KR101178787B1 - 기판 수납 설비, 기판 처리 설비 및 기판 수납 설비의 작동방법 - Google Patents

기판 수납 설비, 기판 처리 설비 및 기판 수납 설비의 작동방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판 수납 설비, 기판 처리 설비 및 기판 수납 설비의 작동 방법에 관한 것으로서, 기판의 청정도를 유지할 수 있고, 또한 설비 비용을 억제할 수 있는 기판 수납 설비를 제공하는 것을 과제로 한다.
본 발명은, 수납 용기(2)의 팬 필터 유닛(64)을 장비한 측을 이동 공간 측에 위치시키고, 또한 수납 용기(2)의 출입구 측을 이동 공간으로부터 멀어지는 측에 위치시킨 상태에서 수납 용기(2)를 수납부(4)에 수납하도록, 수납 용기(2)를 입출고부 및 수납 선반(5)에서의 수납부(4)에 반송하는 수납 용기 반송 장치(8)의 작동을 제어하는 것을 특징으로 한다.
Figure R1020070089981
기판 처리, 청정도 유지, 정화 공기, 통풍, 팬 필터, 커버, 수납 용기, 반송 장치

Description

기판 수납 설비, 기판 처리 설비 및 기판 수납 설비의 작동 방법{SUBSTRATE STORAGE FACILITY, SUBSTRATE PROCESSING FACILITY AND METHOD OF OPERATING SUBSTRATE STORAGE FACILITY}
본 발명은, 직사각형의 기판을 상하 방향으로 간격을 두고 배열한 상태에서 복수매 유지하는 수납 용기를 수납하는 복수개의 수납부를 구비한 수납 선반과, 상기 수납 용기의 입출고부와, 상기 수납 선반의 전방의 이동 공간을 선반 가로폭 방향으로 주행하도록 구성되며, 또한 상기 수납 용기를 상기 입출고부 및 상기 수납부에 반송하는 수납 용기 반송 장치와, 상기 수납 용기 반송 장치의 작동을 제어하는 제어 수단이 구비되어 있는 기판 수납 설비, 기판 처리 설비 및 기판 수납 설비의 작동 방법에 관한 것이다.
전술한 바와 같은 기판 수납 설비는, 액정 디스플레이나 플라즈마 디스플레이에 사용되는 유리 기판 등의 기판을 상하 방향으로 간격을 두고 배열한 상태에서 복수매 유지한 수납 용기를 수납 선반에 보관한다. 또한, 수납 용기 반송 장치에 의해 수납 용기를 입출고부와 수납부 사이로 반송함으로써, 수납 용기의 반출이나 반입을 행한다.
그리고, 이와 같은 기판 수납 설비에서, 종래에는, 수납 용기를, 외기를 통풍시킬 수 있는 격자형으로 형성하여, 수납 선반, 입출고부 및 수납 용기 반송 장치를 장비한 공간의 천정부로부터 바닥부로 통풍시키는 정화 공기 통풍 수단과, 수납 선반의 후방 측에 장비되어 그 후방 측으로부터 수납 용기 반송 장치가 존재하는 전방 측으로 통풍시키는 수납 선반용 팬 필터 유닛을 구비하고 있다. 또한, 정화 공기 통풍 수단에 의해 이동 공간을 천정 측으로부터 바닥부 측으로 통풍시켜서 수납 용기 반송 장치에 의해 발생한 먼지를 바닥면 측으로 떨어지게 하는 형태로 수납 선반, 입출고부 및 수납 용기 반송 장치를 장비한 공간을 클린 공간으로 하여, 기판의 청정도를 유지하고 있다. 특히, 수납 선반에 보관할 때에는, 수납 선반용 팬 필터 유닛에 의해 수납 선반의 후방 측으로부터 전방 측으로 통풍시킴으로써, 수납 용기 내에도 통풍시켜서 먼지의 부착을 방지하고, 또한, 이동 공간에서 수납 용기 반송 장치로부터 발생한 먼지가 수납부에 진입하는 것을 방지하여, 기판의 청정도를 유지하고 있었다(예를 들면, 일본국 특개 2003-081406호 참조).
상기 종래의 기판 수납 설비에서는, 수납 선반, 입출고부, 및 수납 용기 반송 장치를 장비한 공간을 기판의 청정도를 유지할 수 있는 정도의 클린 공간으로 형성하기 위하여, 청정 효과가 높은 고성능 정화 공기 통풍 수단을 설치할 필요가 있으므로, 설비 비용이 높아지며, 또한, 물품의 반송 효율의 향상을 위해 물품 반송 장치의 고속 주행화가 요구되고 있다. 그러나, 물품 반송 장치를 고속 주행시키면 그 주행에 의해 난기류가 발생하고, 이에 따라 바닥 측으로부터 빨려 올라간 먼지가 수납부에 진입할 가능성이 있고, 수납부에 수납되어 있는 수납 용기 내에까지 먼지가 진입하여 기판이 오염될 우려가 있었다.
본 발명은, 이러한 실상을 감안하여 이루어진 것으로서, 그 목적은, 설비 비용을 억제할 수 있고, 또한 기판이 쉽게 오염되지 않는 기판 수납 설비를 제공하는 점에 있다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 기판 수납 설비의 제1 특징적 구성은, 기판을 상하 방향으로 간격을 두고 배열한 상태에서 복수매 유지하는 수납 용기를 수납하는 복수개의 수납부를 구비한 수납 선반과,
상기 수납 용기의 입출고부와,
상기 수납 선반의 전방의 이동 공간을 선반 가로폭 방향으로 주행하도록 구성되며, 또한, 상기 수납 용기를 상기 입출고부 및 상기 수납부에 반송하는 수납 용기 반송 장치와,
상기 수납 용기 반송 장치의 작동을 제어하는 제어 수단이 구비되어 있는 기판 수납 설비로서,
상기 수납 용기는, 상기 수납 용기의 일단 측의 제1 개구와, 상기 제1 개구와는 수평 방향으로 간격을 두고 타단 측에 설치된 제2 개구를 가지는, 전체적으로 사각형의 단면을 가지는 통형으로 형성되고, 상기 제1 개구는 상기 기판을 출입시키기 위한 출입구로서 구성되며, 상기 제2 개구로부터 상기 제1 개구를 향해 통풍시키는 팬 필터 유닛이 상기 수납 용기에서의 상기 제2 개구의 영역에 장비되고,
상기 제어 수단은, 상기 수납 용기의 상기 팬 필터 유닛을 장비한 측을 상기 이동 공간 측에 위치시키고, 또한 상기 수납 용기의 상기 출입구 측을 상기 이동 공간으로부터 멀어지는 측에 위치시킨 상태에서 상기 수납 용기를 상기 수납부에 수납하도록, 상기 수납 용기 반송 장치의 작동을 제어하도록 구성되어 있는 점에 있다.
또한, 이에 대응하는 기판 수납 설비의 작동 방법은, 상기 수납 용기의 상기 팬 필터 유닛을 장비한 측을 상기 이동 공간 측에 위치시키고, 또한 상기 수납 용기의 상기 출입구 측을 상기 이동 공간으로부터 멀어지는 측에 위치시킨 상태에서 상기 수납 용기를 상기 수납부에 수납하는 단계를 포함한다.
즉, 수납 용기는, 사각통형으로 형성되어, 상기 수납 용기의 일단 측의 제1 개구가 기판을 출입시키기 위한 출입구로서 구성되며, 수납 용기의 타단 측의 제2 개구로부터 출입구를 향해 통풍시키는 팬 필터 유닛이, 수납 용기에서의 타단 측의 제2 개구의 영역에 장비되어 있고, 팬 필터 유닛에 의해, 정화 공기를 수납 용기의 타단 측의 개구로부터 출입구를 향해 통풍시켜서 출입구로부터 배출시킴으로써, 수납 용기 내에 존재하는 먼지가 기판에 부착되는 것을 억제하는 동시에 수납 용기 내로 외기가 진입하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 수납 선반, 입출고부, 및 수납 용기 반송 장치를 장비한 공간의 청정도는 그다지 높지 않아도 기판의 청정도를 유지할 수 있다. 수납 선반, 입출고부 및 수납 용기 반송 장치를 장비한 공간의 천정부로부터 바닥부로 통풍시키는 정화 공기 통풍 수단을 설치하지 않아도 되고, 또한 상기 정화 공기 통풍 수단을 설치하는 경우라 하더라도, 청정 효과가 그다지 높지않은 비교적 염가의 정화 공기 통풍 수단을 사용해도 되므로, 설비 비용을 억제할 수 있다.
그리고, 수납 용기의 상기 팬 필터 유닛을 장비한 측을 이동 공간 측으로 위치시키고, 또한 수납 용기의 출입구 측을 이동 공간으로부터 멀어지는 측에 위치시킨 상태에서 수납 용기를 수납부에 수납하므로, 수납 용기 반송 장치의 작동에 의해 난기류가 발생하여 바닥 측으로부터 상승한 먼지가 수납부에 진입하더라도, 상기 먼지는 이동 공간 측에 위치하는 팬 필터 유닛에 의해 제거되므로, 수납부에 수납되어 있는 수납 용기 내에까지 먼지가 진입하는 것이 방지되어 기판이 쉽게 오염되지 않게 된다.
본 발명에 따른 기판 수납 설비의 제2 특징적 구성은, 제1 특징적 구성에 있어서, 상기 수납 용기의 상기 출입구를 개폐하는 커버는, 닫힌 상태에서 상기 출입구의 일부를 개구한 상태로, 상기 수납 용기의 출입구부에 장비되어 있는 점에 있 다.
즉, 수납 용기의 출입구를 개폐하는 커버가, 닫힌 상태에서 상기 출입구의 일부를 개구한 상태로, 수납 용기의 출입구부에 장비되어 있고, 수납 용기의 커버를 닫힌 상태로 하더라도 출입구의 일부가 개구되어 있으므로, 커버를 닫힌 상태로 한 상태에도, 팬 필터 유닛에 의해, 정화 공기를 수납 용기의 타단 측의 개구로부터 출입구를 향해 통풍시켜서 출입구로부터 배출시킴으로써, 수납 용기 내에 존재하는 먼지가 기판에 부착되는 것을 방지하는 동시에 수납 용기 내로 외기가 진입하는 것을 방지하여, 수납 용기 내의 기판의 청정도를 유지할 수 있다.
그리고, 수납 용기 내의 풍속은 수납 용기 내에 존재하는 먼지가 기판에 부착되는 것을 방지할 수 있을 정도로 비교적 느리게 설정해도 되지만, 수납 용기로부터 배출될 때의 풍속은 출입구로부터의 외기의 역류를 방지하기 위해 비교적 빠르게 설정할 필요가 있다. 그러나, 팬 필터 유닛에 의해, 정화 공기를 수납 용기의 타단 측의 개구로부터 출입구를 향해 통풍시켜서 출입구에서의 일부의 개구로부터 배출시키므로, 출입구에서는 커버에 의해 통풍로가 좁아지므로 배출되는 정화 공기의 풍속이 빨라지며, 팬 필터 유닛의 통풍량을 비교적 적게 설정하더라도, 배출되는 정화 공기의 풍속이 빨라지므로, 수납 용기의 출입구로부터 수납 용기 내로의 외기의 진입을 방지할 수 있다.
따라서, 수납 선반에 보관할 때 및 수납 용기 반송 장치에 의해 반송할 때에는, 커버를 닫힌 상태로 함으로써, 팬 필터 유닛의 통풍량을 비교적 적게 설정하더라도 기판의 청정도를 유지할 수 있고, 팬 필터 유닛의 러닝 코스트(running cost) 를 억제할 수 있고, 수납 용기의 팬 필터 유닛의 러닝 코스트를 억제할 수 있는 기판 수납 설비를 제공할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 수납 설비의 제3 특징적 구성은, 상기 수납 선반은 서로 대향하는 상태에서 한쌍 설치되고, 상기 수납 용기 반송 장치는, 상기 수납 용기 반송 장치에 의해 지지된 수납 용기를 선회시키는 선회 수단을 구비하여 구성되며, 상기 제어 수단은, 한쌍의 상기 수납 선반 중 어느 쪽이라 하더라도, 상기 수납 용기의 상기 팬 필터 유닛을 장비한 측을 상기 이동 공간 측에 위치시키고, 또한 상기 수납 용기의 상기 출입구 측을 상기 이동 공간으로부터 멀어지는 측에 위치시킨 상태에서 상기 수납 용기를 상기 수납부에 수납하도록, 상기 수납 용기 반송 장치의 작동을 제어하도록 구성되어 있는 점에 있다.
즉, 수납 선반은, 서로 대향하는 상태에서 한쌍 형성되어 있지만, 수납 용기 반송 장치에 의해 반송하여 수납 선반의 수납부에 수납 용기를 수납시킬 때, 한쌍의 수납 선반에서의 한쪽의 수납 선반에 수납 용기에 수납할 때와 다른 쪽의 수납 선반에 수납 용기를 수납할 때에 따라서, 선회 수단에 의해 수납 용기를 선회시켜서 수납 용기가 수납부에 수납되는 방향을 반전시킬 수 있다. 이에 따라, 한쌍의 상기 수납 선반 중 어느 쪽이라 하더라도, 상기 수납 용기의 상기 팬 필터 유닛을 장비한 측을 상기 이동 공간 측에 위치시키고, 또한 상기 수납 용기의 상기 출입구 측을 상기 이동 공간으로부터 멀어지는 측에 위치시킨 상태에서 상기 수납 용기를 상기 수납부에 수납하고, 기판이 쉽게 오염되지 않도록 할 수 있다. 따라서, 대향하는 한쌍의 수납 선반 중 어느 쪽도 기판이 쉽게 오염되지 않는 기판 수납 설비를 제공할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 처리 설비는, 정화 공기를 천정부로부터 바닥부로 통풍시키는 다운 플로우(down flow) 방식의 클린 공간 내에, 상기 기판 수납 설비가 주위를 개방하는 상태로 장비되어 있는 점에 있다.
즉, 기판 수납 설비를 덮는 구획벽 등을 구비할 필요가 없고, 기판 수납 설비를 염가로 구성할 수 있는 기판 처리 설비를 제공할 수 있다.
또한, 바람직한 실시예에서, 상기 팬 필터 유닛은, 프레임에 지지된 팬과 필터와 수전부(受電部)를 구비하는 것이 바람직하다. 상기 팬 필터 유닛은, 또한 상기 팬에 전기를 공급하는 배터리를 구비함으로써 전력이 공급되고 있지 않는 상태에서도 팬 필터 유닛을 작동시킬 수 있다.
바람직한 실시예에서, 상기 입출고부가 상기 수납 선반의 일부라면, 수납 선반과 다른 입출고부를 구비할 필요가 없기 때문에 바람직하다.
본 발명에 의하면, 기판의 청정도를 유지할 수 있고, 또한 설비 비용을 억제할 수 있는 기판 수납 설비를 제공할 수 있다.
이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 실시예를 설명한다.
도 2 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 기판 처리 설비는, 예를 들면 직사각형의 기판(1)을 처리하는 복수개의 기판 처리 장치(3)와, 상기 기판(1)을 상하 방향으로 간격을 두고 배열한 상태에서 복수매 유지하는 수납 용기(2)를 수납하는 복수개의 수납부(4)를 구비한 수납 선반(5)과, 복수개의 상기 기판 처리 장치(3) 각각에 대한 기판 입출부(6)에 위치하는 상기 수납 용기(2)로부터 기판(1)을 한 장씩 인출하여 상기 기판 처리 장치(3)에 공급하고, 또한 상기 기판 처리 장치(3)로부터 반출되는 기판(1)을 상기 기판 입출부(6)에 위치하는 상기 수납 용기(2)에 수납하는 기판 반송 장치(7)와, 상기 수납 용기(2)를 상기 복수개의 기판 처리 장치(3) 각각 에서의 상기 기판 입출부(6) 및 상기 수납 선반(5)에서의 상기 수납부(4)에 반송하는 수납 용기 반송 장치(8)가 구비되어 있다.
또한, 도 1에 나타낸 바와 같이, 기판 처리 설비에는 복수개의 기판 수납 설비 A와 처리 공정 설비 B가 장비되어 있고, 도 2에 나타낸 바와 같이, 기판 수납 설비 A의 각각에 수납 선반(5) 및 상기 수납 용기 반송 장치(8)로서의 스태커 크레인(10, stacker crane)이 구비되고, 도 6에 나타낸 바와 같이, 처리 공정 설비 B의 각각에 기판 처리 장치(3) 및 기판 반송 장치(7)가 구비되어 있다.
그리고, 상기 기판 처리 설비에서는, 상기 수납 용기(2)를 상기 수납 선반(5)에 보관하면서, 보관한 상기 수납 용기(2)를 상기 복수개의 기판 처리 장치(3) 각각에서의 상기 기판 입출부(6)에 차례로 반송함으로써, 상기 기판(1)을 복수개의 상기 기판 처리 장치(3)에 의해 차례로 처리하고, 처리된 기판을 제조하는 기판 처리 방법이 사용되고 있다.
즉, 기판 반송 장치(7) 및 수납 용기 반송 장치(8)는, 도면 밖의 제어 장치에 의해 작동이 제어되고 있고, 수납 용기 반송 장치(8)에 의해, 수납 용기(2)를 복수개의 기판 처리 장치(3) 각각에서의 기판 입출부(6)에 차례로 반송하고, 기판 입출부(6)에 반송될 때마다, 기판 반송 장치(7)에 의해, 수납 용기(2)로부터 기판(1)을 한 장씩 인출하여 기판 처리 장치(3)에 공급하고, 기판 처리 장치(3)로부터 반송되는 기판(1)을 수납하도록, 제어 장치에 의해 기판 반송 장치(7) 및 수납 용기 반송 장치(8)의 작동이 제어된다. 상기 제어 장치는, 마이크로 프로세서, 통신부, 메모리, 메모리에 기억된 알고리즘 등, 본 명세서에서 기재되는 기능을 모두 행하기 위한 부분을 구비한다. 또한, 상기 제어 장치는, 설비의 바닥에 배치해도 되고, 수납 용기 반송부, 또는, 수납 선반(5)에 배치해도 된다.
또한, 복수개의 기판 처리 장치(3)로는 도포, 노광 및 현상 등의 소정의 처리를 개별적으로 행하므로, 기판(1)을 처리하는 처리량에 차이가 생기며, 기판 입출부(6)에 차례로 반송할 때, 기판(1)이 처리되기를 기다려야 할 경우에는, 그 처리를 기다리는 기판(1)을 수납한 수납 용기(2)는 일시적으로 수납 선반(5)에 보관시킬 수 있도록, 제어 장치에 의해 수납 용기 반송 장치(8)의 작동이 제어된다.
상기 수납 용기 반송 장치(8)로서, 상기 수납 선반(5)에 대응하여 장비되는 수납 선반용의 수납 용기 반송부인 스태커 크레인(10)과, 복수개의 상기 수납 선반(5) 각각에서의 복수개의 입출고부(9) 사이에서 상기 수납 용기(2)를 반송하는 선반간용의 수납 용기 반송부인 왕복 주행 반송차(11) 및 주회(周回) 주행 반송차(12)가 설치되어 있다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 상기 왕복 주행 반송차(11) 및 주회 주행 반송차(12)는, 기판 수납 설비 A의 밖에서 수납 용기(2)를 반송하며, 왕복 주행 반송차(11)는, 인접하는 2개의 기판 수납 설비 A 사이에서 왕복 주행하여 2개의 기판 수납 설비 A 사이에서 수납 용기(2)를 반송하도록 구성되며, 주회 주행 반송차(12)는, 다수개의 기판 수납 설비 A 사이에서 주회 주행하여, 다수개의 기판 수납 설비 A 사이에서 수납 용기(2)를 반송하도록 구성되어 있다.
또한, 도 2에 나타낸 바와 같이, 스태커 크레인(10)은, 기판 수납 설비 A 내에서 수납 용기(2)를 반송하며, 서로 대향하는 상태로 설치된 한쌍의 수납 선반(5) 사이에 형성된 이동 공간을 따라 왕복 주행하여, 대향하는 한쌍의 수납 선반(5)에서의 복수개의 수납부(4) 사이에서 수납 용기(2)를 반송하도록 구성되어 있다.
즉, 수납 용기 반송 장치(8)에 의해, 반송원(搬送元)이 되는 수납부(4) 또는 기판 입출부(6)로부터 반송처가 되는 수납부(4) 또는 기판 입출부(6)에 수납 용기(2)를 반송하는 경우에, 반송원과 반송처가 상이한 기판 수납 설비 A인 경우는, 반송원의 기판 수납 설비 A의 스태커 크레인(10), 왕복 주행 반송차(11)나 주회 주행 반송차(12), 반송처의 기판 수납 설비의 스태커 크레인(10)의 순서로 차례로 주고 받도록하여 수납 용기(2)는 반송되고, 반송원과 반송처가 동일한 기판 수납 설비 A인 경우는, 상기 기판 수납 설비 A의 스태커 크레인(10)에 의해 수납 용기(2)는 반송된다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 물품 처리 설비에는, 클린 공간(13)에서 정화 공기를 천정부로부터 바닥부에 통풍시키는 다운 플로우 방식을 적용한 정화 공기 통풍 수단(23)이 설치되어 있고, 다운 플로우되는 클린 공간(13) 내에, 상기 복수개의 기판 처리 장치(3), 상기 수납 선반(5), 상기 기판 반송 장치(7) 및 상기 수납 용기 반송 장치(8)가 장비되어 있고, 상기 기판 수납 설비 A가 주위를 개방한 상태 에서 장비되어, 기판 수납 설비 A의 내외에 정화 공기가 유동할 수 있도록 구성되어 있다.
정화 공기 통풍 수단(23)에 대하여 더 설명하면, 도 4에 나타낸 바와 같이, 정화 공기 통풍 수단(23)은, 클린 공간(13)의 바닥부가 다공형의 그레이팅(grating) 바닥(14)에 의해 형성되고, 클린 공간(13)의 천정부가 HEPA 필터 등으로 이루어지는 에어 필터(15)에 의해 형성되는 동시에, 그레이팅 바닥(14)의 하방 측에 형성된 흡기실(16)과 에어 필터(15)의 상방 측에 형성된 챔버실(17)이 통풍팬(18) 및 프리필터(21, pre-filter)를 구비한 순환로(19)에 의해 연통되어 있다. 또한, 통풍팬(18)에 의해, 클린 공간(13)의 공기를 그레이팅 바닥(14) 및 흡기실(16)을 통해 순환로(19)에 흡기시키는 동시에, 그 흡기된 공기를 프리필터(21), 챔버실(17) 및 에어 필터(15)를 통해 정화 공기로서 클린 공간(13) 내에 하향으로 분출하도록 하여, 클린 공간(13) 내의 공기를, 프리필터(21)와 에어 필터(15)로 청정화시키면서 순환시켜서, 정화 공기를 천정부로부터 바닥부에 통풍시키도록 구성되어 있다. 그리고, 순환로(19)에는 통풍팬(18)보다 상류측에 외기 도입 유로(20)가 접속되고, 통풍팬(18)보다 하류측에 배기 유로(22)가 접속되어 있고, 정화 공기 통풍 수단(23)에 의해 순환되는 클린 공간(13) 내의 공기의 일부를 외기와 교환하고 있다.
도 6에 나타낸 바와 같이, 물품 처리 설비에는, 상기 기판 반송 장치(7)에 의해 상기 기판 입출부(6)와 상기 기판 처리 장치(3) 사이에서 상기 기판(1)을 반송하는 기판 반송 영역(24)의 청정도를 유지하기 위해 정화 공기를 통풍시키는 반 송 영역용의 정화 공기 통풍 수단(25)이 구비되어 있다.
즉, 처리 공정 설비 B에서의 기판 반송 영역(24)에는, 기판 반송 장치(7)에 의한 기판 반송 작용 공간을, 수납 선반(5) 측의 단부가 개방되고, 또한 기판 처리 장치(3) 측의 단부가 기판 처리 장치(3)와 연통하도록 덮는 구획벽(26)이 설치되고, 상기 구획벽(26)의 천정부에 반송 영역용의 정화 공기 통풍 수단(25)으로서의 복수개의 영역용 팬 필터 유닛(27)이 설치되어 있고, 복수개의 영역용 팬 필터 유닛(27)에 의해, 클린 공간(13)의 정화 공기를 더 청정화시킨 정화 공기를, 기판 반송 영역(24)의 천정부로부터 바닥부에 통풍시켜서, 구획벽(26)에 의해 덮이는 공간을 다운 플로우되는 공간으로 하고 있다.
도 2 내지 도 4에 나타낸 바와 같이, 상기 수납 선반(5)은, 그레이팅 바닥(14) 상에 설치되어 있고, 선반 가로폭 방향으로 간격을 두고 세워져 설치된 전후 한쌍의 지지기둥(31)과, 전후 한쌍의 지지기둥(31) 사이에 가설(架設)되어 선반 상하 방향으로 간격을 두고 설치된 탑재 지지부(32)로 구성되어 있다.
그리고, 수납 선반(5)에는, 전후 한쌍의 지지기둥(31)과 좌우 한쌍의 탑재 지지부(32)에 의해 형성된 상기 수납부(4)가 가로 세로로 배열되어 복수개 설치되어 있다. 각각의 수납부(4)는, 선반 가로폭 방향으로 인접하는 것끼리 사이 및 선반 상하 방향으로 인접하는 것끼리 사이에서 공기가 유동할 수 있도록 연통되어 있다.
또한, 최하단의 수납부(4)는, 그레이팅 바닥(14)으로부터 상방 측으로 간격을 두도록 설치되어 있고, 그 최하단의 수납부(4)의 하방에는, 정화 공기를 유동시 키기 위한 유동용 공간이 형성되어 있다.
상기 수납 선반(5)이 구비하는 복수개의 수납부(4) 중 일부가 상기 기판 입출부(6)로 되고, 또한 수납 선반(5)가 구비하는 수납부(4) 중 일부가 상기 입출고부(9)로 되어 있다.
더 설명하면, 도 5에 나타낸 바와 같이, 수납 선반(5)이 구비하는 최하단의 복수개의 수납부(4) 중 기판 처리 장치(3)에 대응하는 수납부(4)가 기판 입출부(6)로 되어 있고, 기판 반송 장치(7)에 의해 기판 입출부(6)에 위치하는 수납 용기(2)에 대해서 수납 선반(5)의 배면측을 통해 기판(1)을 한 장씩 인출하거나 한 장씩 수납할 수 있도록 구성되어 있다. 그리고, 최하단의 수납부는 전술한 바와 같이 그레이팅 바닥(14)으로부터 상방 측으로 간격을 두고 설치되어 있으므로, 기판 입출부(6)는 바닥부보다 높은 위치에 설치되어 있다.
또한, 도 7에 나타낸 바와 같이, 수납 선반(5)이 구비하는 중단(中段)의 복수개의 수납부(4) 중 왕복 주행 반송차(11) 및 주회 주행 반송차(12)에 대응하는 수납부(4)가 입출고부(9)로 되어 있고, 왕복 주행 반송차(11)에 대응하는 입출고부(9)는, 왕복 주행 반송차(11)에 의해 수납 선반(5)의 배면측을 통하여 수납 용기(2)를 반출 및 반입할 수 있도록 구성되며, 또한 주회 주행 반송차(12)에 대응하는 입출고부(9)는, 주회 주행 반송차(12)에 의해 수납 선반(5)의 측면 측을 통해 수납 용기(2)를 반출 및 반입할 수 있도록 구성되어 있다.
도 2, 도 3 및 도 8에 나타낸 바와 같이, 스태커 크레인(10)은, 수납 선반(5)의 전방의 주행 경로에 길이 방향을 따라 설치된 2개의 주행 레일(34)을 따라 주행하는 주행 대차(35)와, 주행 대차(35)에 세워져 설치된 한쌍의 승강 마스트(36)에 상승 및 하강할 수 있도록 안내 지지되는 승강대(37)와, 승강대(37)에 지지되고 수납부(4)와 자기 사이에서 수납 용기(2)를 싣고 이동할 수 있는 포크식의 물품 이재(移載) 장치(38)가 구비되어 있다. 또한, 주행 대차(35)의 수평 이동, 승강대(37)의 승강 이동, 및 물품 이재 장치(38)의 작동에 의해, 수납 선반(5)의 전방의 이동 공간을 선반 가로폭 방향으로 주행할 수 있고, 또한 상기 수납 용기(2)를 상기 기판 입출부(6), 상기 입출고부(9), 및 이들 이외의 상기 수납 선반(5)에서의 상기 수납부(4)에 반송하도록 구성되어 있다.
상기 주행 대차(35)에는, 2개의 주행 레일(34) 각각에 대해서 전후에 2륜씩, 합계 4개의 주행 차륜(39)이 설치되어 있고, 주행 차륜(39) 각각을 주행용 모터(40)에 의해 회전 구동시킴으로써, 주행 대차(35)가 주행 경로를 따라 주행하도록 구성되어 있다.
그리고, 한쌍의 승강 마스트(36)는, 그 상단부 끼리 상부 프레임(41)에 의해 연결되어 있다.
도 8에 나타낸 바와 같이, 상기 승강대(37)에서의 전후 방향의 양 단부 각각에는, 한쌍의 승강용 체인(45)의 일단부가 연결되어 있고, 상기 한쌍의 승강용 체인(45)의 한쪽은, 승강 마스트(36)의 상단부에 설치된 안내 스프로킷(46)에 권취되어 타단부가 밸런스 웨이트(47)에 연결되고, 한쌍의 승강용 체인(45)의 다른 쪽은, 승강 마스트(36)의 하단부에 설치된 구동 스프로킷(48)에 권취되어 타단부가 밸런스 웨이트(47)에 연결되어 있고, 승강용 모터(49)에 의해 구동 스프로킷(48)을 회 전 구동시킴으로써, 승강대(37)를 상승 및 하강 이동시키도록 구성되어 있다.
도 9에 나타낸 바와 같이, 상기 물품 이재 장치(38)는, 상하 축심 P1 주위에 선회할 수 있는 선회대(50), 및 상기 선회대(50) 상에 설치된 탑재부(51)를 돌출시키거나 물러날 수 있도록 지지하는 링크 기구(52)로 구성되어 있다. 그리고, 물품 이재 장치(38)는, 선회대(50)의 선회에 의해 탑재부(51)를 선회 이동시킬 수 있고, 또한, 링크 기구(52)의 신축에 의해, 물품 이재 장치(38)를 승강대(37) 상에 물러나게 한 상태(도 5 참조)나 물품 이재 장치(38)를 수납부(4) 측에 돌출시킨 상태로 전환할 수 있도록 구성되어 있다. 그리고, 물품 이재 장치(38)는, 지지한 수납 용기(2)를 선회시키는 선회 수단에 해당한다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 기판 수납 설비 A에는, 스태커 크레인(10)의 작동을 제어하는 제어 수단 H가 구비되어 있다.
상기 제어 수단 H는, 수납 용기 반송 장치(8)의 운전을 관리하는 상위의 제어 장치로부터의 지령에 기초하여, 주행용 모터(40), 승강용 모터(49) 및 물품 이재 장치(38)의 작동을 제어함으로써, 복수개의 수납부(4) 사이에서 수납 용기(2)를 반송하도록, 스태커 크레인(10)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.
그리고, 상기 제어 수단 H는, 한쌍의 상기 수납 선반(5) 중 어느 쪽이라 하더라도, 상기 수납 용기(2)의 상기 팬 필터 유닛(64)을 장비한 측을 상기 이동 공간 측에 위치시키고, 또한 상기 수납 용기(2)의 상기 출입구(72) 측을 상기 이동 공간으로부터 멀어지는 측에 위치시킨 상태에서 상기 수납 용기(2)를 상기 수납부(4)에 수납하도록 상기 수납 용기 반송 장치(8)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다. 팬 필터 유닛(64)(FFU라고도 한다)은, 하나의 FFU용 프레임(90)에 지지된 팬, 상기 팬을 구동하는 전기 모터, 필터, 배터리(71), 또는, 전기 모터에 전기를 공급하는 수전부(70a)를 구비한다. 상기 팬은 수평 방향의 축 주위로 회전한다.
즉, 제어 수단 H는, 대향하는 한쌍의 수납 선반(5) 사이에서 수납 용기(2)를 반송할 때, 반송원의 수납부(4)와 반송처의 수납부(4)가 동일한 수납 선반(5)인 경우에는, 반송원의 수납부(4)로부터 수납 용기(2)를 인출하고, 상기 수납 용기(2)를 물품 이재 장치(38)에 의해 선회시키지 않고 반송처의 수납부(4)에 수납함으로써, 반송원의 수납부(4)와 마찬가지로 반송처의 수납부(4)에서도, 수납 용기(2)의 팬 필터 유닛(64)을 장비한 측을 이동 공간 측에 위치시킨다. 또한, 수납 용기(2)의 상기 출입구 측인 커버(65)를 장비한 측을 이동 공간으로부터 멀어지는 측에 위치시킨 상태에서 수납 용기(2)를 수납부(4)에 수납시키고, 또한, 반송원의 수납부(4)와 반송처의 수납부(4)가 상이한 수납 선반(5)인 경우에는, 반송원의 수납부(4)로부터 수납 용기(2)를 인출하고, 상기 수납 용기(2)를 물품 이재 장치(38)에 의해 180° 선회시킨 후에 반송처의 수납부(4)에 수납함으로써, 반송원의 수납부(4)와 마찬가지로 반송처의 수납부(4)에서도, 수납 용기(2)의 팬 필터 유닛(64)를 장비한 측을 이동 공간 측에 위치시킨다. 또한, 수납 용기(2)의 커버(65)를 장비한 측을 이동 공간으로부터 멀어지는 측에 위치시킨 상태에서 수납 용기(2)를 수납부(4)에 수납시킬 수 있도록, 스태커 크레인(10)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.
도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 기판 반송 장치(7)는, 기판 처리 장치(3)와 수납 선반(5) 근처 사이에서 기판(1)을 탑재 반송하는 기판 반송 컨베이어(54) 와, 기판 입출부(6)에 위치하는 수납 용기(2)와 기판 반송 컨베이어(54)의 수납 선반측 단부 사이에서 기판(1)을 탑재 반송하는 기판 반송 로봇(55)을 구비하여 구성되어 있다.
기판 반송 로봇(55)은, 수납 선반(5)의 배면측을 선반 가로폭 방향을 따라 이동하는 이동 대차(56)와, 상기 이동 대차(56)에 승강 및 회전할 수 있도록 지지된 승강부(57)와, 상기 승강부(57)에 링크 기구(58)를 통하여 연결된 포크형의 지지부(59)를 구비하고, 승강부(57)의 승강 및 회전과 링크 기구(58)의 신축에 의해, 기판 입출부(6)에 위치하는 수납 용기(2)로부터 기판 반송 컨베이어(54)의 수납 선반측 단부에 기판(1)을 한 장씩 반송하고, 또한 기판 반송 컨베이어(54)의 수납 선반측 단부의 기판(1)을 기판 입출부(6)에 위치하는 수납 용기(2)에 한 장씩 반송하도록 구성되어 있다.
도 6에 나타낸 바와 같이, 기판 반송 컨베이어(54)는, 기판(1)의 가로폭 방향의 양 단부를 회전 롤러(61)에 의해 지지하여, 상기 회전 롤러(61)를 회전 구동시킴으로써 기판(1)을 반송하도록 구성되어 있다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 기판 반송 컨베이어(54)로서, 기판 반송 로봇(55)으로부터 받은 기판(1)을 기판 처리 장치(3)를 향해 반송하는 미처리용의 기판 반송 컨베이어(54)와, 기판 처리 장치(3)로부터 반출된 기판(1)을 수납 선반(5) 측을 향해 반송하는 처리종료용의 기판 반송 컨베이어(54)가 구비되어 있다.
도 11 및 도 12에 나타낸 바와 같이, 상기 수납 용기(2)는, 옆으로 넘어진 자세의 사각통형으로 형성되어, 상기 수납 용기(2)의 일단 측의 개구(제1 개구)가 상기 기판(1)을 출입시키기 위한 출입구(72)로 된다. 또한, 상기 수납 용기(2)의 타단 측의 개구(제2 개구)로부터 상기 출입로(72)를 향해 통풍시키는 팬 필터 유닛(64)이, 상기 수납 용기(2)에서의 타단 측의 개구부(즉, 제2 개구의 영역)에 장비되어 상기 수납 용기(2)의 상기 출입구(72)를 개폐하는 커버(65)가 닫힌 상태에서 일부를 개구하고, 또한, 커버가 열린 상태에서 상기 기판 반송 장치(7)에 의한 상기 기판(1)의 반송을 허용하는 상태로, 상기 수납 용기(2)의 출입구부에 장비되어 있다.
환언하면, 옆으로 넘어진 자세의 사각통형으로 형성된 용기 본체(66)의 일단 측의 개구가, 상기 기판(1)을 한 장씩 출입시키기 위한 출입구(72)로서 구성되며, 상기 용기 본체(66)의 타단 측의 개구로부터 상기 출입구(72)를 향해 통풍시키는 팬 필터 유닛(64)이, 상기 용기 본체(66)에서의 타단 측의 개구부에 장비되고, 상기 용기 본체(66)에서의 상기 출입구(72)를 개폐하는 커버(65)가, 닫힌 상태에서 일부를 통기구(75)로서 개구하고, 또한, 열린 상태에서 상기 기판 반송 장치(7)에 의한 상기 기판(1)의 반송을 허용하는 상태로, 상기 용기 본체(66)의 출입구부에 장비되어 있다.
도 10에 나타낸 바와 같이, 용기 본체(66)는, 직사각형으로 형성되어 용기 본체(66)의 일단 측의 개구를 형성하는 일단 측 직사각형 프레임(93)과, 마찬가지로 직사각형으로 형성되어 용기 본체(66)의 타단 측의 개구를 형성하는 타단 측 직사각형 프레임(94)과, 일단 측 프레임과 타단 측 프레임과 코너부에서 서로 연결하는 코너프레임재(95)와 용기 본체(66)의 일단 측부를 제외한 타단 측부, 좌우 횡측 부, 상측부 및 하측부에서 적절하게 가설된 연결프레임재(96)로 격자형으로 프레임 조립되어 형성된다. 또한, 용기 본체의 양쪽 횡측부에서는, 상기 양쪽 횡측부에 형성된 개구를 막는 형태로, 직사각형 프레임이나 프레임재와 외면 측에서 면일치가 되는 상태에서 구비된 외면 부재(97)와 직사각형 프레임이나 프레임재와 내면 측에서 면일치가 되는 상태에 구비된 내면 부재(98)를 구비하고, 상측부 및 하측부에서는, 상기 상측부 및 하측부에 형성된 개구를 막는 형태로, 상기 내면 부재(98)를 구비하여, 옆으로 넘어진 자세의 사각통형으로 형성되어 있다.
그리고, 일단 측 직사각형 프레임(93), 타단 측 직사각형 프레임(94) 및 하측에 위치하는 각각의 프레임재(95)에는, 수납 선반(5)의 수납부(4)에 수납할 때, 탑재 지지되는 수납용 지지부(82)가 설치되어 있고, 일단 측 직사각형 프레임(93) 및 타단 측 직사각형 프레임(94)에는, 스태커 크레인(10) 등의 수납 용기 반송 장치(8)에 의해 반송할 때, 탑재 지지되는 반송용 지지부(83)가 형성되어 있다.
도 13 및 도 17에 나타낸 바와 같이, 용기 본체(66)에는, 좌우의 양쪽 벽부 사이에 지지체(67)가 설치되어 있다. 상기 지지체(67)는, 한장의 기판(1)을 지지하기 위해 전후 방향에 복수개 설치되고, 또한, 수납 용기(2)에 수납하는 기판(1)의 매 수에 대응하여 상하 방향으로 설정된 간격으로 복수개의 단으로 설치되어 있다.
그리고, 도 13에 나타낸 바와 같이, 지지체(67) 각각은, 용기 본체(66)의 좌우의 양쪽 벽부에서의 연결프레임재(96)에 걸쳐서 가설되는 본체 프레임(69)과, 상기 본체 프레임(69)에 세워져 설치된 복수개의 핀 부재(68)로 구성되어 있다. 핀 부재(68)는, 기판 반송 로봇(55)에 의해 기판(1)을 수납 용기(2)로부터 출입시킬 때, 기판 반송 로봇(55)의 지지부(59)와 간섭하지 않도록 본체 프레임(69)에서의 설정 위치에 세워져 설치되어 있고, 이 복수개의 핀 부재(68)에 의해 기판(1)을 지지함으로써, 본체 프레임(69)과 복수개의 핀 부재에 의해 지지되는 기판(1) 사이에 기판 반송 로봇(55)의 지지부(59)를 삽입 관통하기 위한 간극이 형성되어 있다.
도 11에 나타낸 바와 같이, 용기 본체(66)에는, 팬 필터 유닛(64)이 3개 장비되어 있고, 3개의 상기 팬 필터 유닛(64)은, 용기 본체(66)에서의 타단 측의 개구부에 연결 지지되는 FFU용 프레임(90)에 가로폭 방향으로 3개 배열된 상태로 장착되어 있다.
그리고, FFU용 프레임(90)에는, 비접촉 급전 장치(70)의 수전부(70a)가 구비되어 있고, 수납부(4) 각각에서 탑재 지지부(32)에 의해 지지된 상태에서 구비된 비접촉 급전 장치(70)의 급전부(70b)(도 2 참조)로부터 공급된 전력에 의해 3개의 팬 필터 유닛(64)이 작동하도록 구성되어 있다.
또한, FFU용 프레임(90)에는 수전부(70a)에 공급된 전력을 저장하는 배터리(71)도 구비되어 있고, 수납 용기(2)를 스태커 크레인(10)에 의해 반송할 때 등, 수전부(70a)가 급전부(70b)로부터 멀어져서 수납 용기(2)에 전력이 공급되지 않게 되는 상태에는, 배터리(71)에 저장된 전력에 의해 3개의 팬 필터 유닛(64)이 작동하도록 구성되어 있다.
다음에, 커버(65)에 대하여 설명한다.
도 16에 나타낸 바와 같이, 상기 커버(65)에서의 상기 통기구(75)는, 상기 출입구(72)의 가로폭과 거의 동일한 가로폭이 되는 슬릿형으로 형성되고, 또한 상기 용기 본체(66)에 유지되는 복수매의 상기 기판(1) 각각에 대응시킨 상태에서 상하 방향으로 복수개 형성되어 있다.
그리고, 도 16의 (B)에 나타낸 바와 같이, 상기 커버(65)가, 상기 기판(1)의 출입을 허용하는 열린 상태에서, 상기 출입구(72)의 가로폭과 거의 동일한 가로폭이 되는 슬릿형의 기판 출입구(76)를 상기 용기 본체(66)에 유지되는 복수매의 상기 기판(1)에 대응하는 부분에 형성한 상태로, 또한 인접하는 기판 출입용구(76) 사이를 닫는 상태로, 상기 출입구(72)를 열도록 구성되어 있다.
상기 커버(65)에 대하여 더 설명하면, 도 16에 나타낸 바와 같이, 상기 출입구(72)의 가로폭과 거의 동일한 가로폭을 가지는 복수개의 커버 형성 부재(77)를 이용하여, 상기 닫힌 상태에서 인접하는 상기 커버 형성 부재(77) 사이에 상기 통기구(75)를 형성하고, 또한 상기 출입구(72)의 가로폭 방향을 따른 축심 주위에서 회전시킨 열린 상태에서 인접하는 상기 커버 형성 부재(77) 사이에 상기 기판 출입구(76)를 개구한 형태로, 상기 출입구(72)를 열도록 상기 커버 형성 부재(77)를 상하 방향으로 배열하여 구성되어 있다.
복수개의 커버 형성 부재(77) 각각은, 옆 측면에서 보았을 때 중공 박판형으로 형성된 판형체에 의해 구성되어 있고, 그 중심부에서 가로 축심 주위에 회전될 수 있도록 커버용 프레임(78)에 지지되어 있다. 그리고, 도 16의 (A)에 나타낸 바와 같이, 커버(65)는 복수개의 커버 형성 부재(77) 각각을 가로 축심 주위에 회전시켜서 상하 방향을 따른 자세로 함으로써, 커버 형성 부재(77)끼리 사이에 형성된 비교적 작은 개구를 통기구(75)로 하는 닫힌 상태가 되고, 도 16의 (B)에 나타낸 바와 같이, 복수개의 커버 형성 부재(77) 각각을 가로 축심 주위에 회전시켜서 전후 방향을 따르는 자세로 함으로써, 커버 형성 부재(77)끼리 사이에 형성된 비교적 큰 개구를 기판 출입구(76)로 하는 열림 상태가 되도록 구성되어 있다.
즉, 도 16의 (A) 및 도 17의 (A)에 나타낸 바와 같이, 커버(65)를 닫힌 상태로 한 상태에서는, 복수개의 커버 형성 부재(77)끼리 사이에 통기구(75)가 개구되어 있으므로, 팬 필터 유닛(64)에 의해, 정화 공기를 수납 용기(2)의 타단 측의 개구로부터 출입구(72)를 향해 통풍시켜서 출입구(72)에서의 통기구(75)로부터 배출시킬 수 있다. 또한, 상기 통기구(75)는 상하 방향(통풍 방향과 교차하는 방향)을 따르는 자세의 복수개의 커버 형성 부재(77)에 의해 작게 형성되어 있으므로, 상기 통기구(75)로부터 배출되는 정화 공기는 풍속이 빨라지고, 이에 따라 수납 용기(2)의 출입구(72)로부터 수납 용기(2) 내로 외기가 침입하는 것을 방지할 수 있다.
그리고, 도 16의 (B) 및 도 17의 (B)에 나타낸 바와 같이, 커버(65)를 열린 상태로 한 경우에는, 복수개의 커버 형성 부재(77)끼리의 사이에 통기구(75)보다 큰 기판 출입구(76)가 개구되어 있으므로, 정화 공기를 기판 출입 용구(76)로부터 기판(1)을 출입시킬 수 있고, 상기 기판 출입구(76)로부터 배출되는 정화 공기는, 완전히 닫힌 상태는 아니지만 전후 방향(통풍 방향)을 따르는 자세의 복수개의 커버 형성 부재(77)의 존재에 의해 통풍로를 좁힐 수 있어서 풍속이 빨라지기 때문에, 이에 따라 수납 용기(2)의 출입구(72)로부터 수납 용기(2) 내로 외기가 침입하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 복수개의 커버 형성 부재(77)에서, 인접하는 커버 형성 부재(77)끼리 사이에는, 전술한 바와 같이, 닫힌 상태에서는 통기구(75)가 형성되고, 열린 상태에서는 기반 출입용구(76)가 형성되어 있고, 커버(65)가 열린 상태나 닫힌 상태, 및 커버(65)를 열리거나 닫힌 상태로 전환할 때에 복수개의 커버 형성 부재(77)가 서로 접촉하지 않기 때문에, 커버 형성 부재(77)가 서로 접촉함으로 인한 먼지가 발생하지 않고, 커버(65)로부터의 먼지의 발생을 억제할 수 있다.
상기 커버(65)는 상기 닫힌 상태 측으로 복귀 가압되도록 구성되며, 상방으로의 이동에 의해 상기 커버(65)를 열린 상태로 조작하는 조작부로서의 연결봉(80)이 상기 용기 본체(66)의 저면부로부터 하방으로 돌출하는 상태로 형성되어 있다.
더 설명하면, 도 16의 (A)에 나타낸 바와 같이, 링크 부재(79)의 기단부가, 상하 방향을 따른 자세의 커버 형성 부재(77) 각각에 후측 하방으로 연장되어 설치되는 형태로 일체로 회전하도록 연결되고, 상기 링크 부재(79) 각각의 유격(遊隔) 단부가 상하 방향을 따른 자세의 상기 연결봉(80)에 회전될 수 있도록 연결되어 있다. 또한, 커버 형성 부재(77) 각각이 상하 방향을 따르는 자세가 되는 닫힌 상태에서, 연결봉(80)을 상승 이동시킴으로써, 커버 형성 부재(77) 각각이 전후 방향을 따르는 자세가 되는 열린 상태가 되고, 또한, 커버 형성 부재(77) 각각이 전후 방향을 따르는 자세가 되는 열린 상태에서, 연결봉(80)을 하강 이동시킴으로써, 커버 형성 부재(77) 각각이 상하 방향을 따른 자세가 되는 닫힌 상태가 된다.
그리고, 연결봉(80)은 자기 무게에 의해 하강 측으로 가압되어 있고, 연결봉(80)이 용기 본체(66)의 저면부로부터 하방으로 돌출되어 있는 상태에서는 커 버(65)는 닫힌 상태가 된다. 이 상태에서 수납 용기(2)를 기판 입출부(6)에 탑재시킴에 따라, 기판 입출부(6)의 탑재 지지부(32)에 구비된 커버용 돌기부(81)에 의해 연결봉(80)이 밀어 올려짐으로써, 링크 부재(79)를 통하여 커버 형성 부재(77)가 회전 조작되고, 커버 형성 부재(77) 각각이 전후 방향을 따르는 자세가 되어 커버(65)가 열린 상태로 된다. 또한, 기판 입출부(6)로부터 수납 용기(2)를 들어 올리면, 연결봉(80)이 자기 무게에 의해 밀어 내려짐으로써, 링크 부재(79)를 통하여 커버 형성 부재(77)가 회전 조작되고, 커버 형성 부재(77)가 상하 방향을 따른 자세가 되어 커버(65)가 닫힌 상태가 된다. 그리고, 연결봉(80)의 하강 이동은, 도면 밖의 규제 부재에 의해 연결봉(80)의 하단부가 용기 본체(66)의 저면부로부터 하방으로 돌출하는 상태로 규제되어 있다.
기판 입출부(6)의 커버용 돌기부(81)와 같은 연결봉(80)을 밀어 올리도록 조작하는 부분은, 기판 입출부(6) 이외의 수납부(4), 및 스태커 크레인(10) 등의 수납 용기 반송 장치(8)에는 구비되어 있지 않고, 기판 입출부(6)에 위치시켰을 경우 이외에서는, 연결봉(80)은 밀어 올림 조작되지 않도록 하여, 기판 입출부(6) 이외의 수납부(4)에 의해 수납시키고 있을 때나 스태커 크레인(10) 등에 의해 반송할 때는 수납 용기(2)의 커버(65)가 닫힌 상태를 유지하도록 구성되어 있다.
즉, 기판 처리 설비에서는, 상기 수납 선반(5)에 보관할 때 및 상기 수납 용기 반송 장치(8)에 의해 반송할 때에는, 상기 수납 용기(2)의 상기 커버(65)를 닫힌 상태로 하여 상기 팬 필터 유닛(64)에 의해 통풍함으로써, 상기 기판(1)의 청정도가 유지된다. 또한, 상기 기판 입출부(6)에서 상기 기판 반송 장치(7)에 의해 상기 기판(1)을 반송할 때에는, 상기 수납 용기(2)의 상기 커버(65)를 열린 상태로 하여 상기 팬 필터 유닛(64)에 의해 통풍하는 것 및 상기 반송 영역용의 정화 공기 통풍 수단(25)에 의해 상기 기판 반송 영역(24)의 청정도가 유지되는 것에 의해, 상기 기판(1)의 청정도를 유지하는 기판 처리 방법이 이용되고 있다.
그리고, 수납 용기(2)는, 커버(65)를 열린 상태로 할 때, 3개의 팬 필터 유닛(64)의 통풍량을 증가시킬 수 있도록 3개의 팬 필터 유닛(64)의 작동을 제어하는 제어부(109)를 구비하여 구성되어 있다.
즉, 도 11 및 도 18에 나타낸 바와 같이, FFU용 프레임(90)에는, 수납 용기(2)를 기판 입출부(6)에 탑재시킴에 따라 기판 입출부(6)의 탑재 지지부(32)에 구비된 FFU용 돌기부(106)에 의해 밀어 올려져서 상승 이동하고, 또한 수납 용기(2)가 기판 입출부(6)로부터 들어 올려짐으로써 자기 무게에 의해 하강 이동하는 승강 이동 가능한 검출편(107)과, 검출편(107)의 승강 이동을 검출하여 그 검출 정보를 상기 제어부(109)를 향해 송신하는 리미트 스위치에 의해 구성된 검출 스위치(108)와, 검출 스위치(108)로부터의 검출 정보에 기초하여 팬 필터 유닛(64)의 작동을 제어하는 상기 제어부(109)가 구비되어 있고, 제어부(109)는, 검출편(107)이 상승 이동한 상태에서는, 팬 필터 유닛(64)의 통풍량을 증가시키고, 검출편(107)이 하강 이동한 상태에서는, 팬 필터 유닛(64)의 통풍량을 감소시킬 수 있도록, 검출 스위치(108)의 검출 정보에 기초하여 팬 필터 유닛(64)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.
그리고, FFU용 돌기부(106)는, 커버용 돌기부(81)와 마찬가지로, 기판 입출 부(6) 이외의 수납부(4), 및 스태커 크레인(10) 등의 수납용 기반 장치(8)에는 구비되어 있지 않다.
따라서, 수납 용기(2)를 기판 입출부(6)에 위치시켜서 커버(65)가 열린 상태에서는, 팬 필터 유닛(64)의 통풍량은 증가하고, 수납 용기(2)를 기판 입출부(6) 이외에 위치시키고, 커버(65)가 닫힌 상태에서는, 팬 필터 유닛(64)의 통풍량이 감소한다.
또한, 커버(65)가 열린 상태로 전환되기 전의 시점에서 팬 필터 유닛(64)의 통풍량이 증가하고, 커버가 닫힌 상태로 전환된 후의 시점에서 팬 필터 유닛의 통풍량이 감소하도록 하여, 커버(65)를 열린 상태로 전환할 때나 닫힌 상태로 전환할 때의 커버(65)로부터 발생하는 먼지에 의해 수납 용기(2) 내의 기판(1)이 오염되는 것을 방지하는 것이 바람직하고, 이와 같은 커버(65)의 열린 상태나 닫힌 상태로의 전환과 팬 필터 유닛(64)의 통풍량은, 커버용 돌기부(81) 및 FFU용 돌기부(106)의 높이를 조절함으로써 조정될 수 있다.
도 11에 나타낸 바와 같이, 상기 팬 필터 유닛(64) 및 상기 커버(65)는, 상기 용기 본체(66)에 대해서 착탈 가능하게 장착되어 있고, 수납 용기(2)로부터 팬 필터 유닛(64)과 커버(65)를 떼어내어 수납 용기(2)를 용이하게 세정할 수 있도록 구성되어 있다.
즉, 도 14에 나타낸 바와 같이, 커버용 프레임(78)의 상단부에는, 용기 본체(66)에서의 일단 측 직사각형 프레임(93)의 상방으로부터 걸어맞추어지는 커버용 결합 부재(99)가 설치되고, 또한 일단 측 직사각형 프레임(93)의 하단부에는, 커버 용 프레임(78)을 탑재 지지한 상태에서 커버용 프레임(78)의 하단부에 형성된 걸어맞춤홈(78a)에 걸어맞추어지는 커버용 걸어맞춤 지지판(100)이 설치되어 있고, 커버용 결합 부재(99)를 일단 측 직사각형 프레임(93)의 상부에 대해서 걸거나 분리하고, 또한 커버용 걸어맞춤 지지판(100)을 커버용 프레임(78)의 걸어맞춤홈(78a)에 대해서 걸거나 분리함으로써, 커버(65)를 용기 본체(66)에 대해서 착탈할 수 있도록 구성되어 있다.
또한, 도 15에 나타낸 바와 같이, FFU용 프레임(90)의 상단부에는, 용기 본체(66)에서의 타단 측 직사각형 프레임(94)의 상부에 상방으로부터 걸어맞추어지는 FFU용 결합 부재(88)가 설치되고, 또한, 타단 측 직사각형 프레임(94)의 하단부에는, FFU용 프레임(90)을 탑재 지지한 상태에서 FFU용 프레임(90)의 하단부에 형성된 걸어맞춤홈(90a)에 걸어맞추어지는 FFU용 걸어맞춤 지지판(89)이 설치되어 있다. 또한, FFU용 결합 부재(88)를 타단 측 직사각형 프레임(94)의 상부에 대해서 걸거나 분리하고, 또한, FFU용 걸어맞춤 지지판(89)을 FFU용 프레임(90)의 걸어맞춤홈(90a)에 대해서 걸거나 분리함으로써, 팬 필터 유닛(10)을 급전부(70b)나 배터리(71)와 함께 용기 본체(66)에 대해서 착탈할 수 있도록 구성되어 있다.
그리고, 도 2에 나타낸 바와 같이, 수납 선반(5)이 구비하는 최하단의 복수개의 수납부(4) 중 일부가, 수납 선반(5)의 배면측을 통하여 수동 대차(85)에 의해 수납 용기(2)를 출입시킬 수 있는 수동 대차용의 입출고부(9)로 되어 있고, 수동 대차(85)에 의해 수동 대차용의 입출고부(9)로부터 수납 용기(2)를 인출한 후, 수납 용기(2)로부터 팬 필터 유닛(64)과 커버(65)를 떼어내고, 용기 세정 장치(86)에 의해 용기 본체(2)를 세정할 수 있도록 구성되어 있다. 또한, 수동 대차용의 입출고부(9)의 배면측에는, 상기 입출고부(9)의 배면측을 닫는 셔터(84)가 설치되어 있고, 상기 제어 수단 H는, 셔터(84)가 열림 조작되어 있는 상태에서는, 수동 대차용의 입출고부(9)에 대한 스태커 크레인(10)에 의한 수납 용기(2)의 반송이 행해지지 않도록, 스태커 크레인(10)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.
[다른 실시예]
(1) 상기 실시예에서는, 수납 용기(2)의 출입구부에 수납 용기(2)의 출입구(72)를 개폐하는 커버(65)를 장비하였지만, 다른 실시예에서는 수납 용기(2)의 출입구부에 수납 용기(2)의 출입구(72)를 개폐하는 커버(65)를 장비하지 않아도 되다.
(2) 상기 실시예에서는, 한쌍의 수납 선반(5) 중 어느 쪽이라 하더라도, 수납 용기(2)의 팬 필터 유닛(64)을 장비한 측을 이동 공간 측에 위치시키고, 또한 수납 용기(2)의 출입구 측을 이동 공간으로부터 멀어지는 측에 위치시킨 상태에서 수납 용기(2)를 수납부(4)에 수납하였다. 그러나, 다른 실시예에서는 한쌍의 수납 선반(5) 중 한쪽에는, 수납 용기(2)의 팬 필터 유닛(64)를 장비한 측을 이동 공간 측에 위치시키고, 또한 수납 용기(2)의 출입구 측을 이동 공간으로부터 멀어지는 측에 위치시킨 상태에서 수납 용기(2)를 수납부(4)에 수납하고, 한쌍의 수납 선반(5) 중 다른 쪽에는, 수납 용기(2)의 팬 필터 유닛(64)을 장비한 측을 이동 공간으로부터 멀어지는 측에 위치시키고, 또한 수납 용기(2)의 출입구 측을 이동 공간 측에 위치시킨 상태에서 수납 용기(2)를 수납부(4)에 수납하도록 해도 된다.
또한, 상기 실시예에서는, 수납 선반(5)을 대향시킨 상태에서 한쌍 설치하였으나, 다른 실시예에서는 수납 선반(5)을 하나만 설치해도 된다.
(3) 상기 실시예에서는, 정화 공기 통풍 수단(23)을 구비하여, 기판 수납 설비 A를 장비한 공간을, 정화 공기를 천정부로부터 바닥부로 통풍시키는 다운 플로우 방식의 클린 공간으로 형성하였으나, 다른 실시예에서는 정화 공기 통풍 수단(23)을 구비하지 않고, 또한 기판 수납 설비 A를 장비한 공간을 클린 공간으로 형성하지 않아도 된다.
(4) 상기 실시예에서는, 클린 공간 내에, 기판 수납 설비 A가 주위를 개방한 상태로 장비하였지만, 다른 실시예에서는 기판 수납 설비 A를 부스에 의해 덮고, 부스 내에 수납 선반(5)이나 수납 용기 반송 장치(8)를 장비하도록 해도 된다.
(5) 상기 실시예에서는, 기판 입출부(6)에서 기판 반송 장치(7)에 의해 기판(1)을 반송할 때는, 수납 용기(2)의 팬 필터 유닛(64)의 통풍량을 증가시키도록 하였지만, 다른 실시예에서는 기판 입출부(6)에서, 기판 반송 장치(7)에 의해 기판(1)을 반송할 때라 하더라도 팬 필터 유닛(64)의 통풍량을 증가시키지 않도록 해도 된다.
즉, 다른 실시예에서는, 수납 선반(5)에 보관할 때, 수납 용기 반송 장치(8)에 의해 반송할 때, 및 기판 입출부(6)에서 기판 반송 장치(7)에 의해 기판(1)을 반송할 때, 모두 수납 용기(2)의 팬 필터 유닛(64)의 통풍량을 일정하게 유지하도록 해도 된다.
또한, 수납 용기 반송 장치(8)에 의해 반송할 때에는, 수납 선반(5)에 보관 할 때보다 수납 용기(2)의 팬 필터 유닛(64)의 통풍량을 증가시키고, 기판 입출부(6)에서 기판 반송 장치(7)에 의해 기판 반송할 때에는, 수납 용기 반송 장치(8)에 의해 반송할 때보다 팬 필터 유닛(64)의 통풍량을 증가시키도록, 수납 선반(5)에 보관할 때와, 수납 용기 반송 장치(8)에 의해 반송할 때와, 기판 입출부(6)에서 기판 반송 장치(7)에 의해 기판을 반송할 때에 따라서, 수납 용기(2)의 팬 필터 유닛(64)의 통풍량을 변경하도록 해도 된다. 즉, 수납 용기 반송 장치(8)에 의해 반송할 때에도, 수납 용기(2)의 팬 필터 유닛(64)의 통풍량을 증가시키도록 해도 된다. 또한, 수납 용기 반송 장치(8)에 의해 반송할 때의 통풍량은, 기판 입출부(6)에서 기판 반송 장치(7)에 의해 기판을 반송할 때와 같아도 되고, 또한 많아도 된다.
(6) 상기 실시예에서는, 수납 선반(5)을 클린 공간(13)의 바닥부(그레이팅 바닥(14)) 상에 설치하였으나, 다른 실시예에서는, 바닥부보다 낮은 흡기실(16)의 저부 상에 설치해도 된다.
(7) 상기 실시예에서는, 클린 공간(13)의 천정부를 에어 필터에 의해 형성하였지만, 다른 실시예에서는, 클린 공간(13)의 천정부를 천정부용의 팬 필터 유닛에 의해 형성해도 된다.
(8) 상기 실시예에서는, 용기 본체(66)의 양쪽 횡측부를, 외면 부재(98)와 내면 부재(99)를 구비하여 2겹 구조로 하였지만, 다른 실시예에서는, 내면 부재만 구비하여, 상측부나 하측부와 마찬가지로 한겹 구조로 해도 된다.
(9) 상기 실시예에서는, 링크 부재(79)의 기단부를, 상하 방향을 따른 자세 의 커버 형성 부재(77) 각각에 후측 하방으로 연장 형성되는 형태로 일체로 회전하도록 연결하여, 링크 부재(79) 각각의 유격 단부가 회전할 수 있도록 연결되는 연결봉(80)이, 커버 형성 부재(77)의 회전 축심보다 후방측(용기 본체 측)에 위치하도록 하였다. 그러나, 다른 실시예에서는, 링크 부재(79)의 기단부를, 상하 방향을 따른 자세의 커버 형성 부재(77) 각각에 전측 하방으로 연장 형성되는 형태로 일체로 회전하도록 연결하여, 링크 부재(79) 각각의 유격 단부가 회전할 수 있도록 연결되는 연결봉(80)이, 커버 형성 부재(77)의 회전 축심보다 전방측(용기 본체가 존재하는 측과는 반대측)에 위치하도록 해도 된다.
(10) 상기 실시예에서는, 기판 입출부(6)에서 수납 용기(2)를 수납 용기 반송 장치(8)에 의해 상하로 이동시킴으로써, 조작부(80)가 조작되어 커버(65)가 열린 상태와 닫힌 상태로 전환되도록 구성하였지만, 다른 실시예에서는, 커버(65)에 조작부(80)를 조작하는 전동 모터 등의 구동 수단을 구비하고, 구동 수단에 의해 조작부(80)를 조작함으로써, 커버(65)를 열린 상태와 닫힌 상태로 전환할 수 있도록 구성해도 된다.
(11) 상기 실시예에서는, 복수개의 커버 형성 부재(77) 모두를 일체적으로 회전 조작하도록 구성하였지만, 다른 실시예에서는, 커버(65)를 열린 상태로 한 상태에서, 일부의 커버 형성 부재(77)를 전후 방향을 따르는 자세로 하고, 나머지 커버 형성 부재(77)를 상하 방향을 따르는 자세로 하여, 열린 상태에서도, 상하 방향을 따른 자세의 커버 형성 부재(77)를 존재하게 하고, 배출되는 정화 공기의 풍속을 보다 빠르게 할 수 있도록, 복수개의 커버 형성 부재(77)를 개별적으로 또는 복 수매의 그룹 단위로 회전 조작하도록 구성해도 된다.
즉, 예를 들면, 복수개의 커버 형성 부재(77)를 복수매의 그룹 단위로 회전 조작하도록 구성한 경우에는, 복수개의 커버 형성 부재(77)에서의 상측 절반의 커버 형성 부재(77)에는 가로폭 방향 일측 단부에 링크 부재(79)를 통하여 일측의 연결봉(80)을 연결한다. 또한, 복수개의 커버 형성 부재(77)에서의 하측 절반의 커버 형성 부재(77)에는 가로폭 방향 타측 단부에 링크 부재(79)를 통하여 타측의 연결봉(80)을 연결하여, 일측의 연결봉(80)의 조작에 의해 상측 절반의 커버 형성 부재(77)를 전후 방향을 따르는 자세로 하여 수납 용기(2)의 상측 절반에 기판(1)을 출입시키고, 타측의 연결봉(80)의 조작에 의해 하측 절반의 커버 형성 부재(77)를 전후 방향을 따르는 자세로 하여 수납 용기(2)의 하측 절반에서 기판(1)을 출입시키도록 구성해도 된다.
(12) 상기 실시예에서는, FFU용 돌기부(106)에 의한 검출편(107)의 상승 및 하강 이동에 기초하여 팬 필터 유닛(64)의 통풍량을 변경하도록 구성하였지만, 다른 실시예에서는, 커버용 돌기부(81)에 의한 연결봉(80)의 상승 및 하강 이동에 기초하여 팬 필터 유닛(64)의 통풍량을 변경하도록 구성해도 된다.
즉, 커버용 프레임(78)에, 연결봉(80)의 상승 및 하강 이동을 검출하여 그 검출 신호를 제어부(109)를 향해 송신하는 검출 수단을 구비하고, 제어부(109)를, 커버(65)가 열린 상태가 되는 연결봉(80)이 상승 이동한 상태에서는, 팬 필터 유닛(64)의 통풍량을 증가시키고, 커버(65)가 닫힌 상태가 되는 연결봉(80)이 하강 이동한 상태에서는, 팬 필터 유닛(64)의 통풍량을 감소시킬 수 있도록, 검출 수단 의 검출 정보에 기초하여 팬 필터 유닛(64)의 작동을 제어하도록 구성해도 된다.
또한, 검출 수단으로부터 제어부(109)로의 검출 정보의 송신은, 커버용 프레임(78) 측 및 FFU용 프레임(90) 측과 분리될 수 있도록 접속한 케이블을 용기 본체(66)에 설치하여 유선으로 행해도 되고, 또한, 커버용 프레임(78)에 송신기를 설치하고, FFU용 프레임(90)에 수신기를 설치하여 무선으로 행해도 된다.
도 1은 물품 처리 설비의 사시도이다.
도 2는 기판 수납 설비의 정면도이다.
도 3은 기판 수납 설비의 측면도이다.
도 4는 정화 공기 통풍 수단을 나타낸 도면이다.
도 5는 물품 수납 선반에서의 1단째의 수납부를 나타낸 도면이다.
도 6은 기판 반송 영역의 측면도를 나타낸 도면이다.
도 7은 물품 수납 선반에서의 3단째의 수납부를 나타낸 도면이다.
도 8은 스태커 크레인의 측면도이다.
도 9는 물품 이재 장치의 평면도이다.
도 10은 용기 본체의 분해 사시도이다.
도 11은 수납 용기의 분해 사시도이다.
도 12는 수납 용기의 사시도이다.
도 13은 수납 용기의 세로로 절단하여 정면으로 나타낸 도면이다.
도 14는 커버의 착탈을 측면으로 나타낸 도면이다.
도 15는 팬 필터 유닛의 착탈을 측면으로 나타낸 도면이다.
도 16은 커버가 닫힌 상태와 열린 상태를 각각 측면으로 나타낸 도면이다.
도 17은 커버가 닫힌 상태와 열린 상태를 각각 측면으로 나타낸 도면이다.
도 18은 팬 필터 유닛의 제어부를 측면으로 나타낸 도면이다.
[부호의 설명]
1: 기판 2: 수납 용기
4: 수납부 5: 수납 선반
8: 수납 용기 반송 장치 9: 입출고부
38: 선회 수단 64: 팬 필터 유닛
65: 커버 72: 출입구
A: 기판 수납 설비 H: 제어 수단

Claims (8)

  1. 기판을 상하 방향으로 간격을 두고 배열한 상태에서 복수매 유지하는 수납 용기를 수납하는 복수개의 수납부를 구비한 수납 선반과,
    상기 수납 용기의 입출고부와,
    상기 수납 선반의 전방의 이동 공간을 선반 가로폭 방향으로 주행하도록 구성되며, 또한 상기 수납 용기를 상기 입출고부 및 상기 수납부로 반송하는 수납 용기 반송 장치와,
    상기 수납 용기 반송 장치의 작동을 제어하는 제어 수단이 구비되어 있는 기판 수납 설비로서,
    상기 수납 용기는, 상기 수납 용기의 일단 측의 제1 개구와, 상기 제1 개구와는 수평 방향으로 간격을 둔 타단 측에 설치된 제2 개구를 가지는, 전체적으로 사각형의 단면을 가지는 통형으로 형성되고, 상기 제1 개구는 상기 기판을 출입시키기 위한 출입구로서 구성되고,
    상기 제2 개구로부터 상기 제1 개구를 향해 통풍하는 팬 필터 유닛은, 상기 수납 용기에서의 상기 제2 개구의 영역에 장비되고,
    상기 제어 수단은, 상기 수납 용기의 상기 팬 필터 유닛을 장비한 측을 상기 이동 공간 측에 위치시키고, 또한 상기 수납 용기의 상기 출입구 측을 상기 이동 공간으로부터 멀어지는 측에 위치시킨 상태에서 상기 수납 용기를 상기 수납부에 수납하도록, 상기 수납 용기 반송 장치의 작동을 제어하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 수납 설비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 수납 용기의 상기 출입구를 개폐하는 커버는, 닫힌 상태에서 상기 출입구의 일부를 개구된 상태로, 상기 수납 용기의 출입구부에 장비되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 수납 설비.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 수납 선반은 서로 대향하는 상태에서 한쌍 설치되고,
    상기 수납 용기 반송 장치는, 상기 수납 용기 반송 장치에 의해 지지된 수납 용기를 선회시키는 선회 수단을 구비하며,
    상기 제어 수단은, 한쌍의 상기 수납 선반 중 어느 쪽이라 하더라도,
    상기 수납 용기의 상기 팬 필터 유닛을 장비한 측을 상기 이동 공간 측에 위치시키고, 또한 상기 수납 용기의 상기 출입구 측을 상기 이동 공간으로부터 멀어지는 측에 위치시킨 상태에서 상기 수납 용기를 상기 수납부에 수납하도록, 상기 수납 용기 반송 장치의 작동을 제어하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 수납 설비.
  4. 제1항 또는 제2항에 기재된 기판 수납 설비가 장비된 기판 처리 설비로서, 정화 공기를 천정부로부터 바닥부로 통풍시키는 클린 공간 내에, 상기 기판 수납 설비가 주위를 개방하는 상태로 장비되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 팬 필터 유닛은, 프레임에 지지된 팬과 필터와 수전부(受電部)를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 수납 설비.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 팬 필터 유닛은, 상기 팬에 전기를 공급하는 배터리를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 수납 설비.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 입출고부는, 상기 수납 선반의 일부인 것을 특징으로 하는 기판 수납 설비.
  8. 기판 수납 설비의 작동 방법으로서,
    상기 기판 수납 설비는,
    기판을 상하 방향으로 간격을 두고 배열한 상태에서 복수매 유지하는 수납 용기를 수납하는 복수개의 수납부를 구비한 수납 선반과,
    상기 수납 용기의 입출고부와,
    상기 수납 선반의 전방의 이동 공간을 선반 가로폭 방향으로 주행하도록 구성되며, 또한 상기 수납 용기를 상기 입출고부 및 상기 수납부에 반송하는 수납 용기 반송 장치와,
    상기 수납 용기 반송 장치의 작동을 제어하는 제어 수단이 구비되고,
    상기 수납 용기는, 상기 수납 용기의 일단 측의 제1 개구와, 상기 제1 개구와는 수평 방향으로 간격을 둔 타단 측에 설치된 제2 개구를 가지는, 전체적으로 사각형의 단면을 가지는 통형으로 형성되고, 상기 제1 개구는 상기 기판을 출입시키기 위한 출입구로서 구성되고,
    상기 제2 개구로부터 상기 제1 개구를 향해 통풍시키는 팬 필터 유닛은, 상기 수납 용기에서의 상기 제2 개구의 영역에 장비되어 있으며,
    상기 기판 수납 설비의 작동 방법은,
    상기 제어 수단에 의해 상기 수납 용기의 상기 팬 필터 유닛을 장비한 측을 상기 이동 공간 측에 위치시키고, 또한 상기 수납 용기의 상기 출입구 측을 상기 이동 공간으로부터 멀어지는 측에 위치시킨 상태에서 상기 수납 용기를 상기 수납부에 수납하도록 상기 수납 용기 반송 장치의 작동을 제어하는 제어 단계
    를 포함하는 기판 수납 설비의 작동 방법.
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