JP6614278B2 - 容器パージ装置 - Google Patents
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Description
ェハ基板やガラス基板を収容するキャリアカセット等の容器内にガスを注入することが可能な容器パージ装置に関する。
性ガスの供給機構を備える容器パージ装置を提供することにある。
前記容器パージ装置は、前記基板収容容器の底部に設けられる気体排出部を介して、前記基板収容容器内の気体を排出する排出機構と、前記底部に設けられる注入部を介して不活性ガスを前記基板収容容器内に供給する供給機構とを備え、前記排出機構と前記供給機構とを動作させることにより、前記基板収容容器内の前記不活性ガスの濃度を高めるものであり、
前記供給機構は、前記載置台から昇降可能に設けられる注入ノズルと、前記注入ノズルを前記基板収容容器の前記注入部に接触させるように前記注入ノズルを昇降可能に収容する筐体とを有し、
前記注入ノズルが前記筐体をシリンダとするピストンとなることで前記注入ノズルの昇降駆動を可能とし、前記筐体は前記注入ノズルが貫通する開口部を有し、前記注入ノズルの一部が前記筐体外に露出して前記注入部に接触することを特徴とする。
図1は、本発明の第1の実施形態に係るガス注入装置としてのロードポートを示す斜視図である。図2は、そのロードポート100を示す平面図である。
図7は、上記と同様にロードポートに適用される、本発明の第2の実施形態に係る昇降駆動ユニットを示す断面図である。この第2の実施形態の説明では、上記第1の実施形態に係るロードポート100が含む部材や機能等について同様のものは説明を簡略化または省略し、異なる点を中心に説明する。
本発明に係る実施形態は、以上説明した実施形態に限定されず、他の種々の実施形態が実現される。
2…載置台
4、54…昇降駆動ユニット(駆動部に相当)
5(5a、5b及び5c)、55…注入ノズル(ノズルに相当)
5'…排出ノズル(ノズルに相当)
7…キネマティックピン(位置決めピンに相当)
10…キャリア(容器に相当)
41…エアシリンダ
100…ロードポート(ガス注入装置を搭載する装置に相当)
101…位置決め溝
102…注入部
102'…排出部
103…底部
Claims (5)
- 複数枚の基板を収容可能な基板収容容器が載置される載置台を備えた容器パージ装置において、
前記容器パージ装置は、前記基板収容容器の底部に設けられる排出部を介して、前記基板収容容器内の気体を排出する排出機構と、前記底部に設けられる注入部を介して不活性ガスを前記基板収容容器内に供給する供給機構とを備え、前記排出機構と前記供給機構とを動作させることにより、前記基板収容容器内の前記不活性ガスの濃度を高めるものであり、
前記供給機構は、前記載置台から昇降可能に設けられる注入ノズルと、前記注入ノズルを前記基板収容容器の前記注入部に接触させるように前記注入ノズルを昇降可能に収容する筐体とを有し、
前記注入ノズルが前記筐体をシリンダとするピストンとなることで前記注入ノズルの昇降駆動を可能とし、前記筐体は前記注入ノズルが貫通する開口部を有し、前記注入ノズルの一部が前記筐体外に露出して前記注入部に接触することを特徴とする容器パージ装置。 - 前記載置台の上面には開口が設けられ前記開口から前記注入ノズルが上方に露出可能に設けられ、前記注入ノズルを不活性ガスの供給源につなぐ配管の少なくとも一部及び前記不活性ガスを供給するとき開かれる開閉弁が前記載置台に収容されることを特徴とする請求項1に記載の容器パージ装置。
- 前記筐体は複数領域に区画されると共に、区画された前記筐体内の一部から気体を排気可能な排気部を有する請求項1または2に記載の容器パージ装置。
- 前記筐体内は前記複数領域において圧力差を形成可能に区画されることを特徴とする請求項3に記載の容器パージ装置。
- 前記排気部は前記載置台の容器載置面よりも下方で前記筐体内の気体を排気することを特徴とする請求項3又は4に記載の容器パージ装置。
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