WO2004080852A1

WO2004080852A1 - 自動保管システム

Info

Publication number: WO2004080852A1
Application number: PCT/JP2004/003045
Authority: WO
Inventors: Katsuo Saito; Motoyasu Ohata; Yoichi Hirasawa
Original assignee: Hirata Corporation
Priority date: 2003-03-10
Filing date: 2004-03-09
Publication date: 2004-09-23
Also published as: JP4116641B2; JPWO2004080852A1

Abstract

　自動保管システム１が、少なくとも１つの搬送移載機構２０と、棚３０（３０Ｌ、３０Ｒ）と、少なくとも１つの搬送機構４０（４０Ｌ、４０Ｒ）とを備えている。搬送移載機構２０は、ワーク（被処理物またはキャリア）５０を保持する保持機構２１を少なくとも１つ備え、ワーク５０を保持して所定の範囲を搬送可能であり、ワーク５０を保持機構２１の到達範囲内の任意の位置へ載置することができる。棚３０（３０Ｌ、３０Ｒ）は、搬送移載機構２０の保持機構２１の到達範囲内に、ワーク５０を保管する。搬送機構４０（４０Ｌ、４０Ｒ）は、保持機構２１の到達範囲内に、ワーク５０を搬送する。

Description

明細書自動保管システム技術分野

本願の発明は、被処理物、または少なくとも 1つの被処理物を収納したキヤリァ等のワークの入出庫、待機および保管を自動で行なう自動保管システムに関す

背景技術

従来、自動保管庫は、ワークを保管する棚と、ワークを棚に運び、または棚から運び出す搬送移載機構と、保管庫内の搬送移載機構が、保管庫の外部からヮ一クを保管庫内に運び込む時に必要なワーク取り入れのための入庫部と、保管庫内の搬送移載機構が、保管庫の内部からワークを保管庫外に運び出す時に必要なヮ —ク排出ための出庫部とから成っている。そして、保管しているワークと、ヮ一クを搬送する搬送移載機構とは、決められた範囲内に配置されている。また、自動保管庫は、コンピュータなどにより、保管庫内部に存在しているワークの情報を管理しており、必要時に、保管庫内部に保管しているワークの様々な情報を見ることができる。

特開平 1 1— 3 3 4 8 1 0号公報に開示されている自動保管システムは、処理前または処理後の被処理物単位で、または所定数単位の被処理物を収納したキヤリア単位で、これらを一時保管する棚を備え、複数の製造装置、または検査装置に接続されていて、保管庫内の搬送移載機構が、被処理物、またはキャリアを棚から取り出し、搬送して、製造装置、または検査装置のワーク受け渡し部に供給し、または搬送移載機構が、製造装置、または検査装置で作業の終わったワークをそれらのワーク受け渡し部から回収し、搬送して、棚へ移載するようになっている。棚は、搬送移載機構の走行方向に沿って設けられており、搬送移載機構は、一式の搬送移載機構で、複数の製造装置に対してのワークの供給と回収とが可能である。また、搬送移載機構の動作領域および棚の設置領域を、外部領域からのォペレ一夕の侵入から隔離する手段を備えている。さらに、この自動保管システムは、複数フロアを貫通して設けられてもよく、この場合には、各フロア毎にキャリアの受け渡し可能な入出庫口が設けられている。

また、特開平 1 1— 1 9 9 0 0 7号公報に開示されている自動保管システムは、カセットを保管するストッカーと、このストヅカーにカセットを出し入れするスタヅ力一クレーンと、このスタヅカークレーンの移動範囲内に設置された処理装置の口一ダ部とを箱状に囲まれたクリーンルーム保管庫内に設置し、カセットをストッカーからス夕ヅカークレーンによって取り出し、スタッカークレーンが移動して、処理装置のローダ一部に直接搬送するようになっている。そして、移載装置を備えたス夕ヅ力一クレーンの移動を案内するレ一ルを挟んで、その両側に、カセットを保管するストッカーと、ローダ一部を有する処理装置とを対向して配備し、ストッカーと、スタヅ力一クレーンと、処理装置のうちの口一ダ一部のみとを、クリーンルーム保管庫内に設置したものとなっている。

また、特閧平 1 1— 1 6 9 7 6号公報に開示されている自動保管システムは、半導体製造用のクリーンルームのストッカー内に設置され、半導体ウェハのキヤリアを自動搬送するためのシステムが、検査のためにストッカーに入庫されたキャリアを、検査エリアの仮置き台を経ることなく、ストッカー内のロボヅト ·作業者兼用コンペアを介して検査ェリァに直接搬送することができるようになっている。ここでは、ストヅカ一内のロボヅト ·作業者兼用コンベアが 1つのキヤリァを載せて、ストッカー入出庫口と作業者投入 ·取り出し部との間を往復動作す o

しかしながら、これらのいずれの公報に記載の自動保管システムにあっても、保管庫と外部との間でワークの出し入れを行なう時は、保管庫内のワーク搬送移載機構が、保管庫に設けられた入庫部 ·出庫部を使用して行なっている。このため、ワーク搬送移載機構が、例えば、出庫するワークに対して搬送移載を行なつていると、入庫するワークが入庫部にあっても、搬送移載機構の出庫動作が終わるまで、入庫部に待機していなければならない。また、入庫部 -出庫部より一番遠い位置に搬送移載機構が待機していると、入庫部■出庫部まで搬送移載機構が移動をしなければならず、時間に無 1:が発生する。さらに、入庫するワークが入庫部より遠い棚に移載される場合には、搬送移載機構が目的の棚までワークを搬送して移載するため、搬送移載に時間がかかるものとなっている。発明の開示

本願の発明は、従来の自動保管システムが有する前記のような問題点を解決して、保管庫内のワーク搬送移載機構の無駄な搬送時間を削減し、ワークの待機時間を極力短くして、連続して搬送されてくるワークの効率的な保管および搬送を可能にする自動保管システムを提供することを課題とする。本願の発明によれば、このような課題は、被処理物、または少なくとも 1つの被処理物を収納したキャリアを保持する保持機構を少なくとも 1つ備え、前記被処理物、または前記キヤリァを保持して所定の範囲を搬送可能であり、前記被処理物、または前記キヤリァを前記保持機構の到達範囲内の任意の位置へ載置することが可能な少なくとも 1つの搬送移載機構と、前記搬送移載機構の前記保持機構の到達範囲内に、前記被処理物、または前記キャリアを保管する棚と、前記保持機構の到達範囲内に、前記被処理物、または前記キャリアを搬送する少なくとも 1つの搬送機構とを備えたことを特徴とする自動保管システムにより解決される o

この自動保管システムによれば、搬送移載機構の保持機構の到達範囲内に搬送機構を設けることにより、被処理物、またはキャリアを、目的の棚の付近まで、または出庫口の付近まで、搬送移載機構の動作とは関係なく、搬送することができる。このため、搬送移載機構は、最小限の動作時間で棚、または出庫口に被処理物、またはキャリアを搬送移載することができ、搬送時間を削減することがでぎる。

また、このような課題は、被処理物、または少なくとも 1つの被処理物を収納したキャリアを保持する保持機構を少なくとも 1つ備え、前記被処理物、または前記キヤリァを保持して所定の範囲を搬送可能であり、前記被処理物、または前記キヤリァを前記保持機構の到達範囲内の任意の位置へ載置することが可能な少なくとも 1つの搬送移載機構と、前記搬送移載機構の前記保持機構の到達範囲内に、前記被処理物、または前記キャリアを保管する棚であって、少なくとも 1つの囲まれた保管庫内に配置される棚と、前記囲まれた保管庫の一方の端部から他方の端部へ、前記被処理物、または前記キャリアを搬送することが可能な少なくとも 1つの搬送機構とを備えたことを特徴とする自動保管システムにより解決さこの自動保管システムによれば、搬送機構は、被処理物、またはキャリアを保管庫の一方の端部から他方の端部まで搬送することができるので、連続して搬送されてくる被処理物、またはキャリアを待機させることなく、また、搬送移載機構の動作とは関係なく、保管庫内に入庫させて搬送することができる。このため、ワークの待機時間を極力短くすることができ、搬送移載機構は、最小限の動作時間で棚、または出庫口に被処理物、またはキヤリアを搬送移載することができる。これらにより、全体として、搬送時間を削減して、ワークの効率的な保管および搬送を可能にすることができる。また、保管庫が複数、接続 ·配置される場合には、複数の保管庫への被処理物、またはキャリアの搬送を、それそれの保管庫内の搬送移載機構の動作に左右されることなく、それそれの保管庫ェリァを通して、目的のエリアに向けて実行することができ、搬送効率が向上する。

また、このような課題は、被処理物、または少なくとも 1つの被処理物を収納したキャリアを保持する保持機構を少なくとも 1つ備え、前記被処理物、または前記キャリアを保持して所定の範囲を搬送可能であり、前記被処理物、または前記キヤリァを前記保持機構の到達範囲内の任意の位置へ載置することが可能な少なくとも 1つの搬送移載機構と、前記搬送移載機構の前記保持機構の到達範囲内に、前記被処理物、または前記キャリアを保管する棚であって、少なくとも ίつの囲まれた保管庫内に配置される棚と、前記囲まれた保管庫の一方の端部から他方の端部へ、前記被処理物、または前記キャリアを搬送することが可能な少なくとも 1つの搬送機構とを備え、前記搬送移載機構の前記保持機構の到達範囲内に、前記被処理物、または前記キヤリアの受け渡し部を設けた少なくとも 1台の処理装置が接続されていることを特徴とする自動保管システムにより解決される。この自動保管システムによれば、搬送機構は、被処理物、またはキャリアを保管庫の一方の端部から他方の端部まで搬送することができるので、連続して搬送されてくる被処理物、またはキャリアを待機させることなく、また、搬送移載機構の動作とは関係なく、保管庫内に入庫させて搬送することができる。このため、ワークの待機時間を極力短くすることができ、搬送移載機構は、最小限の動作時間で棚、または出庫口に被処理物、またはキヤリアを搬送移載することができる。これらにより、全体として、搬送時間を削減して、ワークの効率的な保管および搬送を可能にすることができる。また、保管庫が複数、接続 ·配置される場合には、複数の保管庫への被処理物、またはキャリアの搬送を、それぞれの保管庫内の搬送移載機構の動作に左右されることなく、それぞれの保管庫ェリァを通して、目的のエリアに向けて実行することができ、搬送効率が向上する。また、保管庫に処理装置が隣接して設けられることになり、保管庫自体を処理装置用の一時的な被処理物、またはキヤリアのバッファとすることができる。さらに、保管庫に複数の異なった処理を行なう処理装置が接続される場合には、被処理物、またはキャリアは、この保管システムにより、ストックと循環とを繰り返しながら、それそれの処理装置を循環することができるので、 1つの被処理物に必要な処理を効率よく行なうことができる。

好ましい実施形態では、このような自動保管システムにおいて、その搬送機構の搬送方向は、一定の方向に定められている。これにより、被処理物、またはキャリアの搬送管理と保管管理とを容易に行なうことができ、プログラムめ複雑化を防ぐことができる。

別の好ましい実施形態では、このような自動保管システムにおいて、その棚は、複数の列と複数の段とを備え、搬送機構は、その棚の少なくとも 1つの列に備えられている。これにより、複数列 '複数段の棚構成に対して、そのうちの少なくとも 1つの列に搬送機構が備えられるので、被処理物、またはキャリアの保管をスペース効率よく、また搬送効率よく行なうことができる。

さらに、別の好ましい実施形態では、このような自動保管システムは、その保管庫の一部に、被処理物、またはキャリアの投入部と取出部とのいずれか一方もしくは双方を少なくとも 1つまたは 1つずつ備えている。これにより、被処理物、またはキヤリァを保管庫から取り出したり、または保管庫に投入したりすることができる。例えば、被処理物の抜き打ち的な検査を行なうために、被処理物を保管庫から取り出したり、または検査済みの被処理物を保管庫に投入したりすることができる。

さらに、別の好ましい実施形態では、このような自動保管システムにおいて、その保管庫の一方の端部から他方の端部へ、被処理物、またはキャリアを搬送することが可能な搬送機構は、その途中に分岐。合流部を少なくとも 1つ備えている。これにより、例えば、棚のエリアを複数種類にエリア分けを行なった時、搬送機構は、被処理物、またはキヤリァを目的の種類のェリァ付近に待機させつつ、他のェリァへの被処理物、またはキヤリァの搬送を妨げることなく、これらを他のエリアへ搬送することができる。また、分岐 ·合流部に他の搬送装置（例えばコンペアや移載装置) などを備えることにより、所定の処理を行う処理装置や他の装置などとキヤリァの搬送を行うことができ、効率的なキヤリァの搬送運用ができる。

さらに、別の好ましい実施形態では、このような自動保管システムにおいて、その搬送機構は、コンベアである。このように、被処理物、またはキャリアをコンベアにより搬送することにより、連続的な搬送を行なうことができる。また、被処理物、またはキャリアの搬送レベルを変えることなく、エリア間搬送用コンベアと保管庫内搬送用コンベアとの間等を通じて、搬送することができるので、搬送物への振動を極力小さくすることができる。

さらに、別の好ましい実施形態では、このような自動保管システムにおいて、その保管庫は、クリーンルームとして構成されている。これにより、半導体装置や液晶装置等を製造する製造装置に求められる被処理物の処理のための高度なクリーン環境に対応し得る、被処理物、またはキャリアの保管のための高度なクリ —ン環境を確保することができる。図面の簡単な説明

図 1は、本願の発明の第 1の実施形態（実施形態 1 ) における自動保管システムの概略構成を示す斜視図である。

図 2は、本願の発明の第 2の実施形態 (実施形態 2 ) における自動保管システムの概略構成を示す斜視図である。図 3は、本願の発明の第 3の実施形態（実施形態 3 ) における自動保管システムの概略構成を示す斜視図である。

図 4は、実施形態 1における自動保管システムの変形例を示す図である。図 5 aは、本願の発明の第 4の実施形態（実施形態 4 ) における自動保管システムの概略構成を示す斜視図である。

図 5 bは、本願の発明の第 4の実施形態（実施形態 4 ) における他の実施例をあらわす自動保管システムの概略構成を示す斜視図である。

図 6は、実施形態 1における自動保管システムの他の変形例を示す図である。図 7は、実施形態 1における自動保管システムのさらに他の変形例を示す図である。

図 8は、実施形態 1における自動保管システムのさらに他の変形例を示す図でめる。

図 9は、実施形態 1における自動保管システムのさらに他の変形例を示す図であ o

図 1 0は、実施形態 1における自動保管システムのさらに他の変形例を示す図であって、保管庫がクリーンルームとして構成される場合の図である。

図 1 1は、 .実施形態 2における自動保管システムの変形例を示す図である。図 1 2は、実施形態 1〜4における自動保管システムに使用されるス夕ヅ力一クレーンの斜視図であって、（a ) 〜（c ) は、その 3態様を示す図である。発明を実施するための最良の形態

次に、本願の発明の第 1の実施形態（実施形態 1 ) について説明する。

図 1は、本実施形態 1における自動保管システムの概略構成を示す斜視図である。なお、以下において、縦方向 (または前後方向) とは、ス夕ヅ力一クレーンの走行方向（図 1において、左下と右上とを結ぶ方向）をいい、横方向（または左右方向) とは、水平面内において、これと直交する方向 (図 1において、左上と右下とを結ぶ方向) をいうものとする。また、「被処理物、またはキャリア」を単に「ワーク」と呼ぶことがある。

本実施形態 1における自動保管システムは、主として半導体装置や液晶装置等を製造する製造装置に、半導体基板や液晶基板等の被処理物、またはこれらの被処理物の少なくとも 1つを収納したキャリアを供給するために、これを一時保管したり、またはこれらの製造装置から、これらの製造装置において処理を終えた被処理物を取り出して、これを一時保管したりするのに使用される。製造装置は、自動保管システムに接続されて、これに隣接して配置される場合もあれば、自動保管システムから離隔して配置される場合もあり、本実施形態 1においては、これらのいずれの場合であるかを問わない。製造装置に加えて、検査装置が自動保管システムに接続される場合もある。

本実施形態 1における自動保管システムは、また、本システムの外にあって、異なる製造エリア間での被処理物、またはキヤリアの搬送を担当するエリア間搬送機構との間で、被処理物、またはキャリアの入庫 ·出庫管理を行なうが、ある被処理物、またはキャリアの入庫のために、エリア間搬送機構上の他の被処理物、またはキャリアを待機させたりして、その搬送を妨げるようなことがない。図 1に図示されるように、本実施形態 1における自動保管システム 1は、概略、保管庫 1 0の一方の端部から他方の端部まで、その床の縦方向の略全長に渡つて敷かれたレール 1 1上を走行するスタヅ力一クレーン（搬送移載機構） 2 0と、レール 1 1に沿って、その両側に配置された棚 3 0 (左側棚 3 0 L、右側棚 3 O R ) と、レール 1 1に沿って、その両側に配置されたコンペァ（搬送機構） 4 0 (左側コンペァ 4 0 L、右側コンペァ 4 O R ) とから成っている。

スタッカークレーン 2 0は、図 1 2 ( a ) に図示されるように、少なくとも 1 つの被処理物を収納したキャリア 5 0を保持する保持機構 2 1を備えており、レール 1 1上に載架された下部の走行機構 2 2が作動することにより、キャリア 5 0を保持してレール 1 1の長さ範囲を走行可能である。また、その保持機構 2 1 は、ス夕ヅ力一クレーン 2 0の上下方向に伸長する躯体内部に収容された昇降機構 2 3により、上下動可能である。したがって、ス夕ヅ力一クレーン 2 0は、それ自体の走行可能範囲に保持機構 2 1の可動範囲を重ね合わせて得られる保持機構 2 1の到達範囲内において、キャリア 5 0を任意の位置へ移載することができる。キャリア 5 0に代えて、被処理物そのものが、本自動保管システム 1における搬送、移載、保管の対象とされる場合もあるが、以下においては、キャリア 5 0が、その搬送、移載、保管の対象とされる場合について説明する。

保持機構 21としては、図 12 (a) に図示されるように、フォーク形式のものが使用されてもよいが、図 12 (b) 、 (c) に図示されるように、複数本のアーム要素からなるロボヅトアームの先端にキャリア 50の把持手段を備えた形式のものが使用されてもよい。これらの場合において、ス夕ヅ力一クレーン 20 が複数のキャリア 50を搬送することができるように、保持機構 21は、複数 ( 通常、 2つ）備えられてもよい。なお、図 12 (c) に図示されるス夕ヅカークレーン 20の場合は、走行機構 22を上部に備えており、保管庫 10内の天井部に敷かれた図示されないレ一ル上を走行可能である o

棚 30 (左側棚 30L、右側棚 3 OR) は、レール 11の略全長に沿って、その両側に配置されており、それそれ複数の列と複数の段とを備えた複数列 '複数段の立体的な棚構成をなしている。図 1においては、図示を簡単にするために、列と段とにより区画された個々の空間内に配置された棚単位に、キャリア 50が保管された状態が図示されている。これらの各棚単位に保管されたキャリア 50 は、いずれも、ス夕ヅ力一クレーン 20の保持機構 21の到達範囲内にある。なお、棚 30は、前記のような複数列 '複数段の立体的な棚構成に限定されず、複数の列と段との各々が複雑に入り組んだ、任意の構成の棚であってもよく、要は、保管物同志が干渉し合わない棚構成であればよい。

コンベア 40 (左側コンペァ 40L、右側コンベア 40R) は、レール 11の両側であって、棚 30 (左側棚 30L、右側棚 3 OR) の中間段相当位置に配置されており、その高さ位置は、エリア間搬送機構の構成要素をなすコンペァ（ェリア間搬送用コンベア） 60の高さ位置と略同等とされている。そして、このェリア間搬送用コンペァ 60により搬送されてきたキャリア 50のうち、本自動保管システム 1に保管されることが予定されている被処理物を収納したキャリア 5 0を右側コンペァ 4 ORにより受けて、保管庫 10内に入庫させ、これを近くにある空いた棚単位の位置近傍まで搬送するとともに、次の処理のために出庫される被処理物を収納した保管中のキヤリア 50を左側コンペア 40 Lにより受けて、これをエリア間搬送用コンペァ 60のところまで運び、このコンペァ上に送り出して、保管庫 10から出庫させる。左側コンペァ 40 L、右側コンベア 4 OR の各搬送方向は、一定の方向に定められている。

なお、右側コンベア 4 0 Rにより、近くにある空いた棚単位の位置近傍まで搬送されたキャリア 5 0は、ス夕ヅカークレーン 2 0の保持機構 2 1により保持されて、当該空いた棚単位上に移載されて、保管される。また、次の処理のために出庫される被処理物を収納した保管中のキヤリア 5 0は、ス夕ヅカークレーン 2 0の保持機構 2 1により保持されて、当該キャリア 5 0を保管する棚単位から取り出され、左側コンベア 4 0 L上に移載されて、搬送される。保持機構 2 1による右側コンペァ 4 O R上のキャリア 5 0の保持、および保持機構 2 1から左側コンベア 4 0 L上へのキャリア 5 0の移載は、各コンペァの途中に、その搬送方向に適宜間隔を置いて設置された複数の受け渡し部（昇降機構など） 4 1を介して行なわれる。

コンベア 4 0 (左側コンペァ 4 0 L、右側コンベア 4 O R) は、保管庫 1 0の一方の端部から他方の端部までキャリア 5 0を搬送することができ、レール 1 1 に沿って設けられたコンベア 4 0上に載置されたキヤリア 5 0であれば、コンペァ 4 0上のどの位置にあっても、ス夕ヅ力一クレーン 2 0の保持機構 2 1の到達範囲内にある。そのために、図 1 2 ( a ) に図示される、フォーク形式の保持機構 2 1を有するスタヅ力一クレーン 2 0が使用される場合には、その後方および上下方向に伸長する躯体の側方がデッドスペースとならないように、レール 1 1 をコンベア 4 0より長くして、ス夕ヅ力一クレーン 2 0の走行範囲が広げられるとよい。

エリア間搬送用コンベア 6 0からキャリア 5 0が右側コンペァ 4 O Rにより受けられるところ、および左側コンペア 4 0 Lからキャリア 5 0がエリァ間搬送用コンペァ 6 0上に送り出されるところには、エリア間搬送用コンベア 6 0の途中に夕一ンコンペァ（位置変更機構） 6 1がそれぞれ備えられており、これらの夕 —ンコンベア 6 1が、右側コンペァ 4 O R方向および左側コンペァ 4 0 L方向にそれぞれ向きを変えて、それらの送り出し方向をこれら左右側コンベアの搬送方向にそれそれ揃えることにより、前記のような、エリア間搬送用コンペァ 6 0と右側コンベア 4 0 R、左側コンペア 4 0 Lとの間でのキヤリア 5 0の移載が可能になる。なお、ターンコンペァ（位置変更機構） 6 1に代えて、移行装置などが使用されてもよい。

保管庫 1 0は、クリーンルームとして構成されることができ、この場合には、図 1 0に図示されるように、保管庫 1 0の天井部に H E P A、 U L P Aフィル夕一等を備えた清浄機構を収容したクリーンュニット 1 1 0が付設されるとともに、エリア間搬送用コンベア 6 0の途中に設置された両夕一ンコンベア 6 1を覆い、保管庫 1 0に接するように、一対の直方体形状のパスボヅクス 1 2 0が設けられる。このパスボックス 1 2 0は、雰囲気切替部をなし、雰囲気切替装置や清浄装置などを備えている。雰囲気切替装置は、パスボックス 1 2 0のエリア間搬送用コンペア 6 0の搬送方向に面する側の 2壁にそれそれ設けられた第 1の開閉機構（シャツ夕一） 1 2 1と、保管庫 1 0に面する側の一壁に設けられた第 2の開閉機構 (シャツ夕一) 1 2 2とから成っている。クリーンュニヅト 1 1 0は、保管庫 1 0内が常時一定のクリーン度に維持されるように作動する。

そこで、今、ェリァ間搬送用コンベア 6 0により、キャリア 5 0が保管庫 1 0 の入庫口のところまで搬送されてくると、そこで一旦停止し、そこに設置された図 1 0において右側のパスボックス 1 2 0の上流側の第 1の開閉機構（シャツ夕 —) 1 2 1が開き、キャリア 5 0がパスボックス 1 2 0内に搬送される。次いで、第 1の開閉機構 (シャツ夕一) 1 2 1が閉じ、第 2の開閉機構（シャッター） 1 2 2が開いて、夕一ンコンベア 6 1の前記のような作動により、キャリア 5 0 が、右側コンベア 4 O R上に移載されて、保管庫 1 0内に入庫される。このとき、保管庫 1 0内のクリーンな高圧雰囲気は、パスボックス 1 2 0内に充満して、パスボックス 1 2 0内の外部雰囲気を追い出すので、保管庫 1 0内が外部雰囲気により汚染されることはない。

保管庫 1 0内のキャリア 5 0が出庫される場合、左側コンベア 4 0 Lにより、キャリア 5 0が保管庫 1 0の出庫口のところまで搬送されてくると、そこで一旦停止し、そこに設置された図 1 0において左側のパスボックス 1 2 0の第 2の開閉機構（シャツ夕一) 1 2 2が開き、キャリア 5 0がパスボックス 1 2 0内に搬送される。このとき、保管庫 1 0内のクリーンな高圧雰囲気は、パスボックス 1 2 0内に充満して、パスボックス 1 2 0内の外部雰囲気を追い出すので、保管庫 1 0内が外部雰囲気により汚染されることはない。次いで、第 2の開閉機構（シャッ夕一） 1 2 2が閉じ、後流側の第 1の開閉機構（シャッター） 1 2 1が開いて、夕一ンコンベア 6 1の前記のような作動により、キャリア 5 0がエリア間搬送用コンベア 6 0上に移載される。

両パスボックス 1 2 0は、前記のとおり、それらのエリァ間搬送用コンベア 6 0の搬送方向に面する側の 2壁に、それぞれ第 1の開閉機構（シャツタ一） 1 2 1を備えているので、これらの全ての第 1の開閉機構（シャツ夕一） 1 2 1が閧くことにより、保管庫 1 0に保管されることが予定されていないキヤリア 5 0を、エリア間搬送用コンベア 6 0により、一方向に搬送することが可能である。なお、このパスボックス 1 2 0は、図示の実施形態では、保管庫 1 0の外部のエリア間搬送用コンペァ 6 0上に設置されているが、これに限定されず、保管庫 1 0の内部に設置されてもよい。要は、キャリア 5 0を保管庫 1 0の外部と内部との間で投入（入庫）、または取り出し（出庫）する時に、保管庫 1 0の内部の雰囲気と外部の雰囲気とを切り替えることができる雰囲気切替部があればよい。保管庫 1 0に対するキャリア 5 0の入庫と出庫、棚 3 0 (左側棚 3 0 L、右側棚 3 O R) に対するキャリア 5 0の移載、保管と取り出し、このようなキャリア 5 0の流れを可能にするコンベア 4 0 (左側コンペァ 4 0 L、右側コンペァ 4 0 R) 、ス夕ヅ力一クレーン 2 0、パスボックス 1 2 0、ターンコンベア 6 1等の作動は、すべてスケジュールあるいは上位ホスト、または製造装置などからの搬送（動作）要求に従って自動的に制御され、管理される。

また、被搬送物（被処理物、キャリア 5 0 ) は、情報識別部材（I Dタグ、 I Cタグ、パーコード等）を備えており、情報識別部材にメモリ一されている情報によって管理されている。例えば、保管庫 1 0に被搬送物を搬入する時に、被搬送物の識別情報を読み取る読取装置がコンベア 4 0の途中、または夕一ンコンペァ 6 1などに設けられており、これらが被搬送物の識別情報を読み取り、その読取情報に従って本自動保管システム 1を動作させ、被搬送物を目的の場所に搬送したり、保管したりするようになっている。

本実施形態 1における自動保管システム 1では、ス夕ッカークレーン 2 0は、 1台備えられるものとされているが、これに限られず、 2台以上備えられてもよい。また、棚 3 0 (左側棚 3 0 L、右側棚 3 O R) およびコンペァ 4 0 (左側コンベア 4 0 L、右側コンベア 4 O R) は、レ一ル 1 1の略全長に沿って、保管庫 1 0の一方の端部から他方の端部にまで及ぶ範囲に設けられているが、これに限られず、それより短くされてもよい。特にコンペァ 4 0は、複数列 ·複数段の立体的な棚構成をなす棚 3 0の少なくとも 1つの列に対して備えられるようにされてもよい。また、棚 3 0は、左側もしくは右側のいずれかの棚が省略されてもよい。

また、本実施形態 1における自動保管システム 1では、エリア間搬送用コンペァ 6 0は、保管庫 1 0の手前側にのみ設けられているが、これに限られず、図 4 に図示されるように、保管庫 1 0の奥側にも設けられるようにされてよく、この場合において、この奥側のエリア間搬送用コンペァ 6 0は、保管庫 1 0に対する接続の仕方によって、保管庫 1 0に対する入庫用、出庫用、入庫用 ·出庫用のコンベアとして、各種の形態で使用することができる。図 4の場合は、出庫用のコンペアとして使用されている。

さらに、本実施形態 1における自動保管システム 1では、保管庫 1 0は、 1つ備えられるものとされたが、その複数を、直交する関係で接続 ·配置したり（図 6参照）、同じ方向に連設したり（図 7〜図 9参照）、エリア間搬送用コンベア 6 0に対して並列の関係で配置したり、して用いることができる。図 6に図示されるように、 2つの保管庫 1 0を直交する関係で配置 '接続した場合、その交差部には、対応する右側コンベア 4 O Rの途中に、一対のターンコンペァ 6 1が設けられる。これらのターンコンベア 6 1は、右側コンベア 4 O R上に載置されて搬送されるキャリア 5 0を、付設された保管庫 1 0に対して入庫させ、また、出庫させるために用いられる。この複合自動保管システム 1においては、元々備えられていた保管庫 1 0の奥側にも、エリア間搬送用コンベア 6 0が備えられている。なお、図 6〜図 9に図示の例では、いずれも接続される 2つの保管庫 1 0同志の端部もしくは中間部が連結されているが、連結部分を少し離して設置して、コンペァ 4 0のみを連結させ、両保管庫 1 0の間に通路を確保するようにすることもできる。

また、図 8に図示されるように、 2つの保管庫 1 0が同じ方向に連設される場合、その連設部および連設された保管庫 1 0の最奥部には、各保管庫 1 0の左側コンペァ 4 0 Lと右側コンベア 4 O Rとをつなぐ接続コンベア 6 2がそれそれ設けられてもよい。このようにすると、ス夕ヅ力一クレーン 2 0の動作とは関係なく、 2つの保管庫 1 0内に存在する空いた棚単位近傍に、比較的短い経路を通つてキャリア 5 0を搬送することができ、棚 3 0の利用効率が向上するとともに、搬送効率が向上する。なお、接続コンペァ 6 2と左側コンペァ 4 0 L、右側コンペア 4 O Rとの各交差部には、それそれ夕一ンコンペァ 6 1が設けられている。図 9に図示される変形例では、連設された保管庫 1 0の最奥部に接続コンベア 6 2は設けられておらず、代わりに、連設された保管庫 1 0の奥側に、エリア間搬送用コンペァ 6 0が接続されている。

本実施形態 1における自動保管システム 1は、前記のように構成されているので、次のような効果を奏することができる。

ス夕ヅカークレーン（搬送移載機構） 2 0の保持機構 2 1の到達範囲内にコンベア（搬送機構） 4 0を設けることにより、被処理物、またはキャリア 5 0を、目的の棚の付近まで、または出庫口の付近まで、ス夕ヅ力一クレーン 2 0の動作とは関係なく、搬送することができる。このため、スタッカークレーン 2 0は、最小限の動作時間で棚 3 0、または出庫口に被処理物、またはキャリア 5 0を搬送移載することができ、搬送時間を削減することができる。

また、コンベア 4 0は、被処理物、またはキャリア 5 0を保管庫 1 0の一方の端部から他方の端部まで搬送することができるので、連続して搬送されてくる被処理物、またはキャリア 5 0を待機させることなく、また、スタッカークレーン 2 0の動作とは関係なく、保管庫 1 0内に入庫させて搬送することができる。このため、ワークの待機時間を極力短くすることができ、ス夕ヅ力一クレーン 2 0 は、最小限の動作時間で棚 3 0、または出庫口に被処理物、またはキャリア 5 0 を搬送移載することができる。これらにより、全体として、搬送時間を削減して、ワークの効率的な保管および搬送を可能にすることができる。

また、保管庫 1 0が複数、接続 ·配置される場合には、複数の保管庫 1 0への被処理物、またはキャリア 5 0の搬送を、それそれの保管庫 1 0内のス夕ヅカークレーン 2 0の動作に左右されることなく、それそれの保管庫エリアを通して、目的のェリァに向けて実行することができ、搬送効率が向上する。さらに、コンペァ 4 0の搬送方向は、一定の方向に定められているので、被処理物、またはキャリア 5 0の搬送管理と保管管理とを容易に行なうことができ、プログラムの複雑化を防ぐことができる。

また、棚 3 0は、複数の列と複数の段とを備え、コンペァ 4 0は、その棚 3 0 の少なくとも 1つの列に備えられているので、複数列。複数段の棚構成に対して、そのうちの少なくとも 1つの列にコンベア 4 0が備えられることになり、被処理物、またはキヤリア 5 0の保管をスペース効率よく、また搬送効率よく行なうことができる。

また、搬送機構として、コンベアが使用されているので、被処理物、またはキャリア 5 0の連続的な搬送を行なうことができる。また、被処理物、またはキヤリア 5 0の搬送レベルを変えることなく、エリァ間搬送用コンベア 6 0と保管庫 1 0内搬送用コンベア 4 0との間等を通じて、搬送することができるので、搬送物への振動を極力小さくすることができる。

さらに、また、保管庫 1 0は、クリーンルームとして構成されているので、半導体装置や液晶装置等を製造する製造装置に求められる被処理物の処理のための高度なクリーン環境に対応し得る、被処理物、またはキャリア 5 0の保管のための高度なクリーン環境を確保することができる。その他、種々の効果を奏することができる。次に、本願の発明の第 2の実施形態（実施形態 2 ) について説明する。

図 2は、本実施形態 2における自動保管システムの概略構成を示す斜視図である。同図に示されるように、本実施形態 2における自動保管システム 1は、その保管庫 1 0の両側壁に、処理装置 7 0が接続されている。この場合、処理装置 7 0は、それが備えるワーク受け渡し部（ロードポート） 8 0のみが保管庫 1 0内にあるようにされ、しかも、ス夕ッ力一クレーン（搬送移載機構） 2 0の保持機構 2 1の到達範囲内にあるようにされて、保管庫 1 0の両側壁に接続されている。処理装置 7 0は、 1台が接続される場合もあり、異なる処理を行なう複数台が接続される場合もある。さらには、これらに加えて、検査装置や被処理物の入替装置が接続される場合もある。この入替装置は、キャリア 5 0内部の被処理物（基板）を異なるキャリア 5 0に移し替えたり、キャリア 5 0内部の被処理物を並べ替えるなどの入替処理を行なう装置である。これらの処理装置 7 0や図示されない検査装置、入替装置は、半導体装置や液晶装置等を製造する製造装置の構成要素をなすものである。

処理装置 7 0のワーク受け渡し部 8 0が保管庫 1 0内に臨む部分では、棚 3 0 の棚単位は除去され、スタッカークレーン 2 0の保持機構 2 1がワーク受け渡し部 8 0にアクセスするのに支障のないようにされている。

なお、図示の実施形態では、処理装置 7 0や図示されない検査装置は、保管庫 1 0の両側壁に接続されているが、これに限られず、保管庫 1 0の一側壁に適数台が接続されればよいものである。また、図 1 1に図示されるように、複数台（図示例では 2台）の保管庫 1 0を同じ方向に連設して用いることもできる。本実施形態 2における自動保管システム 1は、以上の点で実施形態 1と異なつているが、その他の点で異なるところはないので、詳細な説明を省略する。本実施形態 2における自動保管システム 1は、前記のように構成されているので、次のような効果を奏することができる。

保管庫 1 0に処理装置 7 0が隣接して設けられることになり、保管庫 1 0自体を処理装置 7 0用の一時的な被処理物、またはキャリア 5 0のバッファとすることができる。また、保管庫 1 0に複数の異なった処理を行なう処理装置 7 0が接続される場合には、被処理物、またはキャリア 5 0は、この保管システム 1により、ストックと循環とを繰り返しながら、それそれの処理装置 7 0を循環することができるので、 1つの被処理物に必要な処理を効率よく行なうことができる。その他、実施形態 1が奏する前記のような効果と同様の効果を奏することがでさる。次に、本願の発明の第 3の実施形態（実施形態 3 ) について説明する。

図 2は、本実施形態 3における自動保管システムの概略構成を示す斜視図である。同図に示されるように、本実施形態 3における自動保管システム 1は、実施形態 2における自動保管システム 1 (図 2参照）において、保管庫 1 0の一側壁の任意の一部に、被処理物、またはキャリア 5 0の投入 ·取出部 9 0が適数、さらに備えられて構成されている。投入 '取出部 9 0は、投入 ·取出口 9 1と、投入 -取出機構 9 2とから成り、投入 '取出機構 9 2は、コンベアを備えている。なお、図示の実施形態では、投入 '取出部 9 0は、保管庫 1 0の一側壁に設けられているが、これに限られず、必要に応じて、保管庫 1 0の両側壁に設けられてもよい。また、右側コンベア 4 O R上に開口するように設けられているが、これに限られず、任意の棚に開口するように設けられてもよい。また、投入'取出部 9 0に代えて、投入のみが行なわれる投入部 9 0とされたり、取り出しのみが行なわれる取出部 9 0とされてもよく、さらに、投入部と取出部とが別々に形成されてもよい。

本実施形態 3における自動保管システム 1は、以上の点で実施形態 2と異なつているが、その他の点で異なるところはないので、詳細な説明を省略する。本実施形態 3における自動保管システム 1は、前記のように構成されているので、さらに、次のような効果を奏することができる。

保管庫 1 0の側壁の一部に、被処理物、またはキャリア 5 0の投入部と取出部とのいずれか一方もしくは双方を少なくとも 1つまたは 1つずつ備えているので、被処理物、またはキャリア 5 0を保管庫 1 0から取り出したり、または保管庫 1 0に投入したりすることができる。例えば、被処理物の抜き打ち的な 1«を行なうために、被処理物を保管庫から取り出したり、または検査済みの被処理物を保管庫に投入したりすることができ、自動保管システム 1の利便性が向上する。次に、本願の発明の第 4の実施形態（実施形態 4 ) について説明する。

図 5..a,は、本実施形態 4における自動保管システムの概略構成を示す斜視図である。同図に示されるように、本実施形態 4における自動保管システム 1は、実施形態 1における自動保管システム 1の変形例（図 4参照）において、保管庫 1 0の一方の端部から他方の端部へ、被処理物、またはキャリア 5 0を搬送する右側コンペァ（搬送機構） 4 O Rに寄り添うように、もう 1台のコンベア (搬送機構） 4 0 Eが付設されて、これら 2台のコンペァ 4 0 R、 4 0 Eの途中の適数個所に、これら 2台のコンペァ 4 0 R、 4 0 Eに跨がるようにして、分岐 ·合流部 1 0 0がさらに備えられて構成されている。なお、コンペァ 4 0 Eは、保管庫 1 0の外部に設置されている。

コンベア 4 O Rは、エリア間搬送用コンベア 6 0からキャリア 5 0を受けて、これを保管庫 1 0の奥方向に搬送する。コンベア 4 0 Eの搬送方向は、コンベア 4 O Rの搬送方向と逆にされている。分岐'合流部 1 0 0は、第 1の分岐 '合流部 1 0 1と第 2の分岐 ·合流部 1 0 2とから成り、これら第 1の分岐 ·合流部 1 0 1と第 2の分岐'合流部 1 0 2とは、いずれも 2つの夕一ンコンベア 6 1から成っており、 2つのターンコンベア 6 1のうちの一方は、 2台のコンベア 4 O R 、 4 0 Eのうちのいずれか一方の途中に設置され、 2つの夕一ンコンベア 6 1のうちの他方は、 2台のコンベア 4 0 R、 4 0 Eのうちのいずれか他方の途中に設置されている。

したがって、今、エリア間搬送用コンベア 6 0からコンベア 4 O Rにより受けられて、このコンベア 4 0 R上を保管庫 1 0の奥方向に搬送されるキャリア 5 0 は、その搬送過程において、分岐 ·合流部 1 0 0を通過しょうとする。この時、第 1の分岐 '合流部 1 0 1を構成する 2つのターンコンベア 6 1が、それらの搬送方向をコンペァ 4 0 Eの方向に向ければ、分岐 ·合流部 1 0 0を通過しようとしていたキャリア 5 0は、コンペァ 4 0 R上の流れから分岐してコンベア 4 0 E の方向に向かい、このコンベア 4 0 E上に移載される。そして、コンペァ 4 0 E 上を搬送されているキャリア 5 0の流れに合流して、先程とは逆の、保管庫 1 0 の手前方向に搬送される。

また、分岐-合流部 1 0 0を通過したキャリア 5 0は、保管庫 1 0の最奥部まで到達すると、コンペァ 4 0 R、 4 0 Eの各端部に設置された夕一ンコンベア 6 1の作動により、方向が転換されて、コンベア 4 0 E上に移載され、このコンペァ 4 0 E上を保管庫 1 0の手前方向に搬送される。そして、その搬送過程において、キャリア 5 0が分岐 ·合流部 1 0 0を通過しょうとする時、第 2の分岐-合流部 1 0 2を構成する 2つの夕一ンコンベア 6 1が、それらの搬送方向をコンペァ 4 0 Rの方向に向ければ、分岐 ·合流部 1 0 0を通過しょうとしていたキヤリァ 5 0は、コンペァ 4 0 E上の流れから分岐してコンベア 4 0 Rの方向に向かい、このコンペァ 4 0 R上に移載される。そして、コンペァ 4 0 R上を搬送されているキャリア 5 0の流れに合流して、先程と同じ、保管庫 1 0の奥方向に搬送され、以下同様にして、同じ流れの閉回路を循環することができる。コンペァ 4 0 Eがエリア間搬送用コンベア 6 0と交差する部分にも、エリア間搬送用コンベア 6 0の途中個所に夕一ンコンベア 6 1が設置されており、コンペァ 4 0 E上を搬送されてきたキヤリア 5 0の流れの方向をコンベア 4 O Rの方向に転換することができるようにされている。

本実施形態 4において、分岐 '合流部 1 0 0は、第 1の分岐 ·合流部 1 0 1と第 2の分岐 '合流部 1 0 2とから成るものとされたが、これに限定されず、必要に応じて、いずれかが省略されてもよい。また、分岐 ·合流部 1 0 0は、必要に応じて、左側コンベア 4 0 Lの側にも、同様にして設けることができる。さらに、コンペァ 4 0 Eを覆って、これを外部から遮断するようなトンネルカバ一が設けられてもよい。さらに、図 5 bに示すように、分岐'合流部へ他の搬送装置（コンベアなど） 1 2 3を接続してもよい。なお、図 5 bに示すコンベアの搬送方向は、一方向および両方向に動作することを可能とする。

本実施形態 4における自動保管システム 1は、以上の点で実施形態 1と異なつているが、その他の点で異なるところはないので、詳細な説明を省略する。本実施形態 4における自動保管システム 1は、前記のように構成されているので、さらに、次のような効果を奏することができる。

保管庫 1 0の一方の端部から他方の端部へ、被処理物、またはキャリア 5 0を搬送するコンベア（搬送機構） 4 0 (左側コンベア 4 0 L、右側コンベア 4 O R ) は、左右側のいずれかの側もしくは双方の側のコンベアの途中に分岐'合流部 1 0 0を少なくとも 1つ備えているので、例えば、棚 3 0のエリアを、図 5に図示されるエリア 1〜エリア 3のように、複数種類にエリア分けを行なった時、コンベア 4 0は、被処理物、またはキャリア 5 0を目的の種類のェリァ付近に待機させつつ、他のエリアへの被処理物、またはキャリア 5 0の搬送を妨げることなく、これらを他のエリアへ搬送することができる。

また、コンベア 4 0 Eを覆うトンネルカバ一が設けられる場合には、その内部雰囲気を、保管庫 1 0内部の雰囲気と同じ雰囲気にすることができ、保管庫 1 0 内部のクリーンな雰囲気を保持することができる。また、分岐 ·合流部に他の搬送装置 (例えば、コンベアや移載装置など。 ) 1 2 3を接続することにより、所定の処理を行う処理装置などとの間においてキヤリアのやり取りが可能となり、効率的なキヤリアの搬送が可能となる。

本願の発明は、以上の実施形態 1〜4に限定されることなく、本願の発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々の変更が可能である。

例えば、前記に説明したコンベア 4 0 ( 4 0 R、 4 0 L ) は、その駆動部を、所望の間隔で複数台備えるようにしてもよいし、また、キャリア 5 0毎の間隔で複数台備えるようにしてもよい。このようにすることにより、キャリア 5 0毎、または、所望の間隔毎にコンペァ 4 0 ( 4 O R, 4 0 L ) を駆動することができるようになり、所望の搬送制御が可能となる。

Claims

請求の範囲

1 . 被処理物、または少なくとも 1つの被処理物を収納したキヤリァを保持する保持機構を少なくとも 1つ備え、前記被処理物、または前記キヤリァを保持して所定の範囲を搬送可能であり、前記被処理物、または前記キャリアを前記保持機構の到達範囲内の任意の位置へ載置することが可能な少なくとも 1つの搬送移載機構と、

前記搬送移載機構の前記保持機構の到達範囲内に、前記被処理物、または前記キヤリアを保管する棚と、

前記保持機構の到達範囲内に、前記被処理物、または前記キャリアを搬送する少なくとも 1つの搬送機構と

を備えたことを特徴とする自動保管システム。

2 . 被処理物、または少なくとも 1つの被処理物を収納したキャリアを保持する保持機構を少なくとも 1つ備え、前記被処理物、または前記キヤリァを保持して所定の範囲を搬送可能であり、前記被処理物、または前記キャリアを前記保持機構の到達範囲内の任意の位置へ載置することが可能な少なくとも 1つの搬送移載機構と、

前記搬送移載機構の前記保持機構の到達範囲内に、前記被処理物、または前記キヤリアを保管する棚であって、少なくとも 1つの囲まれた保管庫内に配置される棚と、

前記囲まれた保管庫の一方の端部から他方の端部へ、前記被処理物、または前記キヤリァを搬送することが可能な少なくとも 1つの搬送機構と

を備えたことを特徴とする自動保管システム。

3 . 被処理物、または少なくとも 1つの被処理物を収納したキャリアを保持する保持機構を少なくとも 1つ備え、前記被処理物、または前記キャリアを保持して所定の範囲を搬送可能であり、前記被処理物、または前記キャリアを前記保持機構の到達範囲内の任意の位置へ載置することが可能な少なくとも 1つの搬送移載機構と、

前記搬送移載機構の前記保持機構の到達範囲内に、前記被処理物、または前記キャリアを保管する棚であって、少なくとも 1つの囲まれた保管庫内に配置される棚と、

前記囲まれた保管庫の一方の端部から他方の端部へ、前記被処理物、または前記キャリアを搬送することが可能な少なくとも 1つの搬送機構と

を備え、

前記搬送移載機構の前記保持機構の到達範囲内に、前記被処理物、または前記キャリアの受け渡し部を設けた少なくとも 1台の処理装置が接続されていることを特徴とする自動保管システム。

4 . 前記搬送機構の搬送方向は、一定の方向に定められていることを特徴とする請求項 1ないし請求項 3のいずれかに記載の自動保管システム。

5 . 前記棚は、複数の列と複数の段とを備え、前記搬送機構は、前記棚の少なくとも 1つの列に備えられていることを特徴とする請求項 1ないし請求項 4のいずれかに記載の自動保管システム。

6 . 前記保管庫の一部に、前記被処理物、または前記キャリアの投入部と取出部とのいずれか一方もしくは双方を少なくとも 1つ、または 1つずつ備えたことを特徴とする請求項 1ないし請求項 4のいずれかに記載の自動保管システム。

7 . 前記保管庫の一方の端部から他方の端部へ、前記被処理物、または前記キヤリアを搬送することが可能な搬送機構は、その途中に分岐部 ·合流部またはそのいずれか片方を少なくとも 1つ備えていることを特徴とする請求項 1ないし請求項 4のいずれかに記載の自動保管システム。

8 . 前記搬送機構は、コンペァであることを特徴とする請求項 1ないし請求項 7 のいずれかに記載の自動保管システム。

9 . 前記保管庫は、クリーンルームとして構成されていることを特徴とする請求項 2ないし請求項 8のいずれかに記載の自動保管システム。