KR101291630B1 - 클린 스토커와 물품의 보관방법 - Google Patents

클린 스토커와 물품의 보관방법 Download PDF

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무라타 기카이 가부시키가이샤
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Abstract

클린 스토커(2)내의 상부에 레티클용 회전선반(4)을, 하부에 포드용 회전선반(6)을 배치하고, 하향으로 클린가스를 공급한다. 스토커(2)내를 포드반송장치(8)와 레티클 반송장치(10)를 승강시키고, 로드포트(18~21)와 포드오프너(12) 및 포드용 회전선반(6)을 포드반송장치(8)로 접속한다. 포드오프너(12)와 레티클용 회전선반(4) 사이를 레티클 반송장치(10)로 접속한다.
레티클과 포드를 다수 콤팩트하게 보관할 수 있고, 특히 레티클을 깨끗하게 보관할 수 있다.

Description

클린 스토커와 물품의 보관방법{CLEAN STOCKER AND KEEPING METHOD OF ARTICLE}
[도 1] 실시예의 클린 스토커의 정면도
[도 2] 도 1의 Ⅱ-Ⅱ방향 수평 단면도
[도 3] 도 1의 Ⅲ-Ⅲ방향 수평 단면도
[도 4] 실시예에서의 레티클용 핸드를 모식적으로 나타내는 도면
[도 5] 실시예에서의 2개의 회전선반과 포드오프너, 고정선반, 로드포트에 대한, 반송장치의 동작 범위를 나타내는 도면
(부호의 설명)
2 클린 스토커 4 레티클용 회전선반
6 포드용 회전선반 8 포드반송장치
10 레티클 반송장치 9, 11 승강 가이드
12 포드오프너 14, 15 포드용 고정선반
16 클린가스 공급부 18, 19 천정주행차용 로드포트
20, 21 지상측 로드포트 22 단말
24 케이싱 26 포드
28 플랜지 30 블록
31 단 32, 34 구동부
36, 38 가스유로 40, 41 관절
42, 44 핸드 46 클린가스 공급로
본 발명은, 반도체 노광용 레티클 등의 물품을 깨끗하게 보관하는 클린 스토커나, 그곳에서의 보관방법에 관한 것이다.
반도체 등의 노광에서는 레티클이 이용되고, 레티클은 스토커와 노광장치 사이에서 포드에 수납되어 반송된다. 레티클의 보관에 관해서 특허문헌1은, 케이스 없는 레티클을 보관하는 선반과 포드를 보관하는 선반을 반송장치의 주행로의 양측에 설치하는 것을 개시하고 있다. 그러나 이렇게 하면, 반송장치의 주행풍으로 레티클을 오염시킬 우려가 있다.
[특허문헌1] 일본 특허 3682170호
본 발명의 과제는 다수의 물품과 그 용기를 콤팩트하고 또한 깨끗하게 보관하고, 다수의 물품과 그 용기를 더욱 콤팩트하게 보관하는 것에 있다.
삭제
본 발명에서의 추가의 과제는 물품을 수납한 용기를 효율적으로 입출고할 수 있도록 하는 것에 있다.
본 발명에서의 다른 과제는 다수의 물품과 그 용기를 콤팩트하고 또한 깨끗하게 보관해서 입출고하는 방법을 제공하는 것에 있다.
본 발명은, 물품을 용기에 수납해서 입출고 입구로부터 입출고함과 아울러, 클린 스토커 내에 클린가스의 다운플로우를 설치하는 클린 스토커에 있어서, 용기에 대해서 물품을 출입시키기 위한 개폐장치를 설치함과 아울러, 용기로부터 꺼낸 물품의 보관선반을 상측에, 용기의 보관선반을 하측에, 평면에서 보았을 때 겹쳐지도록 상하로 겹쳐서 배치함과 아울러, 상기 물품의 보관선반과 용기의 보관선반은, 각각 서로 독립적으로 수평회전 가능한 회전식 선반이고, 또한 상기 개폐장치와 입출고 입구 및 용기의 보관선반의 사이에서 용기를 반송하기 위한 용기반송장치; 및 상기 개폐장치와 물품의 보관선반 사이에서 물품을 반송하기 위한 물품반송장치를 설치하고, 상기 물품의 보관선반과 용기의 보관선반의 일측에 상기 개폐장치를 사이에 두고 상기 물품반송장치와 상기 용기반송장치를 대향 배치한 것을 특징으로 한다.
삭제
삭제
또한 바람직하게는, 상기 용기반송장치가 용기를 반송할 수 있는 위치에 용기를 수납하기 위한 고정의 선반을 상기 용기의 보관선반과는 별도로 설치한다.
또한 본 발명은, 물품을 용기에 수납해서 입출고 입구로부터 입출고함과 아울러, 클린가스의 다운플로우를 설치해서 물품을 깨끗하게 보관하는 방법에 있어서, 입출고 입구로부터 입출고하는 용기에 대해서 개폐장치로 물품을 출입시키고, 물품의 보관선반과 용기의 보관선반을 각각 서로 독립적으로 수평회전 가능한 회전식 선반으로 구성하고, 물품의 보관선반을 상측에, 용기의 보관선반을 하측에, 평면에서 보았을 때 겹쳐지도록 상하로 겹쳐서 배치하고, 클린가스를 물품의 보관선반측으로부터 용기의 보관선반측으로의 순으로 공급하고, 용기를 반송하기 위한 용기반송장치와 물품을 반송하기 위한 물품반송장치를 설치하고, 상기 물품의 보관선반과 용기의 보관선반의 일측에, 상기 개폐장치를 사이에 두고 상기 물품반송장치와 상기 용기반송장치를 대향 배치하는 것으로서, 개폐장치와 입출고 입구 및 용기의 보관선반 사이에서 용기를 용기반송장치에 의해 반송함과 아울러, 물품의 보관선반과 개폐장치 사이에서 물품을 물품반송장치에 의해 반송하는 것을 특징으로 한다.
본 명세서에 있어서, 클린 스토커에 관한 기재는 특별히 언급하지 않는 한, 클린 스토커를 이용한 물품의 보관방법에도 적합하고, 또한 물품의 보관방법에 관한 기재는 특별히 언급하지 않는 한, 클린 스토커에도 적합하다. 또한 실시예에서는, 반도체 노광용 레티클과 이것을 수납하는 포드의 보관을 예로 들지만, 보관 물품의 종류나 물품을 수납하는 용기의 종류 자체는 임의이다.
이하에 본 발명을 실시하기 위한 최적 실시예를 나타낸다.
(실시예)
도 1~도 5에 실시예의 클린 스토커(2)와 물품의 보관방법을 나타낸다. 도면에 있어서 2는 클린 스토커이며, 반도체 공장이나 액정 공장 등의 클린룸내에 설치되고, 4는 레티클용 회전선반이며, 상하 다단의 다수의 단을 구비하고, 각 선반에 반도체나 액정기판의 노광용 레티클을 보관하며, 레티클용 회전선반(4)은 전체적으로 일체로서 회전하고, 각 단마다는 회전하지 않는다. 또한 레티클의 출입을 보다 고속으로 행하기 위해서, 레티클용 회전선반(4)을 상하 복수의 블록으로 분할하고, 각 블록마다 독립적으로 회전하도록 해도 좋다. 6은 포드용 회전선반이며, 레티클 을 꺼낸 후의 포드를 보관하고, 포드의 보관수는 레티클의 보관수보다 적게 하며, 예를 들면 그 1/10~1/100정도로 한다. 포드용 회전선반(6)은 상하 다단의 회전선반이며, 전체적으로 일체로 회전한다.
클린 스토커(2)를 정면측에서 본 경우(도 1), 그 내부의 앞면측 좌우 한쪽에 포드반송장치(8)를, 다른쪽에 레티클 반송장치(10)를 설치하고, 이들을 회전선반(4, 6)의 앞면측의 일측에 설치하고, 그 사이에 포드오프너(12)를 배치한다. 또한 포드오프너(12)의 예를 들면 상하에 포드용 고정선반(14, 15)을 설치하지만, 포드오프너(12)의 상하 한쪽에만 설치해도 좋다. 또한 반송장치(8, 10)는 승강 가이드(9, 11)를 따라서 승강한다. 포드반송장치(8)는 예를 들면 2단의 암(8a, 8b)의 선단에 핸드(8c)를 설치한 것으로, 수평면내에서 동작하는 3개의 관절(8d, 8e, 8f)을 갖고, 이들 관절은 예를 들면 독립적으로 동작하고, 2단의 암으로 도달가능한 범위내에서, 임의의 방향으로 포드(26)를 반송할 수 있다. 레티클 반송장치(10)도 마찬가지로, 관절(10c, 10d)로 동작하는 2단의 암(10a, 10b)의 선단에 핸드를 설치한 것이다. 레티클 반송장치(10)의 핸드의 구성은 도 4를 참조해서 후술한다.
클린 스토커(2)의 최상부에는 클린가스 공급부(16)가 있고, 예를 들면 클린에어나 질소 등의 클린가스를 다운플로우로 해서 공급한다. 클린가스 공급부(16)는 클린가스의 생성수단이나, 팬필터유닛을 구비한 것, 혹은 클린룸의 천정으로부터의 클린에어의 다운플로우를 스토커(2)내에 받아들이는 것 등으로 한다. 18, 19는 클린 스토커(2)의 높은 곳에 설치한 천정주행차용 로드포트이며, 도시하지 않는 천정주행차와의 사이에서, 도 3 등에 나타내는 포드(26)를 입출고한다. 20, 21은 지상 측 로드포트이며, 예를 들면 사람이 포드(26)를 입출고할 때에 이용하고, 22는 단말이며, 사람의 손으로 클린 스토커(2)를 조작하는 경우나 데이터의 입출력 혹은 포드의 ID의 판독 등에 이용한다. 24는 클린 스토커(2)의 케이싱이다.
레티클용 회전선반(4)은 복수의 블록(30)으로 분할되고(도 2), 외측에는 플랜지(28)를 설치하고, 블록(30)의 각 단(31)마다, 플랜지(28)로 상하로 겹친 단(31)이 들어올려지도록 구성되어 있다(도 4). 구동부(32)는 레티클용 회전선반(4)을 회전시키고, 회전선반(4)의 내측의 빈 공간은 가스유로(36)로서 이용되고, 클린가스 공급부(16)로부터 레티클용 회전선반(4)에 공급된 클린가스는 가스유로(36)를 통해 하측으로 배기된다(도 2). 포드용 회전선반(6)에서는, 회전선반의 중앙에 구동부(34)가 있고, 선반(6)을 회전시킴과 아울러, 그 주위의 가스유로(38)로부터 선반(6)내의 클린가스를 하향으로 배기한다(도 3).
도 4에 레티클용 회전선반에서의 블록(30)과, 레티클 반송장치(10)의 선단의 핸드(42, 44)를 나타낸다. 핸드(42)는 플랜지(28)를 척해서 상측으로 들어올리고, 도시하지 않는 레티클을 출입시킬 수 있도록 한다. 핸드(42)의 예를 들면 하측에 레티클용의 핸드(44)가 있고, 이들은 관절(40, 41)에 의해 수평면내에서 독립적으로 회전하고, 핸드(42)로 플랜지(28)를 척해서 단(31a, 31b)을 상측으로 들어올리면, 핸드(44)가 관절(41)에 의해 회전되어 단(31b)의 하측의 레티클을 출입시킨다. 46은 클린가스 공급로이며, 각 단(31)에 설치한 개구 혹은 필터용의 막 등으로 이루어지고, 클린가스를 레티클측으로 공급한다.
실시예의 동작을 나타낸다. 천정주행차나 사람 등에 의해 로드포트(18~21)에 반송된 포드(26)는 포드반송장치(8)에 의해 포드오프너(12) 혹은 포드용 고정선반(14, 15)으로 반송된다. 로드포트(18, 19)와 로드포트(20, 21) 및 포드오프너(12)와 고정선반(14, 15)은 높이 레벨이 다르므로, 포드반송장치(8)를 승강 가이드(9)를 따라서 승강시킨다. 여기에서, 포드용 고정선반(14, 15)은 다수의 포드를 연속해서 입고하는 경우에, 포드오프너(12)로의 처리가 느린 것을 보완하기 위한 버퍼로서 이용한다. 또한 노광장치에서의 사용빈도가 높고, 입고후 바로 출고되는 것이 예상되는 레티클은 포드오프너(12)로 포드(26)와 분리하지 않고, 포드(26)에 넣어진 채의 상태로 출고까지 포드용 고정선반(14, 15)에 보관한다. 포드오프너(12)에서 꺼내진 레티클은 레티클 반송장치(10)에 의해 레티클용 회전선반(4)에 수납된다. 여기에서 레티클용 회전선반(4)의 회전과, 레티클 반송장치(10)의 승강을 동시에 행하고, 도 4와 같이 해서 원하는 단을 들어올려서 레티클을 출입시킨다. 또한 포드오프너(12)에 남은 빈 포드는 포드반송장치(8)에 의해 포드용 회전선반(6)에 격납된다.
포드를 출고하는 경우, 포드반송장치(8)로 포드용 회전선반(6)으로부터 빈 포드를 꺼내어, 포드오프너(12)에 세트하고, 마찬가지로 레티클 반송장치(10)로 원하는 레티클을 레티클용 회전선반(4)으로부터 꺼내어, 포드오프너(12)로 포드내에 세트한다. 레티클을 세트한 포드는 즉시 로드포트(18~21)로 포드반송장치(8)에 의해 반송해도 좋지만, 로드포트(18~21)가 막혀 있는 경우, 포드용 고정선반(14, 15)에 일시적으로 보관하고, 로드포트(18~21)가 비는 것을 기다린다.
클린 스토커(2)의 내부에서는, 클린가스 공급부(16)로부터의 클린가스가 처 음에 레티클용 회전선반(4)에 공급되고, 이어서 포드용 회전선반(6)으로 공급된다. 이 때문에 케이스 없는 레티클을 수납한 레티클용 회전선반(4)을 특별히 깨끗한 분위기로 유지하여, 레티클의 오염을 방지할 수 있다.
도 5에 포드반송장치(8)와 레티클 반송장치(10)의 동작 범위를 모식적으로 나타낸다. 포드반송장치(8)는 포드용 회전선반(6) 및 포드오프너(12), 포드용 고정선반(14, 15), 로드포트(18~21) 사이에서 포드를 반송하고, 다단의 암과 복수의 관절을 갖는 반송장치 본체를 승강 가이드를 따라 승강시킴으로써, 여러가지 높이 레벨에 대해서 좁은 공간내에서 효율적으로 포드를 반송할 수 있다. 레티클 반송장치(10)는 레티클용 회전선반(4)과 포드오프너(12) 사이에서 레티클을 반송하고, 마찬가지로 다단의 암과 다수의 관절을 구비한 반송장치 본체를 승강 가이드를 따라서 승강시킴으로써, 좁은 공간내에서 여러가지 높이 레벨에 대해서 레티클을 반송할 수 있다. 그리고 회전선반(4, 6)을 상하로 겹치고, 그 앞면측의 빈 공간에 포드오프너(12)를 중심으로 해서 반송장치(8, 10)를 대향 배치함으로써, 효율적으로 스토커내 반송이 가능하다. 또한 포드오프너(12)의 상하의 빈 공간에 포드용 고정선반(14, 15)을 설치함으로써, 포드의 입출고의 버퍼로 할 수 있다.
실시예에서는 이하의 효과가 얻어진다.
(1) 클린가스 공급부(16)로부터 레티클용 회전선반(4)을 통해 포드용 회전선반(6)으로 클린가스를 공급함으로써, 레티클용 회전선반(4)내의 분위기를 특별히 깨끗하게 유지할 수 있다.
(2) 포드용 회전선반(6)에는 보관 레티클의 수보다 적은 수의 포드를 보관하 면 좋으므로, 레티클용 회전선반(4)으로 다수의 레티클을 효율적이고 또한 콤팩트하게 보관할 수 있다.
(3) 회전선반(4, 6)을 이용하면, 반송장치(8, 10)는 선반(4, 6)의 전체면에 대하여 물품이나 용기의 출입을 행할 필요가 없고, 반송장치(8, 10)가 사용하는 공간을 콤팩트하게 할 수 있다.
(4) 상하로 겹친 회전선반(4, 6)의 일측에 포드오프너(12)를 사이에 두고 반송장치(8, 10)를 설치함으로써, 콤팩트한 공간에서 로드포트로부터 포드용 회전선반까지의 범위에서 포드를 반송할 수 있고, 또한 포드오프너와 레티클용 회전선반 사이에서 레티클을 반송할 수 있다.
본 발명에서는 물품의 보관선반을 상측에, 용기의 보관선반을 하측에 배치하고, 클린가스의 다운플로우를 공급하므로, 용기로부터 꺼낸 물품을 보관선반에서 깨끗하게 보관할 수 있다. 그리고 용기를 물품으로부터 꺼내서 보관하므로, 다수의 물품을 콤팩트하게 보관할 수 있다. 보관하는 물품의 수와 용기의 수를 같게 할 필요는 없고, 예를 들면 물품의 수보다 용기의 수를 적게 하고, 물품의 입출고에 필요한 수만큼의 용기를 보관하면, 더욱 콤팩트하게 다수의 물품을 수납할 수 있다.
여기에서 물품의 보관선반이나 용기의 보관선반을 각각 서로 독립적으로 수평회전 가능한 회전식의 선반(이하 회전선반)으로 구성하면, 용기반송장치나 물품반송장치는 회전선반의 소정의 위치에서, 용기나 물품을 선반으로부터 출입가능하면 좋다. 이 때문에 이들 반송장치의 동작 범위를 좁게 할 수 있고, 이 결과, 더욱 콤팩트하게 다수의 물품이나 용기를 보관할 수 있다. 또한 회전선반에서는 선반의 중심부에 공간이 남아, 이 부분을 클린가스의 배기로로 이용할 수 있다.
여기에서 물품의 보관선반과 용기의 보관선반의 일측에 개폐장치를 사이에 두고 물품반송장치와 용기반송장치를 대향 배치하면, 이들 반송장치를 더욱 콤팩트하게 배치할 수 있다. 특히, 이들 반송장치를 반송장치 본체와 그 승강수단으로 구성하면, 용기나 물품의 회전선반을 각각 상하 다단으로 하고 또한 개폐장치와 이들 선반의 높이 레벨이 달라도, 용이하게 용기나 물품을 반송할 수 있다.
여기에서 용기의 회전선반과는 별도로, 용기를 수납하기 위한 고정선반을 설치해서, 출고예정의 물품을 수납한 용기를 미리 보관해 두면, 단시간에 효율적으로 출고할 수 있다. 또한 입고가 연속해서 행해지는 경우, 용기를 개폐장치에 세트하기 전에 고정선반에 일시적으로 보관할 수 있다. 이들 때문에 입출고를 효율적으로 행할 수 있다.

Claims (5)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 물품을 용기에 수납해서 입출고 입구로부터 입출고함과 아울러, 클린 스토커 내에 클린가스의 다운플로우를 설치하는 클린 스토커에 있어서,
    용기에 대해서 물품을 출입시키기 위한 개폐장치를 설치함과 아울러,
    용기로부터 꺼낸 물품의 보관선반을 상측에, 용기의 보관선반을 하측에, 평면에서 보았을 때 겹쳐지도록 상하로 겹쳐서 배치함과 아울러, 상기 물품의 보관선반과 용기의 보관선반은, 각각 서로 독립적으로 수평회전 가능한 회전식 선반이고,
    또한 상기 개폐장치와 입출고 입구 및 용기의 보관선반의 사이에서 용기를 반송하기 위한 용기반송장치; 및
    상기 개폐장치와 물품의 보관선반 사이에서 물품을 반송하기 위한 물품반송장치를 설치하고,
    상기 물품의 보관선반과 용기의 보관선반의 일측에 상기 개폐장치를 사이에 두고 상기 물품반송장치와 상기 용기반송장치를 대향 배치한 것을 특징으로 하는 클린 스토커.
  4. 제3항에 있어서, 상기 용기반송장치가 용기를 반송할 수 있는 위치에 용기를 수납하기 위한 고정의 선반을 상기 용기의 보관선반과는 별도로 설치한 것을 특징으로 하는 클린 스토커.
  5. 물품을 용기에 수납해서 입출고 입구로부터 입출고함과 아울러, 클린가스의 다운플로우를 설치해서 물품을 깨끗하게 보관하는 방법에 있어서,
    입출고 입구로부터 입출고하는 용기에 대해서 개폐장치로 물품을 출입시키고,
    물품의 보관선반과 용기의 보관선반을 각각 서로 독립적으로 수평회전 가능한 회전식 선반으로 구성하고,
    물품의 보관선반을 상측에, 용기의 보관선반을 하측에, 평면에서 보았을 때 겹쳐지도록 상하로 겹쳐서 배치하고, 클린가스를 물품의 보관선반측으로부터 용기의 보관선반측으로의 순으로 공급하고,
    용기를 반송하기 위한 용기반송장치와 물품을 반송하기 위한 물품반송장치를 설치하고,
    상기 물품의 보관선반과 용기의 보관선반의 일측에, 상기 개폐장치를 사이에 두고 상기 물품반송장치와 상기 용기반송장치를 대향 배치하는 것으로서, 개폐장치와 입출고 입구 및 용기의 보관선반 사이에서 용기를 용기반송장치에 의해 반송함과 아울러, 물품의 보관선반과 개폐장치 사이에서 물품을 물품반송장치에 의해 반송하는 것을 특징으로 하는 물품의 보관방법.
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