JPH11255321A - 手押し台車 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 被移載物の処理装置への移載動作を、作業者
の負担なく、迅速かつ正確に実施可能にする。 【解決手段】 手押し台車１１に、処理装置１５の給電
端子４３，４４に接続されて電力の供給を受ける受電端
子を設ける。また、処理装置１５に対して位置決めを行
う位置決め手段１９を設けたものである。また、被移載
物３４を載置するテーブル１２とこれを昇降するモータ
を設けたものである。また、処理装置側の送信器から送
信される被移載物の搬送先データを受信する受信器を設
け、受信された搬送先データを表示器に表示させるよう
にしたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、クリーンルーム
中で手動により搬送されて、半導体基板や液晶基板など
の処理物を収納したキャリアを処理装置に移載するのに
利用される手押し台車に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体デバイス，半導体ウェー
ハ，液晶基板などの製品の生産は、これらに塵や埃、あ
るいは有機物などが付着することによって品質劣化や歩
留りの悪化を招くのを回避するために、クリーンルーム
で実施される。このクリーンルーム内は、例えば、図９
に示すように、工程間搬送部１を挟むようにして、複数
の工程内搬送部２が設けられ、これらの工程内搬送部２
を挟むようにして、処理装置としての、露光・描画，レ
ジスト処理，エッチング処理，熱処理，洗浄等々の製造
装置３とストッカ４がそれぞれ並置されている。

【０００３】すなわち、クリーンルームでは、工程ごと
に前記工程内搬送部２であるベイと呼ばれるエリアに沿
って製造装置３などの処理装置が並べて設置され、各工
程で固有の処理が行われる。このとき、工程によってス
ループットが異なるので、工程間を通してウェーハのや
りとりを行う場合に、バッファを兼ねる前記ストッカ４
が設けられている。ここで、ストッカ４およびストッカ
４間のウェーハ等の搬送、各ベイにおけるストッカ４お
よび製造装置３間のウェーハ等の搬送が、それぞれ工程
間搬送および工程内搬送と呼ばれている。

【０００４】これらのうち、工程内搬送では、例えば被
処理物である複数のウェーハの入ったキャリア（被移載
物）を工程内搬送部２において手で運んで、各製造装置
３にセットする方法が従来から広く採用されている。と
ころが、チップの集積度の高まりとともに、高性能で安
価な半導体デバイスを効率的に得るために、ウェーハの
大口径（３００ミリ）化が進められ、これに伴ってこの
ウェーハを収納するキャリアも大形化，重量化し、人が
手で運ぶことが困難になってきている。このため、前記
ウェーハやキャリアを手押し台車に載せて運び、製造装
置側へ移載する方法が採用されつつある。

【０００５】また、このようなウェーハやキャリアの移
載には、人手のほか、手押し台車に設けられた移載装置
を動作させることにより行われる。このときの移載の動
力源は作業者であり、この作業者がハンドルを回転操作
したり、ペダルを踏んだりする入力となる。

【０００６】図１０はかかる従来の手押し台車を示す斜
視図であり、同図において、１１はウェーハを収納する
被移載物としてのキャリア３４を載置するためのテーブ
ル１２を持った手押し台車で、上部には把手部１３が設
けられ、下面の４箇所にローラ１４が回転自在に取り付
けられている。従って、この手押し台車１１は、作業者
が把手部１３を手で握って押すことにより、前記ベイの
工程内搬送部２内を処理装置としての所定の製造装置１
５がある方向へ搬送可能とされる。この製造装置１５に
はウェーハやこれを収納するキャリアを載置する載置台
１６が設けられている。

【０００７】一方、前記手押し台車１１の下部には、図
１１に示すような位置決め孔１７を持った位置決め板１
８が取り付けられており、前記製造装置１５には、その
位置決め孔１７に対向する位置に位置決めピン１９を持
った他の位置決め部材２０が、取り付けられている。な
お、前記製造装置１５の、前記手押し台車１１の基板１
１ａに対向する位置に形成された切欠部２１内に、前記
位置決め部材２０が例えば衝撃緩衝用のばね（図示しな
い）などを介して取り付けられている。

【０００８】図１２は前記位置決め板１８および位置決
め部材２０に代えて、手押し台車１１の基板１１ａ端お
よび製造装置１５の切欠部２１内に取り付けられる位置
決め部材２２，２３を示し、これらは互いに他を位置決
め可能に嵌合する位置決め手段としての突起２４および
凹所２５をそれぞれ有する。

【０００９】また、手押し台車１１には、前記テーブル
１２を昇降させる回転式の操作部材２６が取り付けられ
ている。図１３は、この操作部材２６によるテーブル１
２の昇降機構を概念的に示し、２６ａおよび２６ｂは前
記操作部材２６を構成するハンドルおよび回転板で、こ
の回転板２６ｂの中心に取り付けられたシャフト２７に
はピニオン２８が取り付けられている。また、このピニ
オン２８は、ガイド２９によって昇降自在に案内され、
かつ前記テーブル１２端を支持するラック３０に噛合さ
れている。従って、ハンドル２６ａの回転操作によって
テーブル１２は所定レベルに昇降可能とされる。

【００１０】図１４はテーブル１２の別の昇降機構であ
る。これは、前記同様のハンドル２６ａおよび回転板２
６ｂを有し、回転板２６ｂの中心に取り付けられたシャ
フト２７には、紐，ワイヤ，チェーンなどの索条３１の
一端側を巻き付けたドラム３２が取り付けられている。
また、前記索条３１はプーリ３３に吊持され、その他端
は、ガイド２９に案内されて昇降するテーブル１２の基
端に止着されている。従って、ハンドル２６ａの回転操
作によって、索条３１をドラム３２に巻き取らせたり、
巻き戻させたりすることで、テーブル１２を所定レベル
の高さに昇降させることができる。

【００１１】なお、図１０において、３４はテーブル１
２上に載置されて、前記製造装置１５の載置台１６へ移
載されるキャリア（例えば３００ｍｍウェーハ用）であ
る。また、図１０では省いてあるが、図１５に示すよう
に、前記テーブル１２とともに移載手段を構成する移載
装置３５を有する。この移載装置３５は、テーブル１２
上に起立するＬ形アーム３５ａと、このＬ形アーム３５
ａに沿って水平移動するスライド部３５ｂと、このスラ
イド部３５ｂ端に上下動自在に取り付けられて、前記キ
ャリア３４の上面を把持するグリップ部３５ｃとを有す
る。

【００１２】従って、かかる構成になる手押し台車１１
を用いて被移載物であるキャリア３４を移載しようとす
る場合には、まず、テーブル１２上に所定サイズ，枚数
のウェーハを収納したキャリア３４がテーブル１２上に
移載された手押し台車１１を、作業者が把手部１３を掴
んで手で押し、これを製造装置１５方向へ走行させなが
ら運搬する。また、手押し台車１１が製造装置１５に最
も接近したとき、手押し台車１１の基板１１ａ端を製造
装置１５下部の切欠部２１内に挿し込む。このとき、図
１１に示す位置決め部材２０上の位置決めピン１９が、
位置決め板１８上の位置決め孔１７内に挿入されるよう
にする。あるいは、図１２に示す位置決め部材２３の凹
所２５内に位置決め部材２２の突起２４を嵌合させるよ
うにする。

【００１３】これにより、製造装置１５に対する手押し
台車１１の位置、詳しくは、前記載置台１６位置に対す
るテーブル１２の位置決めが行われる。続いて、前記操
作部材２６のハンドル２６ａを回転操作し、テーブル１
２の高さ調整を行って、キャリア３４を移載に適する高
さのレベルに設定し、前記移載装置３５のグリップ部３
５ｃにキャリア３４を把持させる。そして、前記スライ
ド部３５ｂを伸長作動させて、キャリア３４を前記製造
装置１５の載置台１６上に移動させ、前記グリップ部３
５ｃによる把持を解除して、そのキャリア３４を載置台
１６上の所定位置に設置する。これに続いて製造装置１
５内に前記キャリア３４が案内され、これに装填された
ウェーハは例えば半導体前処理が実施される。

【００１４】一方、前記被移載物であるキャリア３４に
は、製造上のロット番号，レシピ，プロセスのステップ
などとともに、このキャリア３４の行き先の製造装置１
５を記録したＩＤ（識別）タグ３７が装着される。一般
に、半導体デバイスの製造では、数１００もの工程を実
行する各製造装置１５へ前記キャリア３４を順次運ぶ場
合に、その行き先を誤るのを防止するために、かかるＩ
Ｄタグ３７がキャリア３４に付けられる。従って、作業
者はこのＩＤタグ３７が表示する行き先を看取して、そ
の行き先の製造装置１５へ手押し台車１１上のキャリア
３４を運んで、これを載置台１６上へ誤りなく移載する
ことができる。

【００１５】図１６は前記ＩＤタグ３７を示すブロック
接続図であり、これが、外部からのＩＤ入力の受信器１
０１および応答を返す送信器１０２を制御する制御部１
０３と、前記ＩＤ入力を記憶するメモリ１０４と、その
ＩＤ入力の内容を表示する表示器１０５と、電源（バッ
テリなどの）１０６とを有する。なお、電源としてバッ
テリを設けてもよいが、ここでは前記のように製造装置
１５から接触状態または非接触状態にて電力を受けるよ
うにする。

【００１６】図１７はかかるＩＤタグ３７を背面に取り
付けてキャリア３４を、前記とは異なる他の手押し台車
１１Ａの昇降自在な２段のテーブル１２ａ，１２ｂ上
に、それぞれ載置した例を示す。これらのテーブル１２
ａ，１２ｂは図１３の移載装置３５とともに移載手段を
構成している。また、テーブル１２ａ，１２ｂ上に載置
されたキャリア３４のうち、テーブル１２ａ，１２ｂ上
のキャリア３４が、図１３に示すような既述の移載装置
３５によって製造装置１５の載置台１６上に移載された
後に、テーブル１２ｂが再び所定レベルまで上昇され
て、そのテーブル１２ｂ上のキャリア３４が、移載装置
３５によって前記載置台１６上に移載される。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
従来の手押し台車にあっては、３００ミリもある大径で
重量のある被処理物としてのウェーハをキャリア３４に
収納し、処理装置としての製造装置１５へ搬送，移載す
る上で有効であるものの、移載作業が作業者によるテー
ブル１２昇降のためのハンドル操作を伴うため、移載効
率が悪く、結果としてウェーハの前処理効率などの悪化
をもたらすほか、作業者にとって大きな負担になるとい
う課題があった。

【００１８】また、図１７に示すように、テーブル１２
ａ，１２ｂに載置されたキャリア３４に行き先を示すＩ
Ｄタグ３７を付けて、その行き先を表示させることによ
り、キャリア３４を載置した手押し台車１１Ａの搬送を
迅速，正確に行えるようにしているものの、そのＩＤタ
グ３７の取付位置によっては、これが手押し台車１１Ａ
の一部や把手部１３に隠れてしまい、結果的に行き先を
見誤ったり、思い違いで目的の行き先の製造装置１５へ
キャリア３４を正しく移載できなくなり、場合によって
はキャリア３４内のウェーハに対する処理を誤るなどの
課題があった。

【００１９】この発明は前記のような課題を解決するも
のであり、処理装置側から電源の供給を受けられるよう
にすることで、スイッチ操作によりキャリアなどを載置
するテーブルを含む移載手段による移載動作を、作業者
の負担なく、迅速かつ正確に実施できる手押し台車を得
ることを目的とする。

【００２０】また、この発明は作業者にＩＤタグの内容
を見易くすることによって、誤った行き先の製造装置等
へキャリアを搬送したり、行き先の異なる製造装置へそ
のキャリアを移載するのを未然に防止でき、これにより
移載作業効率の向上とキャリア内のウェーハなどの製造
上の歩留りを向上できる手押し台車を得ることを目的と
する。

【００２１】

【課題を解決するための手段】前記目的達成のため、請
求項１の発明にかかる手押し台車は、処理装置の給電端
子に接続されて電力の供給を受ける受電端子を設けたも
のである。

【００２２】また、請求項２の発明にかかる手押し台車
は、前記処理装置に対して位置決めを行う位置決め手段
を設けたものである。

【００２３】また、請求項３の発明にかかる手押し台車
は、前記被移載物を載置するテーブルおよび該テーブル
を昇降するモータを設けたものである。

【００２４】また、請求項４の発明にかかる手押し台車
は、前記処理装置側の送信器から送信される被移載物の
搬送先データを受信する受信器を設け、該受信器により
受信された搬送先データを表示器に表示させるようにし
たものである。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の一形態を
図について説明する。図１はこの発明の手押し台車を示
す斜視図であり、全体形状は基本的に図１０に示したも
のと同一である。しかし、この図１において、手押し台
車１１の基板１１ａ端および処理装置としての製造装置
１５の切欠部２１には、それぞれ図２に示すような絶縁
部材からなる位置決め板１８Ａ，２０Ａが取り付けられ
ている。そして、位置決め板１８Ａには、前記同様の２
つの位置決め孔１７のほかに、受電端子としての２つの
（一対の）電極４１，４２が設けられ、これらの電極４
１，４２は後述の制御回路に導かれている。

【００２６】また、他方の位置決め板２０Ａには、前記
同様の２つの位置決めピン１９のほかに、給電端子とし
ての２つの（一対の）電極４３，４４が設けられてい
る。なお、これらの位置決め手段としての位置決めピン
１９は、位置決め手段としての位置決め孔１７に対向す
る位置にあり、また、電極４１，４２は電極４３，４４
に対向する位置にあって、それぞれが嵌合可能および接
触可能とされている。

【００２７】図３および図４は前記電極４１，４２の構
成例を示す断面図である。このうち、図３は、銅，銀，
真ちゅうなどからなるキャップ部材５１内の中心部に突
設したピン５２を、位置決め板１８Ａに対し抜け止め可
能に貫通し、そのキャップ部材５１と位置決め板１８Ａ
との間に圧縮ばね５３を介在したものからなる。従っ
て、これらの電極４１，４２を他方の位置決め板２０Ａ
上の電極４３，４４に接触するように押圧したとき、前
記圧縮ばね５３が収縮することで、各電極４１，４２の
電極４３，４４に対する接触が密にかつ安定的に行われ
る。なお、前記ピン５２の位置決め板１８Ａからの突出
端に、前記制御回路へのリード線５４端が接続されてい
る。

【００２８】また、図４はリン青銅，銅などやこれらに
金や銀のメッキを施したＵ字板ばね６１の一端を、位置
決め板１８Ａに貫通固着したピン６２の一端に固定した
ものからなり、その位置決め板１８Ａからのピン６２の
突出端に、リード線６３が接続されている。これによっ
ても、電極４１，４２たるＵ字板ばね６１を電極４３，
４４に接触するように押圧したとき、そのＵ字板ばね６
１自身の弾発力を受けて、これらが密にかつ安定的に接
触することとなる。

【００２９】また、図１において、７１はテーブル１２
の上昇スイッチ、７２はテーブル１２の下降スイッチ、
７３は図１５に示すような移載装置３５を作動するため
の移載積みスイッチ、７４は移載降しスイッチである。
また、図示しないが、前記手押し台車１１の内部には、
前記電極４１，４２にリード線５４を介して接続され
て、前記テーブル１２昇降用のモータ，キャリア移載用
の他のモータあるいはグリップ手段などを制御する制御
装置（図示しない）が、前記各モータやグリップ手段と
ともに設けられている。

【００３０】図５は手押し台車１１側に設けられた電気
回路を示し、８１は前記手押し台車１１内に設けられた
制御装置、８２は前記テーブル１２を昇降駆動するため
のモータ、８３は前記キャリア移載装置用の他のモータ
である。これらのモータ８２，８３は前記電極４１，４
２間に印加される電源電圧を、前記上昇スイッチ７１お
よび下降スイッチ７２の操作や、移載積みスイッチ７３
および移載降しスイッチ７４の操作によって切り換える
ことで、前記制御装置８１の制御のもとで、選択的に正
転駆動または逆転駆動される。

【００３１】従って、かかる構成になる手押し台車１１
では、テーブル１２上にある図１に示すようなキャリア
３４を、製造装置１５の載置台１６上に移す場合には、
まず、作業者は手押し台車１１を、把手部１３を手で掴
むことにより押し、製造装置１５の前に近づける。そし
て、その手押し台車１１の基板１１ａ端を製造装置１５
下部の切欠部２１内に挿入し、その基板１１ａ端の位置
決め板１８Ｂに設けた位置決め孔１７に、製造装置１５
下部の位置決め板２０Ｂに設けた位置決めピン１９を挿
入させる。

【００３２】この挿入操作によって、手押し台車１１の
製造装置１５に対する位置決めがなされ、このとき位置
決め板１８Ａ上の電極４１，４２が位置決め板２０Ａ上
の電極４３，４４にそれぞれ密に接触する。このため、
クリーンルームの床に固定された製造装置１５側の電源
から、手押し台車１１内の制御装置８１に電力が供給さ
れる。ここで、作業者が前記上昇スイッチ７１または下
降スイッチ７２のいずれかを操作することで、モータ８
２を正転または逆転駆動することができ、手押し台車１
１のテーブル１２を所定レベルに昇降可能にし、そのテ
ーブル１２をキャリア３４の移載に適する高さまで移動
させることができる。

【００３３】また、移載積みスイッチ７３または移載降
しスイッチ７４のいずれかを操作することで、モータ８
３を正転または逆転駆動することにより、図１５に示す
ようなスライド部３５ｂを作動するとともに、グリップ
部３５ｃによるキャリア３４の持ち上げおよび積み降し
を実現できる。なお、このキャリア３４の持ち上げおよ
び積み降しは、電磁力等を利用する別の駆動源（動力
源）を用いて実施することは任意である。また、前記移
載動作をモニタする表示部を手押し台車側に設けること
も任意である。

【００３４】なお、前記実施の形態では、製造装置１５
から、電極４３，４４と電極４１，４２との接触により
電力の供給を受けるものを示したが、図６に示すよう
に、手押し台車１１側の位置決め板１８Ｂにコイル９１
ａを巻装したコア９１ｂを有する、受電手段としての電
磁誘導部９１を設け、他の位置決め板２０Ｂにコイル９
２ａを巻装したコア９２ｂを有する、給電手段としての
電磁誘導部９２を設けることで、非接触状態にて、製造
装置１５側から手押し台車１１側の制御装置８１へ電源
電力を供給することが可能になる。この場合において、
各電磁誘導部９１，９２を小形化するために、給電周波
数を例えば１０ＫＨｚに上げるようにしてもよい。その
際には、地上側に周波数変換のためのインバータが設置
される。

【００３５】また、手押し台車１１にバッテリを積んで
もよく、この場合には、地上からの前記のような給電の
際に、このバッテリに充電を行えるようにする。

【００３６】また、図７はこの発明の手押し台車に設け
られる行き先表示器能を持った制御装置のブロック図で
あり、同図において、１１１は図８に示すような手押し
台車１１Ａおよびこの手押し台車１１Ａに対し昇降自在
なテーブル１２ａ，１２ｂに取り付けられる前記の制御
装置である。この制御装置１１１は、送信器１１２およ
び受信器１１３と、これらの送信器１１２および受信器
１１３による送受信を制御する制御部１１４と、この制
御部１１４の制御下で送受信データを記憶するメモリ１
１５と、その制御部１１４の制御下で送受信の内容、特
に、手押し台車１１Ａの行き先の製造装置などを表示す
る表示器１１６と、バッテリやＡＣ電源などの電源１１
７とを有する。

【００３７】そして、前記受信器１１３および送信器１
１２は、図８に示すように、各テーブル１２ａ，１２ｂ
上であって、各キャリア３４に取り付けられたＩＤタグ
３７に対向する位置に設置されている。また、前記表示
器１１６は手押し台車１１Ａの把手部１３付近であっ
て、作業者が目視し易い位置に所定の角度をつけて配置
されている。従って、制御装置１１１の受信器１１３
は、キャリア３４に取り付けられた、図１６に示すよう
なＩＤタグ３７中の送信器１０２から、このキャリア３
４の行き先情報を受信し、これを制御部１１４の制御の
もとで、表示器１１６に表示可能にしている。なお、制
御装置１１１の送信器１１２からは、前記ＩＤタグ３７
が必要とする情報を受信器１０１を通じて、ＩＤタグ３
７内へ送出する。

【００３８】かかる構成になる手押し台車では、手押し
台車１１Ａを用いて、被移載物としてのウェーハを収容
したキャリア３４製造装置１５へ移載しようとする場合
には、まず、上下２段のテーブル１２ａ，１２ｂ上の所
定位置にキャリア３４を載せ、作業者がこの手押し台車
１１Ａを、把手部１３を手で掴んで製造装置１５方向へ
運搬する。

【００３９】このとき、前記キャリア３４に取り付けら
れたＩＤタグ３７が、各テーブル１２ａ，１２ｂ上の送
信器１１２および受信器１１３に臨み、そのＩＤタグ３
７の送信器１０２から送信されるキャリア３４の行き先
情報が、受信器１１３により受信される。このため、こ
の受信器１１３で受信された行き先情報は、制御部１１
４の制御下で、手押し台車１１Ａに設けられた前記表示
器１１６に表示される。これにより、作業者はその表示
された特定の行き先の製造装置１５へ、手押し台車１１
Ａを運搬して、この手押し台車１１Ａのテーブル１２
ａ，１２ｂ上に設置されたキャリア３４を、このテーブ
ル１２ａ，１２ｂの昇降調節を行うとともに、図１３に
示すような移載装置３５を利用することにより、前記載
置台１６の所定位置に正しく移載できる。

【００４０】従って、前記のように、ＩＤタグ３７が手
押し台車１１Ａの一部や把手部１３の陰に隠れるよう
に、キャリア３４が各テーブル１２ａ，１２ｂ上に設置
された場合にも、そのＩＤタグ３７に記録された内容、
特に、このキャリア３４の行き先を、作業者が見易い位
置にある表示器１１６にて看取でき、その行き先の判断
ミスや思い違いを確実に防止できることとなる。

【００４１】

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、クリ
ーンルーム中で手動により搬送されて、被移載物を処理
装置へ移載する手押し台車において、前記処理装置の給
電端子に接続されて電力の供給を受ける受電端子を設け
たので、製造装置などの処理装置から電源の供給を受け
ることで、手押し台車側でのスイッチ操作のみで、キャ
リアなどを載置するテーブルを含む移載手段による移載
動作を、作業者の負担なく、迅速かつ正確に実施できる
という効果が得られる。また、前記処理装置に対して位
置決めを行う位置決め手段を設けたことにより、手押し
台車の処理装置に対する位置決めと同時に、手押し台車
側への電力供給を同時かつ確実に行え、従って被移載物
の移載作業を作業者の人力に頼ることなく、自動的に、
迅速かつ軽快に実施できるという効果が得られる。

【００４２】さらに、前記被移載物を載置するテーブル
および該テーブルを昇降するモータを設けたことによ
り、人力では持ち上げたり降したりすることが困難なテ
ーブル上の重量のキャリア等を、軽快かつ自動的に正規
の高さへ移動できるという利点が得られる。また、前記
処理装置側の送信器から送信される被移載物の搬送先デ
ータを受信する受信器を設け、該受信器により受信され
た搬送先データを表示器に表示させるようにしたことに
よって作業者は手押し台車を押しながら、その手押し台
車上の被移載物の行き先を誤りなく確認でき、従って、
手押し台車から処理装置への移載ミスを確実に回避でき
るという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の実施の一形態による手押し台車を
示す斜視図である。

【図２】 この発明における位置決め手段および給電，
受電端子を示す要部の斜視図である。

【図３】 図２に示す受電端子の構造例を示す断面図で
ある。

【図４】 図２に示す受電端子の他の構造例を示す断面
図である。

【図５】 図１における手押し台車側の電気回路を示す
ブロック図である。

【図６】 この発明における他の位置決め手段および給
電，受電手段を示す要部の斜視図である。

【図７】 この発明における手押し台車側の制御装置を
示すブロック図である。

【図８】 この発明の手押し台車の他の形態を示す側面
図である。

【図９】 従来の一般的なクリーンルームにおける移載
物搬送システムを示す説明図である。

【図１０】 従来の手押し台車を示す斜視図である。

【図１１】 図９における位置決め手段を示す要部の斜
視図である。

【図１２】 図９における他の位置決め手段を示す要部
の斜視図である。

【図１３】 図９におけるテーブルの昇降機構を示す要
部の概念図である。

【図１４】 図９におけるテーブルの他の昇降機構を示
す要部の概念図である。

【図１５】 図９におけるキャリアの移載装置を示す概
念図である。

【図１６】 図１０に示すＩＤタグを示すブロック図で
ある。

【図１７】 従来の他の手押し台車を示す側面図であ
る。

【符号の説明】

１１，１１Ａ 手押し台車 １２，１２ａ，１２ｂ テーブル １５ 製造装置（処理装置） １７ 位置決め孔（位置決め手段） １９ 位置決めピン（位置決め手段） ３４ キャリア（被移載物） ３５ 移載装置（移載手段） ４１，４２ 電極（受電端子） ４３，４４ 電極（給電端子） １１３ 受信器 １１６ 表示器

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｂ６２Ｂ 3/00 Ｄ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 クリーンルーム中で手動により搬送され
   て、被移載物を処理装置へ移載する手押し台車におい
   て、 前記処理装置の給電端子に接続されて電力の供給を受け
   る受電端子が設けられていることを特徴とする手押し台
   車。
2. 【請求項２】 前記処理装置に対して位置決めを行う位
   置決め手段が設けられていることを特徴とする請求項１
   に記載の手押し台車。
3. 【請求項３】 前記被移載物を載置するテーブルおよび
   該テーブルを昇降するモータが設けられていることを特
   徴とする請求項１に記載の手押し台車。
4. 【請求項４】 前記処理装置側の送信器から送信される
   被移載物の搬送先データを受信する受信器と、 該受信器により受信された搬送先データを表示する表示
   器とが設けられていることを特徴とする請求項１に記載
   に手押し台車。