JPWO2015052998A1 - ストッカとストッカからの引出棚ユニットの出し入れ方法 - Google Patents
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Abstract
Description
前記棚の長手方向と平行に配置され、 かつ搬送装置が移動自在な搬送スペースと、
前記長手方向と水平面内で直角な方向に、ストッカから引き出すことと、ストッカ内に戻すこととが自在で、かつストッカ内に戻すと前記棚の一部となり物品を保管できる引出棚ユニットと、
前記引出棚ユニットを棚内に位置決めする位置決め部材、とを備え、
前記搬送スペースと前記棚とは、筐体状に外部から囲われて、ストッカ本体を構成し、
前記引出棚ユニットは物品を保管自在で、かつ引出棚ユニットをストッカから引き出すことにより、ストッカ内への通路が得られるように構成されていることを特徴とする。
長手方向と上下方向とに沿ってそれぞれ複数の物品を保管自在な棚と、
棚の長手方向と平行に配置され、 かつ搬送装置が移動自在な搬送スペースと、
前記長手方向と水平面内で直角な方向に、ストッカから引き出すことと、ストッカ内に戻すこととが自在で、ストッカ内に戻すと前記棚の一部となり、物品を保管自在な引出棚ユニットと、
引出棚ユニットを棚内に位置決めする位置決め部材、とを備え、
かつ、搬送スペースと棚とが、筐体状に外部から囲われてストッカ本体を構成する、
ストッカからの引出棚ユニットの出し入れ方法であって、
引出棚ユニットをストッカから引き出すことにより、ストッカ内への通路を形成するステップと、
引出棚ユニットをストッカ内に戻して位置決め部材により位置決めすることにより、搬送装置と引出棚ユニットとの間で物品を移載自在にするステップ、とを実行することを特徴とする。
・ 引出棚ユニット4は棚受14を備え、棚10の一部として物品を保管できる。
・ 引出棚ユニット4をキャスター車輪18を用いて引き出し、また棚10内に戻すことができる。
・ 引き出した引出棚ユニット4を、ヒンジ36により棚10の支柱40に連結すると、図2の白抜き矢印のように90°回転させて、搬送スペース6への通路を造ることができる。またヒンジ36により、引出棚ユニット4の可動範囲を制限できる。
・ 引出棚ユニット4を棚10内へ戻す際には、ガイドローラ20とガイド22とにより、引出棚ユニット4の左右方向位置を規制し、位置決めピン32と嵌合部材30とにより奥行き方向位置を位置決めできる。これによって、引出棚ユニット4に対し、搬送装置50が物品を移載自在となる。
・ 転倒防止部材28により、引出棚ユニット4が移動中に転倒することを防止できる。
なお位置決めピン32と嵌合部材30との嵌合が外れないようにロックする部材、あるいは引出棚ユニット4を棚10に固定する部材等を追加すると、奥行き方向に沿っての引出棚ユニット4の位置を、より確実に固定できる。
8,10 棚 12 ファンフィルタユニット 14 棚受
16 取手 18 キャスター車輪 20 ガイドローラ
22 ガイド 24,26 ヒンジ要素 28 転倒防止部材
30 嵌合部材 32 位置決めピン 36 ヒンジ
40,42 支柱 44,46 外板 50 搬送装置
52 台車 54 車輪 56 マスト 58 アーム
60 移載装置 61 孔 62 ピン 63 ヘッド
64 突起 65,68 ヒンジ片 66 嵌合孔
69 ヒンジ軸 70 ストッカ 72 引出棚ユニット
74 フレーム 76 ナットプレート 78 ジャッキ
80 スライド台車 82 フレーム 84 ガイド
86 スライドユニット 88 パイプ 90 キャスター車輪
92 位置決めピン 93 嵌合部材
前記棚の長手方向と平行に配置され、 かつ搬送装置が移動自在な搬送スペースと、
前記長手方向と水平面内で直角な方向に、ストッカから引き出すことと、ストッカ内に戻すこととが自在で、かつストッカ内に戻すと前記棚の一部となり物品を保管できる引出棚ユニットと、
前記引出棚ユニットを棚内に位置決めする位置決め部材、とを備え、
前記搬送スペースと前記棚とは、筐体状に外部から囲われて、ストッカ本体を構成し、
前記引出棚ユニットは物品を保管自在で、かつ引出棚ユニットをストッカから引き出すことにより、ストッカ内への通路が得られるように構成され、
ストッカから引き出した引出棚ユニットを、ストッカ本体に回動自在に係合する係合部材が設けられていることを特徴とする。
長手方向と上下方向とに沿ってそれぞれ複数の物品を保管自在な棚と、
棚の長手方向と平行に配置され、 かつ搬送装置が移動自在な搬送スペースと、
前記長手方向と水平面内で直角な方向に、ストッカから引き出すことと、ストッカ内に戻すこととが自在で、ストッカ内に戻すと前記棚の一部となり、物品を保管自在な引出棚ユニットと、
引出棚ユニットを棚内に位置決めする位置決め部材と、
ストッカから引き出した引出棚ユニットを、ストッカ本体に回動自在に係合する係合部材、とを備え、
かつ、搬送スペースと棚とが、筐体状に外部から囲われてストッカ本体を構成する、
ストッカからの引出棚ユニットの出し入れ方法であって、
引出棚ユニットをストッカから引き出し、係合部材によりストッカ本体に係合すると共に、回動させることにより、ストッカ内への通路を形成するステップと、
引出棚ユニットを上記と逆向きに回動させ、ストッカ本体との係合を解除し、かつストッカ内に戻して位置決め部材により位置決めすることにより、搬送装置と引出棚ユニットとの間で物品を移載自在にするステップ、とを実行することを特徴とする。
Claims (8)
- 長手方向と上下方向とに沿ってそれぞれ複数の物品を保管自在な棚を備える、ストッカであって、
前記棚の長手方向と平行に配置され、 かつ搬送装置が移動自在な搬送スペースと、
前記長手方向と水平面内で直角な方向に、ストッカから引き出すことと、ストッカ内に戻すこととが自在で、かつストッカ内に戻すと前記棚の一部となり物品を保管できる引出棚ユニットと、
前記引出棚ユニットを棚内に位置決めする位置決め部材、とを備え、
前記搬送スペースと前記棚とは、筐体状に外部から囲われて、ストッカ本体を構成し、
前記引出棚ユニットは物品を保管自在で、かつ引出棚ユニットをストッカから引き出すことにより、ストッカ内への通路が得られるように構成されていることを特徴とする、ストッカ。 - 引出棚ユニットは車輪を備えて自立していることを特徴とする、請求項1のストッカ。
- ストッカから引き出した引出棚ユニットを、ストッカ本体に係合する係合部材がさらに設けられていることを特徴とする、請求項1または2のストッカ。
- 前記係合部材はヒンジで有ることを特徴とする、請求項3のストッカ。
- 前記ヒンジは、ストッカ本体側に設けられている第1ヒンジ要素と、引出棚ユニット側に設けられている第2ヒンジ要素と、第1ヒンジ要素及び第2ヒンジ要素に挿通される着脱自在なピン、とから成り、
第1ヒンジ要素及び第2ヒンジ要素にピンが挿通されることより、引き出し棚ユニットをヒンジを中心に回動自在にすると共に、引出棚ユニットの可動範囲を制限するように構成されていることを特徴とする、請求項4のストッカ。 - 前記位置決め部材として、棚と引出棚ユニットの一方がガイドローラを、他方がガイドを備え、引出棚ユニットがストッカ内に戻されている際に、前記ガイドローラと前記ガイドとが接触して、前記長手方向に沿って引出棚ユニットを位置決めする、ように構成されていることを特徴とする、請求項1〜5のいずれかのストッカ。
- 前記位置決め部材として、棚と引出棚ユニットの一方が嵌合部材を、他方が位置決めピンを備え、引出棚ユニットがストッカ内に戻されている際に、前記嵌合部材に前記位置決めピンが嵌合して、前記長手方向とは水平面内で直角な方向に沿って、引出棚ユニットを位置決めする、ように構成されていることを特徴とする、請求項1〜6のいずれかのストッカ。
- 長手方向と上下方向とに沿ってそれぞれ複数の物品を保管自在な棚と、
棚の長手方向と平行に配置され、 かつ搬送装置が移動自在な搬送スペースと、
前記長手方向と水平面内で直角な方向に、ストッカから引き出すことと、ストッカ内に戻すこととが自在で、ストッカ内に戻すと前記棚の一部となり、物品を保管自在な引出棚ユニットと、
引出棚ユニットを棚内に位置決めする位置決め部材、とを備え、
かつ、搬送スペースと棚とが、筐体状に外部から囲われてストッカ本体を構成する、
ストッカからの引出棚ユニットの出し入れ方法であって、
引出棚ユニットをストッカから引き出すことにより、ストッカ内への通路を形成するステップと、
引出棚ユニットをストッカ内に戻して位置決め部材により位置決めすることにより、搬送装置と引出棚ユニットとの間で物品を移載自在にするステップ、とを実行することを特徴とする、ストッカからの引出棚ユニットの出し入れ方法。
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Citations (7)
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---|---|---|---|---|
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---|---|---|---|---|
JPS61222867A (ja) * | 1985-03-29 | 1986-10-03 | 昭和飛行機工業株式会社 | 航空機搭載用カ−トの拘束装置 |
JPH01109504U (ja) * | 1988-01-18 | 1989-07-25 | ||
JPH0717607A (ja) * | 1993-06-23 | 1995-01-20 | Daifuku Co Ltd | 台車集配装置 |
JPH08198407A (ja) * | 1995-01-27 | 1996-08-06 | Kumahira Safe Co Inc | ファイルフォルダの自動入出庫装置 |
JPH0955009A (ja) * | 1995-08-15 | 1997-02-25 | Sony Corp | カートリッジのオートチェンジャー |
JPH11255321A (ja) * | 1998-03-11 | 1999-09-21 | Shinko Electric Co Ltd | 手押し台車 |
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