KR102581283B1 - 포드 오프너 - Google Patents

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KR102581283B1
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가츠노리 사카타
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로제 가부시키가이샤
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Abstract

용기를 개방하여, 용기 내부에 적층하여 배치되는 카세트를 반송 로봇의 핑거가 액세스 가능한 상태로 하는 포드 오프너를 저렴하게 제공한다. 본 발명의 포드 오프너는, 카세트를 연직 방향으로 승강 이동 시키는 승강 기구와, 카세트가 구비하는 걸림 결합 수단과 걸림 결합하여, 상기 카세트를 지지하는 제1 훅 부재와, 제1 훅 부재에 의해 지지되는 제2 훅 부재와, 제1 훅 부재와 제2 훅 부재를 카세트에 대하여 전진 및 후퇴 이동시키는 진퇴 기구와, 제2 훅 부재를 상방으로 가압하는 가압 부재와, 카세트가 배치되는 내부 공간을 소정의 분위기로 유지하는 분위기 유지 장치를 구비하고, 제2 훅 부재는 제1 훅 부재에 대하여 변위 가능하게 구성한다.

Description

포드 오프너
본 발명은, 반도체 웨이퍼 등의 평판형 기판의 표면에 미세한 회로 패턴을 형성하는 각종 제조 공정 간에서의 기판의 이송, 및 이들 기판에 대하여 회로 패턴 형성을 위한 각종 표면 처리를 실시하는 처리 장치 내에서의 기판의 반송에 관한 것이다. 특히, 기판을 수용하는 용기를 개문하여, 용기 내부에 적층 상태로 수용되어 있는 기판을, 반송 로봇이 액세스 가능한 상태로 하는 용기 개폐 장치 및 용기 개폐 장치를 구비하는 기판 처리 시스템에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼나 액정 패널, 유기 EL 패널과 같은 평판형 기판을 각 제조 공정 간에서 이송하는 경우에는, 기판은, 수납 용기 내에 소정의 간격을 두고 형성되는 선반판에 수평으로 지지된 상태로 이송된다. 특히, 반도체 웨이퍼는 FOUP(Front Opening Unified Pod)라고 불리는 밀폐 가능한 용기에 수납되어서 이송되는 것이 대부분이다. FOUP에 구비되는 각 선반판의 상하 방향의 피치는 SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International) 규격에 의해 규정되어 있고, 직경 300mm의 반도체 웨이퍼라면 10mm, 직경 450mm의 반도체 웨이퍼라면 12mm로 규정되어 있다. 이것은, 웨이퍼 반송 로봇 등이 구비하는 웨이퍼 보유 지지 수단이 반도체 웨이퍼를 반송하기 위하여 선반판에 지지된 반도체 웨이퍼 사이를 진입하는 것을 고려하여 규정된 치수이다.
근년, 반도체의 회로 선 폭의 미세화가 진행되어, 반도체 웨이퍼 표면으로의 진애의 부착이나, 표면에 형성된 회로 패턴에 생성되는 불필요한 자연 산화막이, 제품의 수율을 악화시키는 원인으로서 큰 문제로 되고 있다. 그래서, FOUP 내부에 질소 등의 불활성 가스를 충전하거나, 용기 내부를 진공 상태로 하거나 해서, 진애의 부착이나 자연 산화막의 생성을 억제하는 대책이 이루어지고 있다.
선행 기술로서 특허문헌 1에 기재된 바와 같은 기판 반입 장치가 있다. 또한, 단락 [0004] 및 [0006]에서 각 부의 명칭과 함께 부여되어 있는 숫자는, 특허문헌 1에 부여된 각 부의 번호이다. 도 1은 종래의 진공 용기(1)와, 이 진공 용기(1)를 개방하여, 반송 로봇이 기판을 반송 가능한 상태로 하는 기판 반입 장치(2)를 도시하는 도면이다. 이 종래의 진공 용기(1)는, 바닥 덮개(11)와, 바닥 덮개(11)의 적재면에 적재되는 카세트(7)와, 카세트(7)를 덮어서 바닥 덮개(11)에 걸림 결합되는 카세트 용기(10)로 구성된다. 카세트 용기(10)는 기판 반입 장치(2)의 소정의 적재부(25)에 적재되고, 바닥 덮개(11)와 카세트 용기(10)의 걸림 결합이 해제된 후, 기판 반입 장치(2)에 구비된 승강 기구(22)에 의해 기판(8)을 수용하고 있는 카세트(7)를 카세트 실(20)의 내부로 이동시킨다. 그리고, 기판(8)은 반송 수단에 의해 처리 장치에 반송되어, 소정의 처리가 실시된다. 그 후, 소정의 처리가 종료된 기판(8)이 반송 수단에 의해 카세트(7)로 복귀된 후, 카세트(7)와 바닥 덮개(11)가 승강 기구에 의해 상승되어, 카세트 용기(10)와 바닥 덮개(11)가 걸림 결합된다. 기판 반입 장치(2)의 용기 적재면과 카세트 용기(10)의 하면은 기밀하게 접촉하고 있고, 상기 일련의 동작을 행함으로써 카세트 실(20) 내부의 진공 분위기가 손상되는 일은 없다.
일본 특허 공개 제2004-140278호 공보
이 진공 용기(1)와 기판 반입 장치(2)를 사용함으로써, 기판(8)을 대기 분위기에 노출시키는 일없이 각 진공 처리 장치로 반송하는 것이 가능해지고, 기판 표면에 대한 불필요한 자연 산화막의 생성이나 진애의 부착과 같은 트러블을 감소시키는 것이 가능해졌다. 그러나, 이 카세트(7)는, 기판(8)을 반송하는 반송 로봇의 웨이퍼 보유 지지 수단이 삽입 가능한 상하 피치를 갖도록 구성되어 있기 때문에, 카세트(7)의 상하 방향 치수가 높게 되어 있다. 그 결과, 카세트(7)를 수용하는 진공 용기(1)의 용적이 커져 버려, 소정의 진공압까지 강압시키는 데 오랜 시간이 필요하게 된다. 또한, 용적이 커지게 되면 진공 용기(1)의 표면적도 커져 버려, 카세트(7)나 바닥 덮개(11)의 두께를 두껍게 할 필요가 있어, 진공 용기(1)의 제조 비용이 높아져 버리는 것이다. 또한, 진공 용기(1)를 크게 하게 되면, 진공 용기(1)의 중량도 무거워져 버리는 것이다. 현재는, 진공 용기(1)를 공정 간에서 이송하는 것은 공장 내에 설치된 공정 간 이송 수단이 행하지만, 진공 용기(1)를 이 공정 간 이송 수단이 운반하는 것이 가능한 중량으로 억제하려고 하면, 많은 기판(8)을 운반하는 것이 불가능해져버리는 것이다.
본 발명은 상기 문제점을 감안하여 이루어진 것이고, 기판을 지지하는 기판 카세트를 상하 방향으로 적층된 상태로 수용하는 진공 용기를 개방하여, 내부에 수용된 기판 카세트를 반송 로봇이 액세스 가능한 상태로 변위시키는 것이 가능한 포드 오프너 및 기판 반송 시스템을 저렴하게 제공하는 것을 과제로 한다.
상기 과제를 달성하기 위해서, 본 발명의 포드 오프너는, 기판을 지지하여 상하 방향으로 적층하여 배치되는 카세트를 수납하는 용기를 소정의 위치에 적재하여, 상기 카세트에 지지되는 상기 기판을 반송 장치의 기판 보유 지지 부재에 의해 액세스 가능한 상태로 하는 포드 오프너이며, 상기 적층하여 배치되는 상기 카세트를 연직 방향으로 승강 이동시키는 승강 기구와, 상기 카세트가 구비하는 걸림 결합 수단과 걸림 결합하여, 상기 카세트를 지지하는 제1 훅 부재와, 상기 제1 훅 부재에 의해 지지되는 상기 카세트의 바로 아래에 배치되는 카세트가 구비하는 걸림 결합 수단과 걸림 결합하여, 상기 바로 아래에 배치되는 카세트를 지지하는 제2 훅 부재와, 상기 제1 훅 부재와 상기 제2 훅 부재를 상기 카세트에 대하여 전진 및 후퇴 이동시키는 진퇴 기구와, 상기 제2 훅 부재를 상방으로 가압하는 가압 부재와, 상기 카세트가 배치되는 내부 공간을 소정의 분위기로 유지하는 분위기 유지 장치를 구비하고, 상기 제2 훅 부재는 상기 제1 훅 부재에 대하여 변위 가능한 것을 특징으로 하고 있다.
또한, 본 발명의 포드 오프너는, 상기 제2 훅 부재가 상기 카세트와 걸림 결합하고 있지 않을 때는, 상기 제1 훅 부재의 걸림 결합부와 상기 제2 훅 부재의 걸림 결합부의 상하 방향의 피치가, 상기 적층하여 배치되는 카세트의 각 걸림 결합 수단의 상하 방향의 피치와 대략 동일한 것을 특징으로 하고 있다.
상기 구성으로 함으로써, 포드 오프너는, 기판을 지지하는 기판 카세트를 상하 방향으로 적층된 상태로 진공 용기의 내부에 수용되어 있었던 기판 카세트를, 반송 로봇이 액세스 가능한 상태로 변위시킬 수 있으므로, 카세트를 적층된 상태로 진공 용기에 수용하는 것이 가능해지고, 진공 용기의 상하 방향 치수를 가급적 작게 할 수 있다. 또한, 소정의 카세트만을 제1 과 제2 훅 부재로 지지하여, 기판 보유 지지 부재를 액세스할 수 있도록 하고 있으므로, 그 이외의 카세트는 적층된 상태 그대로이다. 이에 의해, 포드 오프너의 카세트를 수용하는 공간의 용적을 작게 하는 것이 가능해지므로, 포드 오프너의 치수를 작게 할 수 있다. 또한, 승강 기구나 그 다른 부재의 치수를 작게 하는 것이 가능해지므로, 제조 비용을 삭감하여 저렴하게 제공할 수 있다.
또한, 본 발명의 포드 오프너가 구비하는 가압 부재는, 비틀림 스프링이나 코일 스프링과 같은 탄성체로 구성되는 것으로 해도 된다. 상기 구성으로 함으로써, 간단한 구조로 저렴하게 포드 오프너를 제공할 수 있다. 또한, 탄성체 대신에 추를 구비하는 것으로 해도 된다. 추를 제2 훅 부재의 지지점인 샤프트에 관해서, 제2 훅 부재가 상기 카세트를 지지하는 부분과는 반대측에 배치됨으로써, 제2 지지 부재에 카세트의 하중을 가하고 있지 않을 때에는 제2 지지 부재를 제1 지지 부재에 접근시키고, 제2 지지 부재에 카세트의 하중을 가했을 때에는 제2 지지 부재를 제1 지지 부재로부터 멀리 떨어지게 하여 수평 상태로 유지시킬 수 있다. 또한, 추와 비틀림 스프링, 추와 코일 스프링과 같은 다른 종류의 가압 부재를 조합하여 하나의 제2 지지 부재에 구비하는 것도 가능하다.
또한, 본 발명의 기판 처리 시스템은, 포드 오프너와, 상기 기판을 반송하는 진공 반송 로봇과, 상기 진공 반송 로봇을 내부 공간에 수용하여, 상기 내부 공간을 진공 상태로 유지하는 진공 유지 수단을 구비하는 진공 반송 장치와, 상기 기판에 각종 처리를 실시하는 처리 장치를 구비하는 것을 특징으로 하고 있다.
또한, 본 발명의 대기 반송 시스템은, 포드 오프너와, 상기 기판을 반송하는 대기 반송 로봇과, 상기 대기 반송 로봇을 내부 공간에 수용하여, 상기 내부 공간을 불활성 가스 분위기로 유지하는 불활성 가스 공급 수단을 구비하는 대기 반송실과, 상기 대기 반송실에 고정되는 로드 포트와, 상기 포드 오프너와 상기 대기 반송실은 게이트 밸브를 통해 접속되고, 또한, 상기 포드 오프너는, 그 내부 공간을 진공 상태로 유지하는 진공 유지 수단과, 불활성 가스 유지 수단을 구비하는 것을 특징으로 하고 있다.
상기 구성에 의하면, 소형이고 간단한 구조의 포드 오프너를 저렴하게 제공하는 것이 가능해진다.
도 1은, 종래의 진공 용기와 기판 반입 장치를 도시하는 도면이다.
도 2는, 본 발명의 일 실시 형태인 카세트를 도시하는 도면이다.
도 3은, 본 발명의 일 실시 형태인 카세트와 수납 용기를 도시하는 도면이다.
도 4는, 본 발명의 일 실시 형태인 저판을 상면으로부터 본 도면이다.
도 5는, 본 발명의 일 실시 형태인 포드 오프너를 구비하는 웨이퍼 처리 시스템 S를 도시하는 단면도이다.
도 6은, 본 실시 형태의 포드 오프너를 진공 반송 로봇이 배치되는 측으로부터 본 단면도이다.
도 7은, 본 발명의 일 실시 형태인 카세트 지지 기구의 개요를 도시하는 도면이다.
도 8은, 본 발명의 일 실시 형태인 카세트 지지 기구가 카세트와 걸림 결합하는 위치까지 이동한 상태를 도시하는 단면도이다.
도 9는, 본 발명의 일 실시 형태인 카세트 지지 기구가 카세트와 카세트를 지지하고 있는 상태를 도시하는 단면도이다.
도 10은, 본 발명의 다른 실시 형태인 카세트 지지 기구의 개요를 도시하는 도면이다.
도 11은, 본 발명의 다른 실시 형태인 카세트 지지 기구의 개요를 도시하는 도면이다.
도 12는, 본 발명의 다른 실시 형태인 카세트를 도시하는 도면이다.
도 13은, 본 발명의 일 실시 형태인 대기 반송 시스템을 도시하는 단면도이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시 형태에 대하여 상세하게 설명한다. 도 2는 기판을 지지하여 상하 방향으로 적층하여 배치되는 카세트(3)를 도시하는 도면이고, 도 3은 적층된 카세트(3)와, 이 카세트(3)를 수납하여 밀폐하는 수납 용기(4)를 도시하는 도면이다. 또한, 도 4는 수납 용기(4)의 저판(14)을 상면으로부터 본 도면이다. 또한, 본 실시 형태에서 사용되는 기판은 반도체 웨이퍼 W이고, 수납 용기(4)는 용기 내부를 진공 상태로 유지 가능한 진공 포드이다. 이하, 수납 용기(4)를 적절히 「진공 포드(4)」라고도 칭한다.
본 실시 형태의 카세트(3)는 웨이퍼 W를 적재하는 부재이고, 원통상의 부재의 일부가 절취된 대략 C자 형상으로 형성되어 있고, 이 절취된 영역(5)은, 후술하는 진공 반송 로봇(6)의 기판 보유 지지 부재인 핑거(9)가 통과 가능한 간격을 갖고 있음. 또한, 카세트(3)의 내주면에는 웨이퍼 W를 지지하기 위한 지지 플레이트(12)가, 영역(5)의 중앙부와 카세트(3)의 중심을 통과하여 수평 방향으로 연장되는 중심선 C1에 대하여 좌우 대칭의 위치로 되도록 배치되어 있다. 또한, 카세트(3)의 하단부에는, 하방으로 감에 따라서 외측의 측면으로부터 내측의 측면을 향하여 직경이 작아지도록 구배(테이퍼)(3p)가 형성되어 있다. 또한, 카세트(3)의 상단부에는, 하방으로 감에 따라서 외측의 측면으로부터 내측의 측면을 향하여 직경이 작아지도록 구배(테이퍼)(3s)가 형성되어 있다. 이에 의해, 복수의 카세트(3)를 적층했을 때에, 각각의 카세트(3)의 상부 테이퍼(3s)와 하부 테이퍼(3p)가 끼워 맞춰져, 서로 소정의 위치에 위치 결정된다.
본 실시 형태의 카세트(3)는, 내부에 직경 300mm의 웨이퍼 W를 수용 가능한 크기를 갖고 있고, 상하 방향의 높이 치수는 4mm로 형성되어 있다. 반도체 제조 장치에 관한 국제 규격인 SEMI 규격에 의하면, 웨이퍼 W를 수납하는 FOUP(Front Opening Unified Pod)의 웨이퍼 수납 피치는 10mm로 규정되어 있다. 따라서, 본 실시 형태의 카세트(3)를 사용함으로써, FOUP를 사용하는 경우에 비하여 약 60％의 용적이 삭감된다. 또한, 지지 플레이트(12)의 웨이퍼 적재면에는 웨이퍼 W의 형상과 합치하는 오목부가 형성되어 있고, 웨이퍼 W는 지지 플레이트(12)의 소정의 위치에 적재되는 구조를 갖고 있다.
본 실시 형태의 카세트(3)의 외주면에는 후술하는 포드 오프너(30)의 제1과 제2 훅 부재(41, 42)와 걸림 결합하는 걸림 결합 부재(13)가, 중심선 C1에 대하여 좌우 대칭으로 배치되어 있다. 또한, 본 실시 형태에서는, 카세트(3)의 외주면으로부터 돌출되도록 걸림 결합 부재(13)를 좌우에 각 1개 마련하는 형태로 하고 있다. 이외에도, 걸림 결합 부재(13a)를 카세트(3')의 좌우에 각 2개 마련하는 형태로 해도 된다. 도 12의 (a)를 참조. 또한, 걸림 결합 부재(13, 13a) 대신에, 각 훅 부재(41, 42)와 걸림 결합하는 걸림 결합 수단으로서, 걸림 결합 구멍(13s)을 카세트(3")의 외주에 뚫어서 형성하는 형태로 해도 된다. 도 12의 (b)를 참조. 또한, 본 실시 형태의 카세트(3)는, PEEK재(폴리에테르에테르케톤)나 폴리카르보네이트와 같은 수지 재료로 성형되어 있지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않고, 예를 들어 알루미늄이나 스테인레스 스틸과 같은 금속제로 하는 것도 가능하다.
이어서, 카세트(3)를 수납하는 수납 용기(4)에 대하여 설명한다. 본 실시 형태의 수납 용기(4)는 내부를 진공 상태로 유지하는 것이 가능한 구조를 갖는 진공 포드(4)이고, 10개의 카세트(3)를 상하 방향으로 적층된 상태로 수납할 수 있는 용적을 갖고 있다. 본 실시 형태의 진공 포드(4)는, 카세트(3)를 소정의 위치에 적재하는 저판(14)과, 저판(14)에 적재된 10단의 카세트(3)를 덮어서 저판(14)과 기밀하게 끼워 맞추는 케이싱(15)으로 구성되어 있다.
케이싱(15)은 대략 원통형으로 형성되어 있고, 하단부에는 저판(14)과 기밀하게 끼워 맞춤 가능한 개구부가 형성되어 있다. 또한, 케이싱(15)의 상부는 돔형 덮개 부재(15a)에 의해 기밀하게 폐쇄되어 있다. 개구부는 수평으로 배치된 카세트(3)가 통과 가능한 직경을 갖고 있고, 이 개구부 주연에는 직경 방향으로 돌출하는 플랜지부(16)가 형성되어 있다. 이 플랜지부(16)에는 저판(14)의 걸림 결합 플레이트(19)와 걸림 결합하기 위한 걸림 결합 구멍(16a)이 소정의 간격을 두고 뚫어서 형성되어 있다. 또한, 덮개 부재(15a)에는, 톱 플랜지(17)가 상방으로 돌출되도록 형성되어 있다. 톱 플랜지(17)는, 클린룸 내의 반송 설비인 OHT(Over Head Transport)의 천장 주행차가 구비하는 파지 수단에 대응하는 형상을 갖고 있고, 진공 포드(4)는, 천장 주행차에 의해 이 톱 플랜지(17)가 파지된 상태에서, 클린룸 내의 소정의 장소까지 이송된다. 또한, 케이싱(15)의 포드 스테이지(18)에 대향하는 면에는, 포드 스테이지(18)의 표면과 접촉하여 진공 포드(4) 내부의 분위기와 외부 분위기를 기밀하게 폐색하기 위한 링형 시일 부재(32)가 고정되어 있다.
또한, 본 실시 형태의 케이싱(15)은, 경량화를 위하여 투명한 폴리카르보네이트로 제조되고 있지만, 그 이외에도 알루미늄이나 스테인레스 스틸, 티타늄과 같은 금속 재료나 유리 등으로 제조하는 것도 가능하다. 또한, 금속 재료로 제조되는 경우, 내부의 모습을 눈으로 보기 위한 창을 마련하여, 이 창을 폐쇄하기 위한 부재로 투명한 수지 재료나 유리 재료를 사용할 수도 있다.
진공 포드(4)의 저판(14)은 대략 원기둥형 상자형 부재이고, 상면에는 카세트(3)를 소정의 위치로 안내하기 위한 위치 결정 홈(14a)이 형성되고, 주연부에는 저판(14)와 케이싱(15)의 간극을 기밀하게 폐색하는 링형 시일 부재(14b)가 고정되어 있다. 위치 결정 홈(14a)은 단면 형상이 대략 V자형 홈이고, 카세트(3)의 하면에 형성되어 있는 테이퍼부에 대응하는 형상을 갖고 있다. 또한, 저판(14) 상면의 카세트(3)가 적재되는 영역은 주위보다도 상방으로 융기한 형상을 갖고 있다. 이것은, 후술하는 카세트 지지 기구(40)가 최하단의 카세트(3)와 걸림 결합할 때에, 저판(14)과 카세트 지지 기구(40)가 간섭하는 것을 피하기 위해서이다. 또한, 저판(14)의 내부에는 케이싱(15)과 걸림 결합하기 위한 걸림 결합 기구가 구비되어 있다. 본 실시 형태의 저판(14)이 구비하는 걸림 결합 기구는, 케이싱(15)의 플랜지부(16)에 뚫어서 형성되어 있는 걸림 결합 구멍(16a)에 대하여 출몰 가능하게 배치되는 걸림 결합 플레이트(19)와, 이 걸림 결합 플레이트(19)를 출몰 동작시키는 로크 부재(20)로 구성된다. 로크 부재(20)는, 포드 스테이지(18)의 스테이지 도어(29)와 대향하는 면에 직사각형 키 홈(20a)이 형성되어 있어서, 이 키 홈(20a)에, 후술하는 스테이지 도어(29)에 구비된 키 부재(18a)가 삽입되어, 키 부재(18a)가 소정의 방향으로 회전함으로써 로크 부재(20)도 회전하여, 그 회전 동작에 연동하여 걸림 결합 플레이트(19)가 걸림 결합 구멍(16a)에 대하여 출몰함으로써, 걸림 결합 상태와 해제 상태를 전환할 수 있는 구조로 되어 있다. 또한, 키 부재(18a)를 소정의 방향으로 회전시킴으로써 케이싱(15)과 저판(14)의 걸림 결합을 해제함과 동시에 저판(14)과 스테이지 도어(29)를 걸림 결합 상태로 한다. 또한, 키 부재(18a)를 반대 방향으로 회전시킴으로써 저판(14)과 스테이지 도어(29)의 걸림 결합을 해제함과 동시에 케이싱(15)과 저판(14)을 걸림 결합 상태로 한다.
본 실시 형태의 저판(14)은, 투명한 폴리카르보네이트로 제조되고 있지만, 그 이외에도, 예를 들어 알루미늄이나 스테인레스 스틸, 티타늄과 같은 금속 재료나 유리 등으로 제조하는 것도 가능하다. 또한, 저판(14)의 외주를 둘러싸는 부재를 금속 재료로 제조하고, 내부에 배치되는 걸림 결합 기구를 폴리카르보네이트나 PEEK재와 같은 수지 재료로 제조하는 것도 가능하다. 또한, 본 실시 형태의 저판(14)에는, 진공 포드(4)의 내부에 잔류하는 기체를 흡인하여 소정의 진공압으로 하기 위한 역지 밸브를 구비하는 것으로 해도 된다. 역지 밸브를 구비함으로써, 반송 도중 등에 진공 포드(4) 내부의 내압이 소정의 진공압보다도 상승한 경우, 펌프 등에 의해 진공 포드(4) 내부 분위기를 흡인하여 소정의 진공압으로 되돌릴 수 있다. 또한, 진공으로 유지된 진공 포드(4) 내부의 압력을 대기압 부근으로 되돌리기 위한 릴리프 밸브를 구비하는 것으로 해도 된다. 릴리프 밸브를 마련함으로써, 진공 포드(4)를 열 필요가 발생한 경우, 포드 오프너(30)를 사용하지 않고 수동으로 진공 포드(4)를 열 수 있다.
이어서, 상기 설명한 진공 포드(4)를 개방하여, 내부에 수납되는 카세트(3)를 진공 반송 로봇(6)이 액세스 가능한 상태로 하는 포드 오프너(30)에 대하여 설명한다. 도 5는 본 발명의 일 실시 형태인 포드 오프너(30)를 구비하는 웨이퍼 처리 시스템 S를 도시하는 단면도이고, 도 6은 본 실시 형태의 포드 오프너(30)를 진공 반송 로봇(6)이 배치되는 측에서 본 단면도이다. 또한, 도 5에 있어서, 도면이 번잡해지는 것을 피하기 위해서, 원래 존재하는 카세트 지지 기구(40)는 생략하였다. 본 실시 형태의 웨이퍼 처리 시스템 S는, 진공 분위기 내에서 웨이퍼의 표면에 CVD나 에칭과 같은 각종 처리를 실시하는 처리 장치(23)와, 진공 분위기 내에서 카세트(3)에 액세스하여, 카세트(3)와 처리 장치(23) 사이에서 반송하는 진공 반송 로봇(6)과, 진공 반송 로봇(6)이 수용되어, 진공 분위기로 유지 가능한 공간을 형성하는 진공 반송실(24)과, 진공 포드(4)를 개폐하여 내부에 수용된 카세트(3)를 진공 반송 로봇(6)이 반송 가능한 상태로 하는 포드 오프너(30)로 구성되어 있다. 여기서, 액세스란, 진공 반송 로봇(6)이 카세트(3) 상에 적재되어 있는 웨이퍼 W를 핑거(9)로 보유 지지하여 처리 장치(23)로 반출하는 것, 및 진공 반송 로봇(6)이 처리 장치(23)로부터 반송해 온 웨이퍼 W를 빈 카세트(3) 상의 소정의 위치에 전달하는 것을 의미한다.
처리 장치(23)와 진공 반송실(24)과 포드 오프너(30)는, 각각이 구비하는 진공 분위기 유지 장치에 의해 내부 공간을 진공 분위기로 유지된다. 또한, 처리 장치(23)와 진공 반송실(24)은 게이트 밸브(27)를 통해 접속된다. 게이트 밸브(27)는 처리 장치(23)와 진공 반송실(24)의 내부 분위기를 개방 상태와 폐쇄 상태로 전환 가능한 부재이고, 이 게이트 밸브(27)를 폐쇄 상태로 함으로써 처리 장치(23) 내부에 공급되는 가스가 진공 반송실(24)이나 포드 오프너(30)의 내부 공간에 침입하는 것을 방지하고 있다. 또한, 게이트 밸브(27)가 개방 상태, 즉 처리 장치(23)와 진공 반송실(24) 사이의 내부가 연통 상태에 있을 때, 진공 반송 로봇(6)은 처리 장치(23)에 대하여 웨이퍼 W를 반송하는 것이 가능해진다. 또한, 본 실시 형태의 웨이퍼 처리 시스템 S가 구비하는 진공 반송 로봇(6)은, 웨이퍼 W를 하방에서 보유 지지하는 핑거(9)와, 선단에 핑거(9)를 구비하고, 굴신 동작을 행함으로써 핑거(9)를 진퇴 이동시키는 암체와, 이 암체를 지지하여 수평면 내에서 선회 이동시키는 선회부와, 선회부를 승강 이동시키는 승강부와, 이들의 기구를 각각 개별로 구동하는 구동원으로 구성되는 공지의 것이다. 또한, 본 실시 형태의 웨이퍼 처리 시스템 S에는, 카세트(3)에 웨이퍼 W가 적재되어 있는지 여부를 판별하는 투과광식 센서가 구비되어 있다. 투과광식 센서는 투광기로부터 조사되는 광축 D를 수광기가 검지하면 카세트(3) 상에 웨이퍼 W가 존재하지 않는다고 판단하고, 광축 D가 웨이퍼 W에 가려져서 수광기가 광축 D를 검지하지 못하는 경우에는, 카세트(3) 상에 웨이퍼 W가 존재한다고 판단한다. 이에 의해, 카세트(3) 상의 웨이퍼 W의 존부를 검출하는 것이 가능해져, 진공 반송 로봇(6)의 오동작을 방지할 수 있다.
본 발명의 일 실시 형태인 포드 오프너(30)는 대략 상자 형상으로 형성되어 있고, 포드 오프너(30)의 내부 공간은 진공 반송실(24)의 내부 공간과 연통하고 있다. 본 실시 형태의 포드 오프너(30)에는, 진공 분위기 유지 장치로서 진공 펌프(26a)와 제어 밸브(26b)가 구비되어 있고, 진공 펌프(26a)와 제어 밸브(26b)는 배관(26c)을 통해 포드 오프너(30)의 내부 공간과 접속되어 있다. 또한, 포드 오프너(30) 내부의 진공 압력을 측정하는 압력 센서(26d)가 배관(26c)을 통해 포드 오프너(30) 내부와 접속되어 있다. 또한, 본 실시 형태의 포드 오프너(30)의 상면에는 진공 포드(4)를 적재하는 포드 스테이지(18)가 마련되어 있고, 원형 개구(28)가 형성되어 있다. 이 개구(28)는 원반형 스테이지 도어(29)에 의해 내부로부터 기밀하게 폐쇄 가능하게 되어 있다. 상기 구성에 의해, 포드 오프너(30)의 내부 공간과 진공 반송실(24)의 내부 공간은, 소정의 진공압 분위기로 유지될 수 있다. 또한, 본 실시 형태의 포드 오프너(30)는, 내부 공간을 진공 상태로 유지하는 진공 분위기 유지 장치를 구비하는 구성으로 하고 있지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않고, 내부 공간을 질소 가스나 아르곤 가스와 같은 불활성 가스 분위기로 유지하는 불활성 가스 분위기 유지 장치를 구비하는 것으로 해도 되고, 그 이외의 소정의 분위기로 유지하는 구성으로 해도 된다.
포드 오프너(30) 상면의 포드 스테이지(18)에는, 적재되는 진공 포드(4)를 소정의 위치에 안내하는 위치 결정 부재(31)가 개구(28)의 주연에 소정의 간격을 두고 배치되어 있다. 또한, 포드 스테이지(18)에 진공 포드(4)를 적재했을 때에는, 진공 포드(4)의 케이싱(15) 저부에 고정된 시일 부재(32)와 포드 스테이지(18) 상면이 기밀하게 접촉됨으로써, 포드 오프너(30)의 내부는 진공 상태가 유지된다. 또한, 본 실시 형태의 포드 오프너(30)에는, 적재한 진공 포드(4)를 고정하기 위해서, 진공 포드(4)를 포드 스테이지(18)의 적재면에 고정하는 고정 부재를 구비해도 된다.
개구(28)는 케이싱(15)으로부터 분리된 저판(14)과 카세트(3)의 통과 구멍이고, 저판(14)의 직경보다도 크고, 케이싱(15)의 저면 직경보다도 작은 직경을 갖고 있다. 이 개구(28)는 원반형 스테이지 도어(29)에 의해 포드 오프너(30)의 내부 공간으로부터 기밀하게 폐쇄된다. 스테이지 도어(29)의 개구(28) 주연과 접촉하는 면에는, 개구(28)를 기밀하게 폐쇄하기 위한 링형 시일 부재(33)가 고정되어 있다.
스테이지 도어(29)는 포드 오프너(30)가 구비하는 승강 기구(34)에 의해 포드 오프너(30)의 내부 공간에서 연직 방향으로 승강 이동된다. 승강 기구(34)는, 구동원인 스테핑 모터(35)와, 스테핑 모터(35)의 출력축 회전 동작을 스테이지 도어(29)의 연직 방향의 승강 이동으로 변환하는 안내 수단(36)을 구비하고 있고, 스테핑 모터(35)의 회전 동작이 도시하지 않은 풀리와 톱니를 구비하는 벨트를 거쳐 안내 수단(36)을 구성하는 이송 나사에 전달되어, 이송 나사가 구비하는 이동자와 이동자에 고정되어 있는 승강 샤프트(37)를 승강 이동시킨다. 또한, 안내 수단(36)이 구비하는 도시하지 않은 가이드 레일이 이 승강 샤프트(37)를 연직 이동 방향으로 안내한다. 승강 샤프트(37)는 포드 오프너(30)의 저면에 형성된 개구(38)를 관통하여 배치되어 있고, 승강 샤프트(37)의 상면에는 스테이지 도어(29)가 고정되어 있다. 상기 구성에 의해, 스테핑 모터(35)의 작동에 의해, 스테이지 도어(29)는 소정의 위치까지 승강 이동할 수 있다.
스테이지 도어(29)에는, 대략 T자형 키 부재(18a)가 구비되어 있다. 이 키 부재(18a)가 저판(14)에 배치된 로크 부재(20)의 키 홈(20a)에 걸림 결합하여 소정의 방향으로 회전함으로써, 케이싱(15)과 저판(14)의 걸림 결합 상태와 해제 상태를 전환할 수 있다. 본 실시 형태의 포드 오프너(30)에서는, 키 부재(18a)를 회전 동작시키는 구동원으로서 스테핑 모터가 사용되고 있고, 이 스테핑 모터는 승강 샤프트(37)의 내부에 수용되어 있다. 승강 기구(34)의 스테핑 모터(35)와 이 걸림 결합 기구의 스테핑 모터는, 포드 오프너(30)가 구비하는 도시하지 않은 제어부와 전기적으로 접속되어 있어서, 작동은 이 제어부에 의해 제어되고 있다.
또한, 포드 오프너(30) 내부의 저면에는 진공 분위기에 대응하는 벨로우즈(39)의 하단이 기밀하게 설치되어 있다. 벨로우즈(39)의 상단은 스테이지 도어(29)의 하면에 기밀하게 설치되어 있고, 이에 의해, 포드 오프너(30)의 내부 공간이 진공 상태로 유지된 상태에서도 스테이지 도어(29)는 포드 오프너(30)의 내부에서 승강 이동할 수 있다.
이어서, 본 발명의 일 실시 형태인 포드 오프너(30)가 구비하는 카세트 지지 기구(40)에 대하여 설명한다. 도 7의 (a) 내지 (d)는 본 발명의 일 실시 형태인 카세트 지지 기구(40)의 개요를 도시하는 도면이다. 이하의 설명에 있어서는, 카세트(3, 3', 3")가 특정한 위치 관계에 있는 상태를 나타낼 때에는, 각각의 카세트(3a, 3b, 3c)라고 칭한다. 본 실시 형태의 카세트 지지 기구(40)는, 적층할 수 있었던 상태로 하강해 오는 카세트(3) 중, 소정의 카세트(3a)의 걸림 결합 부재(13a)와 걸림 결합하여 카세트(3a)를 지지하는 제1 훅 부재(41)와, 제1 훅 부재(41)에 대하여 변위 가능하게 마련되고, 제1 훅 부재(41)에 의해 지지되는 제2 훅 부재(42)와, 이 제1 훅 부재(41)과 제2 훅 부재(42)를 지지하고, 또한, 카세트(3)에 대하여 진퇴 이동시키는 진퇴 기구(43)로 구성되어 있다.
본 실시 형태의 훅 부재(41, 42)는, 각각 대략 L자형 형상을 하고 있어서, 수평 방향으로 연장되는 걸림 결합부(41a, 42a)가 소정의 카세트(3)의 걸림 결합 부재(13)와 걸림 결합함으로써, 카세트(3)를 낙하시키지 않고 연직 방향으로 지지한다. 각 걸림 결합부(41a, 42a)의 상하 방향의 치수는, 적층하여 배치되는 각 카세트(3)의 걸림 결합 부재(13)의 상하 방향 피치보다도 작게 구성되어 있다. 또한, 카세트(3)는 상하로 적층하여 배치되어 있는 점에서, 걸림 결합하는 카세트(3)와 그 카세트(3) 상에 배치되는 모든 카세트(3)를 지지하는 제1 훅 부재(41)쪽이 큰 하중을 지지할 필요가 있으므로, 제1 훅 부재(41)쪽이 제2 훅 부재(42)보다도 높은 강성을 갖게 구성되어 있다. 또한, 제1 훅 부재(41)는 진퇴 기구(43)의 선단 부분에 고정되어 있고, 제2 훅 부재(42)는 제1 훅 부재(41)에 대하여 변위 가능하게, 제1 훅 부재(41)에 지지되어 있다. 또한, 본 실시 형태의 제1 훅 부재(41)와 제2 훅 부재(42)의 연직 방향으로 연장되는 컬럼부(41b, 42b)에는, 각각 수평 방향의 구멍(44)이 형성되어 있고, 이 수평 방향의 구멍(44)에 샤프트(45)가 삽입 관통됨으로써, 제2 훅 부재(42)는 샤프트(45)를 지지점으로 하여 요동 이동함으로써, 제1 훅 부재(41)에 대한 위치를 바꿀 수 있다.
또한 본 실시 형태의 제1 훅 부재(41)와 제2 훅 부재(42)에는 탄성체인 비틀림 스프링(46)이 걸쳐져 있다. 이 비틀림 스프링(46)은, 제2 훅 부재(42)를, 샤프트(45)를 지지점으로 하여 도면 상에서 시계 방향으로 가압하고 있다. 비틀림 스프링(46)에 가압된 제2 훅 부재(42)는, 샤프트(45)를 지지점으로 하여 제1 훅 부재(41)을 향하여 접근하는 방향으로 회동하는데, 제1 훅 부재(41)의 걸림 결합부(41a)의 하부에 마련된 스토퍼(50)에 맞닿음으로써, 제2 훅 부재(42)의 시계 방향(상향의) 회동은 규제된다. 제2 훅 부재(42)가 스토퍼(50)에 맞닿아 있을 때의, 제1 훅 부재(41)의 걸림 결합부(41a)의 선단부와 제2 훅 부재(42)의 걸림 결합부(42a)의 선단부의 상하 방향의 피치는, 적층하여 배치되는 카세트(3)의 걸림 결합 부재(13)의 상하 방향 피치와 대략 동일해진다. 이에 의해, 제1 훅 부재(41)와 제2 훅 부재(42)는, 각 걸림 결합 부재(13) 사이에 진입하는 것이 가능해진다. 즉, 적층하여 배치되는 카세트(3)에 대하여 제1 훅 부재(41)는, 소정의 카세트(3a)와 바로 아래에 배치되는 카세트(3b) 사이에, 제2 훅 부재(42)는, 카세트(3b)와 바로 아래에 배치되는 카세트(3c) 사이에, 각각 진입하는 것이 가능해진다.
또한, 제1 훅 부재(41)의 컬럼부(41b)에는 스토퍼(47)가 형성되어 있다. 이것은, 제2 훅 부재(42)의 걸림 결합부(42a)에 카세트(3)의 하중이 가해진 때에, 제2 훅 부재(42)의 샤프트(45)를 지지점으로 한 도면으로 보아 반시계 방향의(하향의) 회동을 규제하기 위한 것이다. 스토퍼(47)에 맞닿을 때의 제2 훅 부재(42)의 위치는, 카세트(3b)와 걸림 결합하는 걸림 결합부(42a)의 상면이 수평으로 되는 위치이고, 이에 의해, 제2 훅 부재(42)는, 제1 훅 부재(41)가 지지하는 카세트(3a)에 대하여 소정의 간격 A를 두고, 카세트(3b)를 걸림 결합부(42a)로 지지할 수 있다. 도 7의 (b)를 참조.
또한, 본 실시 형태에 사용되는 비틀림 스프링(46)은, 제2 훅 부재(42)에 아무 하중도 가해지고 있지 않은 경우에는, 제2 훅 부재(42)를 제1 훅 부재(41)를 향하여 시계 방향으로 회동시키기에 충분한 가압력을 갖도록 설정되어 있다. 또한, 비틀림 스프링(46)의 가압력은, 제2 훅 부재(42)에 카세트(3)의 하중이 가해졌을 경우에는, 제2 훅 부재(42)에 가해지는 하중을 지지할 수 없을 정도로 설정되어 있다. 비틀림 스프링(46)에 설정되는 이 가압력에 의해, 제2 훅 부재(42)는, 걸림 결합부(42a)에 하중이 가해지지 않고 있을 때에는, 걸림 결합부(42a)를 제1 훅 부재(41)의 걸림 결합부(41a)에 접근시킨 자세를 유지할 수 있다.
적층된 카세트(3) 중의 소정의 카세트(3a)를 제1 훅 부재(41)로 지지하고, 제1 훅 부재(41)에 의해 지지되는 카세트(3a)의 바로 아래의 카세트(3b)를 제2 훅 부재(42)로 지지함으로써, 카세트(3a)와 카세트(3b) 사이에, 진공 반송 로봇(6)의 핑거(9)가 통과 가능한 간극 A가 형성된다. 또한, 승강 기구(34)를 하강 동작시켜서 제2 훅 부재(42)에 의해 지지되는 카세트(3b)보다도 아래에 배치되는 카세트(3)를 하방으로 이동시킴으로써, 카세트(3b)와 이 카세트(3b)의 바로 아래에 배치되는 카세트(3c) 사이에, 진공 반송 로봇(6)의 핑거(9)가 통과 가능한 간극 B가 형성된다. 이에 의해, 진공 반송 로봇(6)이 핑거(9)로 보유 지지하고 있는 웨이퍼 W를 카세트(3b)에 적재하거나, 카세트(3b)에 적재되어 있는 웨이퍼 W를 들어 올려서 처리 장치(23)까지 반송하거나 하는 카세트(3b)로의 액세스가 가능해진다.
이어서, 제1 훅 부재(41)와 제2 훅 부재(42)를 카세트(3)에 대하여 진퇴 이동시키는 진퇴 기구(43)에 대하여 도 6을 참조하여 설명한다. 본 실시 형태의 진퇴 기구(43)는, 훅 부재(41, 42)를 진퇴 이동시키는 구동원으로서 공지의 에어 실린더를 사용하고 있다. 에어 실린더(진퇴 기구(43))는, 도시하지 않은 공급원으로부터 튜브를 통해 보내져 오는 공기의 공급을 제어함으로써, 피스톤 로드(48)를 카세트(3)에 대하여 진퇴 이동시킨다. 피스톤 로드(48)의 선단에는 제1 훅 부재(41)의 컬럼부(41b)가 고정되어 있고, 이에 의해, 에어 실린더의 작동에 의해, 제1 훅 부재(41)와 제2 훅 부재(42)는, 카세트(3)에 대하여 진퇴 이동할 수 있다. 또한, 구동원으로서는 에어 실린더에 한정되지 않고, 예를 들어 유압 실린더나 공지된 스테핑 모터나 액추에이터를 사용하는 것도 충분히 가능하다. 또한, 에어 실린더의 작동은 도시하지 않은 제어부에 의해 제어된다.
피스톤 로드(48)의 선단부에는 진공압 대응의 벨로우즈(49)의 일단이 기밀하게 고정되어 있다. 또한, 벨로우즈(49)의 타단은 포드 오프너(30)의 내측벽에 기밀하게 고정되어 있다. 이에 의해, 에어 실린더와 피스톤 로드(48)는 포드 오프너(30)의 내부 분위기와는 격리되게 되고, 포드 오프너(30) 내부의 진공 분위기는 유지된다. 또한, 피스톤 로드(48)의 진퇴 이동에 의해 발생하는 진애가 포드 오프너(30)의 내부 공간에 비산하여 웨이퍼 W에 악영향을 미치는 것을 방지할 수 있다. 또한, 본 실시 형태의 포드 오프너(30)는 카세트 지지 기구(40)를 4개 구비하고 있다. 이에 의해, 카세트(3)의 중심선 C1에 대하여 대칭의 위치에 배치되는 걸림 결합 부재(13)에 대하여 각각 2개의 카세트 지지 기구(40)가 걸림 결합함으로써 카세트(3)를 연직 방향으로 지지할 수 있다. 또한, 본 발명은 이것에 한정되지 않고, 예를 들어 카세트 지지 기구(40)를 좌우로 1개씩 배치하는 것으로 해도 되고, 카세트 지지 기구(40)를 복수개 배치하는 것으로 해도 된다.
이어서, 본 발명의 일 실시 형태인 포드 오프너(30)의 동작에 대하여 상세하게 설명한다. OHT에 의해 이송된 진공 포드(4)는, 포드 위치 결정 부재에 의해 포드 스테이지(18)의 소정의 위치로 안내되어서 적재된다. 도 6을 참조. 이어서, 스테이지 도어(29)의 키 부재(18a)가 소정의 회전 동작함으로써, 케이싱(15)과 저판(14)의 걸림 결합이 해제됨과 동시에 저판(14)과 스테이지 도어(29)가 걸림 결합된다. 이어서, 승강 기구(34)의 스테핑 모터(35)가 작동하여, 스테이지 도어(29)를 하강 이동시킨다. 이 스테이지 도어(29)의 하강 이동에 의해, 스테이지 도어(29)와 걸림 결합하는 저판(14)과, 저판(14) 상에 적재되는 카세트(3)도 일체적으로 하강을 개시한다. 또한, 이 스테이지 도어(29)의 하강 이동에 의해 개구(28)는 개방 상태로 되고, 포드 오프너(30)의 내부 분위기와 진공 포드(4)의 내부 분위기가 연통 상태로 된다. 이때, 포드 오프너(30)의 개구(28)는 진공 포드(4)의 케이싱(15)에 의해 기밀하게 폐쇄되어 있으므로, 포드 오프너(30)의 내부에 외부로부터의 공기가 침입하는 일은 없다.
스테이지 도어(29)가 소정의 위치까지 하강 이동하면 스테핑 모터(35)는 일단 작동을 정지한다. 또한, 본 설명에서는, 목적으로 하는 웨이퍼 W는, 10단으로 적층되어 있는 카세트(3) 중, 밑에서부터 9단째의 카세트(3b)에만 수납되어 있는 것으로 하고 있고, 소정의 위치란, 제1 훅 부재(41)가 최상단의 10단째의 카세트(3a)를 지지 가능하고, 제2 훅 부재(42)가 밑에서부터 9단째의 카세트(3b)를 지지 가능한 위치이다. 스테핑 모터(35)가 일단 정지하면, 제어부는 진퇴 기구(43)(에어 실린더)를 작동시켜서, 피스톤 로드(48)와 제1과 제2 훅 부재(41, 42)를, 수평 방향으로 전진 이동시킨다. 이때, 제1과 제2 훅 부재(41, 42)의 지지면은, 카세트(3a, 3b)의 각 걸림 결합 부재(13a, 13b)의 바로 아래의 위치까지 이동한다. 도 8을 참조. 에어 실린더의 작동이 완료되면, 제어부는, 다시 스테핑 모터(35)를 작동시켜서 스테이지 도어(29)를 하강 이동시킨다.
이 스테이지 도어(29)의 하강 이동에 의해, 카세트(3a)의 걸림 결합 부재(13a)가 제1 훅 부재(41)에 접촉함으로써, 카세트(3a)는 제1 훅 부재(41)에 의해 연직 방향으로 지지된다. 또한, 스테이지 도어(29)가 여전히 하강 이동을 계속하면, 카세트(3a)의 바로 아래에 위치하는 카세트(3b)의 걸림 결합 부재(13b)가 제2 훅 부재(42)에 접촉한다. 제2 훅 부재(42)에 구비되어 있는 비틀림 스프링(46)은 카세트(3b)의 중량을 지지하는 가압력을 갖고 있지 않으므로, 제2 훅 부재(42)는, 카세트(3b)의 하강 이동에 따라서 샤프트(45)를 지지점으로 하여 하향의 회동을 계속한다. 그 후, 제2 훅 부재(42)의 카세트 지지면이 대략 수평으로 되는 위치까지 회동하면, 제2 훅 부재(42)는 스토퍼(47)에 맞닿음으로써 하향의 회전 동작이 규제된다. 이에 의해, 제2 훅 부재(42)는, 컬럼부(42b)가 대략 수평으로 되는 자세에서 정지한다. 상기 동작에 의해, 카세트(3a)와 카세트(3b) 사이에 핑거(9)가 통과 가능한 간극 A가 형성된다.
제2 훅 부재(42)의 회전 동작이 정지해도 스테핑 모터(35)는 동작을 정지하지 않고, 미리 교시된 소정의 위치까지 스테이지 도어(29)를 하강 이동시켜, 소정의 위치에 도달하였을 즈음 하강 동작을 정지한다. 도 9를 참조. 상기 동작에 의해, 카세트(3b)와 그 바로 아래의 카세트(3c) 사이에, 진공 반송 로봇(6)의 핑거(9)가 통과 가능한 간극 B가 형성된다. 여기서, 진공 반송 로봇(6)은, 간극 B를 통해 핑거(9)를 카세트(3b)와 카세트(3c) 사이에 삽입시켜, 핑거(9)를 카세트(3b)에 지지되는 웨이퍼 W의 바로 아래까지 이동시킨 후, 제1 훅 부재(41)에 의해 지지되는 카세트(3a)와 카세트(3b) 사이의 간극 A까지 상승 이동시켜서 웨이퍼 W를 보유 지지한 뒤, 카세트(3a)와 카세트(3b) 사이에 형성되는 간극 A를 통해 웨이퍼 W를 처리 장치(23)에 반송한다. 또한, 처리 장치(23)로부터 웨이퍼 W를 카세트(3b)에 전달하는 경우에는, 진공 반송 로봇(6)은 핑거(9)를, 간극 A를 통하여 웨이퍼 W를 카세트(3b)의 바로 위까지 이동시킨 후, 핑거(9)를 간극 B까지 하강 이동시킴으로써 웨이퍼 W를 카세트(3b) 상에 전달할 수 있다. 웨이퍼 W를 카세트(3b)에 전달하면, 진공 반송 로봇(6)은 핑거(9)를, 간극 B를 통하여 원래의 위치까지 이동시킨다.
상기한 바와 같이 본 발명의 포드 오프너(30)는, 적층하여 배치되는 카세트(3) 중 진공 반송 로봇(6)이 액세스하려고 하는 카세트(3b)를 제2 훅 부재(42)로 지지하고, 그 바로 위의 카세트(3a)를 제1 훅 부재(41)로 지지함으로써, 간단한 구조에 의해 진공 반송 로봇(6)의 핑거(9)가 통과 가능한 간극 A를 형성하는 구성으로 되어 있다. 이 동작은, 적층된 배치되는 카세트(3)의 각각의 위치 정보를 제어부에 교시함으로써, 어느 단에 배치되는 카세트(3)에도 적용할 수 있다.
이어서, 웨이퍼 W를 처리 장치(23)로부터 카세트(3b)로 반송하여 진공 포드(4)에 수납할 때까지의 동작을 설명한다. 진공 반송 로봇(6)에 의한 카세트(3)로의 액세스가 종료되고, 핑거(9)가 소정의 위치까지 이동하면, 제어부는 승강 기구(34)의 스테핑 모터(35)를 작동시켜서 스테이지 도어(29)를 상승 이동시킨다. 스테이지 도어(29)가 상승 이동함으로써 저판(14)와 저판(14) 상에 적층되어 있는 카세트(3)도 상승 이동하고, 카세트(3c)의 상면과 제2 훅 부재(42)에 지지되는 카세트(3b)의 하면이 접촉한다. 카세트(3c)의 상면과 카세트(3b)의 하면은 테이퍼형 단면으로 형성되어 있으므로, 카세트(3c)와 카세트(3b)는 카세트(3c)가 상승함에 따라 소정의 상대 위치에 위치 결정된다.
카세트(3c)와 카세트(3b)가 맞닿은 후도 스테핑 모터(35)는 작동을 계속하고, 카세트(3b)의 상면과 제1 훅 부재(41)에 지지되는 카세트(3a)의 하면이 접촉한다. 스테이지 도어(29)가 그 후도 상승 이동을 계속함으로써, 훅 부재(41, 42)가 카세트(3a, 3b)의 걸림 결합 부재(13a, 13b)의 지지면과 접촉하지 않는 위치까지 상승한다. 이 위치까지 상승함으로써, 모든 카세트(3)가 스테이지 도어(29)에 의해 지지되는 상태로 되고, 여기에서 스테핑 모터(35)는 작동을 일단 정지한다. 이어서, 제1 훅 부재(41)와 제2 훅 부재(42)가 카세트(3)와 저판(14)과 스테이지 도어(29)의 상승 이동을 간섭하는 것을 피하기 위해서, 진퇴 기구(43)가 제1 훅 부재(41)와 제2 훅 부재(42)를 카세트(3)로부터 후퇴 이동시킨다. 이 후퇴 이동이 종료되면, 스테핑 모터(35)는 작동을 재개하여, 카세트(3)와 저판(14)과 스테이지 도어(29)를 상승 이동시킨다. 스테핑 모터(35)의 작동은, 저판(14)과 케이싱(15)이 끼워 맞춰지고, 또한, 스테이지 도어(29)와 개구(28)가 끼워 맞춰질 때까지 계속된다. 이들의 부재가 끼워 맞춰져서 각각이 기밀하게 폐쇄되는 위치까지 도달하였을 즈음, 제어부는 스테핑 모터(35)의 작동을 정지시킨다. 이 상승 이동에 의해, 케이싱(15)의 내부 공간은 저판(14)에 의해 기밀하게 폐쇄되고, 포드 오프너(30)의 내부 공간은 스테이지 도어(29)에 의해 기밀하게 폐쇄된다.
다음으로 제어부는, 키 부재(18a)를 수평 방향으로 회전 이동시켜서 걸림 결합 플레이트(19)를 케이싱(15)을 향하여 돌출시킨다. 이에 의해, 저판(14)과 케이싱(15)은 걸림 결합 상태로 되고, 저판(14)과 스테이지 도어(29)의 걸림 결합은 해제된다. 이에 의해 진공 포드(4)는 이송 가능한 상태로 되고, 공장 내의 제어 컴퓨터로부터 명령을 받은 OHT의 천장 반송차가 진공 포드(4)를 보유 지지하여 다음 공정으로 이송한다. 이상이 본 발명의 일 실시 형태인 포드 오프너(30)의 일련 동작이다.
또한, 본 실시 형태의 포드 오프너(30)가 구비하는 카세트 지지 기구(40)는, 제1 훅 부재(41)에 대하여 요동 이동 가능한 제2 훅 부재(42)와, 제2 훅 부재(42)를 제1 훅 부재(41)을 향하여 가압하는 비틀림 스프링(46)을 구비하고 있지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니며, 그 밖의 형태의 훅 부재를 구비하는 것이 가능하다.
도 10의 (a) 내지 (d)는 본 발명의 제2 실시 형태 카세트 지지 기구(51)를 도시하는 도면이다. 본 실시 형태의 카세트 지지 기구(51)는, 제1 훅 부재(52)와, 제1 훅 부재(52)에 대하여 승강 가능하게 지지되는 제2 훅 부재(53)와, 제2 훅 부재(53)를 제1 훅 부재(52)를 향하여 가압하는 가압 부재(54)를 구비하고 있다. 본 실시 형태에서는, 제2 훅 부재(53)를 제1 훅 부재(52)에 대하여 연직 방향으로 슬라이드 이동 가능한 구성으로 함으로써, 카세트(3)를 지지하고 있지 않을 때도, 제2 훅 부재(53)의 걸림 결합부(53a)가 수평 자세를 유지할 수 있다는 특징이 있다. 이에 의해, 최하단의 카세트(3)를 향하여 제2 훅 부재(53)가 전진할 때에, 제2 훅 부재(53)가 저판(14)과 간섭하는 일이 없어지므로, 저판(14)의 상면을 편평한 형상으로 할 수 있다. 또한, 본 실시 형태의 카세트 지지 기구(51)에서는, 제2 훅 부재(53)를 제1 훅 부재(52)를 향하여 가압하는 가압 부재(54)로서, 인장 코일 스프링(54)이 사용되고 있다. 또한, 제1 훅 부재(52)와 제2 훅 부재(53)를 카세트(3)에 대하여 진퇴 이동시키는 진퇴 기구(43)는 제1 카세트 지지 기구(40)와 마찬가지로, 에어 실린더가 사용되고 있다.
본 실시 형태에서는, 제2 훅 부재(53)의 배면에 돌기(55)가 형성되어 있고, 이 돌기(55)가 제1 훅 부재(52)에 형성되는 상측 스토퍼(56a)와 하측 스토퍼(56b)에 맞닿음으로써, 제2 훅 부재(53)의 승강 이동은 규제된다. 제2 훅 부재(53)의 연직 방향으로 연장되는 컬럼부(53b)는 제1 훅 부재(52)의 컬럼부(52b)에 끼워 넣어지는 구조로 되어 있다. 또한, 제1 훅 부재(52)의 내부 단면은 오목형으로 형성되어 있고, 이 오목형 홈 부분(52c)에 제2 훅 부재(53)의 측면에 형성된 볼록형 부분(53c)이 끼워 맞추게 되어 있다. 이에 의해, 제2 훅 부재(53)는 제1 훅 부재(52)에 의해 안내된 연직인 면 내를 이동하는 것이 가능해진다.
도 11의 (a), (b)는 본 발명의 제3 실시 형태인 카세트 지지 기구(57)를 도시하는 도면이다. 본 실시 형태의 카세트 지지 기구(57)는, 제2 훅 부재(59)가, 제1 훅 부재(58)의 컬럼부(58b)에 샤프트(60)를 통해 회전 가능하게 고정되어 있다. 또한, 제1 훅 부재(58)의 걸림 결합부(58a)는 수평 방향으로 연장되는 상태로 컬럼부(58b)에 고정되어 있다. 본 실시 형태의 제2 훅 부재(59)는 제1, 제2 실시 형태와 같은 대략 L자형 형상을 이루고 있지 않고, 평판형 형상으로 되어 있어서, 비틀림 스프링(61)에 의해, 샤프트(60)를 회전 중심으로 도면으로 보아 시계 방향으로 가압되고 있다. 또한, 제1 훅 부재(58)의 컬럼부(58b)에는, 이 제2 훅 부재(59)의 도면으로 보아 시계 방향의 회동을 규제하는 스토퍼(62a)가 형성되어 있다. 이 스토퍼(62)에 의해, 제2 훅 부재(59)는, 제1 훅 부재(58)의 걸림 결합부(58a)에 대하여 적층된 카세트(3)의 걸림 결합 부재(13)의 상하 방향 피치와 합치하는 위치에서 정지할 수 있다.
또한, 제1 훅 부재(58)의 하부에는 수평 방향으로 연장되는 플레이트(63)가 구비되어 있고, 이 플레이트(63)의 상면에는, 제2 훅 부재(59)의 하면과 맞닿음으로써 제2 훅 부재(59)의 반시계 방향의 회동을 규제하는 스토퍼(62b)가 형성되어 있다. 이 스토퍼(62b)에 의해, 제2 훅 부재(59)는 카세트(3)의 하중이 가해져도 수평 자세를 유지할 수 있다. 제2 훅 부재(59)를 평판형 부재로 함으로써, 제2 훅 부재(59)의 가동 범위를 작게 하는 것이 가능하고, 비용을 삭감할 수 있다.
도 11의 (c), (d)는 본 발명의 제4 실시 형태인 카세트 지지 기구(64)를 도시하는 도면이다. 본 실시 형태의 카세트 지지 기구(64)는, 제3 실시 형태와 마찬가지로, 제2 훅 부재(66)가 제1 훅 부재(65)의 연직 방향으로 연장되는 컬럼부(65b)에 샤프트(67)를 통해 회전 가능하게 고정되어 있다. 또한, 제1 훅 부재(65)의 걸림 결합부(65a)는 수평 방향으로 연장되는 상태로 컬럼부(58b)에 고정되어 있다. 또한, 본 실시 형태의 제2 훅 부재(66)는 제3 실시 형태와 마찬가지로 평판형 형상을 하고 있고, 가압 부재(68)에 의해, 샤프트(67)를 회전 중심으로 도면으로 보아 시계 방향으로 가압되고 있다. 본 실시 형태의 카세트 지지 기구(64)는, 가압 부재(68)가 각종 스프링(46, 54, 61) 등의 탄성체가 아닌 점에서, 다른 실시 형태와는 다르다.
본 실시 형태가 구비하는 가압 부재로서 사용하는 추(68)는, 제2 훅 부재(66)의 카세트(3)를 지지하는 측과는 샤프트(67)를 사이에 두고 반대측에 배치되어 있다. 본 실시 형태의 제1 훅 부재(65)의 컬럼부(65b)에는 공동(65c)이 형성되어 있고, 본 실시 형태의 제2 훅 부재(66)는 이 공동(65c)을 관통하여 배치되어 있다. 또한, 제2 훅 부재(66)는, 지레와 같이 샤프트(67)를 통해 회동 가능하게 제1 훅 부재(65)에 지지되어 있다. 제2 훅 부재(66)의 카세트(3)를 지지하는 부분과는 반대측의 단부에는, 추(68)가 고정되어 있다. 샤프트(67)를 지지점으로 하여 추(68)가 고정되는 측은, 제2 훅 부재(66)의 카세트(3)를 지지하는 측보다도 무거워지도록 구성되어, 제2 훅 부재(66)에 카세트(3)의 하중이 가해지지 않고 있을 때에는, 제2 훅 부재(66)는 샤프트(67)를 지지점으로 하여 추(68)쪽으로 기울도록 구성되어 있다. 또한, 본 실시 형태의 추(68)는, 제2 훅 부재(66)와 같은 수지제이지만, 수지 이외에 알루미늄이나 스테인레스 스틸, 철과 같은 금속제로 하는 것도 충분히 가능하다.
또한, 제1 훅 부재(65) 하부이며, 추(68)가 배치되는 측에는, 스토퍼(69a)가 구비되어 있어, 이 스토퍼(69a)에 맞닿음으로써 제2 훅 부재(66)는, 도면으로 보아 시계 방향으로의 회전을 규제한다. 또한, 이 스토퍼(69a)에 의해, 제2 훅 부재(66)는, 제1 훅 부재(65)의 걸림 결합부(65a)에 대하여 적층된 카세트(3)의 걸림 결합 부재(13)의 상하 방향 피치와 합치하는 위치에서 정지할 수 있다.
또한, 제1 훅 부재(65)의 하부에는 수평 방향으로 연장되는 플레이트(70)가 구비되어 있고, 이 플레이트(70)의 상면에는 제2 훅 부재(66)의 하면과 맞닿음으로써 제2 훅 부재(66)의 반시계 방향 회전 이동을 규제하는 스토퍼(69b)가 형성되어 있다. 이 스토퍼(69b)에 의해, 제2 훅 부재(66)는 카세트(3)의 하중이 가해진 상태에서, 수평 자세를 유지할 수 있다.
이상과 같이, 본 발명에 따른 카세트 지지 기구의 다양한 실시 형태를 설명해 왔지만, 본 발명은 제2 훅 부재를 간단한 구조로 요동이나 슬라이드 이동할 수 있도록 함으로써, 적층된 배치되어 있는 카세트(3)를, 핑거(9)가 액세스 가능한 상태로 할 수 있다. 또한, 제2 훅 부재를 제1 훅 부재를 향하여 가압하는 가압 부재를, 제2 훅 부재에 카세트(3)의 하중이 가해졌을 때에는, 이 카세트(3)의 하중을 지지할 수 없을 정도의 가압력으로 설정하고 있다. 이에 의해, 제2 훅 부재에 카세트(3)의 하중이 가해졌을 때에는, 제2 훅 부재를 제1 훅 부재로부터 이격된 위치로 변위시키고, 제2 훅 부재에 카세트(3)의 하중이 가해지고 있지 않을 때에는, 제2 훅 부재를 제1 훅 부재에 접근시킬 수 있다. 또한, 본 실시 형태에서는, 가압 부재로서 탄성체의 비틀림 스프링이나 인장 스프링을 사용하고 있지만, 그 밖의 탄성체의 사용도 충분히 가능하다. 또한, 탄성체 대신에 샤프트를 지지점으로 하여 제2 훅 부재의 한쪽에 추를 구비함으로써, 다른 한쪽의 카세트 지지부를 제1 훅 부재에 접근시키는 실시 형태도 개시하고 있지만, 하나의 지지 기구에 전술한 탄성체와 추의 2종류의 가압 부재를 함께 구비하는 것도 충분히 가능하다.
또한, 본 실시 형태의 포드 오프너(30)는, 내부를 진공 분위기로 유지하도록 구성되어 있지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 포드 오프너(30)의 내부를 질소나 아르곤과 같은 불활성 가스 분위기나, 청정한 CDA(Clean Dry Air) 분위기로 유지하는 것도 가능하고, 상황에 따라서 진공 분위기와 대기압 분위기로 전환하는 것도 가능하다. 이어서, 본 발명의 일 실시 형태의 포드 오프너(30')와, 대기압 하에서 사용되는 FOUP를 개폐하는 로드 포트(71)를 구비하는 대기 반송 시스템 S'의 일 실시 형태에 대하여 설명한다.
도 13은 본 발명의 대기 반송 시스템 S'의 일 실시 형태를 도시하는 단면도이다. 또한, 도면이 번잡해지는 것을 피하기 위해서, 원래 존재하는 카세트 지지 기구(40, 51, 57, 64)는 그리지 않았다. 본 실시 형태의 대기 반송 시스템 S'은, 포드 오프너(30')와 대기 반송 로봇(72)과, 대기 반송 로봇(72)을 내부에 수용하는 대기 반송실(73)과, 대기 반송실(73)의 측면에 고정되는 로드 포트(71)를 구비하고 있다. 본 실시 형태의 대기 반송 시스템 S'에서는, 포드 오프너(30')와 대기 반송실(73)은 게이트 밸브(27)를 통해 접속되어 있고, 게이트 밸브(27)를 개폐함으로써 연통 상태와 폐쇄 상태를 전환할 수 있다. 또한, 대기 반송실(73)의 다른 측면에는 내부에 웨이퍼 W를 수납 가능한 밀폐 용기인 FOUP을 적재하여 FOUP의 도어를 개폐하는 공지된 로드 포트(71)가 구비되어 있다.
또한, 대기 반송실(73)의 내부 공간에는 공지된 대기 반송 로봇(72)이 배치되어 있고, 이 대기 반송 로봇(72)은 웨이퍼 W를 보유 지지하여 소정의 위치까지 웨이퍼 W를 반송하는 것이 가능하게 구성되어 있다. 또한, 본 실시 형태의 포드 오프너(30')에는, 내부 공간을 진공 분위기로 유지하는 진공 유지 장치에 추가하여, 내부 공간을 불활성 가스 분위기로 유지하는 불활성 가스 분위기 유지 장치가 구비되어 있다. 불활성 가스 분위기 유지 장치는, 포드 오프너(30')의 내부 공간에 불활성 가스를 공급하는 공급원(74a)과 제어 밸브(74b)가 구비되어 있고, 공급원(74a)과 제어 밸브(74b)는 배관(74c)을 통해 포드 오프너(30')의 내부 공간과 접속되어 있다. 또한, 포드 오프너(30') 내부의 불활성 가스 농도를 측정하는 가스 센서(74d)가 배관(74c)을 통해 포드 오프너(30') 내부와 접속되어 있다. 또한, 상기 불활성 가스 분위기 유지 장치는 대기 반송실(73)에도 구비되어 있고, 대기 반송실(73)의 내부 공간은 소정의 불활성 가스 분위기로 유지된다. 또한, 본 실시 형태의 포드 오프너(30')에는, 케이싱(15)을 포드 오프너(30')의 포드 스테이지(18)에 고정하는 고정 부재(75)가 구비되어 있다. 이에 의해, 포드 오프너(30')의 내부 공간이 불활성 가스에 의해 양압이 되어도, 케이싱(15)의 들뜸을 방지할 수 있다.
진공 포드(4)의 내부에 수납되어 있는 웨이퍼 W를 FOUP로 반송하기 위해서는, 진공 분위기로 유지되어 있는 진공 포드(4)와 포드 오프너(30')의 내부 공간을 대기 반송실(73)의 내부 공간의 압력까지 승압시킬 필요가 있다. 먼저, 진공 분위기로 유지되어 있는 포드 오프너(30')로 진공 포드(4)의 저판(14)을 열고, 포드 오프너(30')의 내부 공간에 카세트(3)를 이동시켜, 본 발명의 카세트 지지 기구에 의해, 카세트(3)를 대기 반송 로봇(72)이 액세스 가능한 상태로 한다. 이 상태로 된 시점에서 제어 밸브(26b)를 작동시켜서 진공 펌프(26a)와 포드 오프너(30')의 내부 공간의 연통을 차단한다. 이어서, 제어 밸브(74b)를 작동시켜서, 공급원(74a)으로부터 포드 오프너(30')의 내부 공간에 불활성 가스를 공급한다. 포드 오프너(30')의 내부 분위기가 대기 반송실(73)의 압력과 대략 일치하면, 포드 오프너(30') 내부와 대기 반송실(73) 내부를 기밀하게 폐쇄하고 있는 게이트 밸브(27)를 열어서 서로의 내부 공간을 연통 상태로 한다. 포드 오프너(30')와 대기 반송실(73)의 내부 공간이 연통하면, 대기 반송 로봇(72)에 의해 웨이퍼 W가 카세트(3)로부터 FOUP로 반송된다. 이 대기 반송 로봇(72)에 의한 웨이퍼 W의 반송이 순차 행하여져, 각 카세트(3)에 적재되어 있는 웨이퍼 W의 로드 포트(71)로의 반송이 종료되면, FOUP의 도어가 폐쇄되고, FOUP는 다음 공정으로 이송된다.
이어서, 웨이퍼 W의 반송이 종료된 후의, 포드 오프너(30')의 내부 공간을 대기압 상태로부터 진공압 상태로 이행시키는 수순에 대하여 설명한다. FOUP로부터 진공 포드(4)로의 웨이퍼 W의 반송, 혹은, 진공 포드(4)로부터 FOUP로의 웨이퍼 W의 반송이 종료되면, 먼저, 게이트 밸브(27)에 의해 포드 오프너(30')의 내부 공간과 대기 반송실(73)의 내부 공간이 기밀하게 차단된다. 이어서, 포드 오프너(30')가 구비하는 진공 펌프(26a)에 의해 포드 오프너(30')와 진공 포드(4)의 내부 공간이 소정의 진공압까지 강압된다. 소정의 진공압에 도달하면, 이어서 승강 기구(34)가 작동하여 저판(14)와 스테이지 도어(29)를 상승시키고, 저판(14)을 케이싱(15)과 걸림 결합시켜, 스테이지 도어(29)에 의해 개구(28)를 기밀하게 폐쇄시킨다. 상기 동작이 완료되면, 진공 포드(4)는 다음 공정으로 이송되어 간다.
상기한 바와 같이 본 실시 형태의 포드 오프너(30')에 의해, 내부가 진공 압으로 유지되고 있는 진공 포드(4)와 대기압으로 유지되고 있는 FOUP 사이에서의 웨이퍼 W 반송이 가능해진다. 반도체 제조 공정에는, 에칭 공정과 같이 웨이퍼 W를 진공 분위기로 유지하는 것이 바람직한 공정과, 검사 공정과 같이 반드시 진공 분위기로 유지할 필요는 없는 공정이 존재한다. 또한, 반도체 제조 공장의 사정에 의해 진공 분위기로 유지되고 있는 공정과 대기 분위기로 유지되고 있는 공정이 혼재하는 일도 많다. 이러한 공장 내에 있어서, 본 실시 형태의 대기 반송 시스템 S'은, 웨이퍼 W의 표면에 불필요한 산화막을 생성시키지 않는 청정한 분위기 내에서, FOUP와 진공 포드(4) 사이에서 웨이퍼 W를 반송하는 것이 가능해져, 반도체 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.
이상과 같이 본 발명을, 각 실시 형태를 사용하여 설명했지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되지 않고, 당업자에 의한 다양한 변경 또는 개량을 가하는 것이 가능하다. 또한, 그것들의 변경 또는 개량된 형태도, 본 발명의 특허 청구 범위에 기재되는 기술적 범위에 포함된다.

Claims (7)

  1. 기판을 지지하여 상하 방향으로 적층하여 배치되는 카세트를 수납하는 용기를 소정의 위치에 적재하여, 상기 카세트에 지지되는 상기 기판을 반송 장치의 기판 보유 지지 부재에 의해 액세스 가능한 상태로 하는 포드 오프너이며,
    상기 적층하여 배치되는 상기 카세트를 연직 방향으로 승강 이동시키는 승강 기구와,
    상기 적층하여 배치되는 상기 카세트 중 임의의 제1 카세트가 구비하는 걸림 결합 수단과 걸림 결합하여, 상기 제1 카세트를 지지하는 제1 훅 부재와,
    상기 제1 훅 부재에 의해 지지되는 상기 제1 카세트의 바로 아래에 배치되는 제2 카세트가 구비하는 걸림 결합 수단과 걸림 결합하여, 상기 제2 카세트를 지지하는 제2 훅 부재와,
    상기 제1 훅 부재와 상기 제2 훅 부재를, 상기 제1 및 제2 카세트의 상기 걸림 결합 수단에 걸림 결합시킬 때 상기 카세트를 향하여 전진 이동시키고, 또한, 상기 제1 및 제2 카세트의 상기 걸림 결합 수단으로부터 해방할 때 상기 제1 및 제2 카세트로부터 이격되는 방향으로 후퇴 이동시키는 진퇴 기구와,
    상기 제2 훅 부재를 상방으로 가압하는 가압 부재와,
    상기 카세트가 배치되는 내부 공간을 소정의 분위기로 유지하는 분위기 유지 장치
    를 구비하고,
    상기 제2 훅 부재는, 상기 제2 카세트를 지지하고 있지 않을 때에는, 상기 가압 부재의 가압력에 의해 상방으로 변위하고, 또한, 상기 제2 카세트를 지지하고 있을 때에는, 상기 가압 부재의 가압력에 저항하여 상기 제2 카세트의 중량에 의해 하방으로 변위하는 것을 특징으로 하는 포드 오프너.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제2 훅 부재가 상기 제2 카세트와 걸림 결합하고 있지 않을 때는, 상기 제1 훅 부재의 걸림 결합부와 상기 제2 훅 부재의 걸림 결합부의 상하 방향의 피치가, 상기 적층하여 배치되는 카세트의 각 걸림 결합 수단의 상하 방향의 피치와 동일한 것을 특징으로 하는 포드 오프너.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제2 훅 부재를 가압하는 가압 부재는, 비틀림 스프링인 것을 특징으로 하는 포드 오프너.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제2 훅 부재를 가압하는 가압 부재는, 코일 스프링인 것을 특징으로 하는 포드 오프너.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제2 훅 부재를 가압하는 가압 부재는, 지지점인 샤프트에 관해서, 상기 제2 훅 부재가 상기 제2 카세트를 지지하는 부분과는 반대측에 배치되는 추인 것을 특징으로 하는 포드 오프너.
  6. 제1항 또는 제2항에 기재된 포드 오프너와,
    상기 기판을 반송하는 진공 반송 로봇과,
    상기 진공 반송 로봇을 내부 공간에 수용하여 상기 내부 공간을 진공 상태로 유지하는 진공 유지 수단을 구비하는 진공 반송 장치와,
    상기 기판에 각종 처리를 실시하는 처리 장치
    를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  7. 제1항 또는 제2항에 기재된 포드 오프너와,
    상기 기판을 반송하는 대기 반송 로봇과,
    상기 대기 반송 로봇을 내부 공간에 수용하여, 상기 내부 공간을 불활성 가스 분위기로 유지하는 불활성 가스 공급 수단을 구비하는 대기 반송실과,
    상기 대기 반송실에 고정되는 로드 포트와,
    상기 포드 오프너와 상기 대기 반송실은 게이트 밸브를 통해 접속되고,
    또한, 상기 포드 오프너는, 그 내부 공간을 진공 상태로 유지하는 진공 유지 수단과, 불활성 가스 유지 수단을 구비하는,
    것을 특징으로 하는 대기 반송 시스템.
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