JP2006135030A - 基板搬送設備及び天井搬送装置 - Google Patents
基板搬送設備及び天井搬送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006135030A JP2006135030A JP2004321089A JP2004321089A JP2006135030A JP 2006135030 A JP2006135030 A JP 2006135030A JP 2004321089 A JP2004321089 A JP 2004321089A JP 2004321089 A JP2004321089 A JP 2004321089A JP 2006135030 A JP2006135030 A JP 2006135030A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conveyor
- container
- substrate
- storage shelf
- ceiling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 47
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 54
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 47
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 29
- 238000013404 process transfer Methods 0.000 claims description 23
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 claims description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 7
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 2
- 230000032258 transport Effects 0.000 abstract description 72
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 51
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 15
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000007726 management method Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】 基板を容器12に収容した状態で搬送する、工程間搬送部14と工程内搬送部18とを有する基板搬送設備10において、工程間搬送部をメインコンベヤ22で構成したことを特徴としている。また、工程内搬送部は、メインコンベヤの分岐コンベヤ22eから送り出された容器を受け入れる入庫コンベヤ36と、入庫コンベヤに並設され、複数の容器を載置、保管することができる保管棚40と、保管棚に並設され、容器をメインコンベヤに搬出する出庫コンベヤ38と、入庫コンベヤ、保管棚、出庫コンベヤ、及び、当該工程内搬送部に係る基板処理装置の間で容器の受渡しを行う天井搬送装置46とを備えることを特徴とする。
【選択図】 図2
Description
Claims (8)
- 複数の基板処理装置(20)からなるベイ(16)を複数含む施設において、基板を収納した容器(12)を搬送するための基板搬送設備(10)であって、
前記ベイ(16)間における容器(12)の搬送を行うメインコンベヤ(22)を含む工程間搬送部(14)と、
前記ベイ(16)のそれぞれに対して設けられ、前記工程間搬送部(14)から搬入された容器(12)を当該ベイ(16)内における所望の基板処理装置(20)に搬送する工程内搬送部(18)と
を具備し、
前記メインコンベヤ(22)が前記工程内搬送部(18)のそれぞれに容器(12)を送り出す分岐コンベヤ(22e)を含み、
前記工程内搬送部(18)が、
前記分岐コンベヤ(22e)から送り出された容器(12)を受け入れる入庫コンベヤ(36)と、
前記入庫コンベヤ(36)の近傍に設けられ、複数の容器(12)を載置、保管することができる保管棚(40)と、
前記保管棚(40)の近傍に設けられ、容器(12)を前記メインコンベヤ(22)に搬出する出庫コンベヤ(38)と、
容器(12)を吊支して昇降させるホイスト(58)を有し、前記入庫コンベヤ(36)、前記保管棚(40)、前記出庫コンベヤ(38)、及び、当該工程内搬送部(18)に係る基板処理装置(20)の間で容器(12)の受渡しを行う天井搬送装置(46)と
を備える、基板搬送設備。 - 複数の基板処理装置(20)からなるベイ(16)を複数含む施設において、基板を収納した容器(12)を搬送するための基板搬送設備(10)であって、
前記ベイ(16)間における容器(12)の搬送を行うメインコンベヤ(22)を含む工程間搬送部(14)と、
前記ベイ(16)のそれぞれに対して設けられ、前記工程間搬送部(14)から搬入された容器(12)を当該ベイ(16)内における所望の基板処理装置(20)に搬送する工程内搬送部(18)と
を具備し、
前記メインコンベヤ(22)が前記工程内搬送部(18)のそれぞれに容器(12)を送り出す分岐コンベヤ(22e)を含み、
前記工程内搬送部(18)が、
前記分岐コンベヤ(22e)から送り出された容器(12)を受け入れる入庫コンベヤ(36)と、
前記入庫コンベヤ(36)の近傍に設けられ、複数の容器(12)を載置、保管することができる保管棚(40)と、
前記保管棚(40)の近傍に設けられ、容器(12)を前記メインコンベヤ(22)に搬出する出庫コンベヤ(38)と、
前記保管棚(40)の一部を構成するとともに、容器(12)を前記出庫コンベヤ(38)に搬送することができる出荷ステーション(42)と、
容器(12)を吊支して昇降させるホイスト(58)を有し、前記入庫コンベヤ(36)、前記保管棚(40)、及び、当該工程内搬送部(18)に係る基板処理装置(20)の間で容器(12)の受渡しを行う天井搬送装置(46)と
を備える、基板搬送設備。 - 前記天井搬送装置(46)が、前記入庫コンベヤ(36)と平行な第1方向に走行する第1台車(50)と、前記第1方向に直交する第2方向に、前記第1台車(50)に対して走行するとともに、前記ホイスト(58)が取り付けられた第2台車(56)とを有する、請求項1又は2に記載の基板搬送設備。
- 前記入庫コンベヤ(36)の少なくとも一部分がアキュムレート機能を有し、前記天井搬送装置(46)が、前記アキュムレート機能を有する部分の上方に前記ホイスト(58)を配置可能となっている、請求項1〜3のいずれか1項に記載の基板搬送設備。
- 前記メインコンベヤ(22)、前記入庫コンベヤ(36)及び前記出庫コンベヤ(38)の少なくとも一つが、ゾーン毎に独立して起動・停止を行うことのできる分散駆動型ローラコンベヤを含む、請求項1〜4のいずれか1項に記載の基板搬送設備。
- 前記分岐コンベヤ(22e)が容器(12)の方向転換機能を有している、請求項1〜5のいずれか1項に記載の基板搬送設備。
- 前記天井搬送装置(46)が2台のホイスト(58a,58b)を備える、請求項1〜6のいずれか1項に記載の基板搬送装置。
- 基板を収納した容器(12)を搬送するための基板搬送設備(10)において用いられる天井搬送装置(46)であって、
容器(12)を吊支して昇降させるホイスト(58a,58b)を2台備えている、天井搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004321089A JP4850404B2 (ja) | 2004-11-04 | 2004-11-04 | 基板搬送設備及び天井搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004321089A JP4850404B2 (ja) | 2004-11-04 | 2004-11-04 | 基板搬送設備及び天井搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006135030A true JP2006135030A (ja) | 2006-05-25 |
JP4850404B2 JP4850404B2 (ja) | 2012-01-11 |
Family
ID=36728316
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004321089A Expired - Fee Related JP4850404B2 (ja) | 2004-11-04 | 2004-11-04 | 基板搬送設備及び天井搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4850404B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016174167A (ja) * | 2006-08-18 | 2016-09-29 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 低減容量キャリア、搬送機、積載ポート及び緩衝装置システム |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11349105A (ja) * | 1998-06-10 | 1999-12-21 | Dainippon Printing Co Ltd | 物品処理装置 |
WO2003105216A1 (ja) * | 2002-06-07 | 2003-12-18 | 平田機工株式会社 | 容器搬送システム |
JP2004189361A (ja) * | 2002-12-09 | 2004-07-08 | Murata Mach Ltd | 天井搬送車及びそのシステム |
WO2004080852A1 (ja) * | 2003-03-10 | 2004-09-23 | Hirata Corporation | 自動保管システム |
-
2004
- 2004-11-04 JP JP2004321089A patent/JP4850404B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11349105A (ja) * | 1998-06-10 | 1999-12-21 | Dainippon Printing Co Ltd | 物品処理装置 |
WO2003105216A1 (ja) * | 2002-06-07 | 2003-12-18 | 平田機工株式会社 | 容器搬送システム |
JP2004189361A (ja) * | 2002-12-09 | 2004-07-08 | Murata Mach Ltd | 天井搬送車及びそのシステム |
WO2004080852A1 (ja) * | 2003-03-10 | 2004-09-23 | Hirata Corporation | 自動保管システム |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10679882B2 (en) | 2005-11-07 | 2020-06-09 | Brooks Automation, Inc | Reduced capacity carrier, transport, load port, buffer system |
JP2016174167A (ja) * | 2006-08-18 | 2016-09-29 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 低減容量キャリア、搬送機、積載ポート及び緩衝装置システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4850404B2 (ja) | 2012-01-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100432380B1 (ko) | 부품을 이송하는 보호 컨테이너, 컨베이어 및 방법 | |
JP5648983B2 (ja) | 搬送システム及び搬送方法 | |
JP5369419B2 (ja) | 保管庫、保管庫セット及び保管庫付き搬送システム | |
KR101414530B1 (ko) | 반송차 시스템 | |
JP2004284772A (ja) | 基板搬送システム | |
JP4200387B2 (ja) | 搬送システム | |
KR20090026099A (ko) | 보관고, 반송 시스템 및 보관고 세트 | |
JP2008019017A (ja) | 物品収納装置 | |
JP4036097B2 (ja) | 処理及び保管設備 | |
JP2013153193A (ja) | 搬送システム | |
JP2010241547A (ja) | 走行車システム | |
JP4850404B2 (ja) | 基板搬送設備及び天井搬送装置 | |
KR20210041345A (ko) | 물품 이송 장치 | |
JP2006111421A (ja) | 階間搬送装置 | |
JP2005136294A (ja) | 移載装置 | |
KR20200100982A (ko) | 스토커 유닛 및 이를 갖는 물품 이송 장치 | |
JP2019014583A (ja) | 搬送車システム | |
JP2000124284A (ja) | 搬送装置 | |
JP4154269B2 (ja) | 製造設備の搬送システム | |
JP2009035414A (ja) | 別階層工程間搬送システム | |
JP2009062155A (ja) | 保管庫セット及び保管庫付き搬送システム | |
JP5470691B2 (ja) | 保管庫及び保管庫付き搬送システム | |
JP5157787B2 (ja) | 搬送システム | |
JP4030672B2 (ja) | カセット保管装置 | |
KR102231176B1 (ko) | 물품 이송 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071029 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091202 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100706 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100903 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110301 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111018 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111019 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141028 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |