JP2018170359A - ロードポート装置 - Google Patents
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Description
容積が可変である複数の圧力室へ導入する駆動ガスを供給する駆動ガス供給部と、
ウエハ搬送容器を載置する載置テーブルを駆動するテーブル駆動部、前記ウエハ搬送容器を前記載置テーブルに対して固定するクランプ機構を駆動するクランプ駆動部、前記ウエハ搬送容器の主開口に連通する連通口に設けられたドアを駆動するドア駆動部、のうち少なくとも一つが有する前記圧力室である第1圧力室へ、第1の圧力を有する前記駆動ガスを導入する第1ガス導入路と、
前記ウエハ搬送容器の底部開口を介して前記ウエハ搬送容器に連通するボトムノズルを駆動するボトムノズル駆動部が有する前記圧力室である第2圧力室へ、前記第1の圧力より低い第2の圧力を有する前記駆動ガスを導入する第2ガス導入路と、を有する。
前記第2ガス導入路は、前記駆動ガスを前記第2の圧力に減圧する第2レギュレータを介して、前記第1ガス導入路に繋がっていてもよい。
前記第2の圧力は、前記第3の圧力より低くてもよい。
図1に示すように、本発明の一実施形態に係るロードポート装置10は、半導体処理装置へ繋がるウエハ搬送室52に連結されており、ウエハ搬送室52とロードポート装置10とは、イーフェム(EFEM)を構成する。図1に示すように、ロードポート装置10は、壁部材11と、固定台12と、その固定台12に対して、Y軸方向に移動可能な載置テーブル14とを有する。なお、図面において、Y軸が載置テーブル14の移動方向を示し、Z軸が鉛直方向の上下方向を示し、X軸がこれらのY軸およびZ軸に垂直な方向を示す。
2… フープ
2b… 主開口
2d… 第1側面
2f… 底面
5… 底部底孔
7… 係合用端縁
10… ロードポート装置
11… 壁部材
14… 載置テーブル
15… テーブル駆動部
15a… テーブル移動圧力室
15b… テーブル移動制御弁
16… クランプ機構
17… クランプ駆動部
17a… クランプ移動圧力室
17b… クランプ移動制御弁
18… ドア
19… ドア駆動部
19a… ドア開閉圧力室
19b… ドア開閉制御弁
20… ボトムノズル
20a… ノズル口
21… ボトムノズル駆動部
21a… ノズル昇降圧力室
21b… ノズル昇降制御弁
21c… ピストン流路
21d… シリンダ
21e… 排出バルブ
21f… 仕切り板
22… 清浄化ガス導入流路
22a… 空間
23… シール部材
24… 下方部材
30… 駆動ガス供給部
31… 第1ガス導入路
32… 第2ガス導入路
40… ガス供給源
41… 第1レギュレータ
42… 第2レギュレータ
50… マニホールド
52… ウエハ搬送室
Claims (4)
- 容積が可変である複数の圧力室へ導入する駆動ガスを供給する駆動ガス供給部と、
ウエハ搬送容器を載置する載置テーブルを駆動するテーブル駆動部、前記ウエハ搬送容器を前記載置テーブルに対して固定するクランプ機構を駆動するクランプ駆動部、前記ウエハ搬送容器の主開口に連通する連通口を開閉するドアを駆動するドア駆動部、のうち少なくとも一つが有する前記圧力室である第1圧力室へ、第1の圧力を有する前記駆動ガスを導入する第1ガス導入路と、
前記ウエハ搬送容器の底部開口を介して前記ウエハ搬送容器に連通するボトムノズルを駆動するボトムノズル駆動部が有する前記圧力室である第2圧力室へ、前記第1の圧力より低い第2の圧力を有する前記駆動ガスを導入する第2ガス導入路と、を有するロードポート装置。 - 前記第2ガス導入路は、前記駆動ガスを前記第2の圧力に減圧する第2レギュレータを介して、前記駆動ガス供給部または前記第1ガス導入路に繋がっていることを特徴とする請求項1に記載のロードポート装置。
- 前記第1ガス導入路は、前記駆動ガスを前記第1の圧力に減圧する第1レギュレータを介して、前記駆動ガス供給部に繋がっており、
前記第2ガス導入路は、前記駆動ガスを前記第2の圧力に減圧する第2レギュレータを介して、前記第1ガス導入路に繋がっていることを特徴とする請求項1に記載のロードポート装置。 - 前記ボトムノズルを介して、前記ウエハ搬送容器に第3の圧力を有する清浄化ガスを導入する清浄化ガス導入路を有しており、
前記第2の圧力は、前記第3の圧力より低いことを特徴とする請求項1から請求項3までのいずれかに記載のロードポート装置。
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JP2017065579A JP6799280B2 (ja) | 2017-03-29 | 2017-03-29 | ロードポート装置 |
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009038074A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-02-19 | Tdk Corp | 被収容物の処理方法及び当該方法に用いられる蓋開閉システム |
JP2013258206A (ja) * | 2012-06-11 | 2013-12-26 | Sinfonia Technology Co Ltd | パージノズルユニット、パージ装置、ロードポート |
JP2014053417A (ja) * | 2012-09-06 | 2014-03-20 | Tokyo Electron Ltd | 蓋体開閉装置及びこれを用いた熱処理装置、並びに蓋体開閉方法 |
JP2015088500A (ja) * | 2013-10-28 | 2015-05-07 | Tdk株式会社 | ロードポート装置 |
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- 2017-03-29 JP JP2017065579A patent/JP6799280B2/ja active Active
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