JP2022126900A - 搬送設備 - Google Patents

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Abstract

【課題】簡単な設備構成によって、保管棚の載置部を移動させる機構と、保管棚に保管される容器をパージするためのパージ装置と、を設置可能な搬送設備を提供する。【解決手段】搬送設備１０は、走行レール１１に沿ってフープ９０を搬送する天井搬送車２０と、走行レール１１に沿って設けられ天井搬送車２０によって搬送されるフープ９０を保管する天井保管棚３０と、天井保管棚３０に保管されるフープ９０をパージするパージ装置４０と、を備える。天井保管棚３０は、フープ９０を載置するための載置部３２、３３を有する。載置部３２、３３は、パージ装置４０に供給される駆動用ガスによって、天井保管棚３０の保管棚本体３１に対して移動可能である。【選択図】図１

Description

本発明は、搬送路に沿って容器を搬送する搬送車と、前記搬送路に沿って設けられ前記搬送車によって搬送される容器を保管する保管棚と、を備える搬送設備に関する。
従来、この種の搬送設備としては、特許文献１に示すようなものがある。特許文献１の搬送設備は、建屋の天井に設けられる工程内環状軌道（搬送路）に沿って走行してフープ（容器）を搬送する搬送車と、天井から吊り下げられて搬送車によって搬送されるフープが一時的に置かれる懸垂式棚装置（保管棚）と、を備えるものである。
特許文献１の搬送設備では、懸垂式棚装置が、上下２段のスライド板（載置部）と、これらのスライド板をスライドさせるギアと、ギアを駆動する減速機付きモータと、を備える。さらに、搬送車が、上下何れかのスライド板のスライドが完了した後に、昇降ベルトによってフープを下方に移動させることで、スライド棚の上にフープを載置する。特許文献１の搬送設備では、スライド板を移動させるためのモータが懸垂式棚装置毎に設けられ、モータの駆動によってスライド板が移動する。
また、特許文献１に示すような搬送設備には、保管棚に保管される容器を、Ｎ２ガス等のパージ用ガスによってパージするためのパージ装置が設けられる場合がある。特に、半導体工場等に設けられる搬送設備では、半導体基板表面の酸化等を抑制するために、半導体基板を収納した容器をパージ用ガスによってパージするパージ装置が当該容器を保管する保管棚に設けられる。
特開２００７－９６１４０号公報
しかしながら、特許文献１の搬送設備のようなモータの駆動によって載置部を移動させる搬送設備に上記のようなパージ装置を設けると、上記モータに電力を供給するための電力供給設備と、上記パージ装置にパージ用ガス等のガスを供給するためのガス供給設備の二種類の供給設備を設ける必要があるため、搬送設備自体が複雑になるという問題がある。
本発明は上記課題を解決するもので、簡単な設備構成によって、保管棚の載置部を移動させる機構と、保管棚に保管される容器をパージするためのパージ装置と、を設置可能な搬送設備を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明の搬送設備は、搬送路に沿って容器を搬送する搬送車と、前記搬送路に沿って設けられ前記搬送車によって搬送される容器を保管する保管棚と、を備える搬送設備であって、前記保管棚に保管される前記容器をパージするパージ装置を備え、前記保管棚は、前記容器を載置するための載置部を有し、前記載置部は、前記パージ装置に供給されるガスによって、前記保管棚の本体部に対して移動可能なものである。
上記構成では、パージ装置に供給されるガスによって、保管棚に保管される容器のパージと、保管棚の本体部に対する載置部の移動とが行われる。
本発明の搬送設備は、前記載置部が、前記パージ装置に供給されるガスによって、前記保管棚の本体部に対して昇降移動可能なものである。
上記構成では、パージ装置に供給されるガスによって、載置部が保管棚の本体部に対して昇降移動する。
本発明の搬送設備は、前記載置部が、前記パージ装置に供給されるガスによって、前記保管棚の本体部に対して水平移動可能なものである。
上記構成では、パージ装置に供給されるガスによって、載置部が保管棚の本体部に対して水平移動する。
本発明の搬送設備は、前記パージ装置に供給されるガスが、前記容器をパージするためのパージ用ガスと、前記パージ用ガスの流量を調整するための流量調整用ガスと、であり、前記載置部は、前記パージ用ガスによって、前記保管棚の本体部に対して移動可能なものである。
上記構成では、パージ用ガスによって、載置部が保管棚の本体部に対して移動する。
本発明の搬送設備は、前記パージ装置に供給されるガスが、前記容器をパージするためのパージ用ガスと、前記パージ用ガスの流量を調整するための流量調整用ガスと、であり、前記載置部は、前記流量調整用ガスによって、前記保管棚の本体部に対して移動可能なものである。
上記構成では、流量調整用ガスによって、載置部が保管棚の本体部に対して移動する。
本発明の搬送設備は、前記載置部を前記保管棚の本体部に対して移動させるための駆動機構を備え、前記載置部は、前記パージ装置に供給されるガスの前記駆動機構への供給が前記搬送車によって開始されることで、前記保管棚の本体部に対して移動可能となるものである。
上記構成では、搬送車が、パージ装置に供給されるガスの駆動機構への供給を開始することで、載置部が保管棚の本体部に対して移動可能となる。
本発明の搬送設備によれば、パージ装置に供給されるガスによって、保管棚の本体部に対する載置部の移動を行うことから、載置部を移動させるための電力供給設備を設ける必要がない。そのため、保管棚の載置部を移動させる機構と、容器をパージするためのパージ装置とを簡単な設備構成によって設置することができる。
本発明の実施の形態に係る搬送設備の正面図である。 同搬送設備において下段載置部を水平移動させた場合の正面図である。 本発明の別実施の形態に係る搬送設備の正面図である。 同搬送設備において上段載置部を上昇移動させた場合の正面図である。
まず、本発明に係る搬送設備１０について説明する。
搬送設備１０は、例えば、半導体基板の製造工場内のクリーンルーム等に設けられ、半導体基板が収容されたフープ９０（「容器」の一例）を、半導体基板に対して処理を行う複数の処理装置間で搬送するための設備である。図１に示すように、搬送設備１０は、搬送路である走行レール１１と、走行レール１１に沿って走行する天井搬送車２０（「搬送車」の一例）と、走行レール１１に沿って設けられる天井保管棚３０（「保管棚」の一例）と、天井保管棚３０に保管されるフープ９０をパージするためのパージ装置４０と、を主に備えている。
走行レール１１は、上記複数の処理装置（図示せず）の上方であって天井９１側に設けられ、天井９１から吊り下げボルト９２等により支持される。
天井搬送車２０は、半導体基板を収納したフープ９０を走行レール１１に沿って搬送するものである。天井搬送車２０は、走行レール１１に対して吊下げられた状態で取り付けられ、走行レール１１に沿って走行する。天井搬送車２０は、フープ９０を載置すべき天井保管棚３０の前（フープ９０の移載が行われる位置、以下、フープ９０の移載位置Ｔと称す）で停止し、天井保管棚３０に対してフープ９０の移載を行う。天井搬送車２０は、フープ９０を水平方向又は上下方向に保持して移動可能な移載機２１を備えている。
天井搬送車２０は、その下部に一対のプッシャー２２を有する。プッシャー２２は、天井搬送車２０の走行方向に対して水平に直交する方向に突出して移動する棒状の突出部材であり、天井搬送車２０に対して伸縮可能に構成される。プッシャー２２は、天井搬送車２０がフープ９０の移載位置Ｔに停止した際に水平方向に突出することで、天井保管棚３０の前面側（フープ９０が搬出入される側）に設けられるメカニカルバルブ３８を押圧可能な位置に設けられる。プッシャー２２は、天井搬送車２０の走行方向に対して左右両側に水平に突出可能に構成されている。
天井保管棚３０は、天井搬送車２０によって搬送されるフープ９０を一時的に保管するものである。天井保管棚３０は、フープ９０の移載位置Ｔにおいて、天井搬送車２０との間でフープ９０の移載を行う。搬送設備１０では、複数の天井保管棚３０が走行レール１１に沿って並んで配置されている。図１に示すように、天井保管棚３０は、走行レール１１を挟んで互いに向かい合って走行レール１１の左右両側の側方に設けられ、又は、走行レール１１の左右どちらか一方の側方に設けられる。天井保管棚３０は、天井９１から吊り下げボルト９３等によって吊り下げられた状態で保持される。
図１に示すように、天井保管棚３０は、保管棚本体３１（「保管棚の本体部」の一例）と、フープ９０が載置される複数の載置部３２、３３と、下段載置部３３を水平方向に移動させるための駆動機構３４と、を備える。
保管棚本体３１は、上下方向に延設される枠体であり、天井９１から吊り下げボルト９３等によって吊り下げられた状態で保持される。保管棚本体３１は、載置部３２、３３を上下方向に所定の間隔を有して保持する。
上段載置部３２及び下段載置部３３は、フープ９０を載置可能な平板によって構成されている。上段載置部３２及び下段載置部３３は、保管棚本体３１に対して上下方向に所定の間隔を有して配置され、２つのフープ９０を上下２段に配置可能に構成されている。
上段載置部３２は、保管棚本体３１に対して固定された固定荷受台である。上段載置部３２は、フープ９０の移載位置Ｔにおいて天井搬送車２０から水平方向に移載されるフープ９０を受け取り可能な位置に配置される。
下段載置部３３は、保管棚本体３１に対して水平方向に移動可能な可動荷受台である。天井保管棚３０では、天井搬送車２０が停止した位置、すなわち、フープ９０の移載位置Ｔにおいて、天井搬送車２０の移載機２１がフープ９０を昇降移動させることで、天井搬送車２０と下段載置部３３との間でのフープ９０の移載を行う。そのため、下段載置部３３は、保管棚本体３１からフープ９０の移載位置Ｔに停止する天井搬送車２０の真下まで水平方向に移動する。下段載置部３３は、駆動機構３４によって水平方向に移動する。
駆動機構３４は、下段載置部３３の下部に水平方向に延設されている。駆動機構３４は、エアシリンダ３５と、エアシリンダ３５のロッド３５ａの伸縮によって移動するブロック３６と、から主に構成されている。エアシリンダ３５は、ロッド３５ａが水平方向に伸縮移動するように設けられる。ロッド３５ａの先端部にはブロック３６が連結されている。ブロック３６は、ロッド３５ａが伸縮移動することで水平方向に移動する。ブロック３６は、下段載置部３３に連結されている。駆動機構３４では、ブロック３６が水平方向に移動することで、下段載置部３３が保管棚本体３１に対して水平方向に移動する。
パージ装置４０は、フープ９０内を所定のパージ用ガス（例えば、Ｎ２等の不活性ガス）でパージするための装置である。パージ装置４０は、載置部３２、３３の下方に配置され、載置部３２、３３に載置されたフープ９０をパージする。パージ装置４０は、パージノズル４１と、排気ノズル４２と、流量制御部４３と、パージ制御部４４と、を主に備える。
パージノズル４１及び排気ノズル４２は、フープ９０が載置部３２、３３に載置された際にフープ９０のガス導入口及びガス排気口に接続可能に配置される。パージノズル４１は配管４５に接続され、さらに、流量制御部４３を介してパージ用ガスの供給タンク９５に接続されている。排気ノズル４２は、パージ用ガスの排気経路（図示せず）に接続されている。
流量制御部４３は、フープ９０に接続される配管４５（フープ９０のガス導入口と供給タンク９５との間の流路）におけるパージ用ガスの流量を制御する。流量制御部４３は、パージ用ガスの圧力を調整するためのレギュレータ４６と、レギュレータ４６を駆動するための駆動用エア（「流量調整用ガス」の一例）を流通させるためのエア配管４７と、を主に備える。流量制御部４３が配管４５におけるパージ用ガスの流量を制御することによって、パージ用ガスの供給タンク９５からパージノズル４１へ供給されるパージ用ガスの流量が制御される。流量制御部４３は、パージ制御部４４と通信可能に接続され、パージ制御部４４からの制御信号によってレギュレータ４６が制御されることで、パージ用ガスの流量を制御する。エア配管４７は、エア供給タンク９６に接続され、レギュレータ４６に対して駆動用エアを供給する。
次に、下段載置部３３の水平移動について説明する。
図１及び図２に示すように、下段載置部３３は、駆動機構３４の駆動によって水平方向に移動する。駆動機構３４は、エアシリンダ３５のロッド３５ａが伸縮移動することで、下段載置部３３が連結されたブロック３６を水平方向に移動させる。エアシリンダ３５は、流量制御部４３のレギュレータ４６に供給される駆動用エアによって駆動される。すなわち、パージ装置４０に供給される駆動用エアによって、レギュレータ４６によるパージ用ガスの流量制御と、駆動機構３４による下段載置部３３の水平移動と、が行われる。
エアシリンダ３５には、上記駆動用エアが、流量制御部４３のエア配管４７から分岐して設けられる分岐配管４８を介して供給される。エア配管４７から分岐する分岐配管４８は、電磁弁４９等を介してエアシリンダ３５に接続される。エアシリンダ３５への駆動用エアの供給は、メカニカルバルブ３８よって電磁弁４９が操作されることで制御される。
メカニカルバルブ３８は、天井保管棚３０の前面側に設けられる。より具体的には、メカニカルバルブ３８は、天井保管棚３０の前面側の上段載置部３２より下方位置であって、フープ９０の移載位置Ｔに停止した天井搬送車２０のプッシャー２２が水平に突出移動した際に当接可能な位置に設けられる。メカニカルバルブ３８は、天井搬送車２０の下部に設けられるプッシャー２２によって押圧されるスイッチを備え、プッシャー２２によってスイッチが押圧されることで、電磁弁４９をＯＮする。すなわち、エアシリンダ３５への駆動用エアの供給が天井搬送車２０によって開始される。電磁弁４９がＯＮされることで、分岐配管４８からの駆動用エアがエアシリンダ３５に供給される。
天井搬送車２０がフープ９０を下段載置部３３に載置する場合には、天井搬送車２０のプッシャー２２が水平に突出移動してメカニカルバルブ３８を押圧する。すなわち、天井搬送車２０がエアシリンダ３５への駆動用エアの供給を開始する。これによって、電磁弁４９がＯＮされ、分岐配管４８からの駆動用エアがエアシリンダ３５に供給される。そして、エアシリンダ３５のロッド３５ａが伸長することで、ブロック３６に連結される下段載置部３３が天井搬送車２０の真下まで水平に移動し、フープ９０が載置可能となる。天井搬送車２０は、移載機２１によってフープ９０を下降させることでフープ９０を下段載置部３３に載置する。
天井搬送車２０は、フープ９０を下段載置部３３に載置した後、プッシャー２２を水平に収縮してメカニカルバルブ３８の押圧を解除する。これによって、電磁弁４９がＯＦＦされ、分岐配管４８からエアシリンダ３５への駆動用エアの供給が停止される。エアシリンダ３５は、駆動用エアが排気されることでロッド３５ａが収縮する。これによって、ブロック３６に連結される下段載置部３３が保管棚本体３１側に水平移動し、フープ９０が保管棚本体３１内に収容される。
以上のように、搬送設備１０では、パージ装置４０（流量制御部４３）に供給される駆動用エアによって、保管棚本体３１に対する下段載置部３３の水平移動を行うことから、下段載置部３３を移動させるための電力供給設備を設ける必要がない。そのため、下段載置部３３を移動させる駆動機構３４と、フープ９０をパージするためのパージ装置４０とを簡単な設備構成によって設置することができる。
なお、本実施の形態では、流量制御部４３のレギュレータ４６を駆動するための駆動用エアによってエアシリンダ３５を駆動させることで、下段載置部３３を水平移動させているが、パージ装置４０に供給されるガスであれば当該駆動用エアに限定されるものではなく、フープ９０をパージするためのパージ用ガスによってエアシリンダ３５を駆動させても構わない。この場合、エアシリンダ３５には、フープ９０に供給されるパージ用ガスが、パージ装置４０の配管４５から分岐して設けられる配管を介して供給される。当該配管は、電磁弁４９等を介してエアシリンダ３５に接続される。
本実施の形態では、エアシリンダ３５への駆動用エアの供給が、メカニカルバルブ３８及び天井搬送車２０のプッシャー２２によって制御されているが、これに限定されるものではなく、天井搬送車２０又は天井保管棚３０に設けられるセンサ等の通信機器によってエアシリンダ３５への駆動用エアの供給を制御しても構わない。例えば、天井搬送車２０がフープ９０の移載位置Ｔに到着して天井保管棚３０側のセンサがＯＮとなることで、エアシリンダ３５への駆動用エアの供給を開始させて下段載置部３３を水平移動させても構わない。
また、天井搬送車２０等に設けられるセンサ等の通信機器によってエアシリンダ３５への駆動エアの供給を制御することで、天井搬送車２０がフープ９０の移載位置Ｔに到着する前段階で、下段載置部３３をフープ９０の移載位置Ｔの真下まで移動させることが可能となり、天井搬送車２０と天井保管棚３０（下段載置部３３）との間のフープ９０の移載を効率良く行うことができる。
本実施の形態では、上段載置部３２及び下段載置部３３を走行レール１１の長手方向に対して１台のみ配置しているが、これに限定されるものではなく、上段載置部３２及び下段載置部３３が走行レール１１の長手方向に対して複数台並ぶように配置されても構わない（例えば、上段載置部３２及び下段載置部３３を走行レール１１の長手方向（横方向）に３台配置して、縦２段、横３列の天井保管棚３０としても構わない。）。
本実施の形態では、天井保管棚３０を上下２段の載置部（上段載置部３２及び下段載置部３３）によって構成しているが、これに限定されるものではなく、天井保管棚３０を上下３段以上の載置部又は１段の載置部によって構成しても構わない。
本実施の形態では、下段載置部３３のみを水平移動させているが、これに限定されるものではなく、上段載置部３２のみを水平移動させるように構成し、又は上段載置部３２及び下段載置部３３の両方の載置部を水平移動させるように構成しても構わない。
本実施の形態では、下段載置部３３を水平移動させているが、図３及び図４に示す搬送設備１０Ａのように、天井保管棚３０Ａを上下２段の載置部（上段載置部３２Ａ及び下段載置部３３Ａ）によって構成し、上段載置部３２Ａのみを昇降移動させるように構成しても構わない。
図３に示すように、天井保管棚３０Ａは、保管棚本体３１Ａ（「保管棚の本体部」の一例）と、フープ９０が載置される複数の載置部３２Ａ、３３Ａと、上段載置部３２Ａを昇降移動させるための駆動機構３４Ａと、を備える。
保管棚本体３１Ａは、上下方向に延設される枠体であり、天井９１から吊り下げボルト９３等によって吊り下げられた状態で保持される。保管棚本体３１Ａは、載置部３２Ａ、３３Ａを上下方向に所定の間隔を有して保持する
上段載置部３２Ａ及び下段載置部３３Ａは、フープ９０を載置可能な平板によって構成されている。上段載置部３２Ａ及び下段載置部３３Ａは、保管棚本体３１Ａに対して上下方向に所定の間隔を有して配置され、２つのフープ９０を上下２段に配置可能に構成されている。
上段載置部３２Ａは、保管棚本体３１Ａに対して昇降移動可能な可動荷受台である。天井保管棚３０Ａでは、天井搬送車２０の移載機２１Ａが、フープ９０の移載位置Ｔにおいてフープ９０を水平移動させることで、天井搬送車２０と上段載置部３２Ａとの間でのフープ９０の移載を行うとともに、移載機２１Ａがフープ９０を水平移動させた後下降移動させることで、天井搬送車２０と下段載置部３３Ａとの間でのフープ９０の移載を行う。そのため、上段載置部３２Ａは、移載機２１Ａが水平移動する位置より上方の位置まで上昇する。上段載置部３２Ａは、駆動機構３４Ａによって昇降移動する。
下段載置部３３Ａは、保管棚本体３１Ａに対して固定された固定荷受台である。
駆動機構３４Ａは、保管棚本体３１Ａの後面側（フープ９０が搬出入される側と反対側）に上下方向に延設されている。駆動機構３４Ａは、エアシリンダ３５Ａと、エアシリンダ３５Ａのロッド３５ａの伸縮によって移動するブロック３６Ａと、から主に構成されている。エアシリンダ３５Ａは、ロッド３５ａが上下方向に伸縮移動するように設けられる。ロッド３５ａの先端部にはブロック３６Ａが連結されている。ブロック３６Ａは、ロッド３５ａが伸縮移動することで上下方向に移動する。ブロック３６Ａは、上段載置部３２Ａに連結されている。駆動機構３４Ａでは、ブロック３６Ａが上下方向に移動することで、上段載置部３２Ａが保管棚本体３１Ａに対して昇降移動する。
パージ装置４０は、載置部３２Ａ、３３Ａの下方に配置され、載置部３２Ａ、３３Ａに載置されたフープ９０をパージする。パージ装置４０は、パージノズル４１と、排気ノズル４２と、流量制御部４３と、パージ制御部４４と、を主に備える。
次に、上段載置部３２Ａの昇降移動について説明する。
図３及び図４に示すように、上段載置部３２Ａは、駆動機構３４Ａによって昇降移動する。駆動機構３４Ａは、エアシリンダ３５Ａのロッド３５ａが伸縮移動することで、下段載置部３３が連結されたブロック３６Ａを上昇させる。エアシリンダ３５Ａは、流量制御部４３のレギュレータ４６に供給される駆動用エアによって駆動される。すなわち、パージ装置４０に供給される駆動用エアによって、レギュレータ４６によるパージ用ガスの流量制御と、駆動機構３４Ａによる上段載置部３２Ａの昇降移動と、が行われる。
エアシリンダ３５Ａへの上記駆動用エアの供給は、メカニカルバルブ３８よって電磁弁４９が操作されることで制御される。メカニカルバルブ３８は、天井搬送車２０のプッシャー２２によってスイッチが押圧されることで、電磁弁４９をＯＮする。電磁弁４９がＯＮされることで、分岐配管４８からの駆動用エアがエアシリンダ３５Ａに供給される。
天井搬送車２０がフープ９０を上段載置部３２Ａに載置する場合には、天井搬送車２０のプッシャー２２がメカニカルバルブ３８を押圧することなく、移載機２１Ａがフープ９０を水平移動させることで、フープ９０を上段載置部３２Ａに移載する。
一方で、天井搬送車２０がフープ９０を下段載置部３３Ａに載置する場合には、天井搬送車２０のプッシャー２２が水平に突出移動してメカニカルバルブ３８を押圧する。これによって、電磁弁４９がＯＮされ、上記駆動用エアが分岐配管４８からエアシリンダ３５Ａに供給される。そして、エアシリンダ３５Ａのロッド３５ａが伸長することで、上段載置部３２Ａが、天井搬送車２０の移載機２１Ａが水平移動する位置より上方の位置まで上昇する。上段載置部３２Ａが上昇すると、移載機２１Ａがフープ９０を下段載置部３３Ａの真上まで水平移動し、さらに、フープ９０を下降移動させて下段載置部３３Ａに載置する。
天井搬送車２０は、フープ９０を下段載置部３３Ａに載置した後、プッシャー２２を水平に収縮してメカニカルバルブ３８の押圧を解除する。これによって、電磁弁４９がＯＦＦされ、分岐配管４８からエアシリンダ３５Ａへの駆動用エアの供給が停止される。これによって、エアシリンダ３５Ａに供給される駆動用エアが排気されることでロッド３５ａが収縮し、ブロック３６Ａに連結される上段載置部３２Ａが下降する。
以上のように、搬送設備１０Ａでは、パージ装置４０（流量制御部４３）に供給される駆動用エアによって、保管棚本体３１Ａに対する上段載置部３２Ａの上昇移動を行うことから、上段載置部３２Ａを移動させるための電力供給設備を設ける必要がない。そのため、上段載置部３２Ａを移動させる駆動機構３４Ａと、フープ９０をパージするためのパージ装置４０とを簡単な設備構成によって設置することができる。
なお、本実施の形態では、流量制御部４３のレギュレータ４６を駆動するための駆動用エアによってエアシリンダ３５Ａを駆動させることで、上段載置部３２Ａを昇降移動させているが、パージ装置４０に供給されるガスであれば当該駆動用エアに限定されるものではなく、フープ９０をパージするためのパージ用ガスによってエアシリンダ３５Ａを駆動させても構わない。
本実施の形態では、メカニカルバルブ３８及び天井搬送車２０のプッシャー２２によってエアシリンダ３５Ａへの駆動用エアの供給を制御しているが、これに限定されるものではなく、天井搬送車２０又は天井保管棚３０Ａに設けられるセンサ等の通信機器によってエアシリンダ３５Ａへの駆動用エアの供給を制御しても構わない。また、天井搬送車２０等に設けられるセンサ等の通信機器によってエアシリンダ３５Ａへの駆動用エアの供給を制御することで、天井搬送車２０がフープ９０の移載位置Ｔに到着する前段階で、上段載置部３２Ａを所定位置まで上昇させることが可能となり、天井搬送車２０と天井保管棚３０Ａ（上段載置部３２Ａ）との間のフープ９０の移載を効率良く行うことができる。
本実施の形態では、上段載置部３２Ａ及び下段載置部３３Ａを走行レール１１の長手方向に対して１台のみ配置しているが、これに限定されるものではなく、上段載置部３２Ａ及び下段載置部３３Ａが走行レール１１の長手方向に対して複数台並ぶように配置されても構わない。
本実施の形態では、天井保管棚３０Ａを上下２段の載置部（上段載置部３２Ａ及び下段載置部３３Ａ）によって構成しているが、これに限定されるものではなく、天井保管棚３０Ａを上下３段以上の載置部又は１段の載置部によって構成しても構わない。
本実施の形態では、上段載置部３２Ａのみを昇降移動させているが、これに限定されるものではなく、下段載置部３３Ａのみを昇降移動させるように構成し、又は上段載置部３２Ａ及び下段載置部３３Ａの両方の載置部を昇降移動させるように構成しても構わない。
本実施の形態の搬送設備１０、１０Ａでは、搬送路に沿って容器を搬送する搬送車を天井搬送車２０としているが、これに限定されるものではなく、容器の保管棚に容器を搬送する搬送車であれば、地上（レールの有無は問わない）を走行する搬送車であっても構わない。
本実施の形態の搬送設備１０、１０Ａでは、容器を保管する保管棚を天井保管棚３０、３０Ａとしているが、これに限定されるものではなく、搬送車の搬送路に沿って設けられる保管棚であれば、地上に設置される保管棚であっても構わない。
本実施の形態の搬送設備１０、１０Ａでは、フープ９０のガス導入口からパージ用ガスを導入することによって容器のパージを行う構成であるが、これに限定されるものではなく、パージ用ガスによって容器をパージ可能な構成であれば構わない。
本実施の形態の搬送設備１０、１０Ａでは、上段載置部３２、３２Ａ及び下段載置部３３、３３Ａのそれぞれにパージ装置４０を設けているが、これに限定されるものではなく、上段載置部３２、３２Ａ及び下段載置部３３、３３Ａのいずれか一方のみにパージ装置４０を設けても構わない。すなわち、容器のパージを行う載置部と、容器のパージを行わない載置部と、を有する保管棚において、容器のパージを行わない載置部を、パージ装置に供給されるガスによって移動可能に構成しても構わない。
１０、１０Ａ 搬送設備
１１ 走行レール（搬送路）
２０ 天井搬送車（搬送車）
３０、３０Ａ 天井保管棚（保管棚）
３１、３１Ａ 保管棚本体（保管棚の本体部）
３２、３２Ａ 上段載置部（載置部）
３３、３３Ａ 下段載置部（載置部）
４０ パージ装置
９０ フープ（容器）

Claims (6)

  1. 搬送路に沿って容器を搬送する搬送車と、前記搬送路に沿って設けられ前記搬送車によって搬送される容器を保管する保管棚と、を備える搬送設備であって、
    前記保管棚に保管される前記容器をパージするパージ装置を備え、
    前記保管棚は、前記容器を載置するための載置部を有し、
    前記載置部は、前記パージ装置に供給されるガスによって、前記保管棚の本体部に対して移動可能であること
    を特徴とする搬送設備。
  2. 前記載置部は、前記パージ装置に供給されるガスによって、前記保管棚の本体部に対して昇降移動可能であること
    を特徴とする請求項１に記載の搬送設備。
  3. 前記載置部は、前記パージ装置に供給されるガスによって、前記保管棚の本体部に対して水平移動可能であること
    を特徴とする請求項１又は請求項２に記載の搬送設備。
  4. 前記パージ装置に供給されるガスは、前記容器をパージするためのパージ用ガスと、前記パージ用ガスの流量を調整するための流量調整用ガスと、であり、
    前記載置部は、前記パージ用ガスによって、前記保管棚の本体部に対して移動可能であること
    を特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の搬送設備。
  5. 前記パージ装置に供給されるガスは、前記容器をパージするためのパージ用ガスと、前記パージ用ガスの流量を調整するための流量調整用ガスと、であり、
    前記載置部は、前記流量調整用ガスによって、前記保管棚の本体部に対して移動可能であること
    を特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の搬送設備。
  6. 前記載置部を前記保管棚の本体部に対して移動させるための駆動機構を備え、
    前記載置部は、前記パージ装置に供給されるガスの前記駆動機構への供給が前記搬送車によって開始されることで、前記保管棚の本体部に対して移動可能となること
    を特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の搬送設備。
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