JP2004189361A

JP2004189361A - 天井搬送車及びそのシステム

Info

Publication number: JP2004189361A
Application number: JP2002356600A
Authority: JP
Inventors: Takashi Suzuki; 高志鈴木
Original assignee: Murata Machinery Ltd
Current assignee: Murata Machinery Ltd
Priority date: 2002-12-09
Filing date: 2002-12-09
Publication date: 2004-07-08

Abstract

【課題】物品を搬送する天井搬送車と、該搬送車が走行する走行路と、該走行路の側方に配置される第１物品載置箇所と、該走行路の下方に配置される第２物品載置箇所とを備えた天井搬送車システムにおいて、第１物品載置箇所と第２物品載置箇所の両方の物品載置箇所の間で物品の受け渡しができる天井搬送車を提供することを課題とする。
【解決手段】天井搬送車１０に、物品を上下方向に受け渡すホイスト７と、物品を左右方向に搬送する一対のローラコンベア８・８とを搭載する。ホイスト７はローラコンベア８・８の上方に配置され、そして、搬送車１０には、ローラコンベア８・８を互いに接近又は離間させる移動機構８０・８０を設ける。
【選択図】図２

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、物品を搬送する天井搬送車と、該搬送車が走行する走行路と、該走行路の側方に配置される第１物品載置箇所と、該走行路の下方に配置される第２物品載置箇所とを備えた天井搬送車システムに関し、詳しくは、走行路上の天井搬送車が、第１物品載置箇所、又は第２物品載置箇所との間で物品を受け渡す際の技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造工場等クリーンルーム内には、複数の処理装置と、自動倉庫とを備えたベイが多数設けられて、該ベイ内、及びベイ間に走行路が敷設され、該走行路上に天井搬送車を自動走行させて、物品を搬送する天井搬送車システムが知られている。
【０００３】
特開２０００−５３２３７号公報に示す従来技術では、天井搬送車は、走行路の上方で物品（半導体ウエハを収納したカセット等）を保持して走行するとともに、該物品を走行路の下方に配置されたステーションに受け渡すように構成されている。搬送車には物品を上下に受け渡すための昇降装置と、該昇降装置を車体進行方向に対して左右方向に水平に移動させるための水平移動機構が搭載されている。搬送車とステーションとの間で物品を移載するには、水平移動機構により昇降装置を、車体進行方向に対して左右方向に水平に大きく移動させて、走行路をかわし、昇降装置による物品の昇降軌跡と走行路の走行軌跡とが十字に交叉しないようにした上で、昇降装置を昇降させて、物品が移載される。
【０００４】
この状態では機体のバランスが悪く、水平移動させた昇降装置側へ搬送車が傾いて走行路上から落下しないように、搬送車にはカウンタウェイトが設けられて、該カウンタウェイトを、該昇降装置を水平移動させた方向とは左右反対方向に移動させ、機体のバランスが保たれていた。
以上のような機構は大仕掛けとなるため、本願と同一出願人により、昇降装置を大きく水平移動させることなく、物品を走行経路の下方のステーションへ受け渡すことができる天井搬送車システムが開発されている。
【０００５】
以下、この技術について説明すると、走行路上には２種類の天井搬送車を走行させており、１種類は走行路の下方に配置された第１ステーションとの間で物品の受け渡しを行なう第１搬送車で、該第１搬送車にはチャック付きのホイストが搭載されている。もう１種類は走行路の直側方に配置された第２ステーションとの間で物品の受け渡しを行なう第２搬送車で、該第２搬送車には物品を車体の進行方向に対して横方向に搬送する一対のローラコンベアが搭載されている。
【０００６】
走行路は、所定間隔を空けて配置される２本のレールで構成され、該２本のレールは、適宜位置で繋ぎ部材を介して連結されている。ただし、この繋ぎ部材は前記第１ステーションの上方位置には配置せず、該第１ステーションの上方の走行路にはレール間に通過口が形成されている。この通過口は、第１搬送車と第１ステーションとの間で物品を受け渡すために、物品が通過可能な大きさに形成されている。
【０００７】
そして、第１搬送車と第１ステーションとの間で物品を移載するには、まず、第１搬送車を走行路の第１ステーションの上方位置で停止させる。このとき、第１搬送車の真下には前記通過口が位置し、該通過口からホイストを下降させて、第１搬送車と、第１ステーションとの間で物品を上下に受け渡すように構成されている。
【０００８】
この構成では、第１搬送車に水平移動機構とカウンタウェイトとから成る大掛かりな機構を設ける必要がなく、第１搬送車は安定した状態で、その真下の第１ステーションとの間で物品の受け渡しを行なうことができる。
【０００９】
また、自動倉庫などには上部と下部にステーションが設けられることもあり、上部のステーション（第２ステーション）は走行路の直側方に配置されて、該第２ステーションには第２搬送車によって物品の受け渡しが行なわれるように構成されている。第２ステーションは走行路の走向方向に対して前後に一対のローラコンベアが配置され、該第２ステーションと第２搬送車との間の物品の移載は、第２搬送車を第２ステーションの前で停止させて、該第２搬送車のローラコンベアと該第２ステーションのローラコンベアとを接近対向させ、第２搬送車、又は第２ステーションの一方のローラコンベアで物品を送り出して、他方のローラコンベアで物品を繰り込むように構成されている。
【００１０】
以上のように、２種類の搬送車が設けられる理由は、半導体工場等のクリーンルーム内において、走行路が以下のように構成されるためである。
走行路は大別して、各ベイに敷設される第１閉ループ路と、該第１閉ループ路間を接続する第２閉ループ路とから成り、該第１閉ループ路は各ベイに属する処理装置に沿って敷設される工程内搬送用のループとして、該第２閉ループ路は各ベイ間を連絡する工程間搬送用の長距離ループとして構成され、そして、該第１閉ループ路と該第２閉ループ路とは連結路を介して連結されている。
【００１１】
前記発明では、この連結路と、第１閉ループの曲線部と、第２閉ループの直線部とで囲われるスペースに物品を一時保管するための自動倉庫が配置されて、該第１閉ループ路の外側方であり、且つ第２閉ループ路の外側方に配置される、この自動倉庫には、該第１閉ループ路上の搬送車、及び該第２閉ループ路上の搬送車の双方から、物品の移載が可能となっている。
【００１２】
処理装置の第１閉ループ路に対向する側面の下部にはそれぞれ入出庫口が設けられ、該入出庫口には物品の載置箇所としての第１ステーションが設けられている。第１ステーションは処理装置から突設されて、第１閉ループ路の下方に配置され、該ステーション上方の第１閉ループ路には、物品が上下に通過可能な通過口が形成されている。
【００１３】
自動倉庫には、第１閉ループ路に対向する側面の下部、及び第２閉ループ路に対向する側面の上部と下部に、それぞれ入出庫口が設けられている。自動倉庫下部の２箇所の入出庫口には、それぞれ物品の載置箇所としての第１ステーションが１組ずつ設けられ、該各第１ステーションは自動倉庫５から突設されて、それぞれ第１閉ループ路の下方と、第２閉ループ路の下方とに配置され、この第１ステーション上方の第１閉ループ路、及び第１ステーション上方の第２閉ループ路にも、物品が上下に通過可能な通過口が形成されている。
【００１４】
また、自動倉庫上部の入出庫口にはそれぞれ物品の載置箇所としてのステーションが、第２閉ループ路の直側方まで突設されている。ステーションは、入出庫コンベアとして一対のローラコンベアを備え、該一対のローラコンベアは、突設方向に対する左右（搬送車の進行方向に対しては前後）に並設されて、第２閉ループ路上を走行する第２搬送車のローラコンベアと同じ高さに配置されている。
【００１５】
以上のように走行路が形成され、各ベイ内の処理装置間の搬送（工程内搬送）は第１搬送車で行い、ベイ間の自動倉庫間の搬送（工程間搬送）は主に第２搬送車で行なうように構成されている。なお、ベイ間の工程間搬送では第１搬送車で行なうことも可能であるが、自動倉庫５のステーションとの間の物品の移載時間は、第１搬送車を介するよりも、第２搬送車を介する方が早い。
【００１６】
【特許文献１】
特開２０００−５３２３７号公報
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】
その後の研究開発の過程で、同一の搬送車で、走行路の下方のステーションと、走行路の側方のステーションとの間で物品の受け渡しを行うことが検討されている。
そこで、本発明では、水平移動機構とカウンタウェイトとから成る大掛かりな機構などを設けることなく、走行路の下方のステーションとの間で物品の受け渡しができるとともに、走行路の側方のステーションとの間でも物品の受け渡しが可能な天井搬送車を提供することを課題とする。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段は、以下に示すとおりである。
まず、請求項１に記載のように、物品を搬送する天井搬送車と、該搬送車が走行する走行路と、該走行路の側方に配置される第１物品載置箇所と、該走行路の下方に配置される第２物品載置箇所とを備えた天井搬送車システムにおいて、前記天井搬送車は、前記第１物品載置箇所との間で物品を車体の進行方向に対して横方向に受け渡す横移載手段と、前記第２物品載置箇所との間で物品を上下方向に受け渡す昇降移載手段と、を備えて、該昇降移載手段は該横移載手段の上方に配置され、また、前記搬送車は、前記横移載手段を、第１物品載置箇所との間で物品の受け渡しが可能となる「移載位置」と、昇降移載手段と第２物品載置箇所との間の物品の受け渡しを妨げない「退避位置」との間で移動させる移動手段を備え、さらに、前記搬送車は、前記第１物品載置箇所との間の物品の受け渡しでは、前記横移載手段を移載位置に位置させて、該横移載手段を作動させ、前記第２物品載置箇所との間の物品の受け渡しでは、前記横移載手段を退避位置に位置させて、前記昇降移載手段を作動させる制御手段を備える。
【００１９】
そして、請求項２に記載のように、前記横移載手段は、対向する一対の横搬送手段から成り、該一対の横搬送手段はそれぞれ前記移動手段により互いに接近又は離間するように作動し、該一対の横搬送手段が接近した位置が前記「移載位置」に、離間した位置が前記「退避位置」となり、該一対の横搬送手段が退避位置にあるとき、前記昇降移載手段が該一対の横搬送手段の間を上下に通過可能になる。
【００２０】
また、請求項３に記載のように、物品を搬送する天井搬送車と、該搬送車が走行する走行路と、該走行路の側方に配置される第１物品載置箇所と、該走行路の下方に配置される第２物品載置箇所とを備えた天井搬送車システムにおいて、前記請求項１、又は請求項２に記載の天井搬送車を備える。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の一形態を、図面を参照しながら説明する。
図１は天井搬送車システム１の概略構成を示す平面図、図２は搬送車１０の斜視図、図３は走行路２の通過口２０上で停止した搬送車１０の斜視図、図４は搬送車１０と自動倉庫５のステーション５１、５２又は５３との間の物品９の受け渡しを説明する図である。図５は搬送車１０の側面図であり、同図（ａ）は移動機構８０・８０を移載位置に位置させた状態、同図（ｂ）は移動機構８０・８０を退避位置に位置させた状態である。図６はローラコンベア８・８上に物品９を載置した状態の搬送車１０の側面図、図７は移動機構８０の斜視図、図８は同じく平面図、図９は搬送車１０の制御構成を示すブロック図である。
なお、以下の説明では、搬送車１０については、その進行方向を前方として各構成部材の前後左右位置を説明し、走行路２（２１・２２・２３）については、その走向方向を前方として各構成部材の前後左右位置を説明するものとする。
【００２２】
まず、天井搬送車システム１の概略構成から説明する。
図１に示すように、半導体製造工場等のクリーンルーム内には、複数の処理装置４・４・・・と、自動倉庫５とを備えたベイ３が多数設けられ、該ベイ３内、及びベイ３・３・・・間に、天井搬送車１０・１０・・・の移動経路となる走行路２が敷設されて、天井搬送車システム１が構成されている。
【００２３】
走行路２は大別して、各ベイ３・３・・・に敷設される第１閉ループ路２１・２１・・・と、該第１閉ループ路２１・２１・・・間を接続する第２閉ループ路２２とから成り、該第１閉ループ路２１は各ベイ３に属する処理装置４・４・・・に沿って敷設される工程内搬送用のループとして、該第２閉ループ路２２は各ベイ３・３・・・間を連絡する工程間搬送用の長距離ループとして構成されている。
【００２４】
この第１閉ループ路２１と第２閉ループ路２２とは連結路２３・２３を介して連結されており、該連結路２３・２３と、該第１閉ループ２１の曲線部と、該第２閉ループ２２の直線部とで囲われるスペースに物品（半導体ウエハを収納したカセット等）９を一時保管するための自動倉庫５が配置されている。詳細は後述するが、この第１閉ループ２１路の外側方であり、且つ第２閉ループ２２路の外側方に配置される自動倉庫５・５・・・では、該第１閉ループ路２１上の搬送車１０、及び該第２閉ループ路２２上の搬送車１０の双方から、物品９の移載が可能である。
【００２５】
処理装置４の第１閉ループ路２１に対向する側面の下部にはそれぞれ入出庫口が設けられ、該入出庫口には物品９の載置箇所としてのステーション４１・４１が設けられている。図３に示すように、ステーション４１・４１は処理装置４から突設されて、第１閉ループ路２１の下方に配置され、該ステーション４１・４１にはローラコンベア等の搬送手段が設けられて、該搬送手段によって物品９が処理装置４に入出庫されるように構成されている。また、ステーション４１・４１の上方の第１閉ループ路２１には、物品９が上下に通過可能な通過口２０・２０が形成されている。
【００２６】
図４に示すように、自動倉庫５には、第１閉ループ路２１に対向する側面の下部、及び第２閉ループ２２路に対向する側面の上部と下部に、それぞれ入出庫口が設けられている。自動倉庫５下部の２箇所の入出庫口にはそれぞれ物品９の載置箇所としてのステーション５１・５１と５２・５２とが１組ずつ設けられ、該ステーション５１・５１、５２・５２は自動倉庫５から突設されて、それぞれ第１閉ループ路２１の下方と、第２閉ループ路２２の下方とに配置されている。これらのステーション５１・５１、５２・５２にはローラコンベア等の搬送手段が設けられ、該搬送手段によって物品９が自動倉庫５に入出庫されるように構成されている。
【００２７】
このステーション５１・５１上方の第１閉ループ路２１、及びステーション５２・５２上方の第２閉ループ路２２についても、前記処理装置４のステーション４１・４１上方の第１閉ループ路２１と同様に、物品９が上下に通過可能な通過口２０・２０が形成されている。
【００２８】
また、自動倉庫５上部の入出庫口にはそれぞれ物品９の載置箇所としてのステーション５３・５３が、第２閉ループ路２２の直側方まで突設されている。ステーション５３は、入出庫コンベアとして一対のローラコンベア５４・５４を備え、該一対のローラコンベア５４・５４は、突設方向に対する左右（搬送車１０の進行方向に対しては前後）に並設されて、後述する第２閉ループ路２２上の搬送車１０のローラコンベア８・８と同じ高さに配置されている。この１対のローラコンベア５４・５４で物品９下面の両端部（搬送車１０の進行方向に対しての前端部と後端部）を転支して、搬送車１０の進行方向に対して左右方向に横送りするように構成されている。このローラコンベア５４・５４の外側端部（第２閉ループ路２２側端部）には、搬送車１０へ物品９を受け渡す時以外に、ローラコンベア５４・５４の搬送面から上方に突出した状態で物品９を係止し、物品９を受け渡す時に搬送面から下降する上下動自在なストッパ５５が設けられて、ローラコンベア５４・５４上の物品９の落下が防止されている。
【００２９】
次に、走行路２（２１・２２・２３）の構成について説明する。
図３に示すように、走行路２は、一対のレール２４Ｌ・２４Ｒと、該レール２４Ｌ・２４Ｒの下面間を連結する繋ぎ部材２５・２５・・・と、該レール２４Ｌ・２４Ｒの間で走行路２の走向方向に向けて架設される落下防止部材２６・２６を備え、吊り下げ部材３０・３０・・・を介してクリーンルーム内の天井付近に吊設されている。
【００３０】
図４に示すように、吊り下げ部材３０は、一対の吊り下げロッド３１・３１と、吊り下げフレーム３２とを備え、該吊り下げフレーム３２は上部フレーム３２ａと側部ロッド３２ｂ・３２ｂとにより「門」字型に構成されている。
吊り下げロッド３１・３１はクリーンルームの天井、又は床面に立設した「門」字型の支持フレームから垂設されて、該吊り下げロッド３１・３１の下端部に上部フレーム３２ａの左右両側部が締結固定され、該上部フレームの左右両端部に側部ロッド３２ｂ・３２ｂの上端部が締結固定され、該側部ロッド３２ｂ・３２ｂの下端部に繋ぎ部材２５の左右両端部が締結固定されている。
【００３１】
このように繋ぎ部材２５・２５・・・は吊り下げ部材３０・３０・・・によって懸吊されており、該繋ぎ部材２５・２５・・・の上面の左右両側部にレール２４Ｌ・２４Ｒの下面が載置固定されている。この繋ぎ部材２５・２５・・・は走行路２の走行方向に間隔を開けて多数配置され、該繋ぎ部材２５・２５・・・により、２本のレール２４Ｌ・２４Ｒの間隔が、一定幅に保たれている。
また、必要に応じ、単にレール２４Ｌ・２４Ｒをその下面にて連結するのみで吊り下げ部材３０・３０・・・に懸吊されない繋ぎ部材２５・２５を適宜設けても良い。
【００３２】
但し、前記繋ぎ部材２５・２５・・・は、処理装置４のステーション４１の上方位置、及び自動倉庫５のステーション５１・５２の上方位置には配置されず、該ステーション４１・５１・５２の上方位置のレール２４Ｌ・２４Ｒの下面間には、繋ぎ部材２９・２９が架設されて、該繋ぎ部材２９・２９と、レール２４Ｌ・２４Ｒとに包囲されて前記の通過口２０が形成されている。
【００３３】
前記レール２４Ｌ（２４Ｒ）は、適宜長さに形成された、複数のレール体２４ｌ・２４ｌ・・・（２４ｒ・２４ｒ・・・）から成り、少なくとも該レール体２４ｌ（２４ｒ）の長手方向両端部が繋ぎ部材２５・２５に支持固定されている。このレール体２４ｌ・２４ｌ・・・（２４ｒ・２４ｒ・・・）が走行路２の走向方向に継ぎ足されて、レール２４Ｌ（２４Ｒ）が連綴されている。
【００３４】
レール体２４ｌ・２４ｒは、水平な走行部と、その左右外側部に立設されるガイド部とを備え、断面、「Ｌ」字型に形成されている。さらに、一方のレール体２４ｌについては、走行部の左右内側部にもガイド部が立設されている。この一方のレール体２４ｌにおける左右両側部のガイド部の上端部には、突出部が互いに向き合うように形成されて、該一方のレール体２４ｌの走行部と、ガイド部と、突出部とで囲われる凹部スペースがガイド溝となり、該ガイド溝に、後述する搬送車１０のガイドローラ１２・１２が緩挿され、該突出部により、該ガイドローラ１２・１２が該ガイド溝から抜け出さないように構成されている。
【００３５】
図３に示すように、前記落下防止部材２６は、適宜長さに形成された、複数の落下防止バー２６ａ・２６ａ・・・が長手方向に継ぎ足されて構成されている。繋ぎ部材２５（２９）の上面には、左右に一定間隔を開けて、ブラケットが２個固設されている。このブラケットは断面「凹」字型の形状で、該ブラケットの凹部に上方から、落下防止バー２６ａが着脱自在に嵌合されている。
【００３６】
このような構成で、落下防止バー２６ａ・２６ａ・・・が繋ぎ部材２５・２５・・・、２９・２９・・・間に架設されている。ただし、該落下防止バー２６ａ・２６ａ・・・は、前記通過口２０には配置しないものとする。
このように、本実施例では、安全面の観点から、レール２４Ｌ・２４Ｒ間に２筋の落下防止部材２６・２６が架設されて、万一、搬送車１０等から物品９がレール２４Ｌ・２４Ｒ間に落下したときにも、該落下防止部材２６・２６に引っ掛かって、床面までは落下しないように構成されている。
なお、落下防止部材２６・２６の本数や配置の仕方等については特に限定はしないものとする。
【００３７】
次に、搬送車１０の構成について説明する。
本実施例では、走行路２上に、工程間搬送と工程内搬送の兼用タイプとしての搬送車１０を、図１中の矢印の方向の一方向に走行させている。
図２に示すように、搬送車１０には、車体本体１０ａの中央部に物品収納空間１０ｂが設けられており、該物品収納空間１０ｂの下方と左右一側部とは、物品９が通過可能なように外部へ開口されて、該車体本体１０ａの下側部及び左右一側部が「門」字型に形成されている。
なお、この車体本体１０ａの一側部の開口部については、第１閉ループ路２１及び第２閉ループ路２２上で外側、すなわち、処理装置４及び自動倉庫５側に向くように配置される。
【００３８】
図５に示すように、車体本体１０ａの下端部において、左右他側端部（レール２４Ｌ側端部）には、駆動輪１１が車軸を左右水平方向に向けて取り付けられ、該駆動輪１１の前方と後方に、ガイドローラ１２・１２が車軸を鉛直方向に向けて取り付けられている。駆動輪１１は車体本体１０ａの前後中央位置に配置されており、側面視で、ガイドローラ１２・１２は駆動輪１１の車軸に対して前後対称位置に配置されている。
【００３９】
駆動輪１１の一部分は車体本体１０ａの下面から下方へ突出しており、前記一方のレール体２４ｌの走行部と当接するように構成されている。そして、ガイドローラ１２・１２は該一方のレール体２４ｌのガイド溝に緩挿されて案内されるように構成されている。
【００４０】
車体本体１０ａの下端部における左右一側部端（レール２４Ｒ側端部）には、一対の従動輪１４・１４が垂設されている。この従動輪１４・１４は方向転換自在なキャスター輪で構成され、車体本体１０ａ下面における前端部と後端部とに、車軸を水平方向に向けて配置されている。
【００４１】
また、図２に示すように、車体本体１０ａの上面における前部と後部には１対の分岐装置１７・１７が設けられている。該分岐装置１７は車体本体１０ａの上面の左右方向中央部に配置されるガイドローラ１８と、その左右両側方に配置される分岐ローラ１９・１９とを備え、該ローラ１８・１９・１９は車軸を鉛直方向に向けて配置されて、分岐ローラ１９・１９については上下動自在に構成されている。
【００４２】
さらに、車体本体１０ａ上部の左右両側部には、走行路２の上方に架設された給電線から電力を得るためのピックアップユニット６０・６０が設けられている。このピックアップユニット６０・６０は、車体に占める重量比が多いため、車体の左右両側に配置することで、車体全体の重量バランスを保ち、例えば、曲線部をなめらかに走行することを可能にしている。また、走行路２は分岐路を有するため、該走行路２の一側に敷設される給電線は、分岐路等、所により、該走行路２のこれとは反対側に敷設される箇所もあり、該ピックアップユニット６０・６０を車体本体１０ａの左右両側部に配置することで、このような分岐路等においても、走行する搬送車１０へ、瞬断することなく電力を供給することができる。
【００４３】
ピックアップユニット６０は、正面断面視、略「Ｅ」字型をしたフェライト製のコア６１と、ピックアップコイル６２とを備え、該コア６１の上中下３箇所の突出部は左右外方向へ向けらて配置され、中央の突出部にピックアップコイル６２が巻回されている。該コア６１は、上下の突出部と、中央の突出部との間に形成された、上下２つの凹部スペース内に、給電線が、それぞれ一本ずつ位置するように配置されている。
【００４４】
この給電線に高周波電流を流すことによって発生する磁界を、ピックアップコイル６２で受けるようにしている。そして、電磁誘導現象を利用し、ピックアップコイル６２に発生する誘導電流から電力を取り出す。このようにして、給電線からピックアップユニット６０に非接触で電力が供給され、駆動輪１１の駆動モータ１５を駆動したり、制御機器に電力を供給したりしている。
【００４５】
また、搬送車１０は、物品収納空間１０ｂ内に、処理装置４のステーション４１、又は自動倉庫５下部のステーション５１、５２との間で物品９を上下方向に受け渡すホイスト７と、自動倉庫５上部のステーション５３との間で物品９を車体進行方向に対して左右横方向（直交する方向）に受け渡す一対のローラコンベア８・８とを備えている。
【００４６】
図４に示すように、物品収納空間１０ｂ上方の天井面にはスライド装置７０が垂設されており、該スライド装置７０にホイスト７の本体７１が取り付けられている。ホイスト本体７１には、チャックを備えた昇降部７２を昇降させるための昇降手段が設けられており、スライド装置７０で、ホイスト本体７１を車体進行方向に対して左右横方向に移動させることができるようになっている。このため、ホイスト７の真下から、ステーション４１が進行方向に対して直交する方向に据え付け誤差などにより多少ずれていた場合にも、物品９をステーション４１の物品載置部の真上となるように、ホイスト本体７１を左右横方向へ移動させることで、物品９をステーション４１・５１・５２の載置部へ正確に移載することができる。
【００４７】
また、ステーション４１（又は５１、５２）が、平面視で車体本体１０ａに形成されている側壁開口側にあって、車体進行方向に対して左右横方向（直交する方向）で、レール２４Ｒより側方にずれた位置にあった場合でも、スライド装置７０の移動量を増やすことで対応することが可能になる。その際には、移動側のレール２４Ｒに切欠を設ける必要がある。
【００４８】
なお、どのステーション４１・４１・・・、ステーション５１・５１・・・、ステーション５２・５２・・・も走行路２上の搬送車１０の真下に位置するようにレイアウトして、搬送車１０にスライド装置７０を搭載しない構成としてもよい。搬送車１０の真下にステーション４１、５１、５２が位置する場合というのは、レール２４Ｌとレール２４Ｒとの間隔を、カセット９が通過可能な間隔にして配置し、レール２４Ｌとレール２４Ｒとの間にカセット９の昇降経路を形成する場合のみならず、レール２４Ｒに切欠を設けて、レール２４Ｌとレール２４Ｒの間と、レール２４Ｒに形成された切欠とによりカセット９の昇降経路を形成する場合でもよい。これらの場合は、物品収納空間１０ｂ上方の車体本体１０ａ天井面に直接ホイスト本体７１が取り付けられる。なお、スライド装置７０は、ステーション４１、５１、５２の外側端部の載置部に対しての微調整のために設けてもよい。
【００４９】
このホイスト７の本体には４組の巻取ドラムが取り付けられており、該巻取ドラムにはそれぞれベルト７３・７３・・・が巻回されて、該ベルト７３・７３・・・を介して昇降部７２が昇降自在に吊設されている。このようにして昇降部７２が昇降自在に構成されており、該昇降部７２の下部に物品９を保持するためのチャックが設けられている。チャックは、物品９の上部に形成されている上部フランジ９ａを把持するようになっている。
なお、処理装置４のステーション４１、又は自動倉庫５下部のステーション５１、５２との間で物品９を上下方向に受け渡す昇降移載手段は、前記ホイスト７に限定するものではなく、他の構成の昇降移載手段を適用してもよい。
【００５０】
また、図２に示すように、物品収納空間１０ｂの前方と後方の、車体本体１０ａ内側面の下部には、一対のローラコンベア８・８が突設されている。この一対のローラコンベア８・８は物品９を車体進行方向に対して左右横方向へ搬送する搬送手段であり、該ローラコンベア８は長手方向に多数のローラ８８・８８・・・を備え、該ローラ８８・８８・・・は、その一部分をローラコンベア８の本体上面より突出させて、物品９の底面の両端部（搬送車１０の進行方向に対しては前端部と後端部）を転支して、物品９を左右方向へ横送りするように構成されている。
【００５１】
一方のローラコンベア８には駆動モータが取り付けられ、該駆動モータの駆動軸には駆動プーリが取り付けられて、各ローラ８８・８８・・・の回転軸にはそれぞれ従動プーリが取り付けられ、これらのプーリが１本のベルトで巻回されて、全ローラ８８・８８・・・が同期して回転するように構成されている。
他方のローラコンベア８には駆動モータは設けられず、各ローラ８８・８８・・・は回転自在に構成されている。こうして一方のローラコンベア８が駆動コンベアとして、他方のローラコンベア８が従動コンベアとして、横搬送手段が構成されている。
【００５２】
この一対のローラコンベア８・８上に物品９の底面の両端部（搬送車１０の進行方向に対しては前端部と後端部）が載置され、詳しくは、該物品９の底面の両端部には段差部９ｃ・９ｃ（図５参照）が形成されていて該底面よりも１段落ち込んでおり、該段差部９ｃ・９ｃが一対のローラコンベア８・８のローラ８８・８８・・・上に位置し（図６参照）、物品９がその搬送方向に対する左右横方向（搬送車１０の進行方向に対しては前後方向）に斜行しないように構成されている。
なお、本実施の形態では、カセット９の底面の両端部に段差部９ｃ・９ｃが形成されているが、カセット９の底面は平面で、ローラコンベア８・８側にガイドを設けることで、カセット９が斜行するのを防ぐようにしてもよい。
【００５３】
こうしてカセット９の底面の一側端部（搬送車１０の進行方向に対しては前端部又は後端部）が一方の駆動用ローラコンベア８で繰り送られ、該カセット９の底面の他側端部が載置される、他方の従動用ローラコンベア８が連れ回って、カセット９は一対のローラコンベア８・８上を真直ぐに搬送されるようになっている。
【００５４】
なお、前記自動倉庫５上部のステーション５３に設けられた一対のローラコンベア５４・５４も、前記搬送車１０の一対のローラコンベア８・８と同様の構成で、一方のローラコンベア５４が駆動コンベア、他方のローラコンベア５４が従動コンベアとして構成されている。
【００５５】
以上のように、本実施の形態では、搬送車１０のローラコンベア８・８、及び自動倉庫５上部のステーション５３のローラコンベア５４・５４を、一方のローラコンベア８（５４）を駆動コンベア、他方のローラコンベア８（５４）を従動コンベアとして構成しているが、該他方のローラコンベア８（５４）も駆動コンベアで構成し、すなわち、両方のローラコンベア８・８（５４・５４）とも駆動コンベアで構成してもよい。この場合は、該両方のローラコンベア８・８（５４・５４）は同期をとって駆動する構成とすることで、カセット９は該ローラコンベア８・８（５４・５４）上を真直ぐに搬送される。
【００５６】
そうして、搬送車１０のローラコンベア８・８の先端（車体本体１０ａの側壁開口側先端）には、上下動自在なストッパ８９・８９が設けられ、該ストッパ８９は、物品９の搬送中には、ローラコンベア８のローラ８８・８８・・・の搬送面より上に突出して物品９が落下しないように物品９を係止するようになっている。また、物品９を自動倉庫５のステーション５３のローラコンベア５４・５４との間で受け渡す時には、ローラ８８・８８・・・の搬送面よりも下方に下降するように構成されている。
【００５７】
なお、図４に示すように、本実施例では、搬送車１０のローラコンベア８・８の搬送面、及び自動倉庫５上部のステーション５３のローラコンベア５４・５４の搬送面がともに水平になるように配置されているが、対向するローラコンベア８・８、５４・５４の端部の高さ位置は合わせた上で、該ローラコンベア８・８の搬送面、又はローラコンベア５４・５４の搬送面の何れか一方、又は両方を上下に傾斜させてもよく、ローラコンベア８・８、５４・５４の搬送面については特に水平に限定はしない。
【００５８】
例えば、搬送車１０のローラコンベア８・８を、車体本体１０ａの側壁開口側へ向けて斜下方へ傾斜させ、自動倉庫５上部のステーション５３のローラコンベア５４・５４を水平に配置してもよい。
ウエハが収納されたカセットなどの物品９はかなり重量があり、一方の駆動用のローラコンベア８の駆動モータには大きな始動トルクが必要となるが、この構成の場合、搬送車１０のローラコンベア８・８上に載置された物品９を送り出す際、該ローラコンベア８・８の搬送面を傾斜させていることから、物品９の重量の傾斜方向の成分も作用するため、ローラ８８・８８・・・の駆動モータの始動トルクを軽減することができる。
【００５９】
また、図５に示すように、搬送車１０は、一対のローラコンベア８・８を互いに接近又は離間させる移動機構８０・８０を備えている。この移動機構８０・８０により、ローラコンベア８・８を接近させた位置を「移載位置」（図５（ａ））、離間させた位置を「退避位置」（図５（ｂ））としている。
該移載位置では該一対のローラコンベア８・８の間隔は、前記自動倉庫５上部のステーション５３の一対のローラコンベア５４・５４の間隔と同じ間隔となって、物品９の幅（車体進行方向に対する前後方向の長さ）よりも狭くなり、自動倉庫５上部のステーション５３との間で物品９の受け渡しが可能となる。
一方、該退避位置では該一対のローラコンベア８・８の間隔は該物品９の幅よりも広くなり、該ローラコンベア８・８は前記ホイスト７と処理装置４のステーション４１、又は自動倉庫５下部のステーション５１、５２との間の物品９の受け渡しを妨げない位置に配置されて、ホイスト７の昇降部７２が該一対のローラコンベア８・８の間を上下に通過できるようになる。
【００６０】
この移動機構８０は、ラック・ピニオン機構、リンク機構、その他ローラコンベア８を水平に進退させる機構で構成され、以下に、移動機構８０の一例を説明する。
図７及び図８に示すように、物品収納空間１０ｂの前方と後方の、車体本体１０ａ内側面の下部には、移動機構８０の取付基部９０が形成され、該取付基部９０上にブラケット９１・９１が立設されて、該ブラケット９１・９１上に、支持プレート９２が固設されている。支持プレート９２上には、移動機構８０の駆動源としてモータ８１が設けられるとともに、ブレーキ８２が設けられている。
【００６１】
モータ８１からはモータ軸８１ａが支持プレート９２の下方へ延出され、該モータ軸８１ａの下端にギア８３が固設されている。ギア８３の下面には、モータ軸８１ａに対してギア８３の半径方向外側に、回動軸９６が設けられている。つまり回動軸９６は、モータ８１の駆動により、モータ軸８１ａ回りに回転する構成となる。
【００６２】
モータ８１の側方に設けたブレーキ８２からはブレーキ軸８２ａが上方と下方へ延出されて、該ブレーキ８２ａの下端にギア８４が固設され、該ギア８４と前記ギア８３とを噛合させている。ブレーキ軸８２ａは、ギア８３・８４の噛合を介して、モータ軸８１ａの回転時には、従動回転する構成である。そして、ブレーキ８２は、ブレーキ軸８２ａを制止することで、移動機構８０の駆動を制止可能としている。
【００６３】
また、ブレーキ８２には、ローラコンベア８の進退位置を検出する位置検出手段が設けられている。ブレーキ軸８２ａの上端に、ブレーキ軸８２ａの半径方向へ延出される被検出体９８が設けられている。
また、ブレーキ軸８２ａ上端部において、ブレーキ８２ａの半径方向外側に、位置検出センサ９９Ａ・９９Ｂが設けられている。被検出体９８および位置検出センサ９９Ａ・９９Ｂにより、ローラコンベア８の位置検出手段が構成される。
【００６４】
位置検出センサ９９Ａ・９９Ｂは、光路が遮断されたのを検出する光センサ、例えば、透過型の光電センサである。位置検出センサ９９Ａ・９９Ｂのブレーキ軸８２ａ側先端は凹状に形成されて、ブレーキ軸８２ａの回転に伴い被検出体９８が通過可能としている。被検出体９８が、センサ９９Ａ・９９Ｂのブレーキ軸８２ａ側先端を通過すると、センサ９９Ａ・９９Ｂ先端の凹状内部に形成される光通路が遮断されて、被検出体９８がセンサ９９Ａ・９９Ｂにより検出される。位置検出センサ９９Ａ・９９Ｂは、ローラコンベア８の退避位置と、移載位置とが検出できるように構成されている。
【００６５】
回動軸９６の下端は、第１リンク９３の一端に、回動自在に設けられている。第１リンク９３の他端には、回動軸９７が設けられており、回動軸９７は、第２リンク９４Ｌの中央部に、回動自在に設けられている。
【００６６】
第２リンク９４Ｌ・９４Ｒは、ローラコンベア８の進退方向に対する左右に設けられており、該第２リンク９４Ｌ（９４Ｒ）の一端部（ローラコンベア８側端部）には支点軸１００Ｌ（１００Ｒ）が設けられ、他端部には回動軸１０５Ｌ（１０５Ｒ）が設けられている。支点軸１００Ｌ（１００Ｒ）は、取付基部９０に回動自在に設けられ、回動軸１０５Ｌ・１０５Ｒ間は、連結リンク８６により接続されている。連結リンク８６の両端部で、回動軸１０５Ｌ・１０５Ｒが回動自在に設けられている。
【００６７】
以上において、支点軸１００Ｌ・１００Ｒは、取付基部９０に設けられており、（水平面内において）位置変動はない。一方、回動軸９６・９７・１０５Ｌ・１０５Ｒは、モータ軸８１ａの回転により、水平面内で位置が変動する。
従って、モータ８１の駆動により、ギア８３の回転や第１リンク９３等の移動を介して、第２リンク９４Ｌが支点軸１００回りに回転すると、連結リンク８６を介して、第２リンク９４Ｒが第２リンク９４Ｌと平行に回転する。
【００６８】
支点軸１００Ｌ・１００Ｒはそれぞれ、第２リンク９４Ｌ・９４Ｒに固設されている。取付基部９０には、支点軸１００Ｌ・１００Ｒと同時に挿通孔が形成されており、該挿通孔を通じて、支点軸１００Ｌ・１００Ｒが取付基部９０の下方に延出している。また、支点軸１００Ｌ・１００Ｒの下端には、それぞれ、アーム８７Ｌ・８７Ｒが、一端で固設されている。
つまり、第２リンク９４Ｌとアーム８７Ｌとは相互に固定されており、支点軸１００Ｌを支点として回転する。第２リンク９４Ｒとアーム８７Ｒも相互に固定されており、支点軸１００Ｒを支点として回転する。
【００６９】
アーム８７Ｌ（８７Ｒ）は、アーム８７Ｌ（８７Ｒ）の反支点軸１００Ｌ（１００Ｒ）側の端部で、ローラコンベア８の本体から突出するブラケット１０１Ｌ（１０１Ｒ）に回動自在に取り付けられている。
【００７０】
そして、平行リンクである第２リンク９４Ｌ・２９Ｒが、それぞれ支点軸１００Ｌ・１００Ｒ回りに回転すると、第２リンク９４Ｌ・２９Ｒに固定であるアーム８７Ｌ・８７Ｒが、それぞれ支点軸１００Ｌ・１００Ｒ回りに回転して、ローラコンベア８が物品収納空間１０ｂの内方向へ向けて水平に進退するように構成されている。
【００７１】
以上のように、ローラコンベア８・８が構成されている。
なお、自動倉庫５上部のステーション５３との間で物品９を搬送車１０の進行方向に対して左右横方向に受け渡す横移載手段は、ローラコンベア８・８に限定するものではなく、他の構成の横移載手段を適用してもよい。
【００７２】
また、搬送車１０には機上コントローラ１１０が搭載されており、図９に示すように、該機上コントローラ１１０は制御線を介して、駆動輪１１の駆動モータ、ホイスト７及びスライド装置７０の駆動部、ローラコンベア８のローラ８８・８８・・・の駆動モータ、移動機構８０・８０の駆動部、分岐装置１７・１７の駆動部、その他搬送車１０の各機器と接続されている。
【００７３】
搬送車１０の走行制御について説明すると、前記走行路２の通過口２０・２０・・・の手前や、分岐部、合流部の手前など、走行路２上の適宜位置には、位置情報を記録したマーカが貼付されており、搬送車１０の下部には読取リーダが取り付けられて、該読取リーダで該マーカを読み取ることにより、搬送車１０の走行位置が把握されるようになっている。
【００７４】
さらに、前記搬送車１０の制御手段である機上コントローラ１１０には、走行路２に関する地図情報（データ）が記憶されていて、搬送車１０は自車自身でも現在の走行位置を時々刻々把握している。搬送車１０にはエンコーダが搭載されていて、走行距離が判るようになっており、該機上コントローラ１１０では該地図情報と該走行距離とから現在位置が認識されている。
【００７５】
従って、搬送車１０の機上コントローラ１１０では、走行路２上に貼付されている多数のマーカの位置も把握されており、搬送車１０が読取リーダでマーカを検出することで、現在どの位置を走行中なのかをポイントポイントで正確な位置を確認している。
そして、読取リーダでマーカを検出したときに、万一、エンコーダにより認識している搬送車１０の現在位置が地図情報上のマーカ位置と一致していなければ、該エンコーダによる現在位置を、該地図情報上のマーカ位置で修正する。
【００７６】
このように搬送車１０では、機上コントローラ１１０に記憶された地図情報とエンコーダで検出した走行距離とにより常時現在位置が認識されるとともに、読取リーダでマーカを検出することによりピンポイントで現在位置が認識され、２重のシステムで現在位置が認識されている。
【００７７】
以上のようにして搬送車１０は走行路２上の走行位置を把握しており、前記地図情報と、マーカに基づいて、走行制御が行なわれる。例えば、走行路２の分岐部手前のマーカを検出すると、分岐装置１７・１７を作動させ、目的の通過口２０手前のマーカを検出すると、該通過口２０で停止するように搬送車１０を減速させるなどの制御が行なわれる。
【００７８】
そして、搬送車１０と、処理装置４のステーション４１、又は自動倉庫５のステーション５１、５２又は５３との間で物品９の受け渡しが行なわれる場合、搬送車１０は機上コントローラ１１０に記憶している地図情報に基づいて、現在どのステーション４１、５１、５２又は５３位置に停止しているかを把握しており、搬送車１０の機上コントローラ１１０では、該ステーション４１、５１、５２又は５３との間の物品９の受け渡しに、昇降移載手段たるホイスト７を用いるか、横移載手段たるローラコンベア８を用いるかの選択が行なわれる。
【００７９】
具体的には、搬送車１０とステーション４１、５１、５２又は５３との間で、交信が行なわれ、搬送車１０の機上コントローラ１１０ではステーション４１、５１、５２又は５３との交信により得た情報に基づいて、ホイスト７、又はローラコンベア８の移載手段の選択が行なわれる。
搬送車１０、及びステーション４１、５１、５２又は５３はそれぞれ送信器と受信器を具備しており、走行路２上のステーション４１、５１、５２又は５３位置に停止した搬送車１０は、該ステーション４１、５１、５２又は５３に到着を知らせる情報を乗せた信号を送信し、この信号を受信したステーション４１、５１、５２又は５３は搬送車１０へホイスト７、又はローラコンベア８による移載の方法を乗せた信号を返信する。そして、返信を受けた搬送車１０は、機上コントローラ１１０で、ホイスト７を用いるか、ローラコンベア８を用いるかを選定する。
【００８０】
あるいは、走行路２上を走行する複数の搬送車１０・１０・・・を統括して制御する上位のコントローラを設けて、ステーション４１、５１、５２又は５３位置に停止した搬送車１０は、該上位のコントローラからの指令によって、ホイスト７を用いるか、ローラコンベア８を用いるかの選択を行うように構成してもよい。
【００８１】
若しくは、前記地図情報に、各ステーション４１、５１、５２又は５３の位置情報に加えて、使用する移載装置の種類情報を予め記憶させ、記憶された移載装置の種類情報を基に、機上コントローラ１１０が使用する移載装置の種類、つまり、ホイスト７を用いるか、ローラコンベア８・８を用いるかを選択するようにしてもよい。
【００８２】
次に、搬送車１０と、処理装置４のステーション４１、又は自動倉庫５の下部のステーション５１、又は５２との間の物品９の受け渡しについて説明する。
図４に示すように、走行路２上を走行する搬送車１０が目的のステーション４１、５１又は５２の上方で停止すると、機上コントローラ１１０では、該ステーション４１、５１又は５２との交信等によって、今回の移載に使用される移載手段がホイスト７に選定される。
この停止した搬送車１０の下方には、前記通過口２０が位置しており、ホイスト７を保持するスライド装置７０で左右方向の位置の調節を行い、該ホイスト７を該ステーション４１、５１又は５２上の物品９の直上方に位置させる。
【００８３】
次に、搬送車１０の機上コントローラ１１０は移動機構８０・８０を作動させて、ローラコンベア８・８を退避位置に移動させ、ホイスト７の昇降部７２を下降させる（図５（ａ）参照）。このとき昇降部７２は、ローラコンベア８・８の間を通過し、さらに通過口２０を通過して、ステーション４１、５１又は５２上の物品９に到達する。そして、昇降部７２のチャックで物品９を把持し、該昇降部７２を上昇させて、再び通過口２０を通過させ、ローラコンベア８・８の間を通過させて、物品９を物品収納空間１０ｂ内に収納し、ホイスト本体７１を支持するスライド装置７０を元位置に移動させる。
【００８４】
こうして、物品９の収納を完了した後、再び移動機構８０・８０を作動させて、ローラコンベア８・８を移載位置に移動させる（図５（ｂ）参照）。このとき物品９は物品収納空間１０ｂ内で、ホイスト７の昇降部７２に把持されて、ローラコンベア８・８の搬送面より上方に位置した状態で、宙吊りになっており、この移載位置にあるローラコンベア８・８は物品９の落下防止としての役割を果たしている。なお、このとき、昇降部７２を少し下降させて、物品９をローラコンベア８・８上に載置するようにしてもよい（図６参照）。
【００８５】
そして、搬送車１０を、搬送先のステーション４１、５１、５２又は５３へ向けて走行させる。搬送先のステーションが５３である場合は、後述することとして、搬送先のステーションが４１、５１、又は５２である場合は、該ステーション４１、５１又は５２の上方で停止した搬送車１０は、機上コントローラ１１０で、該ステーション４１、５１又は５２との交信等によって、今回の移載に使用される移載手段がホイスト７に選定される。この停止した搬送車１０の下方には、通過口２０が位置しており、ホイスト７を保持するスライド装置７０で左右方向の位置の調節を行い、該ホイスト７を該ステーション４１、５１又は５２上の載置箇所の直上方に位置させる。
【００８６】
ここで、搬送車１０の機上コントローラ１１０は移動機構８０・８０を作動させて、ローラコンベア８・８を退避位置に移動させ、物品９を保持したホイスト７の昇降部７２を下降させる。このとき物品９を保持した昇降部７２は、ローラコンベア８・８の間を通過し、さらに通過口２０を通過して、ステーション４１、５１又は５２上の載置箇所に到達する。そして、昇降部７２のチャックを解除して、物品９を該載置箇所上に載置し、該昇降部７２を上昇させて、再び通過口２０を通過させ、ローラコンベア８・８の間を通過させて、物品収納空間１０ｂ内に収め、ホイスト本体７１を支持するスライド装置７０を元位置に移動させる。
【００８７】
こうして、物品９の移載を完了した後、再び移動機構８０・８０を作動させて、ローラコンベア８・８を移載位置に移動させ、次の目的地へ向けて搬送車１０を走行させる。
なお、この物品９が積まれてない状態の搬送車１０では、ローラコンベア８・８を退避位置のままで、走行させる構成としてもよい。次の搬送先が、ステーション４１、５１又は５２である場合には、ローラコンベア８・８を退避位置へ移動させる移載工程が省けて移載時間が短縮され、また、次の搬送先が、ステーション５３である場合であっても、搬送車１０が該ステーション５３位置で停止したときに、ローラコンベア８・８を移載位置に移動させればよい。
【００８８】
次に、搬送車１０と、自動倉庫５の上部のステーション５３との間での物品９の受け渡しについて説明する。
図４に示すように、走行路２上を走行する搬送車１０が目的のステーション５３の直側方で停止すると、機上コントローラ１１０では、該ステーション５３との交信等によって、今回の移載に使用される移載手段がローラコンベア８・８に選定される。
【００８９】
この停止した搬送車１０のローラコンベア８・８と、自動倉庫５のローラコンベア５４・５４とはそれぞれ接近対向して、同じ高さで一直線状に並んでおり、搬送車１０の機上コントローラ１１０で、移載手段が選定された後、ローラコンベア８・８のストッパ８９・８９、及びローラコンベア５４・５４のストッパ５５・５５を下降させ、自動倉庫５の駆動用のローラコンベア５４と、搬送車１０の駆動用のローラコンベア８とをともに駆動させて、物品９が自動倉庫５のローラコンベア５４・５４から送り出されるとともに、搬送車１０のローラコンベア８・８で繰り込まれる。こうして、物品９が自動倉庫５から搬送車１０へと移載され、物品９が搬送車１０に積み込まれると、ストッパ８９・８９を上昇させて、物品９の落下を防止する。
【００９０】
こうして搬送車１０は物品９の収納を完了した後、搬送先のステーション４１、５１、５２又は５３へ向けて走行を開始する。
なお、このとき、ホイスト７の昇降部７２を下降させて、チャックで物品９を保持し、該昇降部７２を上昇させて、物品収納空間１０ｂ内で物品９を宙吊りにした状態で（図５（ａ）参照）、搬送車１０を走行させてもよい。この場合、カセット９を宙吊りにすることで、ローラコンベア８・８から走行に伴う上下の振動が、カセット９にあまり伝わらなくなる。
【００９１】
この走行中の振動がカセット９に伝わるのを抑えるために、例えば、カセット９を宙吊りにして、その上で、物品収納空間１０ｂの前方と後方の、車体本体１０ａ内側面に、進退自在な抑え部材を設け、カセット９の側面（搬送車１０の進行方向に対して前側と後側の側面）を走行中に押さえるようにしてもよい。抑え部材の当接部には、カセット９との当接時の衝撃を弱めて、走行中の振動が吸収できるように弾性体が設けられるのが好ましい。また、ローラコンベア８・８の上面に、上下方向又は搬送車１０の進行方向に対する前後方向に進退自在な弾性部材を配置して、該弾性部材を介してカセット９をローラコンベア８・８上に載置するようにしてもよい。さらに、次の搬送先が、ステーション４１、５１又は５２である場合、ホイスト７の昇降部７２のチャックで物品９を把持する工程が省けて移載時間が短縮される。
【００９２】
この物品９が積み込まれた搬送車１０の搬送先のステーションが４１、５１、又は５２である場合は、前記したように移載が行なわれ、搬送先のステーションが５３である場合は、該ステーション５３の直側方で停止した搬送車１０は、機上コントローラ１１０で、該ステーション５３との交信等によって、今回の移載に使用される移載手段がローラコンベア８・８に選定される。
【００９３】
そして、ローラコンベア８・８のストッパ８９・８９、及びローラコンベア５４・５４のストッパ５５・５５を下降させ、搬送車１０の駆動用のローラコンベア８と、自動倉庫５の駆動用のローラコンベア５４とをともに駆動させて、物品９が搬送車１０のローラコンベア８・８から送り出されるとともに、自動倉庫５のローラコンベア５４・５４で繰り込まれる。こうして、物品９が搬送車１０から自動倉庫５へと移載され、物品９がステーション５３上に載置されると、ストッパ５４・５４を上昇させて、物品９の落下を防止する。
こうして、物品９の移載を完了した後、次の目的地へ向けて搬送車１０を走行させる。
【００９４】
なお、処理装置４の上方のスペースなどを利用して、走行路２の直側方にバッファが設けられることがあり、該バッファには物品９が仮置きされるようになっている。処理装置４では物品９が一つずつ処理されることから、処理装置４で物品９を処理中に、搬送車１０で新たな物品９が該処理装置４まで搬送されてきた際、該新たな物品９を搭載したまま該搬送車１０を走行路２上で停止させると他の搬送車１０・１０・・・の走行の邪魔になる。かといって該新たな物品９を搭載した該搬送車１０をそのまま該処理装置４を通過させて走行路２（第１閉ループ路２１等）を周回させておくのも無駄である。そこで、処理装置４の上方などにバッファを設けて、該バッファに該新たな物品９を仮置きするようにしている。
【００９５】
このバッファにも、前記自動倉庫５上部のステーション５３の一対のローラコンベア５４・５４と同様の構成で、一対のローラコンベアを設けることができる。バッファには、搬送車１０の進行方向に対して前後に一対のローラコンベアを配置し、搬送車１０とバッファとの間の物品９の移載は、搬送車１０をバッファの前で停止させ、該搬送車１０のローラコンベア８・８と該バッファのローラコンベアとを接近対向させて、搬送車１０、又はバッファの一方のローラコンベアで他方のローラコンベアへ物品９を送り出して、他方のローラコンベアで送り出された物品９を繰り込むように構成される。
【００９６】
以上のように、搬送車１０は、制御手段たる機上コントローラ１１０で、処理装置４のステーション４１、又は自動倉庫５のステーション５１、又は５２との間の物品９の受け渡しとの間の物品９の受け渡しでは、ローラコンベア８・８を退避位置に位置させて、ホイスト７を昇降させ、一方、自動倉庫５のステーション５３との間の物品９の受け渡しでは、ローラコンベア８・８を移載位置に位置させて、該ローラコンベア８・８を作動させている。
【００９７】
このような構成で、搬送車１０には、水平移動機構とカウンタウェイトとから成る大掛かりな機構などを設けることなく、走行路２の下方のステーション４１、５１又は５２との間ではホイスト７を介して物品９を移載することができるとともに、走行路２の側方のステーション５３との間ではコンベア８・８を介して物品９を移載することができ、汎用性が向上する。
【００９８】
また、搬送車１０と走行路２の下方のステーション４１、５１又は５２との間の物品９の受け渡しでは、移動機構８０・８０によりローラコンベア８・８を退避位置に移動させると、ホイスト７を介して昇降する物品９と、ローラコンベア８・８とが干渉しなくなり、コンパクトなレイアウトで搬送車１０にホイスト７とローラコンベア８・８とを配置することができて、搬送車１０をコンパクトにまとめあげることができる。
さらに、移動機構８０・８０によりローラコンベア８・８を移載位置に移動させることで、物品収納空間１０ｂ内でホイスト７に保持される物品９の落下を防止することもでき、安全性が向上する。
【００９９】
前記搬送車１０の分岐装置１７・１７について補足すると、該分岐装置１７・１７は、走行路２の分岐部、又は合流部の手前で作動して、搬送車１０自体で、その進行方向を選択するための装置であり、以下のように構成されている。
【０１００】
走行路２の分岐部と、合流部とには、走行路の走向方向に沿って２本のガイドレールが架設されており、この２本のガイドレールの一側部は、分岐前（合流後）の１本の走行経路では平行に配置されるが、他側部は分岐後（合流前）の２本の走行経路に沿って、互いに別れるように配置されている。このガイドレールは前記吊り下げフレーム３２を構成する上部フレーム３２ａの左右中央部から垂設され、走行路２の走行方向に、複数の上部フレーム３２ａ・３２ａ・・・間に渡って架設されている。
【０１０１】
また、走行路２の分岐部と、合流部とには、レール２４Ｌ・２４Ｒ、２４Ｌ・２４Ｒの替わりに、プレート状の乗り移り部材が敷設されている。すなわち、分岐部（合流部）とでは、分岐前（合流後）の１本の走行経路と、分岐後（合流前）の２本の走行経路との間で、２組のレール２４Ｌ・２４Ｒ、２４Ｌ・２４Ｒが交錯する構成となるため、分岐部（合流部）においては、該２組のレール２４Ｌ・２４Ｒ、２４Ｌ・２４Ｒの配置位置に、搬送車１０の走行面となる乗り移り部材が介設されている。この乗り移り部材の上面は水平面に形成されており、前記レール体２４ｌの走行面、及びレール体２４ｒの走行面と同じ高さ位置に配置されている。
【０１０２】
以上のような構成で、分岐部と、合流部については、搬送車１０のガイドローラ１２・１２が案内される、レール２４Ｌのガイド溝もなくなり、該分岐部と、合流部においては、搬送車１０は、該ガイド溝の替わって、その上方に架設されているガイドレールによって案内されるようになっている。
【０１０３】
搬送車１０が分岐部へ向かう場合、搬送車１０は分岐部領域の入口部で分岐装置１７を作動させて、走行すべき方向に対応する、一方の分岐ローラ１９を上昇させる。この一方の分岐ローラ１９を上昇させた後、該一方の分岐ローラ１９とガイドローラ１８との間に、該分岐部領域の入口部の上方で平行に架設されている、２本のガイドレールのうちの一方のガイドレールの端部が入り込む。
【０１０４】
このようにして、該一方の分岐ローラ１９とガイドローラ１８とによって該一方のガイドレールが挟まれ、該一方のガイドレールによって、搬送車１０が案内され始める。この直後、搬送車１０の下方では、前記レール２４Ｌのガイド溝が途絶えて、搬送車１０のガイドローラ１２・１２が案内されなくなる。
こうして、搬送車１０は、レール２４Ｌのガイド溝に替わって、上方のガイドレールで案内されながら、前記乗り移り部材の上面を走行し、選択した分岐方向へ向けて進行する。
【０１０５】
そして、走行路２が分岐した後の分岐部領域の出口部で、途絶えていたレール２４Ｌのガイド溝が再び敷設されて、ここで、搬送車１０のガイドローラ１２・１２が該レール２４Ｌのガイド溝に入り込む。この直後、先ほどまで案内されていたガイドレールが途絶えて、搬送車１０の分岐装置１７のローラ１８・１９は案内されなくなる。こうして、搬送車１０は、分岐部上方に架設されたガイドレールに替わって、再び、レール２４Ｌのガイド溝によって案内されるようになる。
【０１０６】
同様に、搬送車１０が合流部に差し掛かると、合流部領域の入口部で分岐装置１７・１７を作動させて、一方の分岐ローラ１９を上昇させ、該一方の分岐ローラ１９とガイドローラ１８とで合流部上方に架設されたガイドレールを挟み込み、搬送車１０は該ガイドレールに案内されながら合流部を通過する。
その際の、搬送車１０を案内するガイドレールと前記ガイド溝の関係は前述した分岐部の場合と同様で自明であるので省略する。
【０１０７】
また、処理装置４、又は自動倉庫５から突出可能なステーションの長さは規格で定められていることから、クリーンルーム内における各装置のレイアウトの関係上、ステーション４１、５１、又は５２を、走行路２の真下（一対のレール２４Ｌ・２４Ｒの幅方向の中央の下）から、レール２４Ｌ・２４Ｒの幅方向で処理装置４、又は自動倉庫５側に、少しずらして配置しなければならないことがあり、この場合、以下のように天井搬送車システム１を構成する。
【０１０８】
走行路２から見て、斜め下方にステーション４１、５１、又は５２を配置する場合、走行路２上の搬送車１０とステーション４１、５１、又は５２との間で物品９を受け渡す際、上下に昇降する物品９と、装置側の一方のレール２４Ｒとが十字に交叉するレイアウトとなる。そこで、該ステーション４１、５１、又は５２の上方位置で、該一方のレール２４Ｒを切除して、この切欠により形成される該一方のレール２４Ｒの端部と、切欠しなかったもう一方のレール２４Ｌとを補強部材で連結する。
【０１０９】
そして、この一方のレール２４Ｒの切欠箇所を含む通過口の上方には棒状のガイドレールと、水平な走行面を備えた支持レールとをレール２４Ｌ・２４Ｒの走向方向に沿って架設し、前記搬送車１０の上部の分岐装置１７・１７を利用して、該分岐装置１７のローラ１８・１９で該ガイドレールを挟み込むように構成する。さらに、搬送車１０の上面の前部と後部に、軸心を水平方向に向けた補助車輪を設け、該補助車輪が前記支持レールの走行面を走行するように構成する。
【０１１０】
以上のような構成で、一方のレール２４Ｒの切欠箇所を含む通過口上で、搬送車１０はガイドレールと支持レールとによっても支持され、該通過口上で搬送車１０の従動輪１４・１４が該一方のレール２４Ｒの切欠箇所から下方へ落ち込まずに、該通過口前後でも搬送車１０がスムースに走行できるようになっている。
【０１１１】
以上、本発明の天井搬送車システム１の構成である。
なお、請求項に記載の天井搬送車は、上記の実施例中の、物品９をレール２４Ｌ・２４Ｒの上方で支持するマウント型の搬送車１０に限定することなく、レールの下方で物品を吊り下げて走行する、吊り下げ型の搬送車にも適用することができる。
【０１１２】
吊り下げ型の天井搬送車では、レール２４Ｌ・２４Ｒの下方に物品収納空間が形成され、該物品収納空間の下方には、カセット９が上下に通過可能な開口が形成されるとともに、搬送車の進行方向と直交する方向（カセット９を移載する方向）の側面にはカセット９が左右に通過可能な開口が形成され、該物品収納空間の天井には、ホイストが配置されるとともに、該物品収納空間の前方と後方には横移動装置であるローラコンベアが配置されるように構成する。ローラコンベアはホイストによるカセット９の昇降を妨げとならないように、前後に進退するようになっている。
【０１１３】
【発明の効果】
以上のように構成した本発明では、次のような効果を奏する。
まず、請求項１に記載の発明では、天井搬送車は、水平移動機構とカウンタウェイトとから成る大掛かりな機構などを設けることなく、走行路の側方の第１物品載置箇所との間では横移載手段を介して物品を移載することができるともに、走行路の下方の第２物品載置箇所との間では昇降手段を介して物品を移載することができ、汎用性が向上する。
また、搬送車と第２物品載置箇所との間の物品の受け渡しでは、移動手段により横移載手段を退避位置に移動させると、昇降移載手段を介して昇降する物品と、横移載手段とが干渉しなくなり、コンパクトなレイアウトで横移載手段と昇降移載手段とを配置することができて、天井搬送車をコンパクトにまとめあげることができる。
さらに、移動手段により横移載手段を移載位置に移動させることで、昇降移載手段によって保持される物品の落下を防止することもでき、安全性が向上する。
【０１１４】
また、請求項２に記載の発明では、搬送車と第２物品載置箇所との間の物品の受け渡しでは、移動手段により一対の横搬送手段を退避位置に移動させると、昇降移載手段を介して昇降する物品と、一対の横搬送手段とが干渉しなくなり、コンパクトなレイアウトで横移載手段と昇降移載手段とを配置することができて、天井搬送車をコンパクトにまとめあげることができる。
また、移動手段により横移載手段を移載位置に移動させることで、昇降移載手段によって保持される物品の落下を防止することもでき、安全性が向上する。
さらに、一対の横搬送手段の一方は固定し、他方だけを移動させて、接近又は離間させる構成に比べ、バランスよく重心の移動ができ、安定性が向上する。
【０１１５】
また、請求項３に記載の発明では、天井搬送車は、水平移動機構とカウンタウェイトとから成る大掛かりな機構などを設けることなく、走行路の側方の第１物品載置箇所との間では横移載手段を介して物品を移載することができるともに、走行路の下方の第２物品載置箇所との間では昇降手段を介して物品を移載することができ、汎用性が向上する。
また、搬送車と第２物品載置箇所との間の物品の受け渡しでは、移動手段により横移載手段を退避位置に移動させると、昇降移載手段を介して昇降する物品と、横移載手段とが干渉しなくなり、コンパクトなレイアウトで横移載手段と昇降移載手段とを配置することができて、天井搬送車をコンパクトにまとめあげることができる。
さらに、移動手段により横移載手段を移載位置に移動させることで、昇降移載手段によって保持される物品の落下を防止することもでき、安全性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】天井搬送車システム１の概略構成を示す平面図。
【図２】搬送車１０の斜視図。
【図３】走行路２の通過口２０上で停止した搬送車１０の斜視図。
【図４】搬送車１０と自動倉庫５のステーション５１、５２又は５３との間の物品９の受け渡しを説明する図。
【図５】搬送車１０の側面図。（ａ）は移動機構８０・８０を移載位置に位置させた状態。（ｂ）は移動機構８０・８０を退避位置に位置させた状態。
【図６】ローラコンベア８・８上に物品９を載置した状態の搬送車１０の側面図。
【図７】移動機構８０の斜視図。
【図８】同じく平面図。
【図９】搬送車１０の制御構成を示すブロック図。
【符号の説明】
１天井搬送車システム
２走行路
４処理装置
５自動倉庫
７ホイスト
８ローラコンベア
９物品
１０搬送車
２０通過口
２４Ｌレール
２４Ｒレール
７１ホイスト本体
７２昇降部
８０移動機構
１１０機上コントローラ

Claims

物品を搬送する天井搬送車と、該搬送車が走行する走行路と、該走行路の側方に配置される第１物品載置箇所と、該走行路の下方に配置される第２物品載置箇所とを備えた天井搬送車システムにおいて、
前記天井搬送車は、前記第１物品載置箇所との間で物品を車体の進行方向に対して横方向に受け渡す横移載手段と、前記第２物品載置箇所との間で物品を上下方向に受け渡す昇降移載手段とを備えて、該昇降移載手段は該横移載手段の上方に配置され、
また、前記搬送車は、前記横移載手段を、第１物品載置箇所との間で物品の受け渡しが可能となる「移載位置」と、昇降移載手段と第２物品載置箇所との間の物品の受け渡しを妨げない「退避位置」との間で移動させる移動手段を備え、
さらに、前記搬送車は、前記第１物品載置箇所との間の物品の受け渡しでは、前記横移載手段を移載位置に位置させて、該横移載手段を作動させ、前記第２物品載置箇所との間の物品の受け渡しでは、前記横移載手段を退避位置に位置させて、前記昇降移載手段を作動させる制御手段を備えたことを特徴とする天井搬送車。
前記横移載手段は、対向する一対の横搬送手段から成り、該一対の横搬送手段はそれぞれ前記移動手段により互いに接近又は離間するように作動し、該一対の横搬送手段が接近した位置が前記「移載位置」に、離間した位置が前記「退避位置」となり、該一対の横搬送手段が退避位置にあるとき、前記昇降移載手段が該一対の横搬送手段の間を上下に通過可能になることを特徴とする請求項１に記載の天井搬送車。
物品を搬送する天井搬送車と、該搬送車が走行する走行路と、該走行路の側方に配置される第１物品載置箇所と、該走行路の下方に配置される第２物品載置箇所とを備えた天井搬送車システムにおいて、
前記請求項１、又は請求項２に記載の天井搬送車を備えたことを特徴とする天井搬送車システム。