JP2014110299A - 蓋開閉装置 - Google Patents

Abstract

【課題】被収納物及び被収納物導出入領域の浄化を好適に実施し得る蓋開閉装置を提供する。
【解決手段】蓋開閉装置１は、レチクルＲを収納するポッド７０について、容器本体７１に対する蓋部７２の開閉を行う装置である。蓋開閉装置１は、ポッド７０が載置される載置面１０、蓋部７２に対向する開口３ｂ、レチクル導出入領域２ａ、及び、領域２ａの下側に位置し、隔壁６によって領域２ａと仕切られた機器設置領域２ｂが設けられた装置本体２と、蓋部７２を支持し、開口３ｂと領域２ａとの間において昇降する昇降台７と、領域２ｂ内に設けられ、昇降台７を昇降させるエアシリンダ１２と、隔壁６に設けられ、領域２ａ内のガスＧを領域２ｂ内に排気する排気部２４と、領域２ａ内の気圧が領域２ｂ内の気圧よりも高くなるように気圧差を発生させるパージ装置１６及び排気装置１７と、を備える。
【選択図】図４

Description

本発明は、被収納物を収納する収納容器について、容器本体に対する蓋部の開閉を行う蓋開閉装置に関する。

半導体装置や液晶表示装置等の製造工場のクリーンルームにおいては、半導体ウェハやガラス基板等が収納容器に収納された状態で搬送される。そのため、収納容器と各種装置との間で被収納物を移載するに際しては、蓋開閉装置を用いて、容器本体に対する蓋部の開閉を行う必要がある。従来、容器本体に対する蓋部の開閉を迅速に且つ安定的に行うために、収納容器の内外の圧力差を平衡にする圧力平衡機構を蓋開閉装置に設けるなど、様々な技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特許第３１８０６００号公報

上述した半導体装置や液晶表示装置等の製造工場では、各種部品の搬送効率の向上がシビアに要求されることから、収納容器と各種装置との間での被収納物の移載についても、その効率を向上させることは極めて重要である。また、収納容器と各種装置との間で被収納物を移載するに際し、被収納物の汚染を防止することも、極めて重要である。

そこで、本発明は、被収納物及び被収納物導出入領域の浄化を好適に実施することができる蓋開閉装置を提供することを目的とする。

本発明の蓋開閉装置は、被収納物を収納する容器本体と、容器本体に対して開閉可能な底部を成し、被収納物が載置される蓋部と、を備える収納容器について、容器本体に対する蓋部の開閉を行う蓋開閉装置であって、収納容器が載置される載置面、載置面に収納容器が載置されたときに蓋部に対向する第１開口、被収納物導出入口を介して被収納物の導出入が行われる被収納物導出入領域、及び、被収納物導出入領域の下側に位置し、隔壁によって被収納物導出入領域と仕切られた機器設置領域が設けられた装置本体と、蓋部を支持し、第１開口と被収納物導出入領域との間において昇降する昇降台と、機器設置領域内に設けられ、昇降台を昇降させる昇降駆動部と、隔壁に設けられ、被収納物導出入領域内のガスを機器設置領域内に排気する排気部と、被収納物導出入領域内の気圧が機器設置領域内の気圧よりも高くなるように気圧差を発生させる気圧差発生装置と、を備える。

この蓋開閉装置では、昇降駆動部が設けられた機器設置領域が被収納物導出入領域の下側に配置されており、隔壁によって被収納物導出入領域と機器設置領域とが仕切られているので、被収納物導出入領域と機器設置領域との連通部分（例えば、昇降駆動部が昇降する部分及び排気部）を極めて小さくすることができ、機器設置領域内で発生した塵埃が被収納物設置領域内に流入するのを好適に抑制することができる。また、被収納物導出入領域内のガスが下側に向かって排気されるので、被収納物導出入領域内で塵埃が拡散するのを好適に抑制することができる。よって、この蓋開閉装置によれば、被収納物及び被収納物導出入領域の浄化を好適に実施することが可能となる。

気圧差発生装置は、機器設置領域内のガスを排気する排気装置を備えてもよい。この構成によれば、機器設置領域内において補足した塵埃を装置外に的確に排出することができる。

また、排気装置は、上下方向に垂直な所定方向における機器設置領域の一端であり、且つ上下方向における機器設置領域の下端である位置に設けられており、排気部は、所定方向における隔壁の他端である位置に設けられていてもよい。この構成によれば、排気部によって機器設置領域内に排気されたガスが、機器設置領域内を上側から下側に且つ一端側から他端側に流れることになる（つまり、機器設置領域内を縦断及び横断するようにして流れることになる）。そのため、昇降駆動部から発生する塵埃をより的確に捕捉して、排気装置側に流すことができる。

また、気圧差発生装置は、被収納物導出入領域内にパージガスを給気するパージ装置を更に備え、パージ装置は、所定方向における被収納物導出入領域の一端であり、且つ上下方向における被収納物導出入領域の上端である位置に設けられていてもよい。この構成によれば、被収納物導出入領域におけるパージガスの滞留時間を長くとりつつ、被収納物導出入領域全体にパージガスを行き渡らせて、被収納物及び被収納物導出入領域の浄化を効率良く実施することができる。

また、パージ装置は、所定方向に沿って一端から他端に向かってパージガスを噴射する第１ノズルと、上下方向に沿って上端から下端に向かってパージガスを噴射する第２ノズルと、を有してもよい。この構成によれば、被収納物が載置された蓋部と共に昇降台が下降して、被収納物導出入領域に被収納物が配置されたときに、第１ノズルから噴射されたパージガスが被収納物に当たるので、被収納物を迅速に浄化することができる。更に、第２ノズルから噴射されたパージガスが昇降台の下側の領域に回るので、昇降台の下側の領域を迅速に浄化することができる。

また、パージ装置は、被収納物導出入領域内の気圧が被収納物導出入領域外の気圧よりも高くなるように、被収納物導出入領域内にパージガスを給気してもよい。この構成によれば、機器設置領域内で発生した塵埃がレチクル導出入領域内に流入するのを確実に抑制することができる。

また、被収納物導出入口は、上下方向に垂直な所定方向における被収納物導出入領域の一端又は他端であり、且つ、蓋部を支持した昇降台が下降した位置において被収納物を所定方向に出入可能である位置に設けられていてもよい。この構成では、被収納物を所定方向（水平方向）に移動させれば、被収納物導出入領域に対する被収納物の導出及び導入を行うことができる位置に、被収納物導出入口が設けられている。そのため、被収納物導出入領域外への開口部分（すなわち、被収納物導出入領域外への連通部分）となる被収納物導出入口の面積を非常に小さくすることができる。

また、蓋開閉装置は、被収納物導出入口を開閉する閉鎖板を更に備えてもよい。この構成によれば、被収納物導出入領域内の気密性を高めることができる。更に、昇降台は、第１開口を気密に閉鎖し、閉鎖板は、被収納物導出入口を気密に閉鎖してもよい。この構成によれば、被収納物導出入領域の気密性をより高めることができる。

また、排気部は、隔壁に設けられた第２開口と、隔壁に設けられ、被収納物導出入領域内の気圧を調整する調整機構と、を有してもよい。この構成によれば、被収納物導出入領域内のガスの排気が効率良く行われ且つ被収納物導出入領域内の気圧が被収納物導出入領域外の気圧よりも高くなるように、被収納物導出入領域内の気圧を容易に且つ適切に調整することができる。従って、被収納物導出入領域内のガスの排気を効率良く行うことが可能となる。

また、昇降台には、隔壁に設けられた第３開口を介して機器設置領域に延在する筒状部材が設けられており、昇降駆動部は、上下方向に伸縮可能なアクチュエータであり、少なくとも被収納物導出入領域において筒状部材に包囲されていてもよい。この構成によれば、アクチュエータから発生した塵埃が被収納物導出入領域内に進入するのを抑制することができる。

このとき、アクチュエータは、シリンダ部と、基端部がシリンダ部内に挿入されたロッド部と、を有し、シリンダ部内に対するガスの導出入によってロッド部がスライドするエアシリンダであってもよい。この構成によれば、アクチュエータがエアシリンダであるため、例えばラックピニオン機構を用いる場合に比べ、動作時の発塵を抑制することができると共に機構の簡素化を図ることができる。従って、被収納物導出入領域内の雰囲気を清浄に維持しつつ、昇降台を確実に動作させることができる。

本発明によれば、被収納物及び被収納物導出入領域の浄化を好適に実施することができる蓋開閉装置を提供することが可能となる。

本発明の一実施形態の蓋開閉装置を備えるストッカの正面図である。 図１のII−II線に沿ってのストッカの断面図である。 図１のIII−III線に沿ってのストッカの断面図である。 本発明の一実施形態の蓋開閉装置の縦断面図である。 別の状態での図４の蓋開閉装置の縦断面図である。

以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
［ストッカの構成］

図１は、本発明の一実施形態の蓋開閉装置を備えるストッカの正面図である。図２は、図１のII−II線に沿ってのストッカの断面図であり、図３は、図１のIII−III線に沿ってのストッカの断面図である。図１〜３に示されるように、ストッカ５０は、レチクル用回転棚５１と、ポッド用回転棚５２と、を備えている。レチクル用回転棚５１は、半導体ウェハやガラス基板等の表面に所定のパターンを露光する際に使用される矩形板状のレチクルＲを複数保管する。ポッド用回転棚５２は、レチクルＲを収納して搬送するためのポッド７０を空の状態で複数保管する。このようなストッカ５０は、半導体装置や液晶表示装置等の製造工場のクリーンルームに設置される。

レチクル用回転棚５１は、駆動部５３によって軸線ＣＬ周りを回転させられる。レチクル用回転棚５１は、その回転方向に沿って並設された複数のブロック５１ａを有している。各ブロック５１ａは、レチクルＲを上下複数段に保管することができるようになっている。ポッド用回転棚５２は、レチクル用回転棚５１の下側において、駆動部５４によって軸線ＣＬ周りを回転させられる。ポッド用回転棚５２は、その回転方向に沿って複数のポッド７０を保管することができるようになっている。

ストッカ５０は、更に、レチクル搬送装置５５と、ポッド搬送装置５６と、蓋開閉装置１と、を備えている。レチクル搬送装置５５は、昇降ガイド５７に沿って昇降するロボットアームであり、蓋開閉装置１とレチクル用回転棚５１との間でレチクルＲを搬送する。ポッド搬送装置５６は、昇降ガイド５８に沿って昇降するロボットアームであり、蓋開閉装置１とポッド用回転棚５２との間で空のポッド７０を搬送する。蓋開閉装置１は、ポッドオープナーと称される装置であり、ポッド７０の開閉を行う。蓋開閉装置１の近傍には、レチクルＲを収納したポッド７０や空のポッド７０を一時保管するポッド用固定棚５９が設置されている。

上述した回転棚５１，５２、駆動部５３，５４、搬送装置５５，５６、固定棚５９及び蓋開閉装置１は、ケーシング６１内に配置されている。ケーシング６１には、例えば天井走行車がアクセスすることができるポート６２，６３が設置されている。レチクルＲを収納したポッド７０は、ポート６２を介してケーシング６１内に入庫される。一方、レチクルＲを収納したポッド７０は、ポート６３を介してケーシング６１外に出庫される。

ケーシング６１の上壁には、クリーンガス供給装置６４が設置されている。クリーンガス供給装置６４は、例えばクリーンエアや窒素等のクリーンガスをダウンフローとしてケーシング６１内に供給する。ケーシング６１内に供給されたクリーンガスは、ケーシング６１の下部からケーシング６１外に排気される。

なお、図１〜３において図示は省略するが、レチクル搬送装置５５の稼動領域（レチクル搬送領域）と、蓋開閉装置１を含むポッド搬送装置５６の稼動領域（ポッド搬送領域）との間は、隔壁によって分離されている。この隔壁には、両方の領域間でレチクルＲの搬送に必要な箇所にのみ開口が形成されている。そして、レチクル用回転棚５１はレチクル搬送領域側にのみ開口し、ポッド用回転棚５２及び固定棚５９はポッド搬送領域側にのみ開口するようになっている。また、クリーンガス供給装置６４によってケーシング６１内は清浄な雰囲気に保持されているが、レチクル搬送領域内はより清浄度が高くなるようにされている。これは、例えば、レチクル搬送領域側へのガス流量をポッド搬送領域へのガス流量よりも高くする等して両領域間に圧力差をもたせること、及び搬送装置５５，５６に排気装置を設置して発塵を抑制することで、可能となる。

ここで、レチクルＲを収納したポッド７０が入庫される場合のストッカ５０の動作について説明する。例えば天井走行車によってポート６２にポッド７０が搬送されると、当該ポッド７０は、ポッド搬送装置５６によって蓋開閉装置１に搬送される。ポッド７０が蓋開閉装置１に搬送されると、当該ポッド７０に収納されていたレチクルＲは、レチクル搬送装置５５によってレチクル用回転棚５１に格納される。その一方で、蓋開閉装置１に残された空のポッド７０は、ポッド搬送装置５６によってポッド用回転棚５２に格納される。なお、多数のポッド７０が連続してケーシング６１内に入庫されるような場合には、ポッド７０は、ポッド用固定棚５９に一時保管され、蓋開閉装置１に順次搬送される。

次に、レチクルＲを収納したポッド７０が出庫される場合のストッカ５０の動作について説明する。レチクル搬送装置５５によってレチクル用回転棚５１から蓋開閉装置１にレチクルＲが搬送されると、当該レチクルＲは、ポッド搬送装置５６によってポッド用回転棚５２から蓋開閉装置１に搬送された空のポッド７０に収納される。そして、レチクルＲが収納されたポッド７０は、ポッド搬送装置５６によって蓋開閉装置１からポート６３に搬送され、例えば天井走行車によってポート６３から所定の搬送先に搬送される。なお、多数のポッド７０が連続してケーシング６１外に出庫されるような場合には、ポッド７０は、ポッド用固定棚５９に一時保管され、ポート６３に順次搬送される。
［蓋開閉装置の構成］

図４は、本発明の一実施形態の蓋開閉装置の縦断面図である。なお、以下の説明においては、蓋開閉装置１に対してレチクルＲが導出入される側を「前側」といい、その反対側を「後側」という。また、正立状態にある蓋開閉装置１を前側から見た場合における左側を単に「左側」といい、正立状態にある蓋開閉装置１を前側から見た場合における右側を単に「右側」という。

図４に示されるように、蓋開閉装置１は、直方体箱状の装置本体２を備えている。装置本体２は、上壁３、下壁４、側壁５及び隔壁６を有している。装置本体２の内部空間は、隔壁６によって、レチクル導出入領域（被収納物導出入領域）２ａと機器設置領域２ｂとに上下に分離されている。ただし、レチクル導出入領域２ａと機器設置領域２ｂとは、隔壁６の左側の領域及び右側の領域において連通している。上壁３には、断面矩形状の凹部３ａが設けられており、凹部３ａの底面には、断面矩形状の開口（第１開口）３ｂが設けられている。凹部３ａの底面は、ポッド搬送装置５６によって搬送されたポッド（収納容器）７０が載置される載置面１０となっている。なお、ポッド７０は、レチクル（被収納物）Ｒを収納する直方体箱状の容器本体７１と、レチクルＲが載置される矩形板状の蓋部７２と、を備えている。蓋部７２は、容器本体７１に対して開閉可能な底部を成している。容器本体７１の頂部には、ポッド搬送装置５６によって把持される被把持部７３が設けられている。蓋開閉装置１は、レチクルＲを収納するポッド７０について、容器本体７１に対する蓋部７２の開閉を行う装置である。

装置本体２内には、開口３ｂとレチクル導出入領域２ａとの間において昇降する昇降台７が配置されている。昇降台７は、矩形板状の本体部８と、本体部８の下端部に設けられた矩形板状のフランジ部９と、を有している。昇降台７の上昇時には、本体部８は開口３ｂ内に配置され、フランジ部９は上壁３の内面に当接する。このとき、上壁３の開口３ｂは、フランジ部９に設けられた矩形環状の封止部材１１によって気密に閉鎖され、本体部８の上面８ａは、載置面１０（すなわち、凹部３ａの底面）と面一となる。ここで、開口３ｂは、載置面１０にポッド７０が載置されたときに蓋部７２に対向するので、昇降台７は、容器本体７１から取り外された蓋部７２を支持して昇降することになる。

装置本体２内には、昇降台７を昇降させるエアシリンダ（アクチュエータ、昇降駆動部）１２が配置されている。エアシリンダ１２は、下壁４の内面に固定されたシリンダ部１２ａと、基端部がシリンダ部１２ａ内に挿入されたロッド部１２ｂと、を有し、上下方向に伸縮可能となっている。ロッド部１２ｂの先端部は、隔壁６の中央部分に設けられた断面矩形状の開口（第３開口）６ａを介して、昇降台７の下面に固定されている。なお、装置本体２内の機器設置領域２ｂには、エアシリンダ１２に対するガスの導出入を調節するための電磁弁等、各種機器が設置されている。

昇降台７の下面には、隔壁６の開口６ａを介して機器設置領域２ｂに延在する断面矩形状の筒状部材２１が設けられている。筒状部材２１は、少なくともレチクル導出入領域２ａにおいてエアシリンダ１２を包囲している。筒状部材２１の外面と開口６ａの内面との間には、所定間隔の隙間が設けられている。

装置本体２の前側の側壁５には、外部と装置本体２内のレチクル導出入領域２ａとを連通する断面矩形状のレチクル導出入口（被収納物導出入口）５ａが設けられている。つまり、レチクル導出入口５ａは、前後方向（上下方向に垂直な所定方向）におけるレチクル導出入領域２ａの前端（他端）であり、且つ上下方向におけるレチクル導出入領域２ａの中間（上端と下端との間）である位置に設けられている。レチクル導出入口５ａは、一対のエアシリンダ２２によって動作させられる閉鎖板１４によって内側から開閉される。閉鎖板１４によるレチクル導出入口５ａの閉鎖時には、レチクル導出入口５ａは、閉鎖板１４に設けられた矩形環状の封止部材１５によって気密に閉鎖される。

閉鎖板１４を動作させる一対のエアシリンダ２２は、左側の側壁５を介して当該側壁５の左側に設けられた領域、及び右側の側壁５を介して当該側壁５の右側に設けられた領域のそれぞれに配置されている。各エアシリンダ２２は、装置本体２に回動可能に取り付けられたシリンダ部２２ａと、基端部がシリンダ部２２ａ内に挿入されたロッド部２２ｂと、を有している。左側の領域において、ロッド部２２ｂの先端部は、閉鎖板１４に設けられた左側の軸部１４ａに、平衡リンク機構２３を介して連結されている。左側の軸部１４ａは、左側の側壁５に設けられた円弧状の切欠き部５ｂを介して左側の領域に延在している。一方、右側の領域において、ロッド部２２ｂの先端部は、閉鎖板１４に設けられた右側の軸部１４ａに、平衡リンク機構２３を介して連結されている。右側の軸部１４ａは、右側の側壁５に設けられた円弧状の切欠き部５ｂを介して右側の領域に延在している。これにより、閉鎖板１４の左側及び右側において軸部１４ａが切欠き部５ｂに沿って動作させられ、閉鎖板１４がレチクル導出入口５ａを内側から開閉することになる。

装置本体２の上壁３の後側部分には、湿度や清浄度が管理されたパージガスＰＧ（例えばクリーンエアや窒素等）をレチクル導出入領域２ａに給気するパージ装置（気圧差発生装置）１６が取り付けられている。パージ装置１６は、前後方向におけるレチクル導出入領域２ａの後端（一端）であり、且つ上下方向におけるレチクル導出入領域２ａの上端である位置から、レチクル導出入領域２ａ内にパージガスＰＧを給気する。より具体的には、パージ装置１６は、左右方向に沿って並設された複数の第１ノズル１６ａと、左右方向に沿って並設された複数の第２ノズル１６ｂと、を有している。第１ノズル１６ａは、前後方向に沿ってレチクル導出入領域２ａの後端から前端に向かってパージガスＰＧを噴射する。第２ノズル１６ｂは、上下方向に沿ってレチクル導出入領域２ａの上端から下端に向かってパージガスＰＧを噴射する。

装置本体２の隔壁６の前側部分には、排気部２４が設けられている。排気部２４は、前後方向におけるレチクル導出入領域２ａの前端であり、且つ上下方向におけるレチクル導出入領域２ａの下端である位置から、レチクル導出入領域２ａ内のガスＧを機器設置領域２ｂ内に排気する。より具体的には、排気部２４は、隔壁６の前側部分に設けられた開口（第２開口）６ｂと、隔壁６に設けられ、レチクル導出入領域２ａ内の気圧を調整する調整機構２５と、を有している。調整機構２５は、一例として、隔壁６に対して摺動可能に設けられた矩形板状の摺動部材である。当該摺動部材は、開口６ｂの開口度を調整するための部材であり、隔壁６の上面にボルト等によって固定さている。なお、調整機構２５が摺動部材である場合、当該摺動部材の中央部分には、筒状部材２１が通る開口２５ａが設けられている。開口２５ａは、当該摺動部材を摺動させても、筒状部材２１と干渉しない形状となっている。

装置本体２の下壁４の後側部分には、排気ファン等である排気装置（気圧差発生装置）１７が取り付けられている。排気装置１７は、前後方向における機器設置領域２ｂの後端（一端）であり、且つ上下方向における機器設置領域２ｂの下端である位置から、機器設置領域２ｂ内のガスＧを外部に排気する。これにより、ガスＧは、機器設置領域２ｂに流入し、排気装置１７によって装置本体２外に排気される。なお、排気装置１７は、フィルタを有しており、ガスＧ中に含まれる塵埃を除去しつつ、ガスＧの排気を行う。

本実施形態においては、上述したパージ装置１６及び排気装置１７によって、機器設置領域２ｂ内の気圧よりもレチクル導出入領域２ａ内の気圧が高くなるように気圧差を発生させる気圧差発生装置が構成されている。また、上述した排気装置１７は、外部の気圧よりも機器設置領域２ｂ内の気圧を低くするように、動作させられる。このように、機器設置領域２ｂ内の気圧を外部の気圧よりも低くするのは、機器設置領域２ｂ内の各種機器による発塵を含んだガスが周囲に流出・拡散することを防止するためである。そして、排気部２４においては、外部の気圧よりも機器設置領域２ｂ内の気圧が低くなり、且つ機器設置領域２ｂ内の気圧よりもレチクル導出入領域２ａ内の気圧が高くなるように、調整機構２５が調整される。一例として、調整機構２５が摺動部材である場合、開口６ｂの開口度が調整された状態で、当該摺動部材が隔壁６の上面に固定さている。これらにより、パージ装置１６によってレチクル導出入領域２ａにパージガスＰＧが給気されると、レチクル導出入領域２ａ内の塵埃を含んだガスＧは、排気部２４を介してレチクル導出入領域２ａから機器設置領域２ｂに流入し、更に機器設置領域２ｂ内の塵埃を含んだガスＧは、排気装置１７によって装置本体２外に排気される。なお、この排気されたガスＧは、周囲への拡散を抑制するために、工場内の床下に排気される場合もあり、工場側の排気ラインによって所定箇所に集められる場合もある。

ここで、レチクルＲを収納したポッド７０が入庫される場合の蓋開閉装置１の動作について説明する。図４に示されるように、蓋開閉装置１は、上壁３の開口３ｂが昇降台７によって気密に閉鎖され、且つレチクル導出入口５ａが閉鎖板１４によって気密に閉鎖された状態で、待機する。このとき、蓋開閉装置１では、パージ装置１６及び排気装置１７が動作し続けるため、装置本体２内の雰囲気は、湿度が極めて低く且つ清浄度が高い状態に維持される。この状態において、ポッド搬送装置５６によってポート６２から蓋開閉装置１に搬送されたポッド７０が、蓋開閉装置１の載置面１０に載置されると、当該ポッド７０の錠機構は、蓋開閉装置１によって開錠状態にされる。

続いて、図５に示されるように、レチクルＲが載置された蓋部７２と共に昇降台７が下降して、レチクル導出入領域２ａにレチクルＲが配置される。そして、閉鎖板１４が動作してレチクル導出入口５ａが開放されると、レチクル搬送装置５５がレチクル導出入口５ａを介してレチクル導出入領域２ａにアクセスし、レチクル導出入領域２ａに配置されたレチクルＲがレチクル用回転棚５１に格納される。

続いて、閉鎖板１４が動作してレチクル導出入口５ａが閉鎖板１４によって気密に閉鎖されると共に、蓋部７２と共に昇降台７が上昇して上壁３の開口３ｂが昇降台７によって気密に閉鎖されると、蓋開閉装置１の載置面１０に載置された空のポッド７０の錠機構は、蓋開閉装置１によって施錠状態にされる。そして、錠機構が施錠状態にされた空のポッド７０は、ポッド搬送装置５６によってポッド用回転棚５２に格納される。

次に、レチクルＲを収納したポッド７０が出庫される場合のストッカ５０の動作について説明する。図４に示されるように、蓋開閉装置１は、上壁３の開口３ｂが昇降台７によって気密に閉鎖され、且つレチクル導出入口５ａが閉鎖板１４によって気密に閉鎖された状態で、待機する。このとき、蓋開閉装置１では、パージ装置１６及び排気装置１７が動作し続けるため、装置本体２内の雰囲気は、湿度が極めて低く且つ清浄度が高い状態に維持される。この状態において、ポッド搬送装置５６によってポッド用回転棚５２から蓋開閉装置１に搬送された空のポッド７０が、蓋開閉装置１の載置面１０に載置されると、当該ポッドの錠機構は、蓋開閉装置１によって開錠状態にされる。

続いて、図５に示されるように、蓋部７２と共に昇降台７が下降して、レチクル導出入領域２ａに蓋部７２が配置される。そして、閉鎖板１４が動作してレチクル導出入口５ａが開放されると、レチクル用回転棚５１からレチクルＲを搬送してきたレチクル搬送装置５５がレチクル導出入口５ａを介してレチクル導出入領域２ａにアクセスし、レチクル導出入領域２ａに配置され蓋部７２にレチクルＲが載置される。

続いて、閉鎖板１４が動作してレチクル導出入口５ａが閉鎖板１４によって気密に閉鎖されると共に、レチクルＲが載置された蓋部７２と共に昇降台７が上昇して上壁３の開口３ｂが昇降台７によって気密に閉鎖されると、蓋開閉装置１の載置面１０に載置されたポッド７０の錠機構は、蓋開閉装置１によって施錠状態にされる。そして、錠機構が施錠状態にされたポッド７０は、ポッド搬送装置５６によってポート６２に搬送される。

以上説明したように、蓋開閉装置１では、エアシリンダ１２が設けられた機器設置領域２ｂがレチクル導出入領域２ａの下側に配置されており、隔壁６によってレチクル導出入領域２ａと機器設置領域２ｂとが仕切られている。これにより、レチクル導出入領域２ａと機器設置領域２ｂとの連通部分（例えば、隔壁６の開口６ａ及び開口６ｂ）を極めて小さくすることができ、機器設置領域２ｂ内で発生した塵埃がレチクル導出入領域２ａ内に流入するのを好適に抑制することができる。また、蓋開閉装置１では、レチクル導出入領域２ａ内のガスＧが下側に向かって排気される。これにより、レチクル導出入領域２ａ内で塵埃が拡散するのを好適に抑制することができる。よって、蓋開閉装置１によれば、レチクルＲ及びレチクル導出入領域２ａの浄化を好適に実施することが可能となる。

また、蓋開閉装置１では、排気装置１７が、機器設置領域２ｂ内のガスＧを排気する。これにより、機器設置領域２ｂ内において補足した塵埃を装置外に的確に排出することができる。

また、蓋開閉装置１では、排気装置１７が、前後方向における機器設置領域２ｂの後端であり、且つ上下方向における機器設置領域２ｂの下端である位置に設けられており、排気部２４が、前後方向における隔壁６の前端である位置に設けられている。これにより、排気部２４によって機器設置領域２ｂ内に排気されたガスＧが、機器設置領域２ｂ内を上側から下側に且つ前側から後側に流れることになる（つまり、機器設置領域２ｂ内を縦断及び横断するようにして流れることになる）。そのため、エアシリンダ１２から発生する塵埃をより的確に捕捉して、排気装置１７側に流すことができる。

また、蓋開閉装置１では、レチクル導出入領域２ａ内にパージガスＰＧを給気するパージ装置１６が、前後方向におけるレチクル導出入領域２ａの後端であり、且つ上下方向におけるレチクル導出入領域２ａの上端である位置に設けられている。これにより、レチクルＲの導出入が行われるレチクル導出入領域２ａにおけるパージガスＰＧの滞留時間を長くとりつつ、レチクルＲの導出入が行われるレチクル導出入領域２ａ全体にパージガスＰＧを行き渡らせることができる。よって、レチクルＲの汚染を防止すると共に、レチクル導出入領域２ａの高い洗浄度を長時間保持し、いわゆるレチクルヘイズ等が防止された最良の状態で、レチクルＲをポッド７０又はストッカ５０に搬入することができる。以上のように、蓋開閉装置１によれば、レチクルＲ及びレチクル導出入領域２ａの浄化を効率良く実施することが可能となる。

また、蓋開閉装置１では、パージ装置１６の第１ノズル１６ａが、前後方向に沿ってレチクル導出入領域２ａの後端から前端に向かってパージガスＰＧを噴射する。これにより、レチクルＲが載置された蓋部７２と共に昇降台７が下降して、レチクル導出入領域２ａにレチクルＲが配置されたときに、第１ノズル１６ａから噴射されたパージガスＰＧがレチクルＲに当たるので、レチクルＲを迅速に浄化することができる。

また、蓋開閉装置１では、パージ装置１６の第２ノズル１６ｂが、上下方向に沿ってレチクル導出入領域２ａの上端から下端に向かってパージガスＰＧを噴射する。これにより、レチクルＲが載置された蓋部７２と共に昇降台７が下降して、レチクル導出入領域２ａにレチクルＲが配置されたときに、第２ノズル１６ｂから噴射されたパージガスＰＧが昇降台７の下側の領域に回るので、昇降台７の下側の領域を迅速に浄化することができる。

また、蓋開閉装置１では、レチクル導出入領域２ａ内の気圧がレチクル導出入領域２ａ外の気圧よりも高くなるように、パージ装置１６がレチクル導出入領域２ａ内にパージガスＰＧを給気する。これにより、機器設置領域２ｂ内で発生した塵埃がレチクル導出入領域２ａ内に流入するのを確実に抑制することができる。

また、蓋開閉装置１では、レチクル導出入口５ａが、前後方向におけるレチクル導出入領域２ａの前端であり、且つ、蓋部７２を支持した昇降台７が下降した位置においてレチクルＲを前後方向に出入可能である位置に設けられている。つまり、レチクルＲを前後方向（水平方向）に移動させれば、レチクル導出入領域２ａに対するレチクルＲの導出及び導入を行うことができる位置に、レチクル導出入口５ａが設けられている。これにより、レチクル導出入領域２ａ外への開口部分（すなわち、レチクル導出入領域２ａ外への連通部分）となるレチクル導出入口５ａの面積を非常に小さくすることができる。

また、蓋開閉装置１では、昇降台７の下降時以外は、昇降台７が上壁３の開口３ｂを気密に閉鎖し、閉鎖板１４の開放時以外は、閉鎖板１４がレチクル導出入口５ａを気密に閉鎖する。これにより、レチクル導出入領域２ａの気密性を高めることができる。

また、蓋開閉装置１では、排気部２４が、レチクル導出入領域２ａと機器設置領域２ｂとを仕切る隔壁６に設けられている。これにより、レチクル導出入領域２ａが排気部２４を介して直接的に外部と連通するのを防止することができる。更に、レチクル導出入領域２ａと機器設置領域２ｂとの間に隔壁６を配置することで、機器設置領域２ｂ内で発生した塵埃がレチクル導出入領域２ａ内に進入するのを抑制しつつ、レチクル導出入領域２ａを効率良く浄化することができる。

また、蓋開閉装置１では、排気部２４が、隔壁６に設けられた開口６ｂにおいてレチクル導出入領域２ａ内の気圧を調整する調整機構２５を有している。これにより、レチクル導出入領域２ａ内のガスＧの排気が効率良く行われ且つレチクル導出入領域２ａ内の気圧がレチクル導出入領域２ａ外の気圧よりも高くなるように、レチクル導出入領域２ａ内の気圧を容易に且つ適切に調整することができる。従って、レチクル導出入領域２ａ内のガスＧの排気を効率良く行うことが可能となる。

また、蓋開閉装置１では、隔壁６の開口６ａを介して機器設置領域２ｂに延在する筒状部材２１が昇降台７に設けられており、昇降台７を昇降させるエアシリンダ１２が少なくともレチクル導出入領域２ａにおいて筒状部材２１に包囲されている。これにより、エアシリンダ１２から発生した塵埃がレチクル導出入領域２ａ内に進入するのを抑制することができる。

また、蓋開閉装置１では、昇降台７を昇降させるアクチュエータとして、シリンダ部１２ａ内に対するガスの導出入によってロッド部１２ｂがスライドするエアシリンダ１２が用いられている。これにより、例えばラックピニオン機構を用いる場合に比べ、動作時の発塵を抑制することができると共に機構の簡素化を図ることができる。従って、レチクル導出入領域２ａ内の雰囲気を清浄に維持しつつ、昇降台７を確実に動作させることができる。

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、本発明の蓋開閉装置の対象は、レチクルＲを収納するポッド７０に限定されず、他の被収納物を収納する他の収納容器であってもよい。また、昇降台７を昇降させるために、複数のエアシリンダを用いてもよいし、エアシリンダに代えて、上下方向に伸縮可能な他のアクチュエータを用いてもよい。また、本実施形態においては、気圧差発生装置がパージ装置１６及び排気装置１７を備えた構成としているが、パージ装置１６は設けない場合もある。この場合には、例えば、クリーンガス供給装置６４からのクリーンガスを、開口部からレチクル導出入領域２ａ内に導入すると共に、排気装置１７は、機器設置領域２ｂ内の気圧がレチクル導出入領域２ａ内の気圧よりも低くなるように動作するようにする。この例においては、排気装置１７によって気圧差発生装置が構成される。また、上述した全ての構成の形状や材料としては、上述したもの限定されず、様々な形状や材料を適用することができる。

１…蓋開閉装置、２…装置本体、２ａ…レチクル導出入領域（被収納物導出入領域）、２ｂ…機器設置領域、３ｂ…開口（第１開口）、５ａ…レチクル導出入口（被収納物導出入口）、６…隔壁、６ａ…開口（第３開口）、６ｂ…開口（第２開口）、７…昇降台、１０…載置面、１２…エアシリンダ（アクチュエータ、昇降駆動部）、１４…閉鎖板、１６…パージ装置（気圧差発生装置）、１６ａ…第１ノズル、１６ｂ…第２ノズル、１７…排気装置（気圧差発生装置）、２１…筒状部材、２４…排気部、２５…調整機構、７０…ポッド（収納容器）、７１…容器本体、７２…蓋部、Ｒ…レチクル（被収納物）、ＰＧ…パージガス、Ｇ…ガス。

Claims (12)

1. 被収納物を収納する容器本体と、前記容器本体に対して開閉可能な底部を成し、前記被収納物が載置される蓋部と、を備える収納容器について、前記容器本体に対する前記蓋部の開閉を行う蓋開閉装置であって、
   前記収納容器が載置される載置面、前記載置面に前記収納容器が載置されたときに前記蓋部に対向する第１開口、被収納物導出入口を介して前記被収納物の導出入が行われる被収納物導出入領域、及び、前記被収納物導出入領域の下側に位置し、隔壁によって前記被収納物導出入領域と仕切られた機器設置領域が設けられた装置本体と、
   前記蓋部を支持し、前記第１開口と前記被収納物導出入領域との間において昇降する昇降台と、
   前記機器設置領域内に設けられ、前記昇降台を昇降させる昇降駆動部と、
   前記隔壁に設けられ、前記被収納物導出入領域内のガスを前記機器設置領域内に排気する排気部と、
   前記被収納物導出入領域内の気圧が前記機器設置領域内の気圧よりも高くなるように気圧差を発生させる気圧差発生装置と、を備える、蓋開閉装置。
2. 前記気圧差発生装置は、前記機器設置領域内のガスを排気する排気装置を備える、請求項１記載の蓋開閉装置。
3. 前記排気装置は、上下方向に垂直な所定方向における前記機器設置領域の一端であり、且つ上下方向における前記機器設置領域の下端である位置に設けられており、
   前記排気部は、前記所定方向における前記隔壁の他端である位置に設けられている、請求項２記載の蓋開閉装置。
4. 前記気圧差発生装置は、前記被収納物導出入領域内にパージガスを給気するパージ装置を更に備え、
   前記パージ装置は、前記所定方向における前記被収納物導出入領域の一端であり、且つ上下方向における前記被収納物導出入領域の上端である位置に設けられている、請求項３記載の蓋開閉装置。
5. 前記パージ装置は、
   前記所定方向に沿って前記一端から前記他端に向かって前記パージガスを噴射する第１ノズルと、
   上下方向に沿って前記上端から前記下端に向かって前記パージガスを噴射する第２ノズルと、を有する、請求項４記載の蓋開閉装置。
6. 前記パージ装置は、前記被収納物導出入領域内の気圧が前記被収納物導出入領域外の気圧よりも高くなるように、前記被収納物導出入領域内に前記パージガスを給気する、請求項４又は５記載の蓋開閉装置。
7. 前記被収納物導出入口は、上下方向に垂直な所定方向における前記被収納物導出入領域の端部であり、且つ、前記蓋部を支持した前記昇降台が下降した位置において前記被収納物を前記所定方向に出入可能である位置に設けられている、請求項１〜６のいずれか一項記載の蓋開閉装置。
8. 前記被収納物導出入口を開閉する閉鎖板を更に備える、請求項１〜７のいずれか一項記載の蓋開閉装置。
9. 前記昇降台は、第１開口を気密に閉鎖し、
   前記閉鎖板は、前記被収納物導出入口を気密に閉鎖する、請求項８記載の蓋開閉装置。
10. 前記排気部は、
    前記隔壁に設けられた第２開口と、
    前記隔壁に設けられ、前記被収納物導出入領域内の気圧を調整する調整機構と、を有する、請求項１〜９のいずれか一項記載の蓋開閉装置。
11. 前記昇降台には、前記隔壁に設けられた第３開口を介して前記機器設置領域に延在する筒状部材が設けられており、
    前記昇降駆動部は、上下方向に伸縮可能なアクチュエータであり、少なくとも前記被収納物導出入領域において前記筒状部材に包囲されている、請求項１〜１０のいずれか一項記載の蓋開閉装置。
12. 前記アクチュエータは、シリンダ部と、基端部が前記シリンダ部内に挿入されたロッド部と、を有し、前記シリンダ部内に対するガスの導出入によって前記ロッド部がスライドするエアシリンダである、請求項１１記載の蓋開閉装置。

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