JP5865979B2 - めっき装置及びめっき方法 - Google Patents
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Description
前記めっき装置の自動運転中に前記ワゴンの移動手段により前記ワゴンを前記めっき装置外に移動可能とし、前記ワゴンを移動させる際に、前記ワゴンを前記めっき装置外に移動させる前に、シャッタを閉じて前記めっき装置内を外気から遮断し、前記ワゴンを前記めっき装置内に移動させた後に前記シャッタを開放して前記基板ホルダ搬送部が前記ワゴンにアクセスできるようにすることを特徴とする。
110 基板ホルダ
120 テーブル
130 めっき処理部
140 基板ホルダ搬送部
150 ワゴン
160 ワゴン設置部
500 基板
Claims (11)
- 基板のめっき処理を行うめっき処理部と、
前記基板を保持する基板ホルダと、
基板に対向する位置に配置され、アノードを保持するアノードホルダと、
前記基板ホルダおよび前記アノードホルダを保持して搬送するホルダ搬送部と、
前記基板ホルダおよび前記アノードホルダを収納するワゴンと、
前記ワゴンを収納するワゴン設置部とを有し、
前記ワゴンは、前記ワゴンを当該めっき装置の内外に移動する移動手段を有し、
前記ワゴン設置部は、開閉可能な開閉部と、前記開閉部が開状態にある場合に、前記ワゴン設置部と当該めっき装置内部との雰囲気を遮断するための開閉自在なシャッタと、を有することを特徴とするめっき装置。 - 前記移動手段はキャスタであり、前記キャスタにより前記ワゴンを移動させてめっき装置から分離させることを特徴とする請求項1に記載のめっき装置。
- 前記ホルダ搬送部は、前記ワゴンにおける前記基板ホルダの有無及び/又は位置を検知するセンサを有することを特徴とする請求項1または2に記載のめっき装置。
- 前記ホルダ搬送部及び前記ワゴン設置部の状態を監視制御する制御部と、前記制御部に対して前記ワゴンを移動させることを通知する通知手段を有することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のめっき装置。
- 前記ワゴンは、前記ワゴン設置部において前記ワゴンを固定するラッチハンドルを有し、前記ワゴン設置部は、ラッチ受けを有することを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のめっき装置。
- 前記ワゴン設置部は、前記開閉部の開放を制限する開放部スイッチと、前記シャッタの開放を制限するシャッタスイッチとを有し、前記開放部スイッチと前記シャッタスイッチとは連動していることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載のめっき装置。
- ワゴンからアノードホルダを取り出し、
アノードを前記アノードホルダで保持し、
前記アノードを保持した前記アノードホルダをホルダ搬送部によりめっき処理部に搬送し、
前記めっき処理部においてめっき処理を行い、
前記ホルダ搬送部が前記アノードホルダを前記ワゴンへ搬送し、前記アノードホルダを前記ワゴンに戻すことを自動で行うめっき方法であって、
前記めっき方法を実行するめっき装置の自動運転中に前記ワゴンの移動手段により前記ワゴンを前記めっき装置外に移動可能とし、
前記ワゴンを移動させる際に、前記ワゴンを前記めっき装置外に移動させる前に、シャッタを閉じて前記めっき装置内を外気から遮断し、前記ワゴンを前記めっき装置内に移動させた後に前記シャッタを開放して前記ホルダ搬送部が前記ワゴンにアクセスできるようにすることを特徴とするめっき方法。 - 前記ワゴンはキャスタを有し、前記ワゴンを前記キャスタにより移動させる際に前記ワゴンは、前記めっき装置から分離することを特徴とする請求項7に記載のめっき方法。
- 前記めっき装置の自動運転中、前記ワゴンを前記めっき装置外へ移動する前に、前記ワゴンの前記めっき装置外への移動を前記めっき装置の制御部に通知すること、をさらに含むことを特徴とする請求項7または8に記載のめっき方法。
- 基板を保持する基板ホルダと、
アノードを保持するアノードホルダと、
前記基板を前記基板ホルダに着脱するテーブルと、
前記基板ホルダおよび前記アノードホルダを収納するワゴンと、
前記ワゴンを収納するワゴン設置部と、
前記テーブルと前記ワゴン設置部との間に配置され、前記基板のめっき処理を行うめっき処理部と、
前記テーブルと前記ワゴンとの間で前記基板ホルダおよび前記アノードホルダを搬送するホルダ搬送部とを有し、
前記ワゴンは、前記ワゴンを当該めっき装置の内外に移動する移動手段を備えることを特徴とするめっき装置。 - 基板のめっき処理を行うめっき処理部と、
前記基板を保持する基板ホルダと、
基板に対向する位置に配置され、アノードを保持するアノードホルダと、
前記基板ホルダおよび前記アノードホルダを保持して搬送するホルダ搬送部と、
前記基板ホルダおよび前記アノードホルダを収納するワゴンと、
前記ワゴンを収納するワゴン設置部とを有し、
前記ワゴンは、前記ワゴンをめっき装置の内外に移動する移動手段を有し、
前記ワゴン設置部には、前記ワゴンの位置及び高さを調整するためのガイドレールが設けられ、
前記ワゴンは、前記移動手段に加えて、前記ガイドレールに接して前記ワゴンの移動方向を規制するローラを有することを特徴とするめっき装置。
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