JP6008169B2

JP6008169B2 - ロードポート装置

Info

Publication number: JP6008169B2
Application number: JP2012121683A
Authority: JP
Inventors: 淳江本; 阿部　知史; 知史阿部
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 2012-05-29
Filing date: 2012-05-29
Publication date: 2016-10-19
Anticipated expiration: 2032-05-29
Also published as: JP2013247322A

Description

本発明は、半導体製造プロセス等において、ポッドと呼ばれる密閉型の搬送容器の内部に保持されたウエハを半導体処理装置に移載する、或いはウエハを該半導体処理装置より該ポッドに移載する際に用いられる所謂FIMS（Front-Opening Interface Mechanical Standard）システム、即ちロードポート装置に関する。

半導体製造プロセスは、近年では各種処理装置の内部、ウエハを収容して各処理装置間でのウエハ搬送を可能とするポッド、及び該ポッドより各処理装置へのウエハの受け渡しを行う微小空間、の３空間のみを高清浄状態に保つことで、プロセスを通じての清浄度の管理を行う手法が一般的となっている。このようなポッドは、ウエハを内部に収容し且つ一側面にウエハ挿脱用の開口を有する本体部と、該開口を閉鎖してポッド内部を密閉空間とする蓋と、から構成される。また、該微小空間は、前述したポッドの開口と対向可能な開口部と、該開口部と向かい合い半導体処理装置側に配置される第二の開口部と、を有する。

ロードポート装置は、この開口部が形成された隔壁の一部となる部材であるサイドプレートと称呼される壁と、該開口部を閉鎖するドアと、該ドアの動作を司るドア駆動機構と、ポッドが載置される載置台と、から構成される。載置台は、ポッドの開口と開口部とを向かい合わせるようにポッドを支持可能であり、且つポッドと一緒に蓋をドアに向かって近接或いはドアより離間させる。ドアは、ポッドの蓋を保持可能であり、ドア駆動機構によって蓋を保持した状態で開口部を開放、閉鎖すると共に、開口部と第二の開口部との間の空間より下方に退避或いは該空間への侵入をさせられる。微小空間内にはロボットが配置され、該ロボットは開口部−ポッド開口を介してポッド内部に対する侵入及び退避が可能であって、第二の開口部も介して該ポッド内部と該半導体処理装置との間でウエハの移載を行う。

半導体の製造工程において、ポッド内に収容されているウエハには、例えば金属配線等が形成されたものが存在する。この様な金属配線は表面が酸化されることによって素子完成時に所望の特性が得られなくなる恐れがあり、このためにポッド内部における酸素濃度を低レベルに保つ必要がある。この様な要求に対応する技術として、特許文献１では、微小空間内であって開口部の前の空間にエンクロージャを配し、該エンクロージャ内の酸素濃度を低下させることにより、ポッド内部への酸素の侵入を抑制しようとする技術が開示されている。

特開２００９−０３８０７３号公報

特許文献１に開示される方法では、ポッド内の酸素濃度を現状要求されるレベルまで低減することが可能である。しかしその反面、ポッド内と半導体処理装置との間でウエハの授受を行う前述したロボットは、このエンクロージャをも介してこの授受の操作を行うことが必要となる。当該エンクロージャは微小空間内に張り出して設置される関係上このロボットの動作を制限し、例えばロボットが大きくなりこの動作が規定範囲を超えた場合には該ロボットとの接触の可能性もある。本発明はこのような状況に鑑みて為されたものであり、開口部と隣接する領域にエンクロージャを配しつつもロボットの動作範囲の制限を最小限とすることが出来るロードポート装置の提供を目的としている。

上記課題を解決するために、本発明に係るロードポート装置は、微小空間を外部空間から分離する壁の一部を構成し、前記微小空間と前記外部空間とを連通する第一の開口部を有するサイドプレートと前記サイドプレートが有する前記第一の開口部を閉鎖可能なドアとを有し、被収容物が収容される密閉容器の開口を前記第一の開口部と対向させるとともに、前記開口に取付けられる蓋を前記ドアが保持して前記密閉容器を開閉するロードポート装置であって、前記第一の開口部を囲んで前記微小空間内に配置され、前記開口部に隣接する前記微小空間の一部を第二の微小空間として区切り、前記第一の開口部と対向して配置され、第二の開口部を有する室画定プレートと、前記第一の開口部の側辺に沿って配置される側面プレートとを有するカバー部材と、前記第二の微小空間の内部に気体を供給するカーテンノズルと共に前記開口部と前記開口とを介して前記密閉容器の内部に前記気体を供給可能であり前記カーテンノズルより形成されるガスカーテンの内部に位置し、前記第一の開口部の側辺に沿って配置される一対のパージノズルとを有するガスパージ装置と、前記ドアの前面が前記第一の開口部を閉鎖する位置と前記ドアの背面が前記第二の開口部を閉鎖する位置との間で移動可能とし、かつ、昇降動作可能とするドア駆動機構と、を有し、前記ドア駆動機構は、前記ドアと前記カバー部材とを一緒に昇降させることを特徴とする。

なお、前述したロードポート装置において、前記カバー部材は前記開口部と対向して配置される室画定プレートと、前記開口部の側辺に沿って配置される側面プレートとを有し、前記開口部の上辺よりも上側において前記サイドプレートに対して固定される上部壁部材と組み合わさって、前記第二の微小空間を形成することが好ましい。或いは、前記ガスパージ装置は前記サイドプレートに対して固定されていることが好ましい。さらには、前記前記ドア駆動機構は、前記カバー部材及び前記ドアと共に、前記ガスパージ装置も昇降させることが好ましい。

また、上記課題を解決するために、本発明に係る密閉容器の蓋開閉方法は、微小空間を外部空間から分離する壁の一部を構成し、前記微小空間と前記外部空間とを連通する第一の開口部を有するサイドプレートと前記サイドプレートが有する前記第一の開口部を閉鎖可能なドアとを有し、被収容物が収容される密閉容器の開口を前記第一の開口部と対向させるとともに、前記開口に取付けられる蓋を前記ドアが保持して前記密閉容器を開閉するロードポート装置における前記密閉容器の蓋開閉方法であって、前記微小空間内において前記第一の開口部を囲んで配置可能であって、前記第一の開口部と対向して配置され、第二の開口部を有する室画定プレートと、前記第一の開口部の側辺に沿って配置される側面プレートとを有するカバー部材により、前記開口部に隣接する前記微小空間の一部を第二の微小空間として区切る工程と、前記ドアにより前記蓋を保持し、前記ドアを前記開口部から離間させることにより前記開口を開放する工程と、前記第二の微小空間の内部に気体を供給するカーテンノズルと共に前記開口部と前記開口とを介して前記密閉容器の内部に前記気体を供給可能であり前記カーテンノズルより形成されるガスカーテンの内部に位置し、前記第一の開口部の側辺に沿って配置される一対のパージノズルとを有するガスパージ装置により、前記ドアの背面が第二の開口部を閉鎖している状態で前記密閉の内部に前記気体を供給する工程と、前記ドアの前面が前記第一の開口部を閉鎖する位置と前記ドアの背面が前記第二の開口部を閉鎖する位置との間で移動可能とし、かつ、昇降動作可能とするドア駆動機構によって、前記ドアと共に前記カバー部材を前記開口部と対向する位置から対向しない位置へ、前記ドアと前記カバー部材とを一緒に昇降させて前記開口部を開放する工程と、を有することを特徴とする。

本発明によれば、ロボットによるポッド-半導体処理装置間でのウエハの移送への影響を最小限としつつ、ポッド内部の残留酸素濃度を１００ppm未満のレベルまで低減することが可能となる。

本発明の第一の実施形態に係るロードポート装置にポッドを載置してこれらを側面から見た状態の概略構成を示す図である。本発明の第一の実施形態に係るロードポート装置にポッドを載置してこれらを側面から見た状態の概略構成を示す図である。本発明の第一の実施形態に係るロードポート装置にポッドを載置してこれらを側面から見た状態の概略構成を示す図である。図１（ａ）〜１（ｃ）に示した構成における構成を微小空間１０３側から見た図である。図１（ａ）〜１（ｃ）に示した構成における構成を微小空間１０３側から見た図である。第一の実施形態における室画定プレート２７０の更なる態様を図２（ａ）〜２（ｂ）と同様の様式にて示す図である。第一の実施形態における室画定プレート２７０の更なる態様を図２（ａ）〜２（ｂ）同様の様式にて示す図である。第一の実施形態における室画定プレート２７０の更なる態様を図２（ａ）〜２（ｂ）と同様の様式にて示す図である。本発明の更なる実施形態を図１（ａ）〜１（ｃ）と同様の様式にて示す図である。本発明の更なる実施形態を図１（ａ）〜１（ｃ）と同様の様式にて示す図である。本発明の更なる実施形態を図１（ａ）〜１（ｃ）と同様の様式にて示す図である。

本発明の一実施形態について、以下に図面を参照して説明する。図１（ａ）は、本発明の一実施形態におけるロードポート１００装置に関し、ポッド１を載置台上に載置した状態を側面から見た場合の概略構成を示している。また、図２（ａ）は、該ロードポート装置１００に関して、図１（ａ）に示した状態にある構成をドア背面側から見た場合の概略構成を示している。また、図１（ｂ）は図１（ａ）に示す状態からドアがポッド１の蓋３を保持して開口を開けた状態を、図１（ｃ）は更に蓋３を保持したドアが降下してポッド開口及び開口部を開放した状態を示している。また、図２（ｂ）は、図１（ｃ）に示した状態にある構成を図２（ａ）と同様の様式にて見た場合の概略構成を示している。

本実施形態の説明に際し、被収容物のウエハを収容するポッド（密閉容器）について先に述べる。図１（ａ）〜１（ｃ）等に示されるポッド１は、ポッド本体２と蓋３とから構成される。ポッド本体２は内部にウエハ等を収容する収容空間２ｂを有し、且つ側面に当該収容空間２ｂに連通する開口２ａを有している。当該開口２ａは蓋３により閉鎖される。収容空間２ｂ内には不図示のウエハ（図中二点鎖線により記載）を水平に支持する複数の棚（不図示）が側壁等から突き出しており、当該棚により複数のウエハが均等な間隔を明けて該収容空間２ｂ内にて水平に保持される。なお、本実施例において、ポッド本体２の駆動方向をＸ軸方向とし、該Ｘ軸に直交して該Ｘ軸と共にウエハの延在面を規定する方向（紙面に垂直な方向）をＹ軸方向とし、これら軸からなるＸＹ平面に垂直な方向をＺ軸として便宜上規定する。本実施例では鉛直方向がＺ軸方向に対応し、本明細書における上方及び下方は鉛直方向における上方及び下方に対応する。しかし、本発明におけるＺ軸の延在方向はこの鉛直方向に限定されず、必要に応じて鉛直方向から傾けて設定することも可能である。

次に、本実施形態におけるロードポート装置の構成について、以下に述べる。ロードポート装置１００は、サイドプレート１０５によって外部空間１０４と分離される微小空間１０３を構成し、該サイドプレート１０５に隣接して配置されるポッドの載置台１０７を有する。サイドプレート１０５は、微小空間１０３と外部空間１０４とを連通させる第一の開口部１１１を有する。サイドプレート１０５等によって構築される微小空間１０３の上部には不図示のファンが配置され、ロードポート装置１００が取付けられる半導体処理装置の筐体の外部空間１０４に存在する気体を微小空間１０３内部に導入し、微小空間１０３内部に上方から下方に向かう気体の流である所謂ダウンフローを生成する。なお、当該ファンに対しては、外部空間１０４の清浄度に応じて、当該空間から導入される気体より塵埃等の汚染物質を除去するフィルタが付随している。微小空間１０３の下部にはダウンフローが流出可能となるような構造が配置されており、該微小空間１０３内部で発生する粉塵等は当該ダウンフローに運ばれて微小空間１０３の下部から外部空間１０４に排出される。

第一の開口部１１１を略閉鎖するドア１２１は、ドアシステム１２０の一部を構成する。ドアシステム１２０は、ドア１２１、ドアアーム１２５及びドア駆動機構１２３を有する。ドア１２１は、蓋３を保持可能であると共に、ポッド本体２に対する蓋３の固定及び分離の操作が可能となっている。ドア駆動機構１２３はドアアーム１２５を介してドア１２１を支持し、ドアアーム１２５との連結部分を中心にこれを回動させることでドア１２１のポッド１に対する接近及び離間を促す回動機構部１２３ａを有する。また、該ドア駆動機構１２３は、ドア１２１及びドアアーム１２５をＺ軸下方に降下させるＺ軸駆動機構部１２３ｂを有し、当該Ｚ軸駆動機構部１２３ｂがドア１２１等を降下させることにより、第一の開口部１１１の開閉を行う。また、Ｚ軸駆動機構部１２３ｂは、ドア１２１等と共に後述する昇降カバー２５０の昇降も行う。

ポッド１を載置する載置台１０７は、載置されたポッド１を固定可能であると共に該ポッド１を前述した第一の開口部１１１（より正確にはこれを閉鎖するドア１２１）に対して接近及び離間させることが可能である。載置台１０７は、不図示のテーブル駆動機構によりポッド１がドア１２１と所定の間隔になるまで或いはドア１２１と当接するまでポッド１の接近動作を行い、ポッド１の駆動が停止した状態でドア１２１は蓋３を保持する。前述したように、ドア１２１はこの状態でポッド本体２からの蓋３の分離を行い、更にドア駆動機構１２３により第一の開口部１１１に対して下方に移動することによってポッド１の開口部２ａを微小空間１０３に対して開放させる。

本実施形態に係るロードポート装置１００は、上述した構成に加え、パージ装置２００、及び昇降カバー２５０を有する。本実施形態において、ガスパージ装置２００は以上に述べたロードポート装置１００に対し固定されて用いられる。ガスパージ装置２００は、カーテンノズル２１０及び一対のパージノズル２２０を有する。カーテンノズル２１０は、第一の開口部１１１の上辺より上方であって、この上辺に沿う姿勢で微小空間１０３側にサイドプレート１０５より突き出す（Ｘ軸方向に突き出す）ように配置される。該カーテンノズル２１０は、第一の開口部１１１の上辺より突き出す庇（上部壁部材）を形成し、該庇よりＺ軸下方に沿って窒素等の不活性ガスを連続的に供給し、第一微小空間１０３内の第一の開口部１１１に隣接する空間に該不活性ガスによるカーテンを生成する。また、この庇形状により、微小空間１０３の天井部より供給されるダウンフローが第一の開口部１１１に隣接する空間へ流入することを抑制している。なお、本実施形態において、カーテンノズル２１０は直方体形状を有し、フィルタ部材より構成される底面の全域には多数のガス噴出し口が設けられている。

一対のパージノズル２２０は、各々第一の開口部１１１の両側辺の周辺において該側辺に平行に延在するように、サイドベース１０５の微小空間１０３側に配置される。これら一対のパージノズル２２０はカーテンノズル２１０より形成されるガスカーテンの内部に位置するように配置される。パージノズル２２０の各々にはパージガス供給用の開口スリット（不図示）が設けられており、第一の開口部１１１を介して微小空間１０３から外部空間１０４の方向へ不活性ガスを噴出すことを可能としている。ポッド１が載置台１０７上に配置され、ドア１２１によってポッド１の開口２ａが開放された状態において、これらパージノズル２２０はポッド収容空間２ｂに向けて不活性ガスの供給を行い、ポッド１内部の雰囲気をガス置換する。

昇降カバー２５０は、一対の側面プレート２６０及び室画定プレート２７０より構成される。昇降カバー２５０を構成するこれらプレートは、一体としてドア駆動機構１２３におけるＺ軸駆動機構部１２３ｂにより支持され、ドア１２１と一緒に昇降動作が為される。一対の側面プレート２６０各々は、サイドプレート１０５より微小空間１０３側に所定長さ突き出し且つＺ軸方向に延在する平板状の部材からなる。この所定長さは、昇降カバー２５０の上昇位置において、微小空間１０３側端部がカーテンノズル２１０のサイドプレート１０５側端部から微小空間１０３側端部までの距離と一致する長さとされている。また、側面プレート２６０各々は、第一の開口部１１１の中心を基準としてパージノズル２２０よりも外側に配置される。即ち、昇降カバー２５０の上昇位置において、上部壁部材たるカーテンノズル２１０と側面プレート２６０とは接続して、第一の開口部１１１を囲み且つサイドプレート１０５から所定長さ突き出した、下方が開口するコの字形状部分を形成する。

室画定プレート２７０は、側面プレート２６０のサイドプレート１０５とは逆側の自由端である辺（微小空間１０３側の端部）に対し、該側面プレート２６０を介してサイドプレート１０５と対向するように固定される。即ち、側面プレート２６０及びカーテンノズル２１０からなるコの字状の囲みの側面に該室拡画定プレート２７０が配されることにより、第一の開口部１１１の正面に、微小空間１０３の一部を区切った第二の微小空間２０３が形成されることとなる。以上の構成により、ドア１２１がポッド１の蓋３を保持してポッド開口２ａを開放した際には、第一の開口部１１１を介して第二の微小空間２０３とポッド１の内部とが連通することとなる。該二の微小空間２０３内には、カーテンノズル２１０及びパージノズル２２０より窒素等不活性ガスが供給され、この空間内での酸素濃度の効果的な低減が行われる。

本発明では、これら昇降カバー２５０とドア１２１とが一緒に昇降の動作を行っている。従って、ポッド１の蓋３を保持したドア１２１が降下した状態にある時、側面プレート２６０も降下していることとなる。即ち、図中不図示のロボットが動作すべき状態にある時に、本発明の課題を誘引する昇降カバー２５０はロボットの動作に影響を及ぼさないように降下している。また、ポッド１の内部空間２ｂの酸素濃度を低下させるタイミングは蓋３の開放直後または閉鎖時であるが、その際にはドア１２１と共に上昇した位置にある昇降カバー２５０と上部壁部材たるカーテンノズル２１０とが組み合わさって第二の微小空間２０３が形成され、当該第二の微小空間２０３を利用したパージ操作が行われる。当該第二の微小空間２０３は微小空間１０３に比較して容積が大幅に小さく、且つ不活性ガス供給のために必要となる最小限の空間として規定される。従って、酸素濃度の抑制効果も特許文献１に開示する構成と同等のものが得られる。

本発明ではドア駆動機構１２３におけるＺ軸駆動機構部１２３ｂによって、ドア１２１と共に昇降カバー２５０も昇降させることとしている。これらを別個に昇降させる方式の場合には、各々の駆動機構が必要となる。通常駆動機構は動作部における発塵を勘案しておく必要があるが、当該構成の場合には発塵源が複数存在すると共にこれらが個別に移動し、発塵の影響が拡大する恐れがある。通常は微小空間１０３に生成されるダウンフローをこの発塵源の存在位置に導くことにより、塵等の外部空間への排出を促している。ただ、複数の駆動機構を有する場合には、状況により個々の駆動機構が上下の配置を入れ替えたりする場合も考えられる。このような動作はダウンフロー中における乱流の生成、塵等の巻上げによる塵等の拡散を発生させる恐れがある。本発明ではこの駆動機構を単一とすることにより、ドア１２１及び昇降カバー２５０の駆動に伴う発塵或いは塵等の拡散を抑制している。

なお、本実施形態における室画定プレート２７０には、ドア１２１が蓋３を保持して回動した後であって上昇時の位置で停止した回動位置に存在する際に該ドア１２１の背面１２１ａ（微小空間１０３側の面）と対面する位置に、第二の開口部２７１が形成されている。当該第二の開口部２７１は、ドア１２１及び昇降カバー２５０の昇降時に、第二の微小空間２０３内にダウンフローを引き込む働きを有する。第二の微小空間２０３の下方は開放されており、この引き込まれたダウンフローによってドア駆動機構１２３或いはその周辺にて発生した塵等を微小空間１０３より遠ざける効果を得ている。また、ドアが回動した状態で第二の開口部２７１をドア１２１の背面１２１ａにより閉鎖することにより、ガスパージ装置２００より不活性ガスを供給する空間を制限し、ダウンフローと比較して小さな流量での不活性ガス供給であっても当該第二の微小空間２０３内の気体を効率的に不活性ガスに置換することを可能としている。

上述したように、本発明では、第一の開口部１１１からなる開口部を囲んで微小空間１０３側に配置される昇降カバー２５０（後述する実施形態ではカーテンノズル２１０を含む。）により、該微小空間１０３より区切られた第二の微小空間２０３が形成される。この場合昇降カバー２５０等は、本発明におけるカバー部材を構成する。なお、本形態等では第二の微小空間２０３の上部は上部壁部材を兼ねたカーテンノズル２１０によって覆われているが、これを単に開口部の上辺よりも上側においてサイドプレート１０５に対して固定される単なる上部壁部材とし、ガスカーテン形成の機能を、該第二の微小空間２０３の中に配置される他の部材に配することとしても良い。室画定プレート２７０は昇降カバー２５０が第一の開口部１１１を囲んだ状態において該第一の開口部１１１と対向する位置に配置され、側面プレート２６０は第一の開口部１１１を囲んだ状態において該第一の開口部１１１の側辺に沿って配置される。これら室画定プレート２７０及び側面プレート２６０からなる昇降カバー２５０は、上昇位置において、前述した上部壁部材と組み合わさって第二の微小空間２０３が該第一の開口部１１１を覆う状態を形成する。

次に、実際にポッド１より蓋３を取り外し、ポッド１内部のウエハの挿脱を可能とする状態までの操作について、図１（ａ）〜１（ｃ）を用いて説明する。まず、載置台１０７上に載置されたポッド１が、不図示のテーブル駆動機構によって第一の開口部１１１に向かって運ばれ、蓋３がドア１２１と当接した後に停止される。この状態が図１（ａ）に対応する。ドア１２１は蓋３を保持し、回動してポッド本体２より蓋３を取り外し、開口２ａを開放する。ドア１２１の回動後の状態が図１（ｂ）に対応する。この状態よりドア駆動機構１２３がドア１２１及び昇降カバー２５０を降下させ、ポッド開口２ａ-第一の開口部１１１-微小空間１０３を連通させる。この状態が図１（ｃ）に対応する。この状態では昇降カバー２５０が第一の開口部１１１に隣接する領域から退避するため、ウエハ搬送のための不図示のロボットが動作を阻害しなくなる。ウエハに対する各種処理終了後は以上述べた操作とは逆の操作を行ってポッド本体２に対する蓋３の取り付けが行われる。なお、その際には図１（ｃ）或いは１（ｂ）の段階よりガスパージ装置２００からの不活性ガスの供給が開始され、ポッド１内部の雰囲気をガス置換する所謂ガスパージ操作が実行される。ポッド１の収容空間２ｂ内の酸素濃度が十分に低下すると考えられる時間パージ操作を行った後に、ドア１２１が回動して図１（ａ）の状態に戻り、蓋３により開口２ａが閉鎖される。

なお、上述した実施形態では第二の開口部２７１がドア１２１の背面１２１ａと対応する大きさを有する場合について述べた。しかし、この第二の開口部２７１の態様は四角形状の当該形態に限定されない。図３（ａ）、図３（ｂ）及び図３（ｃ）は、第二の開口部２７１に関する他の態様を例示的に示している。図３（ａ）に示す形態は、第二の開口部２７１自体を無くし、室画定プレート２７０を平板状の部材としている。当該形態の場合、前述したドア駆動機構１２３の塵等を排除するために常時カーテンノズル２１０からの不活性ガスの供給が必要となる反面、第二の微小空間２０３の密閉度が先述した形態より向上することが見込まれ、酸素濃度の低減効果がより好適に得られることが考えられる。図３（ｂ）に示す形態は、前述した第二の開口部２７１の配置にスリット状のスリット開口部２７２を配することとしている。当該形態とすることにより、図１（ａ）〜１（ｃ）に示す形態には劣るが、第二の微小空間２０３内へのダウンフローの引き込み効果が得られる。また、第二の開口部２７１の部分にも梁状の構造物が存在することとなり、室画定プレート２７０の強度の向上という効果も得られる。図３（ｃ）に示す形態は、室画定プレート２７０の上部が全て切り欠かれて上方に開口する所謂コの字形状とされている。本形態の場合、昇降カバー２５０が上昇位置に至ることによって、一対の側面プレート２６０の上端が直接カーテンノズル２１０或いは上部壁部材と接続する。当該構成は昇降カバー２５０の強度を低くする反面、第二の微小空間の閉鎖度を高めようとした場合に、カーテンノズル２１０等と室画定プレート２７０との接触が容易に防止或いは低減され、これらの接触に起因する粉塵の発生等を抑制する。

上述した実施形態では、ガスパージ装置２００は移動せず、昇降カバー２５０のみがドア１２１と共に移動する構成について述べた。しかし、本発明は当該態様に限定されない。以下では、昇降カバー２５０と共にガスパージ装置２００も昇降する他の実施形態について述べる。図４（ａ）〜４（ｃ）は、図１（ａ）〜１（ｃ）と同様の様式にて、本実施形態に係るロードポート装置１００図示したものである。なお、本実施形態では、ポッド１から蓋３を取り外す動作において、ドア１２１は回動ではなくＸ軸方向の後退動作を行っている。しかし、これを先の実施形態の如く回動動作によるものとしても良い。また、図４（ａ）〜４（ｃ）において示される各構成について、前述した実施形態で詳述した構成と同じ構成に関しては同一の参照番号を用いて示すこととし、ここでの説明は省略する。

本実施形態では、ガスパージ装置２００も昇降カバー２５０を介してドア駆動機構１２３におけるＺ軸駆動機構部１２３ｂにより支持されている。従って、ドア１２１の昇降に伴って、昇降カバー２５０と共にガスパージ装置２００も昇降される。即ち、ポッド開口２ａ-第一の開口部１１１-微小空間１０３が連通する状態において、第一の開口部１１１の周辺には何等構成が存在しなくなる。これにより、不図示のロボットの動作に対して影響を及ぼす可能性の有る構成が無くなり、信頼性の高いロボット動作が可能となる。実際の動作ではまず、載置台１０７上に載置されたポッド１が、不図示のテーブル駆動機構によって第一の開口部１１１に向かって運ばれ、蓋３がドア１２１と当接した後に停止される。この状態が図４（ａ）に対応する。ドア１２１は蓋３を保持し、Ｘ軸方向に沿って後退してポッド本体２より蓋３を取り外し、開口２ａを開放する。後退停止の状態が図４（ｂ）に対応する。この状態よりドア駆動機構１２３がドア１２１、昇降カバー２５０、及びガスパージ装置２００を降下させ、ポッド開口２ａ-第一の開口部１１１-微小空間１０３を連通させる。なお、本実施形態では昇降カバー２５０を介してガスパージ装置２００をＺ軸駆動機構部１２３ｂにより支持することとしたが、ドアが当該ガスパージ装置２００を支持する構造とすることも可能である。

以上述べたように、本発明によれば、微小空間１０３内に配置されたロボットが動作すべき状態にある時に、本発明の課題を誘引する昇降カバー２５０等はロボットの動作に影響を及ぼす範囲より離れて配置される。よって、ロボットによるポッド-半導体処理装置間でのウエハの移送を阻害することなく、第二の微小空間２０３を好適な場所に配置することが可能となる。従って、ロボットの安定動作の確保と、ポッド内部の残留酸素濃度を100ppm未満のレベルまで低減と、を両立することが可能となる。

以上述べたように、本発明は半導体処理装置に対して好適に用いるロードポート装置に用いて所謂ポッド内部に存在する酸化性ガスの低減を図るガスパージ装置に関している。しかしながら、本発明の利用可能性は当該処理装置むけのみに限定されず、例えば液晶ディスプレイのパネルを扱う処理装置等、半導体に準じた各種処理が行われる種々の処理装置に用いられる所謂ロードポート装置やガスパージ装置に対しても適用可能である。

１：ポッド、２：ポッド本体、２ａ：開口、２ｂ：収容空間、３：蓋、１００：ロードポート装置、１０３：微小空間、１０４：外部空間、１０５：サイドプレート、１０７：載置台、１１１：第一の開口部、１２０：ドアシステム、１２１：ドア、１２１ａ：ドア背面、１２３：ドア駆動機構、１２３ａ：回動機構部、１２３ｂ：Ｚ軸駆動機構部、１２５：ドアアーム、２００：ガスパージ装置、２０３：第二の微小空間、２１０：カーテンノズル、２２０：パージノズル、２５０：昇降カバー、２６０：側面プレート、２７０：室画定プレート、２７１：第二の開口部、２７２：スリット開口部

Claims

微小空間を外部空間から分離する壁の一部を構成し、前記微小空間と前記外部空間とを連通する第一の開口部を有するサイドプレートと前記サイドプレートが有する前記第一の開口部を閉鎖可能なドアとを有し、被収容物が収容される密閉容器の開口を前記第一の開口部と対向させるとともに、前記開口に取付けられる蓋を前記ドアが保持して前記密閉容器を開閉するロードポート装置であって、
前記第一の開口部を囲んで前記微小空間内に配置され、前記開口部に隣接する前記微小空間の一部を第二の微小空間として区切り、前記第一の開口部と対向して配置され、第二の開口部を有する室画定プレートと、前記第一の開口部の側辺に沿って配置される側面プレートとを有するカバー部材と、
前記第二の微小空間の内部に気体を供給するカーテンノズルと共に前記開口部と前記開口とを介して前記密閉容器の内部に前記気体を供給可能であり前記カーテンノズルより形成されるガスカーテンの内部に位置し、前記第一の開口部の側辺に沿って配置される一対のパージノズルとを有するガスパージ装置と、
前記ドアの前面が前記第一の開口部を閉鎖する位置と前記ドアの背面が前記第二の開口部を閉鎖する位置との間で移動可能とし、かつ、昇降動作可能とするドア駆動機構と、を有し、
前記ドア駆動機構は、前記ドアと前記カバー部材とを一緒に昇降させることを特徴とするロードポート装置。
前記カバー部材は前記開口部と対向して配置される室画定プレートと、前記開口部の側辺に沿って配置される側面プレートとを有し、前記開口部の上辺よりも上側において前記サイドプレートに対して固定される上部壁部材と組み合わさって、前記第二の微小空間を形成することを特徴とする請求項１に記載のロードポート装置。
前記ガスパージ装置は前記サイドプレートに対して固定されていることを特徴とする請求項１或いは２に記載のロードポート装置。
前記前記ドア駆動機構は、前記カバー部材及び前記ドアと共に、前記ガスパージ装置も昇降させることを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載のロードポート装置。
微小空間を外部空間から分離する壁の一部を構成し、前記微小空間と前記外部空間とを連通する第一の開口部を有するサイドプレートと前記サイドプレートが有する前記第一の開口部を閉鎖可能なドアとを有し、被収容物が収容される密閉容器の開口を前記第一の開口部と対向させるとともに、前記開口に取付けられる蓋を前記ドアが保持して前記密閉容器を開閉するロードポート装置における前記密閉容器の蓋開閉方法であって、
前記微小空間内において前記第一の開口部を囲んで配置可能であって、前記第一の開口部と対向して配置され、第二の開口部を有する室画定プレートと、前記第一の開口部の側辺に沿って配置される側面プレートとを有するカバー部材により、前記開口部に隣接する前記微小空間の一部を第二の微小空間として区切る工程と、
前記ドアにより前記蓋を保持し、前記ドアを前記開口部から離間させることにより前記開口を開放する工程と、
前記第二の微小空間の内部に気体を供給するカーテンノズルと共に前記開口部と前記開口とを介して前記密閉容器の内部に前記気体を供給可能であり前記カーテンノズルより形成されるガスカーテンの内部に位置し、前記第一の開口部の側辺に沿って配置される一対のパージノズルとを有するガスパージ装置により、前記ドアの背面が第二の開口部を閉鎖している状態で前記密閉の内部に前記気体を供給する工程と、
前記ドアの前面が前記第一の開口部を閉鎖する位置と前記ドアの背面が前記第二の開口部を閉鎖する位置との間で移動可能とし、かつ、昇降動作可能とするドア駆動機構によって、前記ドアと共に前記カバー部材を前記開口部と対向する位置から対向しない位置へ、前記ドアと前記カバー部材とを一緒に昇降させて前記開口部を開放する工程と、を有することを特徴とする密閉容器の蓋開閉方法。