TWI564229B - 物品搬送設備 - Google Patents
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Description
本發明係有關於一種物品搬送設備,該物品搬送設備設有行走軌道、物品載置體及支撐構件,該行走軌道係從頂部吊掛受到支撐,以引導物品搬送車者;該物品載置體係配置於前述行走軌道之橫側邊且為下方處,以載置支撐在與前述物品搬送車間移載之物品者;該支撐構件係以可調整位置至在與前述物品搬送車間移載物品之移載用位置與從該移載用位置退避至上方之退避位置的方式從前述頂部吊掛支撐前述物品載置體者。
上述之物品搬送設備設置於例如無塵室內,而用於將收納矽基板等基板之收納容器作為物品來搬送。
即,以經由對基板進行複數種處理之複數種處理之複數基板處理裝置之搬出搬入部之狀態配設行走軌道,物品搬送車可對複數基板處理裝置搬送物品。又,物品載置體用於暫時保管處理途中之物品。
亦即,由於物品載置體可利用行走軌道之橫側邊之空間,於行走軌道之長向之各處設複數個,故藉將處理途中之物品保管於下個應搬送之基板處理裝置附近之物品載置體,在使物品之搬送效率提高上有利。又,於不設物品載置體時,於將保管處理途中之物品之保管裝置設置於
地板面之際,需設龐大之保管裝置,而藉設物品載置體,可不需保管裝置或謀求保管裝置之小型化。
又,在物品搬送設備中,例如在無塵室中,為佈置之變更等而將基板處理裝置搬出搬入時,雖然位於頂部側但位於比行走軌道下方之物品載置體有造成基板處理裝置之搬送之妨礙等物品載置體造成妨礙之情形。此時,由於可使物品載置體從移載用位置變更位置至退避至上方之退避位置,故可避免物品載置體造成妨礙。
於日本專利公開公報2008-169005號(專利文獻1)揭示有此種物品搬送設備之一例,設於該物品搬送設備之物品載置體以在不載置物品之狀態下,可變更位置至移載用位置及退避位置之方式受到支撐。
亦即,在此專利文獻1中,以將複數連桿連結成彎折自如之連桿構件將物品載置體對頂部吊掛支撐。又,於使物品載置體位於移載用位置時,連桿構件形成為伸長成直線狀之姿勢,於使物品位於退避位置時,連桿機構在於物品載置體之上方重複之狀態下,形成為彎折姿勢。因此,於將物品載置體從移載用位置變更位置至退避位置時,於物品載置體之上方無法確保供物品存在之空間,結果,於使物品載置體位於退避位置時,無法將物品載置於物品載置體。
而且在專利文獻1,當使物品載置體位於退避位置時,物品載置體與頂部間之間隔小於使物品存在所需之間隔。從此點,於使物品載置體從移載用位置變更位置至
退避位置時,於物品載置體之上方亦無法確保供物品存在之空間,而於使物品載置體位於退避位置時,無法於物品載置體載置物品。
附帶一提,在專利文獻1中,另一實施形態記載有使用於上下方向滑動之滑動構件,使物品載置體變更位置至移載用位置與退避位置。即使使用此種滑動機構,仍使物品載置體位於退避位置時,由於物品載置體與頂部間之間隔小於使物品存在所需之間隔,故使物品載置體位於退避位置時,無法於物品載置體載置物品。
產生使物品載置體從移載用位置退避至退避位置之必要時,有於退避之物品載置體載置有物品之情形。在此時,在習知之物品搬送設備中,由於首先以手動作業將物品從物品載置體去除,之後,使物品載置體變更位置至退避位置,故將物品載置體變更位置至移載用位置與退避位置之作業形成為繁雜之作業。
而且使物品載置體從退避位置返回移載用位置時,需以手動作業使已去除之物品返回與去除前相同之狀態,從此點,將物品載置體變更位置至移載用位置與退避位置之作業亦形成為繁雜之作業。
附帶一提,由於一般搬送之物品之位置以管理物品搬送設備之管理機構管理,故使已去除之物品返回物品載置體時,需正確地返回與去除前相同之位置。
然而,在諸如將複數物品載置體同時地退避至退避位置時等,亦有產生使已去除之物品返回之位置與去除前不
同之錯誤而導致無法適當地進行搬送之物品之位置管理的狀態之虞。
鑑於上述背景,期望可謀求將載置有物品之物品載置體變更位置至移載用位置與退避位置之作業之簡單化的物品搬送設備之實現。
本發明之物品搬送設備包含有以下:行走軌道,係從頂部吊掛受到支撐,以引導物品搬送車者;物品載置體,係配置於前述行走軌道之橫側邊且為下方處,以載置支撐在與前述物品搬送車間移載之物品者;及支撐構件,係以可調整位置至在與前述物品搬送車間移載物品之移載用位置與從該移載用位置退避至上方之退避位置的方式從前述頂部吊掛支撐前述物品載置體者;在此,前述支撐構件構造成可將載置有物品之狀態之前述物品載置體變更位置至前述移載用位置與前述退避位置。
即,由於物品載置體以在載置物品之狀態下可變更位置至移載用位置與退避位置之方式支撐,故使物品載置體從移載用位置移動至退避位置之際,即使於物品載置體載置有物品,亦可使物品載置體直接從移載用位置移
動至退避位置,又,可使物品載置體從退避位置返回移載用位置。
附帶一提,載置有物品之物品載置體可變更位置至移載用位置與退避位置之狀態係指使物品載置體從移載用位置變更位置至退避位置之途中,以及在退避位置,維持物品載置體載置物品之姿勢,且於物品載置體之上方確保供物品存在之空間的狀態。
如此,由於使物品載置體從移載用位置變更位置至退避位置之際,即使於物品載置體載置有物品,亦可使物品載置體直接從移載用位置移動至退避位置,且可使物品載置體從退避位置返回移載用位置,故可謀求將物品載置體變更位置至移載用位置與退避位置之作業之簡單化。
總而言之,根據上述結構,可提供可謀求將載置有物品之物品載置體變更位置至移載用位置與退避位置之作業之簡單化的物品搬送設備。
在本發明之物品搬送設備之實施形態中,前述支撐構件宜將前述物品載置體支撐成在前述退避位置從前述行走軌道往橫側邊之拉開間隔距離較前述移載用位置長,俾使位於前述退避位置之前述物品載置體與在前述行走軌道行走之前述物品搬送車不抵接干擾。
根據上述結構,由於為避免物品載置體位於退避位置時,與在行走軌道行走之物品搬送車之抵接干擾,而可以以在退避位置對行走軌道於橫側邊較移載用位置大幅拉開間隔之形態變更位置之方式受到支撐,故退避位置之
物品載置體不致與在行走軌道行走之物品搬送車抵接干擾。
亦即,使物品載置體變更位置至退避位置時係指例如在無塵室中為佈置之變更等而將基板處理裝置搬出搬入時。此時,物品之搬送作業停止,在使物品載置體位於退避位置之狀態下,雖不需使物品搬送車為物品之搬送而行走,但有在使物品載置體位於退避位置之狀態下,期望使物品搬送車行走至對佈置之變更作業不造成妨礙之退避處等使物品搬送車行走之情形。此時,根據上述結構,可使物品搬送車不與退避位置之物品載置體抵接下,良好地行走。
總而言之,根據上述結構,可提供在物品載置體變更位置至退避位置之狀態下亦可使物品搬送車良好地行走之物品搬送設備。
在本發明之物品搬送設備之實施形態中,前述支撐構件宜將前述物品載置體以可滑動移動之方式支撐成隨著從前述移載用位置上升至前述退避位置,從前述行走軌道往橫側邊之拉開間隔距離越長。
即,藉使物品載置體從移載用位置以直線狀滑動移動至退避位置,可使物品載置體在退避位置對行走軌道於橫側邊較移載用位置大幅拉開間隔。又,藉使物品載置體從退避位置以直線狀滑動移動至退避位置,可使物品載置體從退避位置返回移載用位置。
亦即,藉使物品載置體在退避位置對行走軌道於橫側
邊較移載用位置大幅拉開間隔,並且僅以使物品載置體以直線狀滑動移動之簡單操作進行在移載用位置與退避位置間之物品載置體的位置變更。
加以說明,舉例言之,考慮如下述之結構,前述結構係使移載用位置之物品載置體首先沿著行走軌道之寬度方向於從行走軌道拉開間隔之方向移動,之後,朝退避位置移動至上方等,藉組合在行走軌道之寬度方向之移動與往上方之移動的2階段移動,可使物品載置體從移載用位置變更位置至對行走軌道於側邊較該移載用位置大幅拉開間隔之退避位置,又,同樣地,從退避位置返回移載用位置。在此種結構中,由於組合2階段之移動,使物品載置體在移載用位置與退避位置間變更位置,故物品載置體之移動操作繁雜。
對此,根據上述結構,由於藉使物品載置體僅以直線狀滑動移動,可使物品載置體在移載用位置與退避位置間變更位置,故可謀求物品載置體之移動操作之簡單化。
總而言之,根據上述結構,可提供可謀求物品載置體之移動操作之簡單化的物品搬送設備。
在本發明之物品搬送設備之實施形態中,複數前述物品載置體宜沿著前述行走軌道之長向排列而設於沿著前述行走軌道之長向之長形物品載置台,於在前述物品載置台之前述行走軌道之長向之兩端部分別裝備朝上方突出之下框,前述支撐構件具有可升降地對吊掛支撐於前述頂部之上框分別引導一對前述下框之滑動軌道構件,前述滑
動軌道構件對前述上框引導前述下框,而隨著上升,從前述行走軌道往橫側邊之拉開間隔距離越長。
即,可將裝備於沿著行走軌道之長向之長形物品載置台之下框對吊掛支撐於頂部之上框以越上升對行走軌道越於橫側邊大幅拉開間隔之形態藉滑動軌道構件支撐成可升降。藉此,可將以沿著行走軌道之長向排列之狀態而設於物品載置台之複數物品載置體以從移載用位置越往上升至退避位置,對行走軌道於橫側邊越大幅拉開間隔之形態(即,以直線狀滑動移動之滑動移動形態)支撐成可變更位置。因此,藉使物品載置台沿著滑動軌道構件升降,可使複數物品載置體一舉(即,以1個動作)變更位置至移載用位置與退避位置。
而且,由於裝備於物品載置台之兩端之下框分別支撐於吊掛支撐於頂部之上框,亦即,由於沿著行走軌道之長向之長形物品載置台之兩端支撐成可升降,故為使複數物品載置體變更位置至移載用位置與退避位置而升降之物品載置台之姿勢穩定。是故,設於該物品載置台之複數物品載置體之姿勢穩定,使物品載置體變更位置至移載用位置與退避位置之際,可避免載置支撐於物品載置體之物品之姿勢不穩。
總而言之,根據上述結構,可提供可使複數物品載置體一舉變更位置至移載用位置與退避位置,而且於使物品載置體變更位置至移載用位置與退避位置之際,可避免載置支撐於物品載置體之物品之姿勢不穩的物品搬送設
備。
在本發明之物品搬送設備之實施形態中,宜設有連動構件,該連動構件係使顯示前述物品載置體之識別資訊之顯示體的位置連動於前述物品載置體之位置變更而變更至裝備於前述物品搬送車之識別資訊檢測感測器可檢測之被檢測位置與前述識別資訊檢測感測器無法檢測之無法檢測位置者,前述連動構件使前述顯示體之位置連動於前述物品載置體之位置變更,而於前述物品載置體位於前述移載用位置時,於前述被檢測位置配置前述顯示體,且於前述物品載置體位於前述退避位置時,於前述無法檢測位置配置前述顯示體。
即,物品載置體位於移載用位置時,形成為顯示物品載置體之識別資訊之顯示體配置於被檢測位置的狀態。此時,由於裝備於物品搬送車之識別資訊檢測感測器可檢測顯示體顯示之識別資訊,故依據該識別資訊,可判別物品載置體是否為移載對象之物品載置體。
物品載置體位於退避位置時,形成為顯示體配置於無法檢測位置之狀態。此時,由於裝備於物品搬送車之識別資訊檢測感測器無法檢測顯示體顯示之識別資訊,故視為移載對象之物品載置體不存在之狀態,而可停止物品之錯誤之移載。
亦即,可連動於物品載置體之位置變更,而將顯示體變更位置至被檢測位置與無法檢測位置,而於物品載置體位於移載用位置時,於被檢測位置配置顯示體,且於
物品載置體位於退避位置時,於無法檢測位置配置顯示體。因此,物品載置體位於退避位置時,即使有對物品搬送車指示對該物品載置體之物品之移載的情形時,由於識別資訊檢測感測器無法檢測對應於該物品載置體之顯示體顯示的識別資訊,故可避免對退避位置之物品載置體誤進行物品之移載。
因而,使物品載置體變更位置至退避位置,例如在無塵室,為佈置之變更等而進行搬出搬入基板處理裝置後,忘記使物品載置體返回移載用位置時等,可避免對退避位置之物品載置體誤進行物品之移載。
總而言之,根據上述結構,可提供可避免對退避位置之物品載置體誤進行物品之移載的物品搬送設備。
在本發明之物品搬送設備之實施形態中,前述退避位置宜設定於位於該退避位置之前述物品載置體與前述頂部間之間隔為前述物品之高度以上的位置,前述支撐構件配置於相對在前述移載用位置與前述退避位置間移動之前述物品載置體,從上方觀看不重複之位置。
圖1係顯示物品搬送設備之立體圖。
圖2係該設備之正面圖。
圖3係使物品載置台退避之狀態之正面圖。
圖4係顯示物品載置台之裝設部之立體圖。
圖5係顯示物品載置台之支撐構件之分解立體圖。
圖6係另一實施形態之正面圖。
接著,依據圖式,說明本發明之實施形態。
如圖1及圖2所示,引導物品搬送車A之行走軌道L以從頂部T吊掛而受到支撐之狀態而設,用以載置支撐在與物品搬送車A間移載之物品B之物品載置體U以從頂部T吊掛而受到支撐之狀態設於行走軌道L之橫側邊且為下方處。在本實施形態中,物品載置體U分別設於行走軌道L之兩側之橫側邊。物品搬送車A將搬送之物品B遞交至物品載置體U來保管,且取出保管於物品載置體U之物品B來搬送。具有該等行走軌道L、物品載置體U、及物品搬送車A而構成物品搬送設備。
本實施形態之物品搬送設備係在無塵室中,將收納矽基板等基板之收納容器(FOUP)作為物品B來搬送之設備。雖省略圖示,行走軌道L以經由複數基板處理裝置之物品搬出搬入部之狀態配設,物品搬送車A構造成對複數基板處理裝置搬送物品B。又,物品B構造成暫時保管於物品載置體U。
行走軌道L藉軌道用支撐體1以從頂部T吊掛之狀態設置。
在本實施形態中,行走軌道L具有隔著間隔而於左右方向排列之左右一對行走軌道部2,左右一對行走軌道部2以藉軌道用支撐體1從頂部T吊掛之狀態設置。在此所指之「左右方向」係垂直相交於行走軌道L之長向之水平方向。
如圖2所示,物品搬送車A具有在行走軌道L上行走之行走部A1、位於行走軌道L之下方之車體本體部A2,車體本體部A2以位於左右一對行走軌道2間之連結軸3吊掛支撐於行走部A1。
車體本體部A2於側面觀看形狀為倒U字形之蓋體4內部之上方處具有將物品B以吊掛狀態握持的握持部5。握持部5裝備成可升降驅動以及沿著橫向橫向滑動驅動,藉握持部5之升降移動及橫向滑動移動,物品搬送車A構造成在與物品載置體U或基板處理裝置之物品搬出搬入部間移載物品B。
就在與物品載置體U間之物品B之移載加以說明。將物品B遞交至物品載置體U時,使握持有物品B之握持部5朝橫外側邊滑動移動,同時使其下降後,解除物品B之握持。之後,使握持部5上升,同時使其滑動移動至車體內側,使握持部5返回蓋體4之內部處。
又,從物品載置體U收取物品B時,使握持部5朝橫外側邊滑動移動,同時使其下降後,握持物品B。之後,使握持有物品B之握持部5上升,同時使其滑動移動至車體內側,使握持部5返回蓋體4之內部處。
物品載置體U以以可調整位置至在與物品搬送車A間收受物品B之移載用位置(參照圖2)與從該移載用位置退避至上方之退避位置(參照圖3)之方式支撐的狀態而設。退避位置設定於可避免在行走軌道L行走之物品搬送車A及以該物品搬送車A搬送之物品B之抵接的位置。是故,
在使物品載置體U位於退避位置之狀態下,使物品搬送車A行走至不對佈置之變更作業造成妨礙之退避處等使物品搬送車A行走時,可使物品搬送車A在不與退避位置之物品載置體U抵接下,良好地行走。在本實施形態中,移載用位置亦設定於可避免在行走軌道L行走之物品搬送車A及以該物品搬送車A搬送之物品B的抵接之位置。
在本實施形態中,對頂部T吊掛支撐物品載置體U之支撐構件D構造成在載置有物品B之物品載置體U可變更位置至移載用位置與退避位置之狀態下,支撐物品載置體U。又,支撐構件D構造成以較移載用位置使退避位置於行走軌道L之橫側邊拉開間隔之狀態,支撐物品載置體U。即,退避位置設定於較移載用位置上方,且從行走軌道L往橫側邊之拉開間隔距離(物品載置體U與行走軌道L間之水平方向之距離)較移載用位置長的位置。又,退避位置設定於較頂部T下方且物品載置體U與頂部T間之間隔為物品B之高度以上之位置。
在本實施形態中,物品搬送車A構造成在將物品B支撐於比移載用位置之物品載置體U上方之狀態下搬送。因此,可將移載用位置之物品載置體U以在平面觀看靠近物品搬送車A通過之空間或突出至該空間內之狀態而設,結果,於移載物品B之際,可減少於行走軌道L之寬度方向移動物品B之量,而可以良好效率進行物品B之移載。
就支撐構件D加以說明。如圖4所示,設從頂部T以吊掛支撐體7吊掛支撐之左右一對上框8,對此左右一對
上框8,下框9分別以滑動式軌道構件10可升降地引導。左右一對上框8設成隔著間隔於左右方向排列。在此所指之「左右方向」係指平行於行走軌道L之長向之水平方向。
又,如圖2及圖3所示,滑動式軌道構件10以越上方側對行走軌道L越位在橫側邊側之傾斜姿勢而設。是故,下框以軌道構件10引導成隨著朝上方側,從行走軌道L往橫側邊之拉開間隔距離越長。如此,在本實施形態中,支撐構件D具有上框8、下框9、及軌道構件10。支撐構件D之結構係可滑動移動地支撐物品載置體U,而隨著從移載用位置上升至退避位置,從行走軌道L往橫側邊之拉開間隔距離越長,藉此,可僅以使物品載置體U以直線狀滑動移動之簡單操作進行在移載用位置與退避位置間之物品載置體U的位置變更,而可謀求物品載置體U之移動操作之簡單化。
軌道構件10具有至少2個軌道。在本實施形態中,軌道構件10由分別安裝於上框8及下框9之固定軌道10A、以滑動自如之方式結合該等固定軌道10A之中間軌道10B之3個軌道構成。
如圖5所示,於上框8之下端部設有一對上框側抵接體11。又,於下框9之上端部設有以上框側抵接體11之抵接限制下框9之下降範圍的一對下降限度限制用抵接體12。又,於下框9之下端部設有以上框側抵接體11之抵接限制下框9之上升範圍之一對上升限度限制用抵接體13。而構造成藉該等抵接體11、12、13,限制下框9對上框8之升降範圍。
又,構造成如圖2所示,於下框9位於下降限度時,亦即,形成為下降限度限制用抵接體12抵接上框側抵接體11之狀態時,物品載置體U在移載用位置,如圖3所示,於下框9位於上升限度時,亦即,形成為上升限度限制用抵接體13抵接上框側抵接體11之狀態時,物品載置體U在退避位置。
附帶一提,如圖4及圖5所示,構造成於將物品載置體U保持於退避位置時,使螺進移動自如地螺合於一對上框側抵接體11中之其中一上框側抵接體11之定位銷14嵌合於形成於下框9的定位孔15,而限制下框9之下降。
在本實施形態中,如圖1及圖4所示,複數(具體為3個)物品載置體U以於行走軌道L之長向排列之狀態裝備於物品載置台E,上述下框9以突出至上方之姿勢分別裝備於此物品載置台E之兩端部。因此,可使複數物品載置體U一舉(即以1個動作)變更位置至移載用位置與退避位置。
具體言之,承接框17以螺栓連結於左右一對下框9之各下端部,於行走軌道L之長向延伸之一對長框18以於行走軌道L之寬度方向排列之狀態,將其兩端部載置支撐於承接框17。將一對長框18作為主要部而構成物品載置台E。
又,3個物品載置體U以以一對長框18載置支撐之狀態,於行走軌道L之長向排列而設。
物品載置體U以在載置物品B之狀態下,可變更位置至移載用位置與退避位置之方式支撐。此時,在本實施形態中,由於沿著行走軌道L之長向之長形物品載置台E
之兩端支撐成可升降,故為使複數物品載置體U變更位置至移載用位置與退避位置而升降之物品載置台E之姿勢穩定。是故,設於該物品載置台E之複數物品載置體U之姿勢穩定,使物品載置體U變更位置至移載用位置與退避位置之際,可避免載置支撐於物品載置體U之物品之姿勢不穩。又,支撐構件D配置於相對在移載用位置與退避位置間移動之物品載置體U,從上方觀看不重複之位置。具體言之,支撐構件D具有之上框8、下框9及軌道構件10分別配置於在行走軌道L之長向與物品載置體U不同之位置。又,如上述,退避位置設定於較頂部T下方,且物品載置體U與頂部T之間之間隔為物品B之高度以上的位置。是故,物品載置體U位於退避位置時,亦可確保使物品B存在於各物品載置體U之上方之空間。如此,支撐構件D構造成在載置有物品B之物品載置體U可變更位置至移載用位置與退避位置之狀態下,支撐物品載置體U。
如圖1及圖4所示,恆壓彈簧(CONSTON)19以捲繞部19A位於上框8之狀態配設於上框8與下框9間。
因而,構造成可以小操作力輕鬆地進行具有3個物品載置體U之物品載置台E之升降。
於物品搬送車A裝備有於檢測物品載置體U是否存在物品B之物品存在與否檢測感測器21、及檢測各物品載置體U之識別資訊之識別資訊檢測感測器22。
物品存在與否檢測感測器21使用檢測設於各物品載置體U之相當載置面處之光反射體23的反射式光感測器而構
成。
識別資訊檢測感測器22構造成檢測顯示於於上方與各物品載置體U拉開距離之處之顯示體24的識別資訊(例如二維碼)。
即,物品搬送車A構造成於對各物品載置體U移載物品B時,以識別資訊檢測感測器22檢測以顯示體24顯示之識別資訊,以確認是否為移載物品B之移載對象之物品載置體U。又,物品搬送車A構造成依據物品存在與否檢測感測器21之資訊,確認是否於移載對象之物品載置體U載置有物品B。
顯示體24設成連動於物品載置體U之位置變更,而變更位置至被檢測位置與無法檢測位置,而於物品載置體U位於移載用位置時,配置於識別資訊檢測感測器22可檢測之被檢測位置,且於物品載置體U位於退避位置時,配置於識別資訊檢測感測器22無法檢測之無法檢測位置。此種顯示體24之位置與物品載置體U之位置之連動在本實施形態中可以連動構件M實現。
加以說明,如圖1及圖4所示,設有支撐對應於3個物品載置體U之3個顯示體24之長形支撐框25。又,如圖4及圖5所示,接住支撐框25之兩端部之一對承接體26為使顯示體24變更位置至被檢測位置與無法檢測位置,而以分別設於一對上框8之引導軌道27支撐成可在一定範圍升降。
如圖5所示,鎖固銷29以滑動自如地支撐於連結於支撐框25之支撐托架30之狀態而設。鎖固銷29於承接體
26位於升降範圍之最下降位置時,卡合於上框8之定位孔28。又,於該支撐托架30裝備有滑動操作鎖固銷29之搖動桿31。
亦即,於承接體26位於升降範圍之最下降位置時,顯示體24配置於被檢測位置。此時,構造成藉使鎖固銷29卡合於定位孔28,顯示體24保持於被檢測位置。
又,如圖3及圖5所示,構造成物品載置體U從移載用位置移動至退避位置之際,按壓以承接體26之一部份形成之被抵接體32而使承接體26上升之按壓體33裝設於下框9,當為使物品載置體U從移載位置移動至退避位置而使下框9上升時,支撐顯示體24之支撐框25可上升。如此,在本實施形態中,連動構件M具有承接體26、引導軌道27及按壓體33。
亦即,構造成為了使物品載置體U從移載位置移動至退避位置,而使下框9上升至最上升位置時,顯示體24在無法檢測位置,又,如上述,以定位銷14保持上升至最上升位置之下框9而限制下框9之下降,藉此,顯示體24可保持於無法檢測位置。
因而,顯示體24構造成為使物品載置體U從移載位置移動至退避位置,而隨著使下框9上升至最上升位置,從被檢測位置上升操作至無法檢測位置,且為使物品載置體U從退避位置移動至移載用位置,而隨著使下框9下降,落下移動至被檢測位置。
此外,為使物品載置體U從移載用位置移動至退避位置
而使下框9上升至最上升位置時,使鎖固銷29從定位孔28脫離。又,為使物品載置體U從退避位置移動至移載用位置而使下框9下降後,使鎖固銷29卡合於定位孔28。
如以上,本實施形態之物品搬送設備由於物品載置體U以可變更位置至移載用位置與退避位置之方式支撐,故為佈置之變更等而搬出搬入基板處理裝置之際,藉將物品載置體U變更位置至退避位置,可避免物品載置體U對基板處理裝置之搬送造成阻礙。
又,由於物品載置體U以在載置物品B之狀態下可變更位置至移載用位置與退避位置之方式支撐,故即使於物品載置體U載置有物品B,亦無去除物品B等之費工,而可將物品載置體U變更位置至退避位置。
又,連動於物品載置體U之移載用位置與退避位置之位置變更,顯示物品載置體U之識別資訊之顯示體24變更位置至被檢測位置及無法檢測位置。因此,物品載置體U位於移載用位置時,依據以識別資訊檢測感測器22檢測之識別資訊,可判別物品載置體U是否為移載對象之物品載置體,又,物品載置體U位於退避位置時,視為移載對象之物品載置體U不存在之狀態,而可停止物品B之錯誤之移載。亦即,在忘記使物品載置體U從退避位置返回移載用位置之狀態下,再開始以物品搬送車A所作之物品B之搬送之際,可避免物品搬送車A對退避位置之物品載置體U誤進行物品B之移載。
接著,開列其他實施形態。
(1)在上述實施形態中,例示了一種形態,該形態係使用恆壓彈簧19,對上框8保持下框9,而升降操作物品載置台E,如圖6所示,亦可以下述形態實施,前述形態係將從頂部T之手捲滑輪35往水平方向繞出之帶狀體36以設於頂部T之游滑輪37向下引導,將其端部連接於下框9,藉此,藉手捲滑車35之旋動操作,升降操作物品載置台E。
亦即,由於手捲滑輪35使用曲柄桿等,可以小操作力旋動操作,故可良好地升降操作具有3個物品載置體U之物品載置台E。
(2)在上述實施形態中,例示了於沿著行走軌道L之長向之物品載置台E載置3個物品載置體U之情形,亦可以於物品載置台E載置2個或4個以上之物品載置體U之形態來實施,又,亦可不具有物品載置台E而將各物品載置體U分別支撐成可個別地變更位置之形態來實施。
(3)在上述實施形態中,例示了於行走軌道L之兩側之橫側邊設置物品載置體U之情形,僅於行走軌道L之其中一側之橫側邊設置物品載置體U等將物品載置體U對行走軌道L之設置形態作各種變更。
(4)在上述實施形態中,例示了物品B為收納基板之收納容器(FOUP),本發明之物品搬送設備係可用於搬送各種物品者,又,物品搬送車A之具體結構可按搬送之物品作各種變更。
1‧‧‧軌道用支撐體
2‧‧‧行走軌道部
3‧‧‧連結軸
4‧‧‧蓋體
5‧‧‧握持部
7‧‧‧吊掛支撐體
8‧‧‧上框
9‧‧‧下框
10‧‧‧軌道構件
10A‧‧‧固定軌道
10B‧‧‧中間軌道
11‧‧‧上框側抵接體
12‧‧‧下降限度限制用抵接體
13‧‧‧上升限度限制用抵接體
14‧‧‧定位銷
15,28‧‧‧定位孔
17‧‧‧承接框
18‧‧‧長框
19‧‧‧恆壓彈簧
19A‧‧‧捲繞部
21‧‧‧物品存在與否感測器
22‧‧‧識別資訊檢測感測器
23‧‧‧光反射體
24‧‧‧顯示體
25‧‧‧支撐框
26‧‧‧承接體
27‧‧‧引導軌道
29‧‧‧鎖固銷
32‧‧‧被抵接體
33‧‧‧按壓體
35‧‧‧手捲滑輪
36‧‧‧帶狀體
37‧‧‧游滑輪
A‧‧‧物品搬送車
A1‧‧‧行走部
A2‧‧‧車體本體部
B‧‧‧物品
D‧‧‧支撐構件
E‧‧‧物品載置台
L‧‧‧行走軌道
M‧‧‧連動構件
T‧‧‧頂部
U‧‧‧物品載置體
圖1係顯示物品搬送設備之立體圖。
圖2係該設備之正面圖。
圖3係使物品載置台退避之狀態之正面圖。
圖4係顯示物品載置台之裝設部之立體圖。
圖5係顯示物品載置台之支撐構件之分解立體圖。
圖6係另一實施形態之正面圖。
1‧‧‧軌道用支撐體
2‧‧‧行走軌道部
3‧‧‧連結軸
4‧‧‧蓋體
5‧‧‧握持部
7‧‧‧吊掛支撐體
8‧‧‧上框
9‧‧‧下框
10‧‧‧軌道構件
10A‧‧‧固定軌道
10B‧‧‧中間軌道
11‧‧‧上框側抵接體
12‧‧‧下降限度限制用抵接體
13‧‧‧上升限度限制用抵接體
14‧‧‧定位銷
15,28‧‧‧定位孔
17‧‧‧承接框
19‧‧‧恆壓彈簧
19A‧‧‧捲繞部
21‧‧‧物品存在與否感測器
22‧‧‧識別資訊檢測感測器
23‧‧‧光反射體
24‧‧‧顯示體
26‧‧‧承接體
32‧‧‧被抵接體
33‧‧‧按壓體
A‧‧‧物品搬送車
A1‧‧‧行走部
A2‧‧‧車體本體部
B‧‧‧物品
D‧‧‧支撐構件
E‧‧‧物品載置台
L‧‧‧行走軌道
T‧‧‧頂部
U‧‧‧物品載置體
Claims (8)
- 一種物品搬送設備,係包含有:行走軌道,係從頂部吊掛受到支撐,以引導物品搬送車者;物品載置體,係配置於前述行走軌道之橫側邊且為下方處,以載置支撐在與前述物品搬送車間移載之物品者;及支撐構件,係以可調整位置至在與前述物品搬送車間移載物品之移載用位置與從該移載用位置退避至上方之退避位置的方式從前述頂部吊掛支撐前述物品載置體者;又,前述支撐構件係構造成可將載置有物品之狀態之前述物品載置體變更位置至前述移載用位置與前述退避位置。
- 如申請專利範圍第1項之物品搬送設備,其中前述支撐構件將前述物品載置體支撐成在前述退避位置從前述行走軌道往橫側邊之拉開間隔距離較前述移載用位置長,俾使位於前述退避位置之前述物品載置體與在前述行走軌道行走之前述物品搬送車不抵接干擾。
- 如申請專利範圍第2項之物品搬送設備,其中前述支撐構件將前述物品載置體以可滑動移動之方式支撐成隨著從前述移載用位置上升至前述退避位置,從前述行走軌道往橫側邊之拉開間隔距離越長。
- 如申請專利範圍第3項之物品搬送設備,其中複數前述 物品載置體沿著前述行走軌道之長向排列而設於沿著前述行走軌道之長向之長形物品載置台,於在前述物品載置台之前述行走軌道之長向之兩端部分別裝備朝上方突出之下框,前述支撐構件具有可升降地對吊掛支撐於前述頂部之上框分別引導一對前述下框之滑動軌道構件,前述滑動軌道構件對前述上框引導前述下框,而隨著上升,從前述行走軌道往橫側邊之拉開間隔距離越長。
- 如申請專利範圍第1至4項中任一項之物品搬送設備,其設有連動構件,該連動構件係使顯示前述物品載置體之識別資訊之顯示體的位置連動於前述物品載置體之位置變更,而變更至裝備於前述物品搬送車之識別資訊檢測感測器可檢測之被檢測位置與前述識別資訊檢測感測器無法檢測之無法檢測位置者,前述連動構件使前述顯示體之位置連動於前述物品載置體之位置變更,而於前述物品載置體位於前述移載用位置時,於前述被檢測位置配置前述顯示體,且於前述物品載置體位於前述退避位置時,於前述無法檢測位置配置前述顯示體。
- 如申請專利範圍第1至4項中任一項之物品搬送設備,其中前述退避位置設定於位於該退避位置之前述物品載置體與前述頂部間之間隔為前述物品之高度以上的位置,前述支撐構件配置於相對在前述移載用位置與前 述退避位置間移動之前述物品載置體,從上方觀看不重複之位置。
- 如申請專利範圍第5項之物品搬送設備,其中前述退避位置設定於位於該退避位置之前述物品載置體與前述頂部間之間隔為前述物品之高度以上之位置,前述支撐構件配置於相對在前述移載用位置與前述退避位置間移動之前述物品載置體,從上方觀看不重複之位置。
- 如申請專利範圍第1至4項中任一項之物品搬送設備,其中前述移載用位置是將前述物品載置體之載置面配置於藉由前述物品搬送車搬送中的物品之橫側邊且比該物品的下表面還要下方之位置,前述退避位置是將前述物品載置體之載置面配置於藉由前述物品搬送車搬送中的物品之橫側邊且比該物品的下表面還要上方之位置。
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