JP2001130708A - 自動倉庫システム - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 ラック６の背面に処理装置群１６を設け、そ
のステーション４０をラック６内に設けて、２台のスタ
ッカークレーン１２，１４で工程内搬送を行う。 【効果】 物品の保管と処理とを一体にした、コンパク
トで効率的な自動倉庫システムが得られる。
のステーション４０をラック６内に設けて、２台のスタ
ッカークレーン１２，１４で工程内搬送を行う。 【効果】 物品の保管と処理とを一体にした、コンパク
トで効率的な自動倉庫システムが得られる。
Description
【０００１】
【発明の利用分野】この発明は、処理装置と自動倉庫と
を一体にした自動倉庫システムに関する。
を一体にした自動倉庫システムに関する。
【０００２】
【従来技術】半導体工場や液晶ディスプレイ工場などで
は、複数の処理装置を組み合わせて１工程とし、各工程
の端部にストッカーを配置することが行われている。こ
の場合、工程内での物品の搬送では、ストッカー、処理
装置、ストッカー、処理装置の順を繰り返すため、工程
内搬送の距離が長い。また十分な保管能力を持たせると
ストッカーが占める床面積が大きくなる。
は、複数の処理装置を組み合わせて１工程とし、各工程
の端部にストッカーを配置することが行われている。こ
の場合、工程内での物品の搬送では、ストッカー、処理
装置、ストッカー、処理装置の順を繰り返すため、工程
内搬送の距離が長い。また十分な保管能力を持たせると
ストッカーが占める床面積が大きくなる。
【０００３】
【発明の課題】この発明の課題は、複数の処理装置とラ
ックとを一体にして、コンパクトでかつ効率的に工程内
搬送ができる、自動倉庫システムを提供することにある
（請求項１〜３）。請求項２の発明の追加の課題は、搬
送装置からの発塵が処理装置側に影響することを防止す
ることにある。請求項３の発明の追加の課題は、物品を
より効率的に工程内搬送することにある。
ックとを一体にして、コンパクトでかつ効率的に工程内
搬送ができる、自動倉庫システムを提供することにある
（請求項１〜３）。請求項２の発明の追加の課題は、搬
送装置からの発塵が処理装置側に影響することを防止す
ることにある。請求項３の発明の追加の課題は、物品を
より効率的に工程内搬送することにある。
【０００４】
【発明の構成】この発明の自動倉庫システムでは、ラッ
クの背面に複数の処理装置を設け、ロードポートなどの
処理装置との間の物品受け渡しステーションを、ラック
内に配置する。そしてラック及び物品受け渡しステーシ
ョンに沿って、物品を搬送及び移載する搬送装置を設け
る（請求項１）。なお自動倉庫システム内での搬送を工
程内搬送と呼び、自動倉庫システムの外部での搬送を工
程間搬送と呼ぶ。
クの背面に複数の処理装置を設け、ロードポートなどの
処理装置との間の物品受け渡しステーションを、ラック
内に配置する。そしてラック及び物品受け渡しステーシ
ョンに沿って、物品を搬送及び移載する搬送装置を設け
る（請求項１）。なお自動倉庫システム内での搬送を工
程内搬送と呼び、自動倉庫システムの外部での搬送を工
程間搬送と呼ぶ。
【０００５】好ましくは、自動倉庫システムをクリーン
ルーム内に設け、搬送装置の走行路での床下部への開孔
率を、ラックでの開孔率よりも高くする。より好ましく
は、搬送装置をスタッカークレーンとして、そのレール
と走行台車とをクリーンルームの床下部に配置し、スタ
ッカークレーンのマスト等を通過させるための開口を走
行路に設けて、走行路の開孔率を高める（請求項２）。
ルーム内に設け、搬送装置の走行路での床下部への開孔
率を、ラックでの開孔率よりも高くする。より好ましく
は、搬送装置をスタッカークレーンとして、そのレール
と走行台車とをクリーンルームの床下部に配置し、スタ
ッカークレーンのマスト等を通過させるための開口を走
行路に設けて、走行路の開孔率を高める（請求項２）。
【０００６】また好ましくは、ラックの一端や両端など
に、外部搬送装置との間の物品受け渡しステーションを
設けるとともに、前記搬送装置で、前記外部搬送装置と
の間の物品受け渡しステーションから、ラックの所要の
位置への搬送、及び所要の処理装置の物品受け渡しステ
ーションへの搬送を行う（請求項３）。
に、外部搬送装置との間の物品受け渡しステーションを
設けるとともに、前記搬送装置で、前記外部搬送装置と
の間の物品受け渡しステーションから、ラックの所要の
位置への搬送、及び所要の処理装置の物品受け渡しステ
ーションへの搬送を行う（請求項３）。
【０００７】
【発明の作用と効果】請求項１の発明では、搬送装置の
搬送経路に沿ってラックと処理装置のステーションがあ
り、ラックの背面に処理装置がある。このため物品の保
管には、ステーション付近のラックを用いれば良く、効
率的に工程内搬送ができる。またラックと処理装置とを
一体に配置し、かつステーションの上部や下部などのデ
ッドスペースをラックでの物品保管に用いることができ
るので、コンパクトなシステムとなる。
搬送経路に沿ってラックと処理装置のステーションがあ
り、ラックの背面に処理装置がある。このため物品の保
管には、ステーション付近のラックを用いれば良く、効
率的に工程内搬送ができる。またラックと処理装置とを
一体に配置し、かつステーションの上部や下部などのデ
ッドスペースをラックでの物品保管に用いることができ
るので、コンパクトなシステムとなる。
【０００８】請求項２の発明では、スタッカークレーン
を搬送装置に用いるので搬送能力が高く、しかもそのレ
ールと走行台車とをクリーンルームの床下部に配置する
ので、スタッカークレーンのマストなどを移動させるた
めの開口が、スタッカークレーンの走行路に生じる。こ
の走行路は床下への空気の流入口となり、スタッカーク
レーンの走行などで生じた塵が、処理装置側へ流れ込む
ことがない。また床下の走行台車での発塵は、床下から
フィルターへ流れる気流で運ばれ、床上側に逆流するこ
とがない。
を搬送装置に用いるので搬送能力が高く、しかもそのレ
ールと走行台車とをクリーンルームの床下部に配置する
ので、スタッカークレーンのマストなどを移動させるた
めの開口が、スタッカークレーンの走行路に生じる。こ
の走行路は床下への空気の流入口となり、スタッカーク
レーンの走行などで生じた塵が、処理装置側へ流れ込む
ことがない。また床下の走行台車での発塵は、床下から
フィルターへ流れる気流で運ばれ、床上側に逆流するこ
とがない。
【０００９】請求項３の発明では、自動倉庫システムの
外部搬送装置との間で物品を受け渡しするために、ラッ
クの端部にステーションを設け、搬送装置でこのステー
ションから物品を搬送して、ラックで一時保管した後、
所要の処理装置のステーションへ搬送する。このように
すると、所要のステーションの付近で物品を一時保管で
きるので、一々自動倉庫システムの端部のストッカーま
で戻る場合に比べて搬送距離が短くなり、工程内搬送が
さらに効率的になる。
外部搬送装置との間で物品を受け渡しするために、ラッ
クの端部にステーションを設け、搬送装置でこのステー
ションから物品を搬送して、ラックで一時保管した後、
所要の処理装置のステーションへ搬送する。このように
すると、所要のステーションの付近で物品を一時保管で
きるので、一々自動倉庫システムの端部のストッカーま
で戻る場合に比べて搬送距離が短くなり、工程内搬送が
さらに効率的になる。
【００１０】
【実施例】図１〜図８に、実施例とその変形とを示す。
図１に、自動倉庫システム群２のレイアウトを示すと、
４は個々の自動倉庫システムで、全長が数十ｍ程度で、
自動倉庫システム４は複数個並列に配置されている。５
は自動倉庫ＣＰＵで、個々の自動倉庫システム４内での
物流等を管理する。自動倉庫システム４には、例えば一
対のラック６，６を設け、各ラック６の左右両端の各々
にステーション８，８を設けて、工程間搬送用の有軌道
台車との間の移載用ステーションとする。１つの自動倉
庫システム４には４つのステーション８があり、自動倉
庫システム４の左右の端部には、それぞれ２つずつステ
ーション８，８がある。このため、一方のステーション
が故障した場合、他方のステーションでバックアップで
きる。
図１に、自動倉庫システム群２のレイアウトを示すと、
４は個々の自動倉庫システムで、全長が数十ｍ程度で、
自動倉庫システム４は複数個並列に配置されている。５
は自動倉庫ＣＰＵで、個々の自動倉庫システム４内での
物流等を管理する。自動倉庫システム４には、例えば一
対のラック６，６を設け、各ラック６の左右両端の各々
にステーション８，８を設けて、工程間搬送用の有軌道
台車との間の移載用ステーションとする。１つの自動倉
庫システム４には４つのステーション８があり、自動倉
庫システム４の左右の端部には、それぞれ２つずつステ
ーション８，８がある。このため、一方のステーション
が故障した場合、他方のステーションでバックアップで
きる。
【００１１】１２，１４は２台のスタッカークレーン
で、共通のクレーン走行路１０に沿って走行し、ステー
ション８とラック６の間、並びにラック６内に設けた処
理装置のロードポートとの間で、物品を搬送する。スタ
ッカークレーン１２，１４は、常時は図１の左右方向中
心線Ｃ−Ｃを境界とし、自動倉庫システム４の左半部と
右半部とで搬送を分担する。ここで、一方のスタッカー
クレーンにトラブルが生じると、トラブルのあるスタッ
カークレーンをクレーン走行路１０の端部で退避させ、
他方のスタッカークレーンで自動倉庫システム４全体の
搬送を行う。実施例では自動倉庫システム内での搬送装
置にスタッカークレーン１２，１４を用いたが、有軌道
台車や無人搬送車等でも良く、複数の高さレベルとの間
で物品の移載ができ、かつ走行路１０に沿って搬送・移
載ができる搬送装置であればよい。
で、共通のクレーン走行路１０に沿って走行し、ステー
ション８とラック６の間、並びにラック６内に設けた処
理装置のロードポートとの間で、物品を搬送する。スタ
ッカークレーン１２，１４は、常時は図１の左右方向中
心線Ｃ−Ｃを境界とし、自動倉庫システム４の左半部と
右半部とで搬送を分担する。ここで、一方のスタッカー
クレーンにトラブルが生じると、トラブルのあるスタッ
カークレーンをクレーン走行路１０の端部で退避させ、
他方のスタッカークレーンで自動倉庫システム４全体の
搬送を行う。実施例では自動倉庫システム内での搬送装
置にスタッカークレーン１２，１４を用いたが、有軌道
台車や無人搬送車等でも良く、複数の高さレベルとの間
で物品の移載ができ、かつ走行路１０に沿って搬送・移
載ができる搬送装置であればよい。
【００１２】各ラック６，６の背面には処理装置群１
６，１６を設け、処理装置群１６は同種の処理装置を複
数個組み合わせたものでも、異種の処理装置を複数個組
み合わせたものでも良い。自動倉庫システム４は数十ｍ
程度の長さがあり、この間で相当数の単位工程を行うこ
とができるので、異種の処理装置を組み合わせて処理装
置群１６として、複数の単位工程からなる工程を処理す
ることが好ましい。２０は自動倉庫システム４，４間に
設けた補助スペースで、自動倉庫システム４のメンテナ
ンス等に用いる。
６，１６を設け、処理装置群１６は同種の処理装置を複
数個組み合わせたものでも、異種の処理装置を複数個組
み合わせたものでも良い。自動倉庫システム４は数十ｍ
程度の長さがあり、この間で相当数の単位工程を行うこ
とができるので、異種の処理装置を組み合わせて処理装
置群１６として、複数の単位工程からなる工程を処理す
ることが好ましい。２０は自動倉庫システム４，４間に
設けた補助スペースで、自動倉庫システム４のメンテナ
ンス等に用いる。
【００１３】実施例では、自動倉庫システム４を半導体
工場や液晶ディスプレイ工場等のクリーンルームに設け
るが、クリーンルームに設ける場合でも、食品加工や医
薬品製造等に用いても良い。あるいはまた、機械加工や
組立等のクリーンルーム以外の場所に設けても良い。
工場や液晶ディスプレイ工場等のクリーンルームに設け
るが、クリーンルームに設ける場合でも、食品加工や医
薬品製造等に用いても良い。あるいはまた、機械加工や
組立等のクリーンルーム以外の場所に設けても良い。
【００１４】２２は周回軌道で、例えば複数台の有軌道
台車２４を、自動倉庫システム群２の外周に沿って周回
走行させ、ステーション８を介して、各自動倉庫システ
ム４との間で物品を搬送する。２５は有軌道台車ＣＰＵ
で、有軌道台車２４による工程間搬送を管理する。２６
は上流側軌道で、２８は下流側軌道で、これらは例えば
前の処理ラインと後の処理ラインとに対応し、３０は軌
道２２，２６，２８間を接続するターンデーブルであ
る。有軌道台車２４は工程間搬送装置の例であり、周回
軌道２２は地上付近に設けても天井付近に設けても良い
が、自動倉庫システム４のメンテナンスを容易にするた
め、天井付近に周回軌道２２を設けることが好ましい。
なお有軌道台車２４に代えて無人搬送車等を用いても良
い。
台車２４を、自動倉庫システム群２の外周に沿って周回
走行させ、ステーション８を介して、各自動倉庫システ
ム４との間で物品を搬送する。２５は有軌道台車ＣＰＵ
で、有軌道台車２４による工程間搬送を管理する。２６
は上流側軌道で、２８は下流側軌道で、これらは例えば
前の処理ラインと後の処理ラインとに対応し、３０は軌
道２２，２６，２８間を接続するターンデーブルであ
る。有軌道台車２４は工程間搬送装置の例であり、周回
軌道２２は地上付近に設けても天井付近に設けても良い
が、自動倉庫システム４のメンテナンスを容易にするた
め、天井付近に周回軌道２２を設けることが好ましい。
なお有軌道台車２４に代えて無人搬送車等を用いても良
い。
【００１５】自動倉庫システム群のレイアウトは種々に
変更でき、例えば図２のように、自動倉庫システム４を
各列複数個に複数列配置しても良い。また有軌道台車２
４の周回軌道も、図２の周回軌道３２等のように、適宜
にレイアウトすれば良い。有軌道台車２４の軌道は、自
動倉庫システム群の外周を必ずしも周回する必要はな
く、例えば図２に鎖線で示したように３つの周回軌道３
３ａ〜３３ｃのように配置しても良い。有軌道台車２４
の周回軌道は、自動倉庫システム４内での搬送距離を最
短にし、かつ工程間搬送の距離も最短にするようにレイ
アウトすれば良く、具体的なレイアウトは処理装置群１
６の配置や内容などに応じて定める。
変更でき、例えば図２のように、自動倉庫システム４を
各列複数個に複数列配置しても良い。また有軌道台車２
４の周回軌道も、図２の周回軌道３２等のように、適宜
にレイアウトすれば良い。有軌道台車２４の軌道は、自
動倉庫システム群の外周を必ずしも周回する必要はな
く、例えば図２に鎖線で示したように３つの周回軌道３
３ａ〜３３ｃのように配置しても良い。有軌道台車２４
の周回軌道は、自動倉庫システム４内での搬送距離を最
短にし、かつ工程間搬送の距離も最短にするようにレイ
アウトすれば良く、具体的なレイアウトは処理装置群１
６の配置や内容などに応じて定める。
【００１６】図３に自動倉庫システム４の構成を示す。
３４はステーション８の外側端部に設けた移載装置で、
有軌道台車２４とステーション８との間で物品を受け渡
しする。なおステーション８や移載装置３４はラック６
の一部に配置し、移載装置３４には物品の姿勢を反転す
る機構は設けていない。スタッカークレーン１２，１４
の中央にマスト３６を設けて、その両側に一対の移載装
置３８，３８を設け、マスト３６に沿って昇降させる。
ラック６内には、例えば処理装置毎にロードポート４０
を配置し、ロードポート４０はステーション８とは高さ
レベルを異ならせてある。またクレーン走行路１０で
は、クリーンルームの床下部にレール４２を設け、スタ
ッカークレーン１２，１４を走行させる。
３４はステーション８の外側端部に設けた移載装置で、
有軌道台車２４とステーション８との間で物品を受け渡
しする。なおステーション８や移載装置３４はラック６
の一部に配置し、移載装置３４には物品の姿勢を反転す
る機構は設けていない。スタッカークレーン１２，１４
の中央にマスト３６を設けて、その両側に一対の移載装
置３８，３８を設け、マスト３６に沿って昇降させる。
ラック６内には、例えば処理装置毎にロードポート４０
を配置し、ロードポート４０はステーション８とは高さ
レベルを異ならせてある。またクレーン走行路１０で
は、クリーンルームの床下部にレール４２を設け、スタ
ッカークレーン１２，１４を走行させる。
【００１７】図３は、スタッカークレーン１２，１４が
走行路１０の端部まで進入した状態を示し、スタッカー
クレーン１２，１４は、端部側の移載装置３８を周回軌
道２２の下部まで進入させて退避できる。従って一方の
スタッカークレーンに異常が生じた場合、走行路１０の
端部で退避させると、退避したスタッカークレーンがス
テーション８の全面を占有しないので、ステーション８
の残るスペースを用いて、正常なスタッカークレーンで
物品の移載ができる。
走行路１０の端部まで進入した状態を示し、スタッカー
クレーン１２，１４は、端部側の移載装置３８を周回軌
道２２の下部まで進入させて退避できる。従って一方の
スタッカークレーンに異常が生じた場合、走行路１０の
端部で退避させると、退避したスタッカークレーンがス
テーション８の全面を占有しないので、ステーション８
の残るスペースを用いて、正常なスタッカークレーンで
物品の移載ができる。
【００１８】図３でのIV−IV方向断面を図４に示す。ス
タッカークレーン１２，１４のレール４２はクリーンル
ームの床下部５３に設け、スタッカークレーンの走行台
車５１は床下部５３を走行する。４４は移載装置３８の
基部などに設けた旋回テーブルで、その上部にスカラー
アーム４６とハンド４８とを設けて、レール４２の左右
両方との間で物品を収容したカセット３９を移載し、か
つカセット３９の向きを例えば１８０゜反転できるよう
にする。
タッカークレーン１２，１４のレール４２はクリーンル
ームの床下部５３に設け、スタッカークレーンの走行台
車５１は床下部５３を走行する。４４は移載装置３８の
基部などに設けた旋回テーブルで、その上部にスカラー
アーム４６とハンド４８とを設けて、レール４２の左右
両方との間で物品を収容したカセット３９を移載し、か
つカセット３９の向きを例えば１８０゜反転できるよう
にする。
【００１９】カセット３９はクレーン走行路１０の両側
のラック６，６に一時保管され、ラック６，６内のスペ
ースの一部がロードポート４０として用いられる。５０
はスタッカークレーン１２，１４の天井レールで、ラッ
ク６，６が余り高くない場合には、設けなくても良い。
５２はクリーンルームのグレーティング床で、５４はグ
レーティング床５２の開口で、スタッカークレーン１
２，１４を走行させるための開口である。スタッカーク
レーン以外の有軌道台車を用いる場合、開口５４は不要
であるが、走行路１０はラック６，６に比べて、床下部
への開孔率を高くする。５６は枚葉移載機で、処理装置
１７に設けて、ロードポート４０に載置したカセット３
９から、基板等の物品を１枚ずつ処理装置１７との間で
移載する。
のラック６，６に一時保管され、ラック６，６内のスペ
ースの一部がロードポート４０として用いられる。５０
はスタッカークレーン１２，１４の天井レールで、ラッ
ク６，６が余り高くない場合には、設けなくても良い。
５２はクリーンルームのグレーティング床で、５４はグ
レーティング床５２の開口で、スタッカークレーン１
２，１４を走行させるための開口である。スタッカーク
レーン以外の有軌道台車を用いる場合、開口５４は不要
であるが、走行路１０はラック６，６に比べて、床下部
への開孔率を高くする。５６は枚葉移載機で、処理装置
１７に設けて、ロードポート４０に載置したカセット３
９から、基板等の物品を１枚ずつ処理装置１７との間で
移載する。
【００２０】５８はクリーンルームの天井等に設けたフ
ィルターファンユニット（ＦＦＵ）で、クリーンエアー
はＦＦＵ５８からラック６，６内や走行路１０内に入
る。走行路１０には開口５４があり、開口５４から気流
が床下へと流れ、このためスタッカークレーン１２，１
４から生じた塵は、気流によって床下へ運ばれる。また
スタッカークレーン１２，１４の走行台車５１は床下部
５３を走行し、レール４２と走行台車５１の接触等によ
る発塵は、床下からＦＦＵ５８へと空気を還流する気流
に乗って流れ、床上部へと逆流することはない。
ィルターファンユニット（ＦＦＵ）で、クリーンエアー
はＦＦＵ５８からラック６，６内や走行路１０内に入
る。走行路１０には開口５４があり、開口５４から気流
が床下へと流れ、このためスタッカークレーン１２，１
４から生じた塵は、気流によって床下へ運ばれる。また
スタッカークレーン１２，１４の走行台車５１は床下部
５３を走行し、レール４２と走行台車５１の接触等によ
る発塵は、床下からＦＦＵ５８へと空気を還流する気流
に乗って流れ、床上部へと逆流することはない。
【００２１】ラック６のサイズや配置あるいは処理装置
群１６の構成は、自動倉庫システム４での、物品の保管
能力と処理能力との兼ね合いに応じて定める。例えば図
４の配置では処理能力が不足で保管能力に余裕のある場
合には、図５のように、走行路１０の一方にのみラック
６を設けても良い。また図５の例では、ロードポート４
０の下方を処理装置群１６の一部として用いている。
群１６の構成は、自動倉庫システム４での、物品の保管
能力と処理能力との兼ね合いに応じて定める。例えば図
４の配置では処理能力が不足で保管能力に余裕のある場
合には、図５のように、走行路１０の一方にのみラック
６を設けても良い。また図５の例では、ロードポート４
０の下方を処理装置群１６の一部として用いている。
【００２２】図６にステーション８の周囲を示し、図の
鎖線は移載装置３８が走行路１０の最端部へ退避した際
の状態を示す。移載装置３４はスカラーアーム６４とハ
ンド６６とを備えており、有軌道台車２４上のカセット
３９を、ステーション８上へ移載する。ステーション８
には、例えばカセット３９の２個分の、支持位置６０，
６２があり、ステーション８にコンベア等を設けて、２
つの支持位置６０，６２間でカセット３９を移動させ
る。スタッカークレーンは、ステーション８との間で一
度に２個のカセット３９を受け渡すことが可能であり、
また一方のスタッカークレーンにトラブルが生じて退避
した場合でも、２つの支持位置６０，６２の内の１つの
支持位置６２では、他方のスタッカークレーンにより移
載可能である。６８はラック６の棚板で、カセット３９
を載置し、７０はラック６の支柱である。実施例では、
ラック６，６に開放型のラックを用いたが、密閉型のラ
ックを用いて、スタッカークレーン１２，１４との間の
物品の受け渡し時に、扉を開けても良い。
鎖線は移載装置３８が走行路１０の最端部へ退避した際
の状態を示す。移載装置３４はスカラーアーム６４とハ
ンド６６とを備えており、有軌道台車２４上のカセット
３９を、ステーション８上へ移載する。ステーション８
には、例えばカセット３９の２個分の、支持位置６０，
６２があり、ステーション８にコンベア等を設けて、２
つの支持位置６０，６２間でカセット３９を移動させ
る。スタッカークレーンは、ステーション８との間で一
度に２個のカセット３９を受け渡すことが可能であり、
また一方のスタッカークレーンにトラブルが生じて退避
した場合でも、２つの支持位置６０，６２の内の１つの
支持位置６２では、他方のスタッカークレーンにより移
載可能である。６８はラック６の棚板で、カセット３９
を載置し、７０はラック６の支柱である。実施例では、
ラック６，６に開放型のラックを用いたが、密閉型のラ
ックを用いて、スタッカークレーン１２，１４との間の
物品の受け渡し時に、扉を開けても良い。
【００２３】図７に示すように、スタッカークレーン１
２の先端の移載装置３８は、有軌道台車２４の下部まで
進入でき、ロードポート４０とステーション８とは高さ
レベルが異なる。例えば周回軌道２２を天井付近に設置
し、これに伴ってステーション８をラック６内の最上段
等に配置する。一方ロードポート４０はラック６内の中
段等に配置し、無人搬送車対応の既存の処理装置のロー
ドポートと同じ高さレベルとする。そしてロードポート
４０の上部の空き空間は、ラック６の一部としてカセッ
ト３９の収容に用いる。
２の先端の移載装置３８は、有軌道台車２４の下部まで
進入でき、ロードポート４０とステーション８とは高さ
レベルが異なる。例えば周回軌道２２を天井付近に設置
し、これに伴ってステーション８をラック６内の最上段
等に配置する。一方ロードポート４０はラック６内の中
段等に配置し、無人搬送車対応の既存の処理装置のロー
ドポートと同じ高さレベルとする。そしてロードポート
４０の上部の空き空間は、ラック６の一部としてカセッ
ト３９の収容に用いる。
【００２４】図８に、自動倉庫システム内での工程内搬
送のアルゴリズムを示す。カセットは、各自動倉庫シス
テムの入口側のステーションから、出口側のステーショ
ンへと、例えば一方向に搬送され、この間に複数のロー
ドポートを巡回して、複数の処理装置で処理される。自
動倉庫システムの入口側のステーションにカセットが到
着すると、最初の目的のロードポートの付近でラックに
保管する。そしてこのロードポートで受け入れ準備が整
うのを待って、ロードポートへ受け渡し、処理装置で必
要な処理を行い、以下同様に、次の目的のロードポート
付近でラックに保管し、ロードポートから処理装置へ受
け渡し、処理装置での処理を経た後に、次の目的のロー
ドポートの付近でラックに保管する。そしてこれらの処
理終了すると、自動倉庫システムの出口側のステーショ
ンから、次の工程へと有軌道台車を介して搬送する。こ
こで、ラックは個々のロードポートや個々の処理装置に
分割して割り当てるのではなく、処理装置群全体に対す
るラックとして運用し、目的のロードポートの付近の位
置を優先して保管場所を割り当てる。
送のアルゴリズムを示す。カセットは、各自動倉庫シス
テムの入口側のステーションから、出口側のステーショ
ンへと、例えば一方向に搬送され、この間に複数のロー
ドポートを巡回して、複数の処理装置で処理される。自
動倉庫システムの入口側のステーションにカセットが到
着すると、最初の目的のロードポートの付近でラックに
保管する。そしてこのロードポートで受け入れ準備が整
うのを待って、ロードポートへ受け渡し、処理装置で必
要な処理を行い、以下同様に、次の目的のロードポート
付近でラックに保管し、ロードポートから処理装置へ受
け渡し、処理装置での処理を経た後に、次の目的のロー
ドポートの付近でラックに保管する。そしてこれらの処
理終了すると、自動倉庫システムの出口側のステーショ
ンから、次の工程へと有軌道台車を介して搬送する。こ
こで、ラックは個々のロードポートや個々の処理装置に
分割して割り当てるのではなく、処理装置群全体に対す
るラックとして運用し、目的のロードポートの付近の位
置を優先して保管場所を割り当てる。
【００２５】実施例の効果を以下に示す。 (1) 処理装置群１６とラック６，６を一体にし、工程
内搬送をスタッカークレーン１２，１４で行うので、物
品の処理と搬送及び保管をスムーズかつコンパクトにで
きる。 (2) 有軌道台車２４とスタッカークレーン１２，１４
を併用することにより、工程内搬送と工程間搬送とを分
離して、各々スムーズに行える。 (3) 自動倉庫システム４の端部にストッカーを設ける
必要が無く、ラック６，６により、ワーク３９を大容量
でかつコンパクトに保管できる。また１つの処理装置を
経由する毎にストッカーまで物品を戻す必要がない。 (4) ２台のスタッカークレーン１２，１４は互いにバ
ックアップし合い、かつ端部側の移載装置が周回軌道２
２の下部で退避させることができるので、一方のスタッ
カークレーンにトラブルが生じても、他方のスタッカー
クレーンにより工程内搬送を続行できる。 (5) 自動倉庫システム４の両端部に各一対のステーシ
ョン８，８を設けたので、一つのステーションにトラブ
ルが生じても、他のステーションでバックアップでき
る。 (6) 自動倉庫システム４の全長を長くできるので、２
台のスタッカークレーン１２，１４を用いても、搬送能
力に無駄が生じない。 (7) 自動倉庫システム４は、両端で有軌道台車２４に
接続するので、工程内での搬送距離を短くできる。 (8) 走行レール４２やスタッカークレーン１２，１４
の走行台車５１を、クリーンルームの床下部５３に配置
するので、発塵した空気は開口５４から床下へ吸引さ
れ、ラック６，６の汚染や、処理装置群１６側への影響
がない。
内搬送をスタッカークレーン１２，１４で行うので、物
品の処理と搬送及び保管をスムーズかつコンパクトにで
きる。 (2) 有軌道台車２４とスタッカークレーン１２，１４
を併用することにより、工程内搬送と工程間搬送とを分
離して、各々スムーズに行える。 (3) 自動倉庫システム４の端部にストッカーを設ける
必要が無く、ラック６，６により、ワーク３９を大容量
でかつコンパクトに保管できる。また１つの処理装置を
経由する毎にストッカーまで物品を戻す必要がない。 (4) ２台のスタッカークレーン１２，１４は互いにバ
ックアップし合い、かつ端部側の移載装置が周回軌道２
２の下部で退避させることができるので、一方のスタッ
カークレーンにトラブルが生じても、他方のスタッカー
クレーンにより工程内搬送を続行できる。 (5) 自動倉庫システム４の両端部に各一対のステーシ
ョン８，８を設けたので、一つのステーションにトラブ
ルが生じても、他のステーションでバックアップでき
る。 (6) 自動倉庫システム４の全長を長くできるので、２
台のスタッカークレーン１２，１４を用いても、搬送能
力に無駄が生じない。 (7) 自動倉庫システム４は、両端で有軌道台車２４に
接続するので、工程内での搬送距離を短くできる。 (8) 走行レール４２やスタッカークレーン１２，１４
の走行台車５１を、クリーンルームの床下部５３に配置
するので、発塵した空気は開口５４から床下へ吸引さ
れ、ラック６，６の汚染や、処理装置群１６側への影響
がない。
【図面の簡単な説明】
【図１】 実施例の自動倉庫システムの全体レイアウト
を示す平面図
を示す平面図
【図２】 実施例の自動倉庫システムの変形全体レイア
ウトを示す平面図
ウトを示す平面図
【図３】 実施例の自動倉庫システムの構成を示す平面
図
図
【図４】 実施例でのラックと処理装置との位置関係を
示す鉛直方向断面図
示す鉛直方向断面図
【図５】 変形例でのラックと処理装置との位置関係を
示す鉛直方向断面図
示す鉛直方向断面図
【図６】 実施例での、有軌道台車とステーション及び
スタッカークレーンの配置を示す平面図
スタッカークレーンの配置を示す平面図
【図７】 実施例での、有軌道台車とステーション及び
スタッカークレーンの配置を示す側面図
スタッカークレーンの配置を示す側面図
【図８】 実施例の自動倉庫システムでの工程内搬送の
フローチャート
フローチャート
２ 自動倉庫システム群 ４ 自動倉庫システム ５ 自動倉庫ＣＰＵ ６ ラック ８ ステーション １０ クレーン走行路 １２，１４ スタッカークレーン １６ 処理装置群 １７ 処理装置 ２０ 補助スペース ２２，３２ 周回軌道 ２４ 有軌道台車 ２５ 有軌道台車ＣＰＵ ２６ 上流側軌道 ２８ 下流側軌道 ３０ ターンテーブル ３４ 移載装置 ３６ マスト ３８ 移載装置 ３９ カセット ４０ ロードポート ４２ レール ４４ 旋回テーブル ４６ スカラーアーム ４８ ハンド ５０ 天井レール ５１ 走行台車 ５２ グレーティング床 ５３ 床下部 ５４ 開口 ５６ 枚葉移載機 ５８ ＦＦＵ ６０，６２ 支持位置 ６４ スカラーアーム ６６ ハンド ６８ 棚板 ７０ 支柱
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 福島 正純 愛知県犬山市大字橋爪字中島２番地 村田 機械株式会社犬山工場内 (72)発明者 安本 格之 愛知県犬山市大字橋爪字中島２番地 村田 機械株式会社犬山工場内 (72)発明者 芝 浩市 滋賀県野洲郡野洲町大字市三宅800番地 日本アイ・ビー・エム株式会社野洲事業所 内 (72)発明者 石井 雄一郎 滋賀県野洲郡野洲町大字市三宅800番地 日本アイ・ビー・エム株式会社野洲事業所 内 Ｆターム(参考） 3F022 AA02 AA05 AA06 AA08 BB09 CC02 EE05 FF01 HH13 JJ09 JJ11 KK05 LL12 MM01 MM11 MM26 MM55
Claims (3)
- 【請求項１】 ラックの背面に複数の処理装置を設ける
とともに、前記複数の処理装置の物品受け渡しステーシ
ョンを前記ラック内に配置し、かつ前記ラック及び前記
物品受け渡しステーションに沿って物品を搬送及び移載
する搬送装置を設けた自動倉庫システム。 - 【請求項２】 前記自動倉庫システムをクリーンルーム
内に設け、かつ前記搬送装置をスタッカークレーンとし
て、そのレールと走行台車とをクリーンルームの床下部
に配置したことを特徴とする、請求項１の自動倉庫シス
テム。 - 【請求項３】 前記ラックの少なくとも一端に、外部搬
送装置との間の物品受け渡しステーションを設けるとと
もに、前記搬送装置で、前記外部搬送装置との間のステ
ーションから、ラックの所要の位置への搬送、及び所要
の処理装置の物品受け渡しステーションへの搬送を行う
ように構成したことを特徴とする、請求項１または２の
自動倉庫システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31535299A JP2001130708A (ja) | 1999-11-05 | 1999-11-05 | 自動倉庫システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31535299A JP2001130708A (ja) | 1999-11-05 | 1999-11-05 | 自動倉庫システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001130708A true JP2001130708A (ja) | 2001-05-15 |
Family
ID=18064391
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31535299A Pending JP2001130708A (ja) | 1999-11-05 | 1999-11-05 | 自動倉庫システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001130708A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008068963A (ja) * | 2006-09-13 | 2008-03-27 | Daifuku Co Ltd | 基板処理方法 |
| JP2008068964A (ja) * | 2006-09-13 | 2008-03-27 | Daifuku Co Ltd | 基板収納設備及び基板処理設備 |
| CN102009843A (zh) * | 2009-09-03 | 2011-04-13 | 村田机械株式会社 | 装卸机及输送车及装置之间的装卸方法 |
| CN109415164A (zh) * | 2016-06-28 | 2019-03-01 | 伯曼集团股份公司 | 存储和提取系统 |
| JP7501474B2 (ja) | 2021-09-06 | 2024-06-18 | 株式会社ダイフク | 物品収容設備 |
| JP7501473B2 (ja) | 2021-09-06 | 2024-06-18 | 株式会社ダイフク | 物品収容設備 |
-
1999
- 1999-11-05 JP JP31535299A patent/JP2001130708A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI409200B (zh) * | 2006-09-13 | 2013-09-21 | Daifuku Kk | 基板收納設備、基板處理設備及基板收納設備之作動方法 |
| JP2008068964A (ja) * | 2006-09-13 | 2008-03-27 | Daifuku Co Ltd | 基板収納設備及び基板処理設備 |
| KR101097734B1 (ko) | 2006-09-13 | 2011-12-22 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 기판 처리 방법 |
| US8118530B2 (en) | 2006-09-13 | 2012-02-21 | Daifuku Co., Ltd. | Substrate storage facility and substrate processing facility, and method for operating substrate storage |
| KR101178787B1 (ko) | 2006-09-13 | 2012-09-07 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 기판 수납 설비, 기판 처리 설비 및 기판 수납 설비의 작동방법 |
| JP2008068963A (ja) * | 2006-09-13 | 2008-03-27 | Daifuku Co Ltd | 基板処理方法 |
| TWI498265B (zh) * | 2006-09-13 | 2015-09-01 | Daifuku Kk | 基板收納設備、基板處理設備及基板收納設備之作動方法 |
| TWI503265B (zh) * | 2006-09-13 | 2015-10-11 | Daifuku Kk | 基板收納設備、基板處理設備及基板收納設備之作動方法 |
| CN102009843A (zh) * | 2009-09-03 | 2011-04-13 | 村田机械株式会社 | 装卸机及输送车及装置之间的装卸方法 |
| CN109415164A (zh) * | 2016-06-28 | 2019-03-01 | 伯曼集团股份公司 | 存储和提取系统 |
| US11505407B2 (en) | 2016-06-28 | 2022-11-22 | Beumer Group A/S | Storage and retrieval system |
| JP7501474B2 (ja) | 2021-09-06 | 2024-06-18 | 株式会社ダイフク | 物品収容設備 |
| JP7501473B2 (ja) | 2021-09-06 | 2024-06-18 | 株式会社ダイフク | 物品収容設備 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040123 |