관 설비에 있어서, 반입출장치의 짐출입기구를 승강시키는 부분에서 발생하는 진애가 수납선반으로 이행하는 것을 방지하기 위해서, 수납선반의 앞면을 개방하여 후면측에 필터를 배치하고, 이 필터를 통해서 각 구획 수납 공간내에 클린 에어를 공급하는 것이 제안되어 있다(특허 문헌 1).
또한, 웨이퍼용 보관고내에, 로봇 핸드를 가진 웨이퍼 반송부를 구비하고, 로봇 핸드로부터의 기체의 분출에 의해서 웨이퍼를 비접촉으로 유지하는 것이 있다. 이러한 종류의 웨이퍼 반송부를 구비하고 있는 경우에는, 분출하는 기체를 공급하기 위해서 에어 튜브를 웨이퍼용 보관고 내에 배치할 필요가 있다(특허 문헌 2).
특허 문헌 1 : 일본 특공평1-41561호 공보
특허 문헌 2 : 일본 특허 제2584144호 공보
[해결하고자 하는 과제]
그러나, 특히 반도체 웨이퍼 등에서는, 그 제조 공정의 단계나 종류에 따라서 웨이퍼 자체로부터 다른 가스가 발생한다.
이러한 가스는, 보관중인 다른 웨이퍼에 영향을 미치게 되는 경우도 있다.
한편, 현재 반송용 카세트를 그대로 수납하는 타입이 있다. 이 경우에는, 반송용 카세트 자체에, 웨이퍼로부터 발생하는 가스를 제거하기 위해서, 퍼지 기능을 갖고 있다.
그러나 이러한 타입의 수납에서는, 반송용 카세트를 그대로 수납하기 때문에, 하나의 반송용 카세트에 1매의 웨이퍼 밖에 수납하고 있지 않은 경우도 있어서, 반송 효율 및 수납 효율이 나빠진다고 하는 문제를 안고 있다.
또한, 에어 튜브를 웨이퍼용 보관고내에 배치하는 것이면, 에어 튜브를 고정할 수 없기 때문에 분진이 발생하고, 발생한 분진이 웨이퍼 반송부의 이동에 의해서 말려 들어가 웨이퍼를 오염해 버린다고 하는 문제를 안고 있다.
따라서 본 발명은, 반송 효율이나 수납 효율이 높고, 진애의 영향을 방지하는 동시에, 보관중인 웨이퍼로부터 발생하는 가스에 의해서도 영향을 받지 않는 웨이퍼용 보관고 및 그 보관 제어 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한 본 발명은, 웨이퍼 반송부의 이동에 따른 분진의 영향을 받지 않는 웨이퍼용 보관고 및 그 보관 제어 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
[과제를 해결하기 위한 수단]
청구항 1에 기재된 본 발명의 웨이퍼용 보관고는, 내부에 웨이퍼를 수납하는 보관용 카세트와, 상기 보관용 카세트를 복수개 배치하는 수납선반과, 상기 수납선반에 대향하여 배치되는 웨이퍼 반송부를 보관고 본체 내에 구비하고, 반송용 카세트를 상기 보관고 본체에 반입 반출하는 입출고를 가지며, 상기 보관고 본체 내에는 불활성 가스가 공급되고, 상기 웨이퍼 반송부에서는, 상기 보관고 본체 내에 반입된 상기 반송용 카세트로부터 꺼낸 상기 웨이퍼를 상기 보관용 카세트에 수납하고, 상기 보관용 카세트로부터 꺼낸 상기 웨이퍼를 상기 반송용 카세트에 수납하는 웨이퍼용 보관고로서, 상기 보관용 카세트에는 밀폐기능을 확보할 수 있는 문을 가지며, 상기 웨이퍼의 상기 보관용 카세트 내부에의 반입시 및 상기 보관용 카세트 외부에의 반출시 이외에는, 상기 문을 폐색하는 것을 특징으로 한다.
청구항 2에 기재된 본 발명은, 청구항 1에 기재된 웨이퍼용 보관고에 있어서, 상기 입출고에 반입되는 상기 반송용 카세트에 수납되어 있는 웨이퍼 정보를 입력하는 입력부와, 상기 입력부로 입력된 상기 웨이퍼 정보를 기억하는 웨이퍼 정보 기억부와, 상기 보관용 카세트에 관해서 적어도 어드레스와 빈 상황을 기억하는 보관용 카세트 정보 기억부와, 상기 반송용 카세트 내의 상기 웨이퍼를 수납하는 상기 보관용 카세트를 결정하여 상기 웨이퍼 반송부를 제어하는 제어부와, 상기 제어부에서 결정한 상기 웨이퍼 반송부에서의 동작 지시 정보를 기억하는 제어 정보 기억부와, 상기 제어 정보 기억부로부터 읽어낸 상기 동작 지시 정보를 상기 웨이퍼 반송부로 출력하는 출력부를 구비하고, 상기 제어부에서는, 상기 입력부에서 입력된 상기 웨이퍼 정보와 상기 보관용 카세트 정보 기억부에 기억된 정보로부터, 상기 반송용 카세트 내의 상기 웨이퍼를 수납하는 상기 보관용 카세트를 결정하는 것을 특징으로 한다.
청구항 3에 기재된 본 발명은, 청구항 1에 기재된 웨이퍼용 보관고에 있어서, 상기 웨이퍼 반송부에는, 상기 보관용 카세트의 상기 문을 개폐하는 문오프너와, 상기 웨이퍼를 이동하는 로봇 핸드를 가진 것을 특징으로 한다.
청구항 4에 기재된 본 발명은, 청구항 3에 기재된 웨이퍼용 보관고에 있어서, 상기 로봇 핸드의 윗면에는 복수의 기체 취출구를 가지며, 상기 웨이퍼 반송부에, 상기 기체 취출구에 기체를 공급하는 기체 공급 장치를 설치한 것을 특징으로 한다.
청구항 5에 기재된 본 발명은, 청구항 4에 기재된 웨이퍼용 보관고에 있어서, 상기 기체 공급 장치로서 기체 봄베를 이용하고, 상기 웨이퍼 반송부에는 상기 기체 봄베에 기체를 공급하는 에어 소켓을 설치하여, 상기 웨이퍼 반송부의 정지시에 상기 에어 소켓으로부터 기체를 공급하는 것을 특징으로 한다.
청구항 6에 기재된 본 발명은, 청구항 5에 기재된 웨이퍼용 보관고에 있어서, 상기 수납선반을 복수열 설치하고, 상기 에어 소켓과 접속되는 에어 플러그를, 각각의 열의 상기 수납선반에 대응시켜 복수개 설치한 것을 특징으로 한다.
청구항 7에 기재된 본 발명의 웨이퍼용 보관고의 보관 제어 방법은, 청구항 2에 기재된 웨이퍼용 보관고의 보관 제어 방법으로서, 상기 반송용 카세트를 상기 보관고 본체 내에 반입하는 공정과, 반입되는 상기 반송용 카세트에 수납된 상기 웨이퍼 정보로부터, 보관하는 상기 보관용 카세트를 상기 제어부에서 결정하는 공정과, 상기 반송용 카세트의 문을 개방하여, 상기 웨이퍼 반송부에서 상기 반송용 카세트 내의 상기 웨이퍼를 꺼내는 공정과, 상기 반송용 카세트의 상기 문을 폐색하는 동시에 상기 보관용 카세트의 상기 문을 개방하여, 상기 웨이퍼 반송부에서 상기 보관용 카세트 내에 상기 웨이퍼를 수납하는 공정과, 상기 보관용 카세트의 상기 문을 폐색하는 공정과, 상기 반송용 카세트를 상기 보관고 본체 내로부터 반출하는 공정을 가진 것을 특징으로 한다.
청구항 8에 기재된 본 발명의 웨이퍼용 보관고의 보관 제어 방법은, 청구항 2에 기재된 웨이퍼용 보관고의 보관 제어 방법으로서, 상기 반송용 카세트를 상기 보관고 본체 내에 반입하는 공정과, 반입되는 상기 반송용 카세트에 수납해야 할 상기 웨이퍼 정보로부터, 반출하는 상기 웨이퍼를 보관하고 있는 상기 보관용 카세트를 상기 제어부에서 결정하는 공정과, 상기 보관용 카세트의 상기 문을 개방하여, 상기 웨이퍼 반송부에서 상기 보관용 카세트 내의 상기 웨이퍼를 꺼내는 공정과, 상기 보관용 카세트의 상기 문을 폐색하는 동시에 상기 반송용 카세트의 문을 개방하여, 상기 웨이퍼 반송부에서 상기 반송용 카세트 내에 상기 웨이퍼를 수납하는 공정과, 상기 반송용 카세트의 상기 문을 폐색하는 공정과, 상기 반송용 카세트를 상기 보관고 본체내로부터 반출하는 공정을 가진 것을 특징으로 한다.
[발명의 효과]
본 발명에 의하면, 보관용 카세트마다 웨이퍼를 격리할 수 있고, 웨이퍼로부터 발생하는 가스에 의해서 다른 웨이퍼에 영향을 미치는 것을 방지할 수 있다.
[도 1] 본 발명의 하나의 실시예에 의한 웨이퍼용 보관고의 개념 평면도
[도 2] 동일 웨이퍼용 보관고의 개념 사시도
[도 3] 본 발명의 일실시예에 의한 웨이퍼 반송부의 로봇 핸드를 나타내는 일부 파단 평면도
[도 4] 동일 웨이퍼 반송부의 로봇 핸드를 나타내는 측단면도
[도 5] 동일 웨이퍼 반송부의 문오프너를 나타내는 일부 단면 측면도
[도 6] 동일 웨이퍼 반송부의 레일측의 구성을 나타내는 요부 단면도
[도 7] 본 실시예에 의한 보관용 카세트의 사시도
[도 8] 동일 보관용 카세트의 문을 개방한 상태를 나타내는 사시도
[도 9] 다른 실시예에 의한 보관용 카세트의 개념 사시도
[도 10] 또 다른 실시예에 의한 보관용 카세트의 개념 사시도
[부호의 설명]
10 보관고 본체 11 보관용 카세트
12A 수납선반 12B 수납선반
15 반송용 카세트 16 반송용 카세트
20 웨이퍼 반송부 21 로봇 핸드
21A 핸드부 21H 기체 취출구
21K 기체 공급 장치(기체 봄베) 23 에어 소켓
31 입력부 32 웨이퍼 정보 기억부
33 보관용 카세트 정보 기억부 34 제어부
35 제어 정보 기억부 36 출력부
본 발명의 제1 실시형태에 의한 웨이퍼용 보관고는, 보관용 카세트에는 밀폐기능을 확보할 수 있는 문을 가지며, 웨이퍼의 보관용 카세트 내부에의 반입시 및 보관용 카세트 외부에의 반출시 이외에는, 문을 폐색하는 것이다. 본 실시형태에 의하면, 불활성 가스가 공급되는 보관고 본체 내에, 밀폐 기능을 가진 보관용 카세트를 배치함으로써, 보관용 카세트마다 웨이퍼를 격리할 수 있어, 웨이퍼로부터 발생하는 가스에 의해서 다른 웨이퍼에 영향을 미치는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 제2 실시형태는, 제1 실시형태에 의한 웨이퍼용 보관고에 있어서, 입출고에 반입되는 반송용 카세트에 수납되어 있는 웨이퍼정보를 입력하는 입력부와, 입력부에서 입력된 웨이퍼 정보를 기억하는 웨이퍼 정보 기억부와, 보관용 카세트에 관해서 적어도 어드레스와 빈 상황을 기억하는 보관용 카세트 정보 기억부와, 반송용 카세트 내의 웨이퍼를 수납하는 보관용 카세트를 결정하여 웨이퍼 반송부를 제어하는 제어부와, 제어부에서 결정한 웨이퍼 반송부에서의 동작 지시 정보를 기억하는 제어 정보 기억부와, 제어 정보 기억부로부터 읽어낸 동작 지시 정보를 웨이퍼 반송부에 출력하는 출력부를 구비하고, 제어부에서는, 입력부에서 입력된 웨이퍼 정보와 보관용 카세트 정보 기억부에 기억된 정보로부터, 반송용 카세트내의 웨이퍼를 수납하는 보관용 카세트를 결정하는 것이다. 본 실시형태에 의하면, 웨이퍼의 종류나 제조 공정의 단계에 따라서, 수납하는 보관용 카세트를 선택할 수 있다.
본 발명의 제3 실시형태는, 제1 실시형태에 의한 웨이퍼용 보관고에 있어서, 웨이퍼 반송부에는, 보관용 카세트의 문을 개폐하는 문오프너와, 웨이퍼를 이동하는 로봇 핸드를 가진 것이다. 본 실시형태에 의하면, 로봇 핸드와 함께 문오프너를 웨이퍼 반송부에 설치하는 것에 의해, 보관용 카세트의 문의 개방 시간을 짧게 할 수 있다.
본 발명의 제4 실시형태는, 제3 실시형태에 의한 웨이퍼용 보관고에 있어서, 로봇 핸드의 윗면에는 복수의 기체 취출구를 가지며, 웨이퍼 반송부에, 기체 취출구에 기체를 공급하는 기체 공급 장치를 설치한 것이다. 본 실시형태에 의하면, 기체 부상(浮上)에 의해서 웨이퍼를 로봇 핸드에 접촉시키지 않고 반송할 수 있기 때문에, 웨이퍼의 오염을 방지할 수 있고, 웨이퍼 반송부에 설치한 기체 공급 장치로부터 기체 취출구에 기체를 공급하기 때문에, 기체를 공급하는 에어 호스를 끌고 다니는 경우 없이 웨이퍼 반송부에 기체를 공급할 수 있기 때문에, 웨이퍼 반송부가 이동하는 경우에 에어 호스에 의한 발진이 말려 드는 것을 방지할 수 있고, 웨이퍼가 분진에 의해 오염되는 경우가 없다.
본 발명의 제5 실시형태는, 제4 실시형태에 의한 웨이퍼용 보관고에 있어서, 상기 기체 공급 장치로서 기체 봄베를 이용하고, 웨이퍼 반송부에는 기체 봄베에 기체를 공급하는 에어 소켓을 설치하여, 상기 웨이퍼 반송부의 정지시에 상기 에어 소켓으로부터 기체를 공급하는 것이다. 본 실시형태에 의하면, 기체 봄베의 교체 작업을 실시하지 않고, 기체 봄베에 대해서 기체를 공급할 수 있다.
본 발명의 제6 실시형태는, 제5 실시형태에 의한 웨이퍼용 보관고에 있어서, 수납선반을 복수열 설치하고, 에어 소켓과 접속되는 에어 플러그를, 각각의 열의 수납선반에 대응시켜 복수개 설치한 것이다. 본 실시형태에 의하면, 웨이퍼 반송부의 수납선반의 열방향에의 동작 정지시, 즉, 수납선반에의 웨이퍼의 보관시 또는 수납선반으로부터 웨이퍼를 꺼낼 때에, 기체 봄베에 기체를 공급할 수 있으므로, 웨이퍼 반송부의 수납선반의 열방향에의 이동시에 필요한 기체를 기체 봄베에 보유하고 있으면 되기 때문에, 기체 봄베의 용량을 작게 할 수 있다. 또한, 복수의 위치에서 기체를 공급할 수 있기 때문에, 반송중에 기체 공급이 정지해 버릴 우려도 없고 확실한 동작을 행할 수 있다.
본 발명의 제7 실시형태는, 제2 실시형태에 의한 웨이퍼용 보관고의 보관 제어 방법으로서, 반송용 카세트를 보관고 본체 내에 반입하는 공정과, 반입되는 반송용 카세트에 수납된 웨이퍼 정보로부터, 보관하는 보관용 카세트를 제어부에서 결정하는 공정과, 반송용 카세트의 문을 개방하여, 웨이퍼 반송부에서 반송용 카세트내의 웨이퍼를 꺼내는 공정과, 반송용 카세트의 문을 폐색하는 동시에 보관용 카세트의 문을 개방하여, 웨이퍼 반송부에서 보관용 카세트 내에 웨이퍼를 수납하는 공정과, 보관용 카세트의 문을 폐색하는 공정과, 반송용 카세트를 보관고 본체 내로부터 반출하는 공정을 가진 것이다. 본 실시형태에 의하면, 보관용 카세트에 수납하는 단계에서의 진애나 웨이퍼로부터의 발생 가스의 영향을 줄일 수 있다.
본 발명의 제8 실시형태는, 제2 실시형태에 의한 웨이퍼용 보관고의 보관 제어 방법으로서, 반송용 카세트를 보관고 본체 내에 반입하는 공정과, 반입되는 반송용 카세트에 수납해야 할 웨이퍼 정보로부터, 반출하는 웨이퍼를 보관하고 있는 보관용 카세트를 제어부에서 결정하는 공정과, 보관용 카세트의 문을 개방하여, 웨이퍼 반송부에서 보관용 카세트내의 웨이퍼를 꺼내는 공정과, 보관용 카세트의 문을 폐색하는 동시에 반송용 카세트의 문을 개방하여, 웨이퍼 반송부에서 반송용 카세트 내에 웨이퍼를 수납하는 공정과, 반송용 카세트의 문을 폐색하는 공정과, 반송용 카세트를 보관고 본체 내로부터 반출하는 공정을 가진 것이다. 본 실시형태에 의하면, 보관용 카세트로부터 반출하는 단계에서의 진애나 웨이퍼로부터의 발생 가스의 영향을 줄일 수 있다.
[실시예 1]
이하, 본 발명의 실시예에 대해서, 도면과 함께 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 웨이퍼용 보관고의 개념 평면도, 도 2는 동일 웨이퍼용 보관고의 개념 사시도이다.
본 실시예에 의한 웨이퍼용 보관고는, 보관고 본체(10)내에, 내부에 웨이퍼를 수납하는 보관용 카세트(11)와, 보관용 카세트(11)를 복수개 배치하는 수납선반(12A,12B)과, 수납선반(12A,12B)에 대향하여 배치되는 이동 부재(14)와, 이 이동 부재(14)에 설치한 웨이퍼 반송부(20)를 구비하고 있다. 각각 복수열 설치된 수납선반(12A,12B)의 사이에는, 이동 부재(14)의 이동을 가능하게 하는 레일(13)을 배치하고 있다. 또한, 웨이퍼 반송부(20)는, 이동 부재(14)에 설치한 지지기둥을 따라서 미끄럼동작한다. 따라서, 웨이퍼 반송부(20)는, 이동 부재(14)와 함께 레일(13)을 따라서 이동을 행할 수 있는 동시에, 이동 부재(14)의 지지기둥을 따라서 미끄럼동작하는 것에 의해 이차원상의 이동을 행할 수 있다.
보관고 본체(10) 내에는 불활성 가스가 공급되고, 보관고 본체(10) 외부와는 차단된 밀폐 상태가 확보되고 있다.
또한, 보관고 본체(10)는, 반송용 카세트(15,16)를 보관고 본체(10)에 반입 반출하는 입출고(17)를 가지고 있다. 예를 들면 반송용 카세트(15)에는, 보관해야 할 웨이퍼가 수납되어 있으며, 입출고(17) 내에 반입된 후에, 웨이퍼 반송부(20)에 의해서 웨이퍼가 꺼내지고, 이 웨이퍼는 보관용 카세트(11)에 수납된다. 반송용 카세트(15)는, 보관용 카세트(11)로 이동해야 할 웨이퍼를 모두 꺼낸 후에 입출고(17) 외부로 반출된다. 또한, 빈 반송용 카세트(16)는, 입출고(17)내에 반입된 후에, 웨이퍼 반송부(20)에 의해서 보관용 카세트(11)로부터 꺼내진 웨이퍼를 수납한다. 반송용 카세트(16)는, 보관용 카세트(11)로부터의 이동해야 할 웨이퍼를 모두 수납한 후에 입출고(17) 외부로 반출된다.
도시하지는 않지만, 보관용 카세트(11), 반송용 카세트(15,16)에는, 밀폐 기능을 확보할 수 있는 문을 구비하고 있다. 또한, 보관용 카세트(11), 반송용 카세트(15,16)는, 낱장으로 복수매의 웨이퍼를 수납하는 구성으로 되어 있다.
한편, 본 실시예에 의한 웨이퍼용 보관고는, 입출고(17)에 반입되는 반송용 카세트(15)에 수납되어 있는 웨이퍼 정보, 또는 반송용 카세트(16)에 수납하기 위한 웨이퍼 정보를 입력하는 입력부(31)와, 이 입력부(31)에서 입력된 웨이퍼 정보를 기억하는 웨이퍼 정보 기억부(32)와, 보관용 카세트(11)에 관해서 적어도 어드레스와 빈 상황을 기억하는 보관용 카세트 정보 기억부(33)와, 반송용 카세트(15)내의 웨이퍼를 수납하는 보관용 카세트(11)를 결정하거나, 또는 반송용 카세트(16) 내에 수납하는 웨이퍼를 보관하고 있는 보관용 카세트(11)를 결정하여 웨이퍼 반송부(20)를 제어하는 제어부(34)와, 제어부(34)에서 결정한 웨이퍼 반송부(20)에서의 동작 지시 정보를 기억하는 제어 정보 기억부(35)와, 제어 정보 기억부(35)로부터 읽어낸 동작 지시 정보를 웨이퍼 반송부(20)에 출력하는 출력부(36)를 구비하고 있다. 그리고, 제어부(34)에서는, 입력부(31)에서 입력된 웨이퍼정보와 보관용 카세트 정보 기억부(33)에 기억된 정보로부터, 반송용 카세트(15)내의 웨이퍼를 수납하는 보관용 카세트(11)를 결정한다. 또한, 제어부(34)에서는, 입력부(31)에서 입력된 웨이퍼 정보와 보관용 카세트 정보 기억부(33)에 기억된 정보로부터, 반송용 카세트(16)내에 수납하는 웨이퍼를 가진 보관용 카세트(11)를 결정한다.
한편, 2개의 레일(13)의 사이에는, 복수의 에어 플러그(19)가 설치되어 있다. 이들 에어 플러그(19)는, 이동 부재(14)의 정지 위치마다 설치하고 있다. 즉, 이들 에어 플러그(19)는, 각각의 열의 수납선반(12)에 대응시켜 복수개 설치하고 있다.
다음에, 본 실시예에 적합한 웨이퍼 반송부에 대하여 설명한다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 의한 웨이퍼 반송부의 로봇 핸드를 나타내는 일부 파단 평면도, 도 4는 동일 웨이퍼 반송부의 로봇 핸드를 나타내는 측단면도, 도 5는 동일 웨이퍼 반송부의 문오프너를 나타내는 일부 단면 측면도, 도 6은 동일 웨이퍼 반송부의 레일측의 구성을 나타내는 요부 단면도이다.
도면에 나타낸 바와 같이, 본 실시예에 의한 웨이퍼 반송부(20)는, 웨이퍼를 이동하는 로봇 핸드(21)와, 보관용 카세트(11)나 반송용 카세트(15,16)의 사이를 개폐하는 문오프너(22)를 구비하고 있다.
로봇 핸드(21)는, 웨이퍼를 얹어 놓는 핸드부(21A)와, 3개의 아암(21B,21C,21D)을 구비하고 있다. 아암(21B)은, 일단측에 핸드부(21A)를 유지하는 동시에, 타단측에서는 아암(21C)과 회동축(21E)으로 연결되어 있다. 아암(21C)은 일단측에 회동축(21E)을, 타단측에 회동축(21F)을 구비하고 있으며, 회동축(21F)에 의해서 아암(21D)과 연결되어 있다. 또한 아암(21D)은 일단측에 회동축(21F)을, 타단측에 회동축(21G)을 구비하고 있으며, 회동축(21G)에 의해서 웨이퍼 반송부(20)의 본체와 연결되어 있다. 각각의 아암(21B,21C,21D)은, 회동축(21E,21F,21G)에 의해서 회동하는 것에 의해, 핸드부(21A)의 방향과, 웨이퍼 반송부(20)의 본체로부터의 거리를 자유롭게 변경할 수 있도록 구성되어 있다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 핸드부(21A)의 윗면(웨이퍼를 얹어 놓는 면)에는, 복수의 기체 취출구(21H)와, 복수의 롤러(21L)를 구비하고 있다. 이 기체 취출구(21H)로부터 기체를 취출함으로써, 웨이퍼를 핸드부(21A)의 윗면에 접촉하지 않고 반송할 수 있다. 한편 웨이퍼는, 롤러(21L)에 의해서 위치 결정된다. 기체 취출구(21H)는, 도 4에 나타내는 튜브(21J)에 접속되고, 튜브(21J)는, 도 6에 나타내는 기체 공급 장치(기체 봄베)(21K)와 접속되고 있다. 기체 취출구(21H)로부터 분출시키는 기체는, 이 기체 봄베(21K)로부터 공급된다. 이와 같이, 이동 부재(14)에 설치한 기체 봄베(21K)로부터 기체 취출구(21H)에 기체를 공급하기 때문에, 웨이퍼 반송부(20)에 기체 공급용의 에어 호스를 접속할 필요가 없고, 특히 웨이퍼 반송부(20)가 이동하는 경우에 에어 호스에 의한 발진을 방지할 수 있다.
문오프너(22)는, 문에 흡착 또는 문을 끼워 지지하는 파지부(22A)와, 이 파지부(22A)의 웨이퍼 반송부(20)의 본체로부터의 거리를 변경하는 가동부(22B)를 구비하고 있다.
또한, 문오프너(22)는, 웨이퍼 반송부(20)의 본체의 대향하는 양측면에 설치하고 있으며, 한쪽의 문오프너(22)로, 도 1 또는 도 2에 나타낸 수납선반(12A)측에 배치된 보관용 카세트(11)의 문의 개폐를 행하고, 다른쪽의 문오프너(22)로, 도 1 또는 도 2에 나타낸 수납선반(12B)측에 배치된 보관용 카세트(11)의 문의 개폐를 행한다. 또한, 다른쪽의 문오프너(22)로, 반송용 카세트(15,16)의 문의 개폐를 행한다.
이동 부재(14)는, 레일(13)상을 이동할 수 있도록 설치하고 있다. 도 6에 나타낸 바와 같이, 레일(13)의 아래쪽에는, 기체 공급관(18)이 배치되고, 이 기체 공급관(18)에는 위쪽을 개구로 하는 에어 플러그(19)가 설치되어 있다. 한편, 웨이퍼 반송부(20)에는, 기체 봄베(21K)에 튜브를 통하여 연접되는 에어 소켓(23)이 설치되어 있다. 이 에어 소켓(23)은, 아래쪽을 개구로 하는 동시에 승강기구(24)에 의해서 상하이동할 수 있도록 설치되어 있다. 그리고, 이동 부재(14)가 주행 정지하는 타이밍으로, 승강기구(24)에 의해서 에어 소켓(23)을 강하시켜, 에어 소켓(23)과 에어 플러그(19)를 접속하여 압축 기체를 공급한다. 본 실시예와 같이 에어 소켓(23)과 에어 플러그(19)의 접속에 의해서 압축 기체를 공급함으로써, 기체 봄베(21K)의 교체 작업을 행하지 않고, 기체 봄베(21K)에 대해서 기체를 공급할 수 있다.
또한, 에어 플러그(19)는, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 레일(13)을 따라서 복수 설치되어 있으며, 각각의 에어 플러그(19)는, 이동 부재(14)의 정지 위치에 대응시켜 설치하고 있기 때문에, 이동 부재(14)가 정지하고, 웨이퍼 반송부(20)가 동작중에 기체 봄베(21)에 압축기체를 공급할 수 있다.
본 실시예에서는, 상기와 같이 에어 호스를 갖지 않기 때문에, 이동 부재(14)의 주행에 따른 에어 호스로부터의 분진 발생을 대폭 억제할 수 있다.
또한, 이동 부재(14)가 정지하고, 웨이퍼 반송부(20)가 동작중에 기체 봄베(21)에 압축 기체를 공급하기 때문에, 압축 기체를 공급하기 위해서일 때만 이동 부재(14)를 정지시키는 불필요한 대기 시간의 발생이 없다.
또한, 에어 플러그(19)를, 이동 부재(14)의 정지 위치 모든 위치, 또는 필요한 부분에 설치함으로써, 웨이퍼 반송부(20)가 동작중일 때에는, 반드시 에어 소켓(23)과 에어 플러그(19)를 접속하여 압축 기체를 공급하고 있기 때문에, 기체 봄베(21K)의 기체 잔량을 신경쓰지 않고, 웨이퍼 반송부(20)의 동작을 행하게 할 수 있다. 따라서, 이렇게 이동 부재(14)의 정지 위치 모든 위치에 에어 플러그(19)를 설치함으로써, 기체 봄베(21K)를 생략할 수도 있다. 이 경우에, 이동 부재(14)가 이동중에 웨이퍼를 로봇 핸드(21)에 비접촉으로 유지하기 위해서는, 기체 봄베(21K)를 구비하고 있는 것이 바람직하다. 한편, 에어 플러그(19)는, 매회 또는 빈번히 정지하는 위치(예를 들면 입출고구)에만 플러그를 설치해 두는 것도 유효하다.
다음에 본 실시예에 의한 웨이퍼용 보관고의 보관 제어 방법에 대하여 설명 한다.
웨이퍼용 보관고에의 웨이퍼의 보관은, 이하의 공정에 의해서 행한다.
먼저, 반송용 카세트(15)를 입출고(17)로부터 보관고 본체(10)내에 반입한다. 반입되는 반송용 카세트(15)에는, 수납된 웨이퍼 정보가, 라벨 또는 바코드에 표시되거나 또는 IC나 자기 부분에 기억되어 있다. 그리고, 반송용 카세트(15)를 보관고 본체(10) 내에 반입하는 전후에 있어서, 반송용 카세트(15)에 표시 또는 기억된 웨이퍼 정보가 입력부(31)로부터 입력된다. 한편, 웨이퍼 정보는, 반드시 반송용 카세트(15)에 표시 또는 기억되어 있지 않아도 좋고, 반송용 카세트(15)를 보관고 본체(10)내에 반입하는 시간적 관련성을 취함으로써 정보 통신망으로부터 수신하는 것이어도 좋다.
그리고, 웨이퍼 정보와 보관용 카세트 정보 기억부(33)에 기억되어 있는 보관용 카세트(11)에 관한 정보로부터, 보관하는 보관용 카세트(11)를 제어부(34)로 결정한다. 여기서, 보관용 카세트(11)에 관한 정보로서는, 적어도 보관용 카세트(11)의 위치를 구별하는 어드레스와 빈 상황 또는 수납 상황에 관한 데이터를 가지고 있다. 또한, 이미 일부에도 웨이퍼를 수납하고 있는 경우에는, 이 웨이퍼에 관한 정보도 가지고 있는 것이 바람직하다. 수납이 완료된 웨이퍼에 관한 정보를 파악함으로써, 동종의 웨이퍼, 또는 제조 공정의 단계가 동일한 웨이퍼를 동일한 보관용 카세트(11)에 수납할 수 있다. 또한, 다른 것에의 영향이 큰 가스 발생을 일으키는 단계의 웨이퍼를, 특정의 위치에 인접한 보관용 카세트(11)에 수납할 수도 있다.
보관하는 보관용 카세트(11)가 결정되면, 출력부(36)로부터 동작 지시 정보가 웨이퍼 반송부(20)에 출력되어, 웨이퍼 반송부(20)가 이동을 개시한다. 웨이퍼를 보관하는 경우에는, 반드시 웨이퍼를 반송용 카세트(15)로부터 꺼내는 동작이 되기 때문에, 보관하는 보관용 카세트(11)가 결정되기 전에 동작을 개시함으로써, 보관에 필요로 하는 시간을 단축할 수 있다.
웨이퍼 반송부(20)는, 문오프너(22)에 의해서 반송용 카세트(15)의 문을 개방하여, 로봇 핸드(21)로 반송용 카세트(15)내의 웨이퍼를 꺼낸다. 로봇 핸드(21)로 반송용 카세트(15)내의 웨이퍼를 꺼낸 후에, 문오프너(22)에 의해서 반송용 카세트(15)의 문을 폐색한다. 그 후, 웨이퍼 반송부(20)는, 결정된 보관용 카세트(11)을 향하여 이동을 행한다.
결정된 보관용 카세트(11)에 대향하는 위치에 웨이퍼 반송부(20)가 도달하면, 문오프너(22)에 의해서 보관용 카세트(11)의 문을 개방하여, 로봇 핸드(21)로 유지하고 있는 웨이퍼를 보관용 카세트(11)내에 수납한다. 로봇 핸드(21)로 보관용 카세트(11)내에 웨이퍼를 수납한 후에, 문오프너(22)에 의해서 보관용 카세트(11)의 문을 폐색한다.
하나의 반송용 카세트(15)내로부터 복수매의 웨이퍼를 보관하는 경우로서, 본 실시예와 같이 로봇 핸드(21)에 의해서 1매씩의 웨이퍼를 이동시키는 경우에는, 상기 동작을 필요한 횟수만큼 반복한다.
한편, 이동해야 할 웨이퍼를 모두 꺼내어, 문이 폐색된 반송용 카세트(15)는, 보관고 본체(10)내로부터 반출된다.
웨이퍼용 보관고로부터의 웨이퍼의 반출은, 이하의 공정에 의해서 행한다.
먼저, 반송용 카세트(16)를 입출고(17)로부터 보관고 본체(10)내에 반입한다. 반입되는 반송용 카세트(16)에는, 수납 예정의 웨이퍼 정보가, 라벨 또는 바코드에 표시되어 또는 IC나 자기 부분에 기억되어 있다. 그리고, 반송용 카세트(16)를 보관고 본체(10)내에 반입하는 전후에 있어서, 반송용 카세트(16)에 표시 또는 기억된 웨이퍼 정보가 입력부(31)로부터 입력된다. 한편, 웨이퍼 정보는, 반드시 반송용 카세트(16)에 표시 또는 기억되어 있지 않아도 좋고, 반송용 카세트(16)를 보관고 본체(10)내에 반입하는 시간적 관련성을 취함으로써 정보 통신망으로부터 수신하는 것이어도 좋다.
그리고, 웨이퍼 정보와 보관용 카세트 정보 기억부(33)에 기억되어 있는 보관용 카세트(11)에 관한 정보로부터, 반출하는 보관용 카세트(11)를 제어부(34)로 결정한다.
반출하는 보관용 카세트(11)가 결정되면, 출력부(36)로부터 동작 지시 정보가 웨이퍼 반송부(20)에 출력되고, 웨이퍼 반송부(20)는, 결정된 보관용 카세트(11)를 향하여 이동을 행한다. 결정된 보관용 카세트(11)에 대향하는 위치에 웨이퍼 반송부(20)가 도달하면, 문오프너(22)에 의해서 보관용 카세트(11)의 문을 개방하여, 로봇 핸드(21)로 보관용 카세트(11)내의 웨이퍼를 꺼낸다. 로봇 핸드(21)로 보관용 카세트(11)내의 웨이퍼를 꺼낸 후에, 문오프너(22)에 의해서 보관용 카세트(11)의 문을 폐색한다. 이들 동작에 있어서, 이동 부재(14)가 이동중에는, 기체 봄베(21K)에의 압축 기체의 공급은 이루어지지 않고, 기체 봄베(21K)내의 기체 에 의해서 기체 취출구(21H)로부터 기체를 취출한다. 이동 부재(14)가 소정의 위치에 도달하면, 웨이퍼 반송부(20)가 동작중에는, 에어 소켓(23)과 에어 플러그(19)의 접속이 이루어져 압축 기체의 공급이 이루어진다. 웨이퍼 반송부(20)의 동작이 종료하는 타이밍에서, 에어 소켓(23)과 에어 플러그(19)의 접속이 해제되고, 이동 부재(14)는, 반송용 카세트(16)를 향하여 이동을 행한다. 한편, 이동 부재(14)의 이동시에, 필요한 경우에는 웨이퍼 반송부(20)도 이동 부재(14)의 지지기둥을 따라서 이동한다. 반송용 카세트(16)에 대향하는 위치에 웨이퍼 반송부(20)가 도달하면, 문오프너(22)에 의해서 반송용 카세트(16)의 문을 개방하여, 로봇 핸드(21)에 유지하고 있는 웨이퍼를 반송용 카세트(16)내에 수납한다. 로봇 핸드(21)로 반송용 카세트(16)내에 웨이퍼를 수납한 후에, 문오프너(22)에 의해서 반송용 카세트(16)의 문을 폐색한다. 이 경우에도, 이동 부재(14)가 소정의 위치에 도달하면, 웨이퍼 반송부(20)의 동작중에, 에어 소켓(23)과 에어 플러그(19)의 접속이 이루어져 압축 기체의 공급이 이루어진다.
하나의 반송용 카세트(16)내에 복수매의 웨이퍼를 수납하는 경우로서, 본 실시예와 같이 로봇 핸드(21)에 의해서 1매씩의 웨이퍼를 이동시키는 경우에는, 상기 동작을 필요한 횟수만큼 반복한다.
한편, 이동해야 할 웨이퍼를 모두 수납하고, 문이 폐색된 반송용 카세트(16)는, 보관고 본체(10)내로부터 반출된다.
이상과 같이, 본 실시예에 의하면, 보관용 카세트(11)에 수납하는 단계에서도, 보관용 카세트(11)로부터 반출하는 단계에서도, 웨이퍼를 수납할 때나 꺼낼 때 마다 문을 개폐하는 것에 의해, 진애나 웨이퍼로부터의 발생 가스의 영향을 줄일 수 있다.
다음에, 본 발명의 웨이퍼용 보관고에 적합한 보관용 카세트에 대하여 설명한다.
본 실시예에 의한 보관용 카세트(11)로서는, 반송용 카세트(15,16)와 동일한 구조의 것을 사용할 수 있다.
도 7은 본 실시예에 의한 보관용 카세트의 사시도, 도 8은 동일 보관용 카세트의 문을 개방한 상태를 나타내는 사시도이다.
본 실시예에 의한 보관용 카세트(11)는, 바닥이 있고 바깥둘레를 덮는 측판(11A)과, 측판(11A)의 대향하는 면에 소정간격마다 설치된 돌기부(11B)와, 앞면을 덮는 문(11C)으로 구성되어 있다. 돌기부(11B)에는, 도시한 바와 같이 웨이퍼(A)가 수납된다.
본 실시예에 의한 보관용 카세트(11)는, 도 7에 나타낸 바와 같이, 문(11C)으로 앞면을 폐색한 상태로 밀폐 상태가 된다.
본 실시예와 같이, 보관용 카세트(11)로서 반송용 카세트(FOUP)를 사용하는 것에 의해, 보관용 카세트를 필요에 따라서 수납선반으로부터 떼어내어 세정할 수 있다.
[실시예 2]
도 9는 다른 실시예에 의한 보관용 카세트의 개념 사시도이다.
도 9에 나타내는 실시예에서는, 보관용 카세트(11)는, 한 쌍의 측판(11A)과, 그들 측판(11A)의 대향하는 면에 소정간격마다 설치된 돌기부(11B)와, 앞면을 덮는 문(11C)으로 구성되어 있다. 돌기부(11B)에는, 도시한 바와 같이 웨이퍼(A)가 수납된다.
본 실시예에 의한 문(11C)은, 측판(11A)과 평행하게 배치되었을 때에 앞면을 개방하여, 측판(11A)과 평행한 상태로부터, 앞면측에 인출된 후에 90도 각도를 변경함으로써 앞면을 덮도록 구성되어 있다. 또한, 천판(11D)과, 저판(11E)을 가지고 있으며, 문(11C)으로 앞면을 덮은 상태에서는, 밀폐 상태가 된다.
[실시예 3]
도 10은 또 다른 실시예에 의한 보관용 카세트의 개념 사시도이다.
도 10에 나타내는 실시예에서는, 보관용 카세트(11)는, 한 쌍의 측판(11A)과, 그들 측판(11A)의 대향하는 면에 소정간격마다 설치된 돌기부(11B)와, 원통체의 일부를 개구로 한 문(11C)으로 구성되어 있다. 돌기부(11B)에는, 도시한 바와 같이 웨이퍼(A)가 수납된다.
본 실시예에 의한 문(11C)은, 예를 들면 2중으로 구성된 원통체의 한쪽을 회전시키는 것에 의해, 앞면을 개폐하도록 구성되어 있다. 또한, 천판(11D)과 저판(11E)을 가지고 있으며, 문(11C)으로 앞면을 덮은 상태에서는, 밀폐 상태가 된다.
한편, 도 9 및 도 10에 나타내는 문(11C)의 개폐는, 상기 실시예에서 설명한 바와 같이 웨이퍼 반송부(20)에 설치한 문오프너(22)에 의해서 행하지만, 웨이퍼 반송부(20)에 문오프너(22)를 설치하지 않고, 각각의 보관용 카세트(11)측에서 문 의 개폐를 행하는 구성이어도 좋다.
본 실시예에서는, 상기와 같이 에어 호스를 갖지 않기 때문에, 이동 부재(14)의 주행에 수반하는 에어 호스로부터의 분진 발생을 대폭 억제할 수 있다.
한편, 본 실시예에서는, 웨이퍼용 보관고 내에, 하나의 레일(13)을 배치한 경우를 설명했지만, 복수의 레일(13)을 병설하여, 각각의 레일(13)에 대해서 웨이퍼 반송부(20)를 가진 이동 부재(14)를 설치해도 좋다. 또한, 하나의 레일(13)에 복수의 이동 부재(14)를 설치해도 좋다. 또한, 각각의 이동 부재(14)에 대해서 하나의 웨이퍼 반송부(20)를 설치하는 경우에 한정되지 않고, 각각의 이동 부재(14)에 대해서 복수의 웨이퍼 반송부(20)를 설치해도 좋다. 또한, 하나의 웨이퍼 반송부(20)에 대해서 복수의 로봇 핸드(21)를 구비해도 좋다.
또한 본 실시예에서는, 기체 공급관(18)을 레일(13)의 아래쪽으로서 마루면측에 배치한 경우를 설명했지만, 웨이퍼용 보관고의 천정면측에 배치해도 좋다. 기체 공급관(18)을 웨이퍼용 보관고의 천정면측에 배치하는 경우에는, 천정면에서 아래쪽을 향해서 에어 플러그(19)를 설치하고 이동 부재(14)의 상부에 에어 소켓(23)을 설치한다. 또한, 기체 공급관(18)을 웨이퍼용 보관고의 수납선반(12A,12B)의 설치면에 설치해도 좋다.
또한 본 실시예에서는, 승강기구(24)에 의해서 에어 소켓(23)을 승강시키는 경우를 설명했지만, 이 승강기구(24)를 에어 플러그(19)측에 설치해도 좋고, 또한 각각 승강기구(24)를 설치하고, 에어 소켓(23)과 에어 플러그(19)를 함께 동작시키는 것이어도 좋다.
또한, 본 실시예에서는, 기체 공급 장치(21K)로서 기체 봄베를 이용하여 설명했지만, 콤프레셔를 이용한 장치로 할 수도 있다. 콤프레셔를 이용한 장치로 하는 경우에는, 웨이퍼용 보관고내의 기체를 흡입하고, 흡입한 기체를 필터 등으로 정화한 후에 압축하여 로봇 핸드에 공급한다.
또한, 기체 공급 장치(21K)에 이용하는 기체로서는, 공기, 질소 등 외에, 아르곤 등의 불활성 가스를 포함한다.
본 발명은, 웨이퍼용 보관고 및 그 보관 제어 방법 외에, 액정 유리 기판이나 자기 디스크 등의 정밀 기판, 기타 클린룸에서 보관이 필요한 기타 부품의 보관고 및 그 보관 제어 방법에도 적합하다.

Claims (8)

  1. 내부에 웨이퍼를 수납하는 보관용 카세트와, 상기 보관용 카세트를 복수개 배치하는 수납선반과, 상기 수납선반에 대향하여 배치되는 웨이퍼 반송부를 보관고 본체 내에 구비하고, 반송용 카세트를 상기 보관고 본체에 반입 반출하는 입출고를 가지며, 상기 보관고 본체 내에는 불활성 가스가 공급되고, 상기 웨이퍼 반송부에서는, 상기 보관고 본체 내에 반입된 상기 반송용 카세트로부터 꺼낸 상기 웨이퍼를 상기 보관용 카세트에 수납하고, 상기 보관용 카세트로부터 꺼낸 상기 웨이퍼를 상기 반송용 카세트에 수납하는 웨이퍼용 보관고로서,
    상기 보관용 카세트에는 밀폐 기능을 확보할 수 있는 문을 가지며,
    상기 웨이퍼의 상기 보관용 카세트 내부에의 반입시 및 상기 보관용 카세트 외부에의 반출시 이외에는, 상기 문을 폐색하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼용 보관고.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 입출고에 반입되는 상기 반송용 카세트에 수납되어 있는 웨이퍼정보를 입력하는 입력부와, 상기 입력부에서 입력된 상기 웨이퍼 정보를 기억하는 웨이퍼 정보 기억부와, 상기 보관용 카세트에 관해서 적어도 어드레스와 빈 상황을 기억하는 보관용 카세트 정보 기억부와, 상기 반송용 카세트 내의 상기 웨이퍼를 수납하는 상기 보관용 카세트를 결정하여 상기 웨이퍼 반송부를 제어하는 제어부와, 상기 제어부에서 결정한 상기 웨이퍼 반송부에서의 동작 지시 정보 를 기억하는 제어 정보 기억부와, 상기 제어 정보 기억부로부터 읽어낸 상기 동작 지시 정보를 상기 웨이퍼 반송부에 출력하는 출력부를 구비하고, 상기 제어부에서는, 상기 입력부에서 입력된 상기 웨이퍼 정보와 상기 보관용 카세트 정보 기억부에 기억된 정보로부터, 상기 반송용 카세트 내의 상기 웨이퍼를 수납하는 상기 보관용 카세트를 결정하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼용 보관고.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 웨이퍼 반송부에는, 상기 보관용 카세트의 상기 문을 개폐하는 문오프너와, 상기 웨이퍼를 이동하는 로봇 핸드를 가진 것을 특징으로 하는 웨이퍼용 보관고.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 로봇 핸드의 윗면에는 복수의 기체 취출구를 가지며, 상기 웨이퍼 반송부에, 상기 기체 취출구에 기체를 공급하는 기체공급장치를 설치한 것을 특징으로 하는 웨이퍼용 보관고.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 기체 공급 장치로서 기체 봄베를 이용하고, 상기 웨이퍼 반송부에는 상기 기체 봄베에 기체를 공급하는 에어 소켓을 설치하여, 상기 웨이퍼 반송부의 정지시에 상기 에어 소켓으로부터 기체를 공급하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼용 보관고.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 수납선반을 복수열 설치하고, 상기 에어 소켓과 접 속되는 에어 플러그를, 각각의 열의 상기 수납선반에 대응시켜 복수개 설치한 것을 특징으로 하는 웨이퍼용 보관고.
  7. 제 2 항에 기재된 웨이퍼용 보관고의 보관 제어 방법으로서, 상기 반송용 카세트를 상기 보관고 본체 내에 반입하는 공정과, 반입되는 상기 반송용 카세트에 수납된 상기 웨이퍼 정보로부터, 보관하는 상기 보관용 카세트를 상기 제어부에서 결정하는 공정과, 상기 반송용 카세트의 문을 개방하여, 상기 웨이퍼 반송부에서 상기 반송용 카세트 내의 상기 웨이퍼를 꺼내는 공정과, 상기 반송용 카세트의 상기 문을 폐색하는 동시에 상기 보관용 카세트의 상기 문을 개방하여, 상기 웨이퍼 반송부에서 상기 보관용 카세트 내에 상기 웨이퍼를 수납하는 공정과, 상기 보관용 카세트의 상기 문을 폐색하는 공정과, 상기 반송용 카세트를 상기 보관고 본체 내로부터 반출하는 공정을 가진 것을 특징으로 하는 웨이퍼용 보관고의 보관 제어 방법.
  8. 제 2 항에 기재된 웨이퍼용 보관고의 보관 제어 방법으로서, 상기 반송용 카세트를 상기 보관고 본체 내에 반입하는 공정과, 반입되는 상기 반송용 카세트에 수납해야 할 상기 웨이퍼 정보로부터, 반출하는 상기 웨이퍼를 보관하고 있는 상기 보관용 카세트를 상기 제어부에서 결정하는 공정과, 상기 보관용 카세트의 상기 문을 개방하여, 상기 웨이퍼 반송부에서 상기 보관용 카세트 내의 상기 웨이퍼를 꺼내는 공정과, 상기 보관용 카세트의 상기 문을 폐색하는 동시에 상기 반송용 카세 트의 문을 개방하여, 상기 웨이퍼 반송부에서 상기 반송용 카세트 내에 상기 웨이퍼를 수납하는 공정과, 상기 반송용 카세트의 상기 문을 폐색하는 공정과, 상기 반송용 카세트를 상기 보관고 본체내로부터 반출하는 공정을 가진 것을 특징으로 하는 웨이퍼용 보관고의 보관 제어 방법.
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