JP6675257B2 - めっき装置及びめっき方法 - Google Patents
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Description
に構成された複数のストッカと、を有し、前記複数のストッカの少なくとも一つは、前記めっき装置の内外に移動可能に構成される。
以下、本発明の第1実施形態について図面を参照して説明する。以下で説明する図面において、同一の又は相当する構成要素には、同一の符号を付して重複した説明を省略する。図1は、第1実施形態に係るめっき装置の全体配置図である。図1に示すように、このめっき装置は、基板ホルダ11に基板をロードし、又は基板ホルダ11から基板をアンロードするロード/アンロード部170Aと、基板を処理する処理部170Bとに大きく分
けられる。
、CD−ROM、DVD−ROM、並びにフレキシブルディスク等のディスク状記憶媒体等の公知のものが使用され得る。
材のことをいい、具体的な構成は図2の例に限られない。
れた状態における開口部21側の面をいい、背面とはその逆側の面をいう。図4A及び図4Bに示すように、ストッカ20は、基板ホルダ11を収納する開口28を有する略ボックス状のストッカ本体26を有する。ストッカ20は、ストッカ本体26に収納される基板ホルダ11のハンガー部112を下方から支持するハンガー受け部材22を有する。ストッカ本体26の正面部には、取手31が設けられる。ストッカ20を手動で移動させるときは、作業員は取手31を把持してストッカ20を操作することができる。
ストッカ20とが連結した状態を示す連結部分の側面図である。図6Bは、ストッカ20と他のストッカ20との連結が解除された状態を示す連結部分の側面図である。図5に示すように、開口部21(図3参照)に近いストッカ20の係止部29aが、隣接するストッカ20の被係止部29bと係止している。背面隔壁25は、ストッカ20と同様の被係止部29bを有し、隣接するストッカ20の係止部29aに係止される。これにより、二つのストッカ20と背面隔壁25が列をなして連結する。
20を固定することができる。なお、固定ピン39は、その先端が先細となるようにテーパ状に形成されることが好ましい。この場合、めっき装置内に配置されたストッカ20が所望の位置から多少ずれていても、固定ピン39でストッカ20を固定するときに、テーパ状の固定ピン39の先端が、ストッカ20を所望の位置にガイドすることができる。
トッカ20aのみを台車44に載せる。
する。取り出し予約が解除されると、制御部175Cは、図示しないランプを消灯し、全てのストッカ20に収納される基板ホルダ11を使用してめっき処理を再開する(ステップS1008)。
においては、少なくとも異常が生じた基板ホルダ11が予約ストッカに戻ったか否かを判定するようにしてもよい。基板ホルダ11の全て、又は少なくとも異常が生じた基板ホルダ11が予約ストッカに戻ったと判定されたとき(S1102,Yes)、制御部175Cは、予約ストッカ以外の残りのストッカ20を使用してめっき装置の運転を継続する(ステップS1103)。具体的には、制御部175Cは、予約ストッカ以外のストッカ20に収納される基板ホルダ11を使用して基板Wにめっき処理を行うように、処理部170B(図1参照)及び基板ホルダ搬送装置140を制御する。一方で、予約ストッカは、めっき装置から引き出される(ステップS1104)。このとき、図9Aから図9Dに示したようなストッカ移動装置45等により、自動的に予約ストッカが引き出される。なお、作業員が手動で予約ストッカを引き出してもよい。この場合、作業員の安全上の観点から、図10で説明したようなランプ等を点灯させて、作業員が予約ストッカを引き出してもよいことを作業員に知らせることが好ましい。
、説明の便宜上、基板ホルダ11に異常が生じた場合のメンテナンス専用ストッカの取り出し・格納制御について説明する。
きる。
以下、本発明の第2実施形態について図面を参照して説明する。図13は、第2実施形態に係るめっき装置の全体側面図である。第2実施形態に係るめっき装置は、第1実施形態のめっき装置と比べて、各部の配置構成が異なるのみであり、各部の具体的構成及び機能は同一である。即ち、第2実施形態のめっき装置は、図3から図9に示したストッカ20の具体的構成及び機能を有するストッカ20を備え、図10から図12で説明したストッカ20の取り出し・格納制御を実行することができる。
11…基板ホルダ
18…パドル
19…パドル駆動装置
20…ストッカ
21…開口部
23…レール
25…背面隔壁
27…隔壁
27a…隔壁部材
29a…係止部
29b…被係止部
35…摺動体
36…支持面
37…ストッパ
38…ストッカセンサ
39…固定ピン
40…障害物センサ
45…ストッカ移動装置
114…給電接点
122…基板搬送装置
125…ストッカ設置部
140…基板ホルダ搬送装置
175…コントローラ
Claims (25)
- 基板にめっきを行うめっき処理部と、
基板又はアノードを保持するように構成されるホルダを収納可能に構成された複数のストッカと、を有し、
前記複数のストッカの少なくとも一つは、前記めっき装置の内外に移動可能に構成され、
前記複数のストッカの少なくとも一つが前記めっき装置の外に移動したとき、前記複数のストッカの一つ以上がめっき装置の中に配置されている、めっき装置。 - 請求項1に記載されためっき装置において、
前記ストッカを前記めっき装置の外部へ取り出すための開口部を有し、
前記ストッカは、前記めっき装置の内部と前記めっき装置の外部とを仕切るように前記開口部の少なくとも一部を覆う隔壁をその側面に有する、めっき装置。 - 請求項2に記載されためっき装置において、
前記ストッカを挟んで前記隔壁の逆側に配置され、前記開口部の少なくとも一部を覆うように構成された背面隔壁を有し、
前記背面隔壁は、前記ストッカと共に移動可能に構成され、
前記めっき装置は、前記開口部に移動した前記背面隔壁を停止させるストッパを有する、めっき装置。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載されためっき装置において、
前記ストッカを前記めっき装置の内外にガイドするためのガイド部材を有する、めっき装置。 - 請求項4に記載されためっき装置において、
前記ガイド部材は、前記ストッカを摺動可能に支持する摺動体を有する、めっき装置。 - 請求項1から5のいずれか一項に記載されためっき装置において、
前記めっき装置内に配置される前記ストッカを固定するための固定部材を有する、めっき装置。 - 請求項1から6のいずれか一項に記載されためっき装置において、
前記めっき装置内部の所定位置に前記ストッカが存在するか否かを検知するストッカセンサを有する、めっき装置。 - 請求項2又は3に記載されためっき装置において、
前記開口部に障害物が存在するか否かを検知する障害物センサを有する、めっき装置。 - 請求項1から8のいずれか一項に記載されためっき装置において、
前記ストッカは、前記ストッカと前記ストッカの移動方向に隣接した他のストッカとを脱着可能に連結するように構成された連結部を有する、めっき装置。 - 請求項1から9のいずれか一項に記載されためっき装置において、
前記ストッカを摺動可能に支持する支持面を有する、めっき装置。 - 請求項1から10のいずれか一項に記載されためっき装置において、
前記ホルダを搬送するように構成される搬送機と、
制御部と、を有し、
前記制御部は、
前記複数のストッカのうち少なくとも一つを選択し、
前記選択された前記ストッカに前記ホルダを収納するように前記搬送機に指示するように構成される、めっき装置。 - 請求項1から10のいずれか一項に記載されためっき装置において、
前記ホルダを搬送するように構成される搬送機と、
制御部と、を有し、
前記制御部は、
前記ホルダに異常が生じたことを示す信号を受信し、
前記信号を受信したときに前記異常が生じたホルダが収納されるストッカを選択し、
前記選択されたストッカに少なくとも前記異常が生じたホルダを戻すように前記搬送機に指示するように構成される、めっき装置。 - 請求項11又は12に記載されためっき装置において、
前記制御部は、前記選択されたストッカ以外のストッカに収納される前記ホルダを使用して前記基板にめっきを行うように、前記めっき処理部及び前記搬送機を制御するように構成される、めっき装置。 - 請求項11から13のいずれか一項に記載されためっき装置において、
前記制御部は、
前記選択されたストッカが前記めっき装置の外に取り出された後、前記取り出されたストッカ又は当該ストッカとは別のストッカが前記めっき装置に格納されたか否かを判定し、
前記取り出されたストッカ又は当該ストッカとは別のストッカが前記めっき装置に格納されたとき、全てのストッカに収納される前記ホルダを使用して前記基板にめっきを行うように、前記めっき処理部及び前記搬送機を制御するように構成される、めっき装置。 - 請求項12に記載されためっき装置において、
前記複数のストッカは、メンテナンスされるホルダが収納されるメンテナンス専用ストッカを含み、
前記異常が生じたホルダが収納されるストッカは、前記メンテナンス専用ストッカである、めっき装置。 - 請求項11から15いずれか一項に記載されためっき装置において、
前記ストッカをめっき装置外に移動させる移動装置を有し、
前記制御部は、
前記選択されたストッカに収納されることになる前記ホルダが、当該ストッカに戻されたか否かを判定し、
前記選択されたストッカに前記ホルダが戻されたとき、前記選択されたストッカをめっき装置外に取り出すように、前記移動装置を制御するように構成される、めっき装置。 - 請求項16に記載されためっき装置において、
前記移動装置は、前記ストッカをめっき装置内に移動させるように構成される、めっき装置。 - 基板にめっきを行うめっき処理部と、基板又はアノードを保持するホルダを収納可能に構成された複数のストッカと、を備えためっき装置を用いためっき方法であって、
前記複数のストッカの各々は、前記めっき装置の内外に移動可能に構成され、
前記複数のストッカの一つ以上を前記めっき装置の中に残しつつ前記複数のストッカの少なくとも一つを、前記めっき装置の外に移動させる取り出し工程と、
前記めっき装置に残されたストッカを使用してめっき処理を行う工程と、を有する、めっき方法。 - 請求項18に記載されためっき方法において、
前記めっき装置の外に移動したストッカ又は当該ストッカとは別のストッカを、めっき装置の中に移動させる格納工程を有する、めっき方法。 - 請求項18又は19に記載されためっき方法において、
前記複数のストッカのうち少なくとも一つを選択する工程と、
前記選択されたストッカにホルダを戻す工程と、を有し、
前記取り出し工程は、前記選択されたストッカをめっき装置外に取り出す工程を含む、めっき方法。 - 請求項18又は19に記載されためっき方法において、
ホルダに異常が生じたことを検知する工程と、
前記異常が生じたホルダが収納されるストッカを選択する工程と、
前記選択されたストッカに少なくとも前記異常が生じたホルダを戻す工程と、を有し、
前記取り出し工程は、前記選択されたストッカをめっき装置外に取り出す工程を含む、めっき方法。 - 請求項20又は21に記載されためっき方法において、
前記選択されたストッカ以外のストッカに収納されるホルダを使用して基板にめっきを行う工程を有する、めっき方法。 - 請求項20から22のいずれか一項に記載されためっき方法において、
前記選択されたストッカに収納されることになる前記ホルダが、当該ストッカに戻されたか否かを判定するホルダ有無判定工程を有し、
前記選択されたストッカをめっき装置外に取り出す工程は、前記選択されたストッカに前記ホルダが戻されたと判定されたときに実行される、めっき方法。 - 請求項20から23のいずれか一項に記載されためっき方法において、
前記選択されたストッカが前記めっき装置の外に取り出された後、前記めっき装置の外に取り出されたストッカ又は当該ストッカとは別のストッカが前記めっき装置に格納されたか否かを判定するストッカ有無判定工程と、
前記めっき装置外に取り出されたストッカ又は当該ストッカとは別のストッカがめっき装置に格納されたとき、全てのストッカに収納される前記ホルダを使用して基板にめっきを行う工程と、を有する、めっき方法。 - 請求項21に記載されためっき方法において、
前記複数のストッカは、メンテナンスされるホルダが収納されるメンテナンス専用ストッカを含み、
前記異常が生じたホルダが収納されるストッカは、前記メンテナンス専用ストッカである、めっき方法。
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