JP2011051748A - ローダアンローダと搬送車と装置間のロードアンロード方法 - Google Patents

ローダアンローダと搬送車と装置間のロードアンロード方法 Download PDF

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Abstract


【課題】 省スペースで、かつ処理装置との間のロードアンロードと並行して、搬送車との間でカセットの受け渡しができる、ローダアンローダを提供する。
【構成】 ローダアンローダに、カセットを載置する載置部と処理装置との間でカセット内の物品を受け渡しする移載装置とを備えたユニットを、搬送車の移動経路に沿って複数設ける。複数のユニットを搬送車の移動経路に沿って移動させる移動機構と、コントローラとを設け、１つのユニットが処理装置との間で物品を移載している際に、他のユニットを搬送車との間でカセットを移載する位置に配置する。
【選択図】 図１

Description

この発明は、ローダアンローダと、搬送車と装置間のロードアンロード方法に関する。
スタッカークレーン、無人搬送車などの搬送車と、液晶パネル、プラズマディスプレイパネル、ソーラパネルなどの処理装置との間に、ローダアンローダを配置することが知られている。このローダアンローダでは、搬送車側にパネルを複数枚収容したカセットのバッファを設け、バッファと処理装置の間にカセットから基板をロードアンロードするユニットを設ける。しかしながらこのローダアンローダでは、バッファとユニットの２重のスペースが必要である。
関連する先行技術を示す。特許文献１（JP2001-130708A）は、自動倉庫と処理装置を一体にし、自動倉庫の棚を処理装置のローダアンローダのバッファに兼用することを開示している。
JP2001-130708A
この発明の課題は、省スペースで、かつ処理装置との間のロードアンロードと並行して、搬送車との間でカセットの受け渡しができるローダアンローダと方法とを提供することにある。
この発明での補助的な課題は、ユニットの移動機構と制御とを容易にすることにある。
この発明での補助的な課題はまた、ユニットの移動スペースを最小にすることにある。
この発明は、搬送車から物品を収容したカセットを移載されて、処理装置との間で前記カセットに収容された物品を受け渡しするローダアンローダであって、
前記カセットを載置する載置部と、処理装置との間でカセット内の物品を受け渡しする移載装置とを備え、かつ搬送車の移動経路に沿って配置された複数のユニットと、
前記複数のユニットを搬送車の移動経路に沿って移動させる移動機構と、
少なくとも１つのユニットが処理装置との間で物品を移載する位置にある際に、他の少なくとも１つのユニットが搬送車との間でカセットを移載する位置にあるように、前記移動機構とを制御するコントローラ、とを備えたことを特徴とする。
この発明はまた、搬送車から移載されたカセットに対して、ローダアンローダにより処理装置との間でカセットに収容された物品を受け渡しする方法であって、
前記ローダアンローダに、前記カセットを載置する載置部と、処理装置との間でカセット内の物品を受け渡しする移載装置とを備え、かつ搬送車の移動経路に沿って配置された複数のユニットと、前記複数のユニットを搬送車の移動経路に沿って移動させる移動機構と、移動機構と移載装置とを制御するコントローラ、とを設け、
少なくとも１つのユニットが処理装置との間で物品を移載している際に、他の少なくとも１つのユニットを搬送車との間でカセットを移載する位置に配置するように、前記移動機構と前記移載装置とを前記コントローラにより制御することを特徴とする。
この明細書において、ローダアンローダに関する記載はそのままロードアンロード方法にも当てはまり、逆にロードアンロード方法に関する記載はそのままローダアンローダにも当てはまる。この発明では、少なくとも１つのユニットが処理装置との間で物品を移載している間に、他の少なくとも１つのユニットで搬送車との間でカセットを受け渡しできるので、効率的である。またユニットがカセットのバッファを兼ねるので、省スペースである。
好ましくは、前記複数のユニットは互いに物理的に連結されている。このようにすると、移動機構は複数のユニットを別々に移動させるのではなく、一体として移動させれば良く、また移動機構の制御も単純になる。
好ましくは、前記移動機構による複数のユニットの移動ストロークは、ユニット間のピッチの整数倍である。このようにすると短いストロークで、従って小さなスペースで、複数のユニットを処理装置との物品の移載に適した位置と、搬送車との間のカセットの移載に適した位置とに移動できる。
特に好ましくは、前記移動ストロークは、前記ピッチを複数のユニットの数引く１倍した長さで、かつ処理装置との間で物品を移載する位置が前記移動経路長の中央部に配置されている。このようにすると最小のスペースで、複数のユニットを処理装置との移載位置と、搬送車との移載位置とに移動できる。
実施例のローダアンローダと周囲の処理装置及びスタッカークレーンを示す、一部切欠部つき平面図 実施例のローダアンローダの側面図 実施例のローダアンローダの制御系を示すブロック図 変形例のローダアンローダの平面図
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。この発明の範囲は、特許請求の範囲の記載に基づき、明細書の記載とこの分野での周知技術とを参酌し、当業者の理解に従って定められるべきである。
図１〜図４に、実施例のローダアンローダ２とその変形とを示す。図１〜図３において、２はローダアンローダで、４，５はユニットで、互いに物理的に一体に連結され、それぞれリフタ６とローラコンベヤ８とを備えている。１０はローラコンベヤ８のローラ軸で、１２はローラである。ローラコンベヤ８は、ロードアンロード対象の物品である基板を、例えば１枚ずつ処理装置２０のロードポート２２との間でやりとりし、そのため搬送方向に水平面内で直角な方向に沿って複数のローラ軸１０を備えている。また各ローラ軸１０はローラ１２を例えば複数個備え、ローラ１２は基板の底面に接触して移載する。
１４はローダアンローダ２の支柱で、１６は台車であり、走行レール１８上を走行する。走行レール１８は、搬送車の例であるスタッカークレーン３０の走行レール３８に平行に配置され、搬送車はスタッカークレーン３０の他に有軌道台車あるいは無人搬送車などでもよい。ローダアンローダ２は例えばクリーンルーム内で使用するので、図示しないカバーで覆い、クリーンエアの供給機構などを設けることが好ましいが、図示を省略する。
２０は処理装置で、液晶ディスプレイパネル，プラズマディスプレイパネル，ソーラパネルなどの処理装置であり、ロードポート２２から基板を例えば１枚ずつロードアンロードし、２４はその扉である。なお搬送対象の物品は基板に限らず、カセットに収容されて搬送される物品であればよい。
スタッカークレーン３０は走行レール３８に沿って走行する。３２はその台車で、３４は昇降台で、マスト３５に沿って昇降し、スライドフォーク３６を備えて、カセットをユニット４，５との間で移載する。なお移載にはスライドフォーク３６に代えて、スカラアームなどを用いてもよく、これ以外にカセットの向きを変えるターンテーブルなどを設けても良い。
図２に示すように、例えば一対のユニット４，５では、リフタ６によりカセット４２の底部を左右で支持し、支柱１４に沿って昇降させ、昇降ストロークをｈとする。またローラコンベヤ８は例えば台４０上に設けられ、台４０の高さは昇降ストロークｈの程度とし、リフタ６の昇降によって、スケルトン状のカセット４２の内部にローラコンベヤ８が進入し、ローラ１２により基板４４を１枚ずつロードポートとの間で移載する。そして一対のユニット４，５の一方がロードポートとの移載位置にある場合、他のユニットはスタッカークレーンとの間でカセット４２を移載する位置にあり、台４０の上部の空きスペースにスライドフォーク３６が進入し、カセット４２を移載する。なおローラコンベヤ８に代わる移載装置として、スライドフォークあるいはスカラアームなどを用いても良い。ユニット４，５間のピッチをＰとすると、ローダアンローダ２の全長は約２Ｐで、ローダアンローダ２の移動ストロークはＰである。またユニット４，５はスタッカークレーンの走行経路に沿って配置されている。
図３はローダアンローダのコントローラ５０を示し、昇降ドライブ５１は例えばユニット４のリフタ６のモータＭ１を制御し、昇降ドライブ５３はユニット５のリフタのモータＭ２を制御する。コンベヤドライブ５２は例えばユニット４のローラコンベヤの駆動モータＭ３を制御し、コンベヤドライブ５４はユニット５のローラコンベヤの駆動モータを制御する。走行ドライブ５５は台車１６の走行を制御する。
通信インターフェース５６はロードポートとの間で通信し、基板を移載する際のインターロックを行い、通信インターフェース５７はスタッカークレーンとの間で通信し、カセットを移載する際のインターロックを行う。通信ユニット５８は図示しない上位コントローラとの間で通信し、種々の指令を受信し、実行結果を報告する。
実施例の動作を示す。例えば図１のように、ユニット４がロードポート２２との間で、ローラコンベヤ８により基板を１枚ずつ移載しているとする。これと同時にスタッカークレーン３０は、スライドフォーク３６がユニット５と向き合った位置で停止し、カセットを移載する。この結果、一方のユニットがロードポート２２との間で基板を移載している間に、次のカセットを他のユニットに載置し、あるいは基板を移載済みのカセットを他のユニットからスタッカークレーンへ搬出できる。
ユニット４，５間のピッチをＰとすると、実施例では２個のユニット４，５に対し、ローダアンローダ２の移動ストロークが１ピッチＰ分で、ユニットの数−１ピッチだけ移動する。そして移動ストロークの中央部にロードポート２２がある。このため最小のスペースでユニット４，５を移動させることができ、また各ユニット４，５は共にロードポート２２との間で基板を受け渡しする位置へ移動できる。なおローダアンローダ２に対する、スタッカークレーン３０の停止位置はユニット４，５の数と等しく、図１の場合、右側の空きスペースがユニット４との間でカセットを移載する位置となる。
ローダアンローダ２は、カセットを載置するバッファ（リフタ６）と、ローラコンベヤ８（移載装置）とを一体としているので、省スペースである。一対のユニット４，５は互いに物理的に連結され、台車１６により一体に移動するので、例えば単一の走行モータＭ５と単一の走行ドライブ５５で移動できる。
実施例では２個のユニット４，５を連結して１個のローダアンローダ２としたが、より多数個のユニットを連結しても良い。このような変形例を図４に示し、６０は新たなローダアンローダで、４個のユニット４，５，６１，６２を備え、走行ストロークの長さは４ユニットに対して３ユニット分のピッチで、走行経路の中央部に処理装置２０がある。
２ ローダアンローダ
４，５ ユニット
６ リフタ
８ ローラコンベヤ
１０ ローラ軸
１２ ローラ
１４ 支柱
１６ 台車
１８ 走行レール
２０ 処理装置
２２ ロードポート
２４ 扉
３０ スタッカークレーン
３２ 台車
３４ 昇降台
３５ マスト
３６ スライドフォーク
３８ 走行レール
４０ 台
４２ カセット
４４ 基板
５０ コントローラ
５１〜５５ ドライブ
５６，５７ 通信インターフェース
５８ 通信ユニット
６０ ローダアンローダ
６１，６２ ユニット

Ｍ１〜Ｍ５ モータ
Ｐ ピッチ
ｈ 昇降ストローク

Claims (5)

  1. 搬送車から物品を収容したカセットを移載されて、処理装置との間で前記カセットに収容された物品を受け渡しするローダアンローダであって、
    前記カセットを載置する載置部と、処理装置との間でカセット内の物品を受け渡しする移載装置とを備え、かつ搬送車の移動経路に沿って配置された複数のユニットと、
    前記複数のユニットを搬送車の移動経路に沿って移動させる移動機構と、
    少なくとも１つのユニットが処理装置との間で物品を移載する位置にある際に、他の少なくとも１つのユニットが搬送車との間でカセットを移載する位置にあるように、前記移動機構とを制御するコントローラ、とを備えることを特徴とするローダアンローダ。
  2. 前記複数のユニットは互いに物理的に連結されていることを特徴とする、請求項１のローダアンローダ。
  3. 前記移動機構による複数のユニットの移動ストロークは、ユニット間のピッチの整数倍であることを特徴とする、請求項１または２のローダアンローダ。
  4. 前記移動ストロークは、前記ピッチを複数のユニットの数引く１倍した長さで、かつ処理装置との間で物品を移載する位置が前記移動経路長の中央部に配置されていることを特徴とする、請求項３のローダアンローダ。
  5. 搬送車から移載されたカセットに対して、ローダアンローダにより処理装置との間でカセットに収容された物品を受け渡しする方法であって、
    前記ローダアンローダに、前記カセットを載置する載置部と、処理装置との間でカセット内の物品を受け渡しする移載装置とを備え、かつ搬送車の移動経路に沿って配置された複数のユニットと、前記複数のユニットを搬送車の移動経路に沿って移動させる移動機構と、移動機構と移載装置とを制御するコントローラ、とを設け、
    少なくとも１つのユニットが処理装置との間で物品を移載している際に、他の少なくとも１つのユニットを搬送車との間でカセットを移載する位置に配置するように、前記移動機構と前記移載装置とを前記コントローラにより制御することを特徴とする、ロードアンロード方法。
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