KR20090026099A - 보관고, 반송 시스템 및 보관고 세트 - Google Patents

Abstract

본 발명의 과제는, 예를 들어, 반도체 소자 제조용의 각종 기판을 수용하는 FOUP 등의 짐을 일시적으로 보관하는 스토커 등의 보관고에 있어서, 간단한 구성에 의해 효율적으로 짐을 출고/입고하는 것 혹은 효율적으로 보관고 내 반송하기 위한 것이다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명에 의하면, 보관고(10)는 짐(3)을 지지가능한 지지부(11); 지지부를 수평 일방향으로 왕복 이동가능한 수평 구동부 (13); 재치부를 연직 방향으로 왕복이동가능한 연직 구동부(14); 및 지지부가 연직 구동부에 의해 도달가능한 연직 방향의 복수 단에 수평 구동부에 의해 도달가능한 수평위치에 1개 또는 2개 이상씩 설치되는 동시에, 지지부와의 사이에서 짐을 서로 이재가능하게 각각 구성되어 있는 복수의 재치면을 가지는 선반(15)을 구비하고 있다. 복수의 재치면의 적어도 1개는 짐의 출입고용의 포트로서 기능한다.

보관고, 지지부, 연직 구동부, 선반

Description

보관고, 반송 시스템 및 보관고 세트{STORAGE, TRANSPORTING SYSTEM AND STORAGE SET}

본 발명은, 예를 들어 반도체 소자 제조용의 각종 기판을 수용하는 FOUP(Front Open Unified Pod) 등의 짐을 궤도상에서 반송하는 반송 시스템에 있어서, 궤도에 인접한 위치에서 짐을 일시적으로 보관하는 스토커(stocker) 등의 보관고의 기술분야에 관한 것이다.

이 종류의 보관고는, 예를 들어 비히클(vehicle) 등의 반송차가 주행하는 궤도에 인접해서 부설되고, 보관고 내에는 반송차에 의해 반송되는 짐을 다수개 보관하도록 다수의 선반부분이 설치된다. 또한, 이러한 보관고 내와 반송차와의 사이에 있어서의 짐의 수수 또는 출입(즉, 출고/입고)을 행하기 위한 "포트"(port)와 지정된 선반부분과의 사이에 있어서의 짐의 반송(즉, 보관고 내 반송)을 행하기 위한, 스태커 로봇(stacker robot), 스태커 크레인(stacker crane) 등으로 불리는 보관고 내 반송 장치가 설치된다. 특히, 스태커 로봇 등에 의해, 종횡 무진하게 확대되는 다수의 선반부분을 포함하는 보관고 내에 있어서의 반송이 가능하게 되어 있다(특허 문헌 1 및 2 참조).

한편, 이 종류의 보관고에는, 연직 방향으로 다수 단 나열된 선반부분의 옆을 따라서 승강가능한 승강대 위에 직접 천정 매달림형의 반송차로부터 짐이 이재되는 비교적 소형의 보관고도 있다. 이 보관고에서는, 출고 시에는 승강대 위로부터 직접 짐이 반송차로 이재된다(즉, 옮겨진다)(특허 문헌 3 참조).

특허 문헌 1: 일본국 공개 특허 제2006-049454호 공보

특허 문헌 2: 일본국 공개 특허 제2003-182815호 공보

특허 문헌 3: 일본국 공개 특허 제2004-238191호 공보.

그러나, 전술한 특허 문헌 1 및 2에 기재된 보관고에 의하면, 첫번째로, 스토커 로봇 등의 보관고 내 반송장치는, 제어 및 구조가 기본적으로 고도로 복잡하며, 고비용인 동시에 유지 관리(maintenance)에도 수고나 비용이 든다고 하는 기술적 문제점이 있다.

또, 전술한 특허 문헌 1 및 2에 기재된 보관고에 의하면, 두번째로, 보관고의 유지 관리를 하기 위해서, 보관고의 주위에는 1m 정도의 공간(space)을 확보해둘 필요가 있다. 이 때문에, 궤도를 따라서 배치되는, 보관고끼리의 사이나 보관고와 제조 장치 등과의 사이에는, 유지 관리를 행할 때 이외에는 쓸데없는 공간이 생겨버린다. 게다가, 보관고는, 공장 내에 있어서의 대형설비의 하나로서, 공장 내에 각종 부품을 가지고 들어가 조립할 필요가 있다. 또한, 스태커 로봇 등의 보관고 내 반송 장치는, 제어 및 구조가 기본적으로 고도로 복잡하며, 고비용인 동시에 유지 관리에도 수고나 비용이 든다고 하는 기술적 문제점이 있다.

한편, 전술한 특허 문헌 3에 기재된 보관고에 의하면, 승강대 그 자체가 출입고용의 포트로 되어, 입고 시 반송차로부터 매달아서 승강대 위까지 위치 결정하면서 짐을 내리거나 또는 출고 시 반송차에 의해 승강대 위로부터 낚아 올리는 데 시간이 걸린다. 특히, 승강대가 위쪽에 있는 수수 위치에 없으면, 승강대를 그 위치까지 이동시키는 시간이 걸리고, 아래쪽에 있는 승강대에서 수수하는 것도 곤란하다. 그리고, 특히, 이와 같이 시간이 걸리는 출고/입고 작업 중에 의해 승강대 는 독점 사용되므로, 승강대를 사용해서 다른 짐을 보관고 내 반송하는 것은 불가능하다. 이에 부가해서, 롤러, 벨트, 가이드 등을 조합시켜서, 이러한 승강대 상에서 출고/입고하는 기구에서는, 승강대 및 짐을 위치 결정하면서 고속으로 출고/입고 및 보관고 내 반송을 행하는 것은 근본적으로 곤란하다고 하는 기술적 문제점이 있다.

본 발명은, 예를 들어, 전술한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로서, 첫번째로, 간단한 구성에 의해 효율적으로 짐을 출고/입고하는 것 혹은 효율적으로 보관고 내 반송하는 것을 가능하게 하는 보관고를 제공하는 것을 과제로 한다.

또, 본 발명은, 예를 들어 전술한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로서, 두번째로, 궤도를 따른 작은 공간에도 배치가능해서, 유지 관리가 용이하고, 간단한 구성에 의해 효율적으로 짐을 출고/입고하는 것 혹은 효율적으로 보관고 내 반송하는 것을 가능하게 하는 보관고 및 이러한 보관고를 구비해서 이루어진 보관고 부착 반송 시스템을 제공하는 것을 과제로 한다.

본 발명의 제1보관고는, 상기 과제를 해결하기 위해서, 짐을 지지가능한 지지부; 상기 지지부를 수평 일방향으로 왕복 이동 가능한 수평 구동부; 상기 지지부를 연직 방향으로 왕복 이동가능한 연직 구동부; 및 상기 지지부가 상기 연직 구동부에 의해 도달가능한 상기 연직 방향의 복수 단에, 상기 수평 구동부에 의해 도달가능한 수평위치에 1개 또는 2개 이상씩 설치된 동시에, 상기 지지부와의 사이에서 상기 짐을 서로 이재가능하게 각각 구성되어 있는 복수의 재치면(載置面: 즉, 얹어 놓는 면)을 가지는 선반을 구비하되, 상기 복수의 재치면의 적어도 하나는 상기 짐의 출입고용의 포트로서 기능한다.

이 양상에서는, 상기 지지부는 상기 짐을 그 밑바닥 쪽에서부터 지지가능한 제1재치면을 가지는 재치부이며, 상기 복수의 재치면은 각각 상기 제1재치면과의 사이에서 상기 짐을 서로 이재가능하게 구성되어 있는 제2재치면이다.

본 발명의 제1보관고에 의하면, 선반은 연직 방향으로 1열 또는 복수열 배열된 복수의 재치면(즉, 제2재치면)을 가진다. 예를 들어, 연직 방향으로 m(단, m은 2 이상의 자연수)단, 수평 일방향으로 n(단, n은 1 이상의 자연수)열, 또한 이것에 수직인 남은 수평 일방향(이하, 단순히 「두께 방향」이라 칭함)으로는 1열만으로 한 상태에서, 얇고도 세로로 가늘고 긴 평판 형상으로 되도록, 선반 전체의 골격은 구성된다. 지지부(즉, 재치부)는, 예를 들어, 그 제1재치면 위에 짐을 얹은 상태에서, 이러한 보관고 내를, 연직 구동부 및 수평 구동부에 의해서 연직 방향 및 수평 일방향이라고 하는 2방향 또는 2축 방향으로 이동가능하게 구성되어 있다.

입고 시에는, 반송차로부터 포트로서 기능하는 제2재치면 위에 짐이 이재된다. 계속해서, 포트로서 기능하는 제2재치면 위에 이재된 짐은 2축 방향으로 이동가능한 재치부의 제1재치면에 재치된다. 예를 들어, 제1 및 제2재치면은, 짐의 밑면에 있어서의 상이한 부분(전형적으로는, 중앙쪽 부분과 주변쪽 부분)을 지지하도록 구성되어 있어, 어느 쪽인가 한쪽에서 짐을 지지하는 것이 가능하다. 재치부가, 포트로서 기능하는 제2재치면이 존재하는 연직위치 또한 수평위치로 이동되었을 때에, 포트로서 기능하는 제2재치면을 대신해서, 제1재치면에서 지지함으로써, 제2재치면으로부터 제1재치면으로의 이재가 행해진다. 전형적으로는, 연직 구동부에 의해 제1재치면이 제2재치면보다 높아질 때까지 이동됨으로써, 짐은 제1재치면에 의해서 지지되는 것으로 된다. 이것에 의해, 입고 시에 있어서의 보관고 내 반송이 개시된다. 여기에서는, 연직 구동부 및 수평 구동부에 의한 간단한 2축 동작에 의해서, 선반에 있어서의 어느 쪽의 제2재치면에도 신속하게 보관고 내 반송이 가능하다.

계속해서, 재치부가 보관에 사용하고자 하는 제2재치면이 존재하는 연직 위치 또한 수평 위치로 이동된 때에는, 제1재치면을 대신해서, 제2재치면에서 지지함으로써, 제1재치면으로부터 제2재치면으로의 이재가 행해진다. 전형적으로는, 연직 구동부에 의해 제1재치면이 제2재치면보다 낮아질 때까지 이동됨으로써, 짐은 제2재치면에 의해서 지지되는 것으로 된다. 이것에 의해, 입고 시에 있어서의 보관고 내 반송이 종료되어, 선반에서의 보관이 개시된다.

한편, 출고 시에는, 재치부가 출고하고자 하는 짐이 재치되어 있는 제2재치면이 존재하는 연직 위치 또한 수평위치로 이동된다. 계속해서, 제2재치면을 대신해서, 제1재치면에서 지지함으로써, 제2재치면으로부터 제1재치면으로의 이재가 행해진다. 전형적으로는, 연직 구동부에 의해 제1재치면이 제2재치면보다 높아질 때까지 이동됨으로써, 짐은 제1재치면에 의해서 지지되는 것으로 된다. 이것에 의해, 출고 시에 있어서의 보관고 내 반송이 개시된다. 계속해서, 재치부가 포트로서 기능하는 제2재치면이 존재하는 연직 위치 또한 수평 위치로 이동된다. 여기에서는, 연직 구동부 및 수평 구동부에 의한 간단한 2축 동작에 의해서, 어느 쪽의 제2재치면에서도 신속하게 보관고 내 반송이 가능하다.

계속해서, 제1재치면 대신에 포트로서 기능하는 제2재치면으로 지지함으로써 제1재치면으로부터 포트로서 기능하는 제2재치면으로의 이재가 행해진다. 전형적으로는, 연직 구동부에 의해 제1재치면이 제2재치면보다 낮아질 때까지 이동됨으로써, 짐은 제2재치면에 의해서 지지되는 것으로 된다. 이것에 의해 출고 시에 있어서의 보관고 내 반송이 종료되어, 포트로부터 반송차로의 이재가 가능한 상태로 된다.

그 후, 이미 포트에 대면하는 궤도 상 위치에서 대기하고 있었던 또는 다음에 이 위치에 도착하는 반송차에 의해서, 포트로부터 반송차로의 이재가 행해진다.

이상의 결과, 포트는 제2재치면 중 적어도 하나이므로, 재치부가 보관고 내 반송을 한창 행하고 있는 도중에도, 이 포트로서 기능하는 제2재치면에 짐이 재치되지 않는 한, 반송차로부터 포트의 이재는 실행가능하다. 반대로, 재치부가 보관고 내 반송을 한창 행하고 있는 도중에도, 포트로부터 반송차로의 이재는 실행가능하다. 또한, 구동부에 의해 2축 방향으로 움직이는 재치부라고 하는 비교적 간단한 구성 및 간단한 제어에 의해서, 보관고 내 반송을 포트 및 반송차 간의 이재 작업의 방해가 되지 않도록 실행할 수 있다. 또, 해당 보관고는 연직 방향 및 수평 일방향으로 확대부를 가지는 동시에 두께 방향에 대해서는, 매우 얇게 구성하는(예를 들어, 1개의 짐의 폭에 약간의 기구용의 폭을 더한 두께와 동일한 정도까지 얇게 하는) 것도 가능하다. 이 때문에, 반송차 궤도를 따른 비교적 작은 간극에도, 이 두께 방향을 적절하게 맞추면, 해당 보관고를 삽입하는 형태로 배치할 수 있다. 또한, 간극의 폭에 맞춰서 해당 얇은 보관고를 두께 방향으로 복수 병렬로 배치하는 것도 가능해진다. 또, 소형화를 도모함으로써, 보관고 전체를 이동 가능하게 할 수도 있어, 특히 유지 관리도 용이해진다.

이와 같이, 궤도를 따른 비교적 작은 간극에도 배치가능해서, 유지 관리가 용이하고, 간단한 구성에 의해 효율적으로 짐을 출고/입고하는 것 또는 효율적으로 보관고 내 반송하는 것이 가능해진다.

또, 지지부는, 이재 시, 짐의 밑면을 지지하는 것과 같은 구성으로 한정되지 않고, 짐의 정상부에 부착된 플랜지 등을 지지 또는 유지하는 것과 같은 구성으로 해도 된다.

본 발명의 제1보관고의 일 양상에서는, 상기 선반은 상기 지지부가 상기 수평 일방향의 양쪽 각각으로 이동되었을 때에 상기 짐을 지지 가능하게, 각 단에 2개씩 상기 재치면을 가진다.

이 양상에 의하면, 예를 들어, 연직 방향으로 m단, 수평 일방향으로 2열, 또, 두께 방향으로 1열만으로 한 상태에서, 얇고도 세로로 가늘고 긴 평판 형상으로 되도록, 선반 전체의 골격은 구성된다. 특히, 동일 단에 2개 존재하는 재치면(제2재치면) 간의 보관고 내 반송은, 수평 구동부에 의한 수평이동에 의해서 단순하고도 신속하게 실행 가능해진다. 또한, 동일 단에 하나씩 제2재치면을 준비할 경우와 비교해서, 보관 용량을 향상할 수 있는 동시에 수평 구동부 및 연직 구동부의 기능을 보다 유효하게 활용할 수 있어, 반송 효율도 향상할 수 있다.

단, 선반은, 재치부가 수평 일방향의 일단부 쪽으로 이동되었을 때에 짐을 지지 가능하게, 각 단에 1개씩 제2재치면을 가지도록 구성해도, 전술한 본 발명에 따른 효과는 상응하게 얻어진다.

본 발명의 제1보관고의 다른 양상에서는, 상기 선반은, 상기 재치면 중 상기 선반의 최상단에 있는 적어도 하나가 상기 포트로서 기능한다.

이 양상에 의하면, 반송차가 보관고의 위쪽에 부설된 궤도 위를 주행할 경우에, 이 반송차로부터 짐을 포트로 이재하는 작업이 간단해진다. 마찬가지로, 포트로부터 반송차에 짐을 이재하는 작업도 간단해진다. 또, 최상단에, 2개의 재치면(제2재치면)이 존재할 경우에는, 양쪽을 각각 포트로서 기능시키는 것도 가능하고, 한쪽만을 포트로서 기능시키는 것도 가능하다.

본 발명의 제1보관고의 다른 양상에서는, 상기 제1재치면도 상기 포트로서 기능한다.

이 양상에 따르면, 제2재치면뿐만 아니라, 제1재치면도 포트로서 기능하므로, 출고/입고를 행할 기회를 증대시킬 수 있고, 반송차의 상황에 따라서는, 보다 신속한 이재가 가능해진다.

본 발명의 제1보관고의 다른 양상에서는, 상기 제1 및 제2재치면은 각각 상기 재치부가 상기 일단쪽으로 이동되었을 때에, 상기 연직 방향으로부터 보아서 서로 상보적인 평면 형상을 가진다.

이 양상에 의하면, 예를 들어, 평면에서 보아서, 제1재치면이 말굽형이면, 제2재치면은 그 말굽형의 중앙을 메우는 섬형상인 등, 혹은, 반대로 제2재치면이 말굽형이면, 제1재치면은 그 말굽형의 중앙을 메우는 섬형상인 등과 같이, 재치부 가 일단쪽으로 이동되었을 때에, 즉, 제1 및 제2재치면 사이에서 이재가 행해질 때에, 평면에서 보아서 상보적인 평면 형상을 가진다. 또, 상보적인 평면 형상은, 서로 접촉하지 않는 빗살 형상이어도 되고, 중앙쪽 부분과 주변쪽 부분이어도 된다. 어느 쪽의 경우에도, 어느 쪽인가 한쪽의 재치면에서 짐은 지지된다. 이 결과, 연직 구동부에 의해 제1재치면이 제2재치면보다 높아질 때까지 이동됨으로써, 짐은 제1재치면에 의해서 지지되거나, 혹은, 연직 구동부에 의해 제2재치면이 제1재치면보다 높아질 때까지 제1재치면이 이동됨으로써, 짐은 제2재치면에 의해서 지지된다. 따라서, 재치면 간의 이재를 매우 간단한 2축 동작에 의해 실행가능해진다.

또, 제1재치면과 제2재치면이 이러한 상보적인 평면 형상을 가지지 않고 있어도, 다른 보조적인 유지 기구나 이재 기구를 도입함으로써 제1 및 제2재치면 간의 이재는 가능하다.

본 발명의 제1보관고의 다른 양상에서는, 상기 짐은 그 밑면에 규정된 요철을 지니고, 상기 제1 및 제2재치면은 각각 상기 요철에 결합가능한 요철을 가진다.

이 양상에 의하면, 짐의 밑면에 있는 규정된 요철을 이용함으로써, 제1 및 제2재치면 간에 있어서의 이재를 위치 정밀도가 높은 상태에서 실행 가능해진다. 또, 이와 같은 요철로서, 반도체 제조 시의 각종 기판을 수용하는 FOUP의 밑면에 설치된 요철을 들 수 있다.

본 발명의 제1보관고의 다른 양상에서는, 해당 보관고는, 반송차가 상기 짐을 반송하는 궤도의 방위에 대해서, 상기 수평 일방향의 방위가 평행해지도록, 상 기 궤도에 대해서 배치된다.

이 양상에 의하면, 공장 내에서 벽을 따라서 또한 벽에 접근해서 궤도가 부설되어 있어, 벽이 방해를 해서, 통상의 보관고에서는 설치할 수 없는 바와 같은 경우에, 궤도의 방위에 대해서 수평 일방향의 방위가 평행하게 되도록 본 발명에 관한 보관고를 배치한다. 이때, 얇게 하는 것이 용이한 보관고의 두께 방향의 두께분만큼 벽으로부터 궤도가 떨어져 있으면, 문제없이 보관고를 배치할 수 있다. 환언하면, 보관고의 두께 방향의 두께분만 벽으로부터 떨어지도록, 궤도를 부설해 두면 된다.

이 양상에서는, 해당 보관고는, 상기 선반이 상기 궤도의 아래쪽에 위치하도록 배치되고, 상기 선반은 상기 제2재치면으로서 상기 선반의 최상단에 위치하는 2개 중, 상기 궤도의 상류 쪽에 있는 한쪽이 상기 입고용의 포트로서 기능하는 동시에 상기 궤도의 하류 쪽에 있는 다른 쪽이 상기 출고용의 포트로서 기능해도 된다.

이와 같이 구성하면, 상류 쪽에 있는 입고용의 포트에 반송차로부터 짐이 이재된 직후에, 이 이재에 의해 짐이 비게 된 반송차가 하류 쪽에 있는 출고용의 포트까지 이동하고, 이 포트로부터 반송차에 짐을 이재하는 공정이 가능해진다. 즉, 출고/입고의 효율이 매우 높아진다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 보관고에 의하면, 간단한 구성에 의해 효율적으로 짐을 출고/입고하는 것 혹은 효율적으로 보관고 내 반송하는 것이 가능하다.

본 발명의 제2보관고는, 상기 과제를 해결하기 위해서, 궤도상에서 짐을 반 송하는 반송차와의 사이에서 상기 짐의 출고/입고가 이루어지는 보관고에 있어서, 상기 짐을 수평 일방향으로 왕복 이동가능한 동시에 연직 방향으로 왕복 이동가능한 구동 수단과, 상기 구동 수단에 의해 이동되는 짐을 수용 또는 재치가능한 선반부분을, 상기 연직 방향으로 복수 단에 걸쳐서 단마다 상기 수평 일방향으로 복수 가지는 선반을 구비하고, 상기 선반은 상기 궤도의 방위에 대해서 상기 수평 일방향의 방위가 직교하도록 상기 궤도에 대해서 배치된다.

본 발명의 제2보관고의 일 양상에서는, 상기 반송차는 천정에 부설된 상기 궤도를 따라서 주행하는 천정 주행차이며, 상기 선반은 상기 궤도의 아래쪽에 위치하도록 상기 궤도에 대해서 배치된다.

본 발명의 제2보관고에 의하면, 입고 시에는, 짐이 예를 들어 천정 주행 차인 반송차로부터 해당 보관고의 출입고 포트로 이재되면, 이 짐은, 예를 들어, 연직 구동부 및 수평 구동부를 구비하는 구동 수단에 의해서 원하는 선반 부분으로 이동된다. 즉, 보관고 내 반송된다. 출고 시에는, 짐이 구동 수단에 의해서 원하는 선반부분으로부터 보관고 내 반송된다. 그 후, 해당 보관고의 출입고 포트에 짐이 이동되면, 반송차로의 이재가 행해진다.

본 발명에서는, 특히, 선반은 선반부분을 연직 방향으로 복수 단에 걸쳐서 단마다 수평 일방향으로 복수 지니고, 구동 수단은 이러한 선반에 대응해서 짐을 수평 일방향으로 왕복 이동가능한 동시에 연직 방향으로 왕복 이동가능하다. 따라서, 연직 방향 및 수평 일방향이라고 하는 2축 운동에 의해서, 출입고용의 포트(또는 기타 선반부분)로부터 복수 존재하는 선반부분 중 원하는 선반부분으로 짐을 보 관고 내 반송 가능해진다. 또는, 연직 방향 및 수평방향이라고 하는 2축 운동에 의해서, 복수 존재하는 선반부분 중 원하는 선반부분으로부터 출입고용의 포트(또는 기타 선반부분)로 짐을 보관고 내 반송 가능해진다.

예를 들어, 선반은, 연직 방향으로 m(단, m은 2 이상의 자연수)단, 수평방향으로 n(단, n은 2 이상의 자연수)열, 또한 이것에 수직인 남은 수평 일방향(이하, 단지 「두께 방향」이라 칭함)으로는 1열만으로 한 상태에서, 얇은 평판 형상으로 되도록 전체의 골격이 구성된다.

여기서, 일반적으로 궤도가 부설되는 반도체 제조 공장 등의 공장 내에서는, 한정된 공간 내에서 각종 공정을 행하는 것이나, 궤도를 짧게 해서 공정 간 이동의 스피드 업(speed-up)을 도모하는 것 등의 기본 요청을 따르도록, 궤도를 따라서 각종 공정을 담당하는 장치, 해당 보관고와는 다른 스토커 등이 협소한 곳에 부설되어 있는 경우가 있다. 반대로 말하면, 궤도를 따라서 부설해야 할 장치 등의 설계는, 될 수 있는 한 간극이 없어지도록 행해질 경우가 있다. 한편, 스토커 등으로 불리는 보관고는, 기본적으로 대형이고 또한 설비의 일부로서 공장 내에서 조립될 수 있는 것이며, 조립 후의 변경은 용이하지 않고, 게다가, 간극을 만들지 않도록 하는 당초의 설계도 곤란하기 짝이 없다. 혹은, 전통적인 대형 보관고이면, 그 주위에 유지 관리용의 공간이 예를 들어 궤도를 따라서 1m씩 정도 비워져 있다. 바꿔 말하면, 이러한 유지 관리용의 공간도 포함해서, 궤도를 따라서 간극 없이 장치 등이 배치되어 있다. 이 공간은 유지 관리 시를 제외하면 쓸데없는 공간이라고도 불릴 수 있다.

그런데, 본 발명에 의하면, 선반은, 궤도의 아래쪽에 위치하도록 또한 궤도의 방위에 대해서 수평 일방향의 방위가 교차하도록, 바람직하게는 직교하도록, 궤도에 대해서 배치된다. 이 때문에, 공장 내에 부설된 궤도를 따른 방향에 있어서의 각종 장치 등 사이의 간극에 본 발명에 따른 보관고를 삽입하는 형태로 배치할 수 있어 매우 편리하다. 환언하면, 궤도를 따라서 부설되는 장치 등 사이에, 다소의 간극이 비도록 설계하더라도, 본 발명의 제2보관고를 이용하면, 충분히 허용범위로 될 수 있다. 또한, 보관고 내 반송은, 전술한 바와 같이 두께 방향으로는 얇게 퍼지는, 즉, 복수 단에 걸쳐서 또한 각 단에 복수 있는 선반부분을 가지는 선반에 대한 2축 방향의 운동에 의해서 매우 효율적으로 행해진다. 특히, 두께 방향으로는 얇더라도, 각 단에 복수 있는 선반 부분 간의 이동에 대해서는, 연직 방향의 이동을 정지한 상태에서, 수평 일방향의 이동에 의해서 가능해진다. 게다가, 동일 단에 1개씩 선반 부분을 마련할 경우와 비교해서, 보관 용량을 향상시킬 수 있는 동시에 2축 이동을 보다 유효하게 활용할 수 있고, 반송 효율도 향상시킬 수 있다.

동시에, 두께 방향으로는 얇더라도, 복수 단에 걸친 선반부분 간의 이동에 대해서는, 연직 방향으로의 이동이 가능해지는 수평 일방향 위치까지 짐을 이동한 후에, 이러한 수평 일방향의 이동을 정지하고, 이 상태에서, 연직 방향의 이동을 행하고, 또한, 그 후에 있어서의 수평 일방향의 이동에 의해서 가능해진다.

한편, 보관고의 유지 관리 시에는, 이와 같이 박형의 보관고를, 궤도에 교차하는 방향으로 인출해서, 각종 장치 등이 협소한 곳에 배치된 궤도 부근으로부터 이간시키도록 하면, 유지 관리용의 공간을 용이하게 해서 구축할 수 있다. 전통적 인 보관고와 같이 보관고 주위에 1m 정도의 유지 관리용 공간을 마련할 필요가 없다. 이때, 특히, 박형인 보관고 전체를 이동가능하게 구성하는 것도 그 중량적으로는 실천적인 의미에서 충분하게 가능하다.

이상과 같이, 반송차의 궤도를 따른 비교적 작은 간극에도, 해당 보관고를 삽입하는 형태로 배치할 수 있다. 이때, 선반은 두께 방향으로 얇더라도 수용 효율은 매우 높고, 게다가 반송 효율도 매우 높다. 또, 간극의 폭에 맞춰서 해당 얇은 보관고를 두께 방향으로 복수 병렬로 배치하는 것도 가능해진다. 또한, 소형화를 도모함으로써, 보관고 전체를 이동가능하게 할 수도 있고, 특히 유지 관리도 용이해진다. 예를 들어, 해당 보관고는, 연직 방향 및 수평 일방향으로 확대부를 가지는 동시에 두께 방향에 대해서는, 매우 얇게 구성하는(예를 들어, 1개의 짐의 폭에 약간의 기구용의 폭을 첨가한 두께와 같은 정도까지 얇게 하는) 것도 가능하며, 이 두께의 간극에 삽입가능해진다.

본 발명의 제2보관고의 다른 양상에서는, 상기 구동 수단은, 상기 짐을 지지가능한 지지부와, 상기 지지부를 수평 일방향으로 왕복 이동가능한 수평 구동부와, 상기 지지부를 연직 방향으로 왕복 이동가능한 연직 구동부를 구비하고, 상기 선반은 상기 선반부분으로서 상기 단마다 상기 수평 구동부에 의해 도달가능한 수평위치에 복수 설치된 동시에, 상기 지지부와의 사이에서 상기 짐을 서로 이재가능하게 각각 구성되어 있는 재치면을 가진다.

이 양상에서는, 상기 지지부는, 상기 짐을 그 밑바닥 쪽에서부터 지지가능한 제1재치면을 가지는 재치부이며, 상기 재치면은 상기 제1재치면과의 사이에서 상기 짐을 서로 이재가능하게 구성되어 있는 제2재치면이다.

이 양상에 의하면, 입고 시에는, 예를 들어, 반송차로부터 출입고용의 포트로서 기능하는 제2재치면 위로 짐이 이재된다. 계속해서, 포트로서 기능하는 제2재치면 위로 이재된 짐은, 2축 방향으로 이동가능한 재치부의 제1재치면에 재치된다. 예를 들어, 제1 및 제2재치면은, 짐의 밑면에 있어서의 상이한 부분(전형적으로는, 중앙쪽 부분과 주변쪽 부분)을 지지하도록 구성되어 있어, 어느 쪽인가 한쪽에서 짐을 지지하는 것이 가능하다. 재치부가, 포트로서 기능하는 제2재치면이 존재하는 연직 위치 또한 수평위치로 이동되었을 때에, 포트로서 기능하는 제2재치면을 대신해서, 제1재치면에서 지지함으로써, 제2재치면으로부터 제1재치면으로의 이재가 행해진다. 전형적으로는, 연직 구동부에 의해 제1재치면이 제2재치면보다 높아질 때까지 이동됨으로써, 짐은 제1재치면에 의해서 지지되는 것으로 된다. 이것에 의해, 입고 시에 있어서의 보관고 내 반송이 개시된다. 여기에서는, 연직 구동부 및 수평 구동부에 의한 간단한 2축 동작에 의해서 선반에 있어서의 어느 쪽의 제2재치면에도 신속하게 보관고 내 반송이 가능하다.

이어서, 재치부가 보관에 사용하고자 하는 제2재치면이 존재하는 연직 위치 또한 수평위치로 이동된 때에는, 제1재치면을 대신해서, 제2재치면에서 지지함으로써, 제1재치면에서부터 제2재치면으로의 이재가 행해진다. 전형적으로는, 연직 구동부에 의해 제1재치면이 제2재치면보다 낮아질 때까지 이동됨으로써, 짐은 제2재치면에 의해서 지지되는 것으로 된다. 이것에 의해, 입고 시에 있어서의 보관고 내 반송이 종료되어, 선반에서의 보관이 개시된다.

한편, 출고 시에는, 재치부가 출고하고자 하는 짐이 재치되어 있는 제2재치면이 존재하는 연직 위치 또한 수평 위치로 이동된다. 이어서, 제2재치면을 대신해서, 제1재치면에서 지지함으로써, 제2재치면에서부터 제1재치면으로의 이재가 행해진다. 전형적으로는, 연직 구동부에 의해 제1재치면이 제2재치면보다 높아질 때까지 이동됨으로써, 짐은 제1재치면에 의해서 지지되는 것으로 된다. 이것에 의해, 출고 시에 있어서의 보관고 내 반송이 개시된다. 계속해서, 재치부가 포트로서 기능하는 제2재치면이 존재하는 연직 위치 또한 수평 위치로 이동된다. 여기에서는, 연직 구동부 및 수평 구동부에 의한 간단한 2축 동작에 의해서, 어느 쪽의 제2재치면으로부터도 신속하게 보관고 내 반송이 가능하다.

이어서, 제1재치면을 대신해서 포트로서 기능하는 제2재치면으로 지지함으로써, 제1재치면으로부터 포트로서 기능하는 제2재치면으로의 이재가 행해진다. 전형적으로는, 연직 구동부에 의해 제1재치면이 제2재치면보다 낮아질 때까지 이동됨으로써, 짐은 제2재치면에 의해서 지지되는 것으로 된다. 이것에 의해 출고 시에 있어서의 보관고 내 반송이 종료되어, 포트로부터 반송차로의 이재가 가능한 상태로 된다.

그 후, 이미 출입고용의 포트에 대면하는 궤도상 위치에서 대기하고 있던 또는 다음에 이 위치에 도착하는 반송차에 의해서, 이 포트로부터 반송차로의 이재가 행해진다.

이상의 결과, 구동 수단에 의해 2축 방향으로 움직이는 재치부라고 하는 비교적 간단한 구성 및 간단한 제어에 의해서, 보관고 내 반송을 실행할 수 있다. 또한, 반송차 및 포트 간에서 이재를 한창 행하고 있는 도중에, 구동 수단에 의한 보관고 내 반송도 가능해지므로, 보관고 내에 있어서의 반송 효율에 관해서도 비약적으로 향상된다.

본 발명의 제2보관고의 다른 양상에서는, 상기 선반은 상기 선반부분 중 적어도 1개가 상기 출입고용의 포트로서 기능한다.

본 발명의 제2보관고의 다른 양상에서는, 상기 선반은 상기 선반부분 중 상기 선반의 최상단에 있는 적어도 하나가 상기 출입고용의 포트로서 기능한다.

이 양상에 의하면, 반송차가 보관고의 위쪽에 부설된 궤도상을 주행할 경우에, 이 반송차로부터 짐을 포트로 이재하는 작업이 간단해진다. 마찬가지로, 포트로부터 반송차에 짐을 이재하는 작업도 간단해진다. 또, 최상단에, 2개의 선반부분이 존재하므로, 양쪽을 각각 포트로서 기능시키는 것도 가능하고, 한 쪽만을 포트로서 기능시키는 것도 가능하다.

이 양상에서는, 상기 궤도는 해당 보관고의 상류쪽에서 분기되어 있고, 상기 선반은 상기 궤도의 아래쪽에 배치되어 있으며, 상기 선반부분 중 상기 선반의 최상단에 위치하는 2개가 상기 분기된 후에 있어서의 상기 궤도에 대해서 상기 포트로서 각각 기능해도 된다.

이와 같이 구성하면, 출입고용의 포트가 보관고의 최상단에 2개 존재하므로, 입고 작업(즉, 반송차로부터 포트로의 이재)을 2군데에서 병행해서 행하거나, 출고 작업(즉, 포트로부터 반송차로의 이재)을 2군데에서 병행해서 행하거나, 입고 작업과 출고 작업을 병행해서 행하거나 하는 것이 가능해져, 이재 효율이 현저하게 향 상될 수 있다. 또한, 이때, 두께 방향으로 얇은 동시에 2축 방향의 이동에 의해 보관고 내 반송이 가능하다라고 하는, 본 발명에 따른 보관고의 특성을 희생하는 일도 없다.

본 발명의 제1보관고 부착 반송 시스템은 상기 과제를 해결하기 위해서, 전술한 본 발명에 따른 보관고(단, 그 각종 양상을 포함함)와, 상기 궤도와, 상기 반송차를 구비한다.

본 발명의 제1보관고 부착 반송 시스템에 의하면, 전술한 본 발명에 따른 보관고를 가지므로, 보관고 내에 있어서는, 수용 효율은 매우 높고, 게다가 반송 효율도 매우 높다. 또한, 보관고 전체를 이동 가능하게 할 수도 있고, 특히 유지 관리도 용이해진다.

본 발명의 보관고 세트는, 상기 과제를 해결하기 위해서, 궤도상에서 짐을 반송하는 반송차와의 사이에서 상기 짐의 출고/입고가 각각 행해지는 복수의 보관고가 조합되어 이루어진 보관고 세트에 있어서, 상기 복수의 보관고는 각각 상기 짐을 수평 일방향으로 왕복 이동가능한 동시에 연직 방향으로 왕복 이동가능한 구동 수단과, 상기 구동 수단에 의해 이동되는 짐을 수용 또는 재치가능한 선반부분을, 상기 연직 방향으로 복수 단에 걸쳐서 단마다 상기 수평 일방향으로 1개 또는 복수개 가지는 선반을 구비하고, 상기 복수의 보관고는 상기 수평 일방향이 일치되도록 또한 상기 짐의 출입고용의 포트가 일렬로 나열되도록 배열되어 있다.

본 발명의 보관고 세트에 의하면, 입고 시에는, 짐이 반송차로부터 해당 보관고 세트를 구성하는 개개의 보관고의 출입고용의 포트로 이재되면, 이 짐은 예를 들어 연직 구동부 및 수평 구동부를 구비하는 구동 수단에 의해서 원하는 선반부분으로 이동된다. 즉, 보관고 내 반송된다. 출고 시에는, 짐이 구동 수단에 의해서, 원하는 선반부분으로부터 보관고 내 반송된다. 그 후, 해당 보관고 세트의 포트로 짐이 이동되면, 반송차로의 이재가 행해진다.

본 발명에서는, 특히, 선반은 선반부분을 연직 방향으로 복수 단에 걸쳐서 단마다 수평 일방향으로 1개 또는 복수개 지니고, 구동 수단은 이러한 선반에 대응해서 짐을 수평 일방향으로 왕복 이동가능한 동시에 연직 방향으로 왕복 이동가능하다. 따라서, 연직 방향 및 수평 일방향이라고 하는 2축 운동에 의해서, 출입고용의 포트(또는 기타 선반부분)로부터 복수 존재하는 선반부분 중 원하는 선반부분에 짐을 보관고 내 반송 가능해진다. 혹은, 연직 방향 및 수평 일방향이라고 하는 2축 운동에 의해서, 복수 존재하는 선반부분 중 원하는 선반부분으로부터 출입고용의 포트(또는 기타 선반부분)에 짐을 보관고 내 반송 가능해진다.

개개의 보관고에 대해서 말하면, 예를 들어, 선반은 연직 방향으로 m(단, m은 2 이상의 자연수)단, 수평 일방향으로 n(단, n은 1 이상의 자연수)열, 또한 이것에 수직인 남은 수평 일방향(이하, 단순히 「두께 방향」이라 칭함)으로는 1열만으로 한 상태에서, 얇은 평판 형상으로 되도록 전체의 골격이 구성된다.

여기서, 일반적으로 궤도가 부설되는 반도체 제조 공장 등의 공장 내에서는, 한정된 공간 내에서 각종 공정을 행하는 것이나, 궤도를 짧게 해서 공정간 이동의 스피드 업을 도모하는 것 등의 기본 요청에 따르도록, 궤도를 따라서 각종 공정을 담당하는 장치, 해당 보관고와는 다른 스토커 등이 협소한 곳에 부설되어 있는 경 우가 있다. 반대로 말하면, 궤도를 따라서 부설해야 할 장치 등의 설계는 될 수 있는 한 간극이 없게 되도록 행해질 경우가 있다. 한편, 스토커 등으로 불리는 보관고는, 기본적으로 대형이며 또한 설비의 일부로서 공장 내에서 조립될 수 있는 것이며, 조립 후의 변경은 용이하지 않고, 게다가, 간극을 만들지 않도록 하는 당초의 설계도 곤란하기 짝이 없다. 혹은, 전통적인 대형 보관고이면, 그 주위에 유지 관리용의 공간이 예를 들어 궤도를 따라서 1m씩 정도 비워져 있다. 바꿔 말하면, 이러한 유지 관리용의 공간도 포함시키고, 궤도를 따라서 간극 없이 장치 등이 배치되어 있다. 이 공간은 유지 관리 때를 제외하면 쓸데없는 공간이라고도 불릴 수 있다.

그런데, 본 발명에 의하면, 복수의 보관고는, 수평이동에 관한 수평 일방향이 일치하도록 또한 출입고용의 포트가 일렬로 나열되도록 배열되어 있다. 이 때문에, 1개의 궤도상을 주행하는 반송차에 의해, 어느 쪽의 보관고와의 사이에서도 포트를 개재해서 출고/입고 작업이 간단해진다. 동일 궤도상에 있는 복수의 반송차에 의해 복수의 보관고와의 사이에서 출고/입고 작업을 행하는 것도 가능해진다. 혹은, 1개의 보관고에서 짐을 내린 지 얼마 안 된 반송차에 의해서 다음 보관고에서 짐을 싣는 것도 가능해진다.

게다가, 공장 내에 부설된 궤도를 따른 방향에 있어서의 각종 장치 등 사이의 간극에 맞춘 수만큼 보관고를 조합시켜, 본 발명에 따른 보관고 세트를 삽입하는 형태로 배치할 수 있고, 실용상 매우 편리하다. 바꿔 말하면, 궤도를 따라서 부설되는 장치 등 사이의 간극이 큰 설계라도, 작은 설계라도, 본 발명의 보관고 세트를 이용하면, 충분히 허용범위로 될 수 있다. 또한, 개개의 보관고 내에 있어서의 보관고 내 반송은, 전술한 바와 같이 두께 방향으로는 얇게 펼쳐지는, 즉 복수 단에 걸쳐서 또 각 단에 복수 있는 선반부분을 가지는 선반에 대한, 2축 방향의 운동에 의해서 매우 효율적으로 행해진다. 특히, 두께 방향으로는 얇더라도, 각 단에 복수 있는 선반부분 간의 이동에 대해서는, 연직 방향의 이동을 정지한 상태에서, 수평 일방향의 이동에 의해서 가능해진다.

동시에, 두께 방향으로는 얇더라도, 복수 단에 걸친 선반부분 사이의 이동에 대해서는, 연직 방향으로의 이동이 가능해지는 수평 일방향 위치까지 짐을 이동한 후에, 이러한 수평 일방향의 이동을 정지하고, 이 상태에서, 연직 방향의 이동을 행하고, 또한 그 후에 있어서의 수평 일방향의 이동에 의해서 가능해진다.

한편, 보관고의 유지 관리 시에는, 이와 같이 원하는 수만큼 조합가능한 보관고 세트 중에서, 개개의 보관고로서는 박형의 보관고를 다른 것과는 독립해서 인출하도록 하면, 유지 관리용의 공간을 용이하게 해서 구축할 수 있다. 전통적인 보관고와 같이 보관고 주위에 1m 정도의 유지 관리용 공간을 설치할 필요가 없다. 이때, 특히, 초박형인 개개의 보관고 전체를 이동가능하게 구성하는 것도, 그 중량적으로는 실천적인 의미에서 충분히 가능하다.

이상과 같이, 반송차 궤도를 따른 비교적 작은 간극에도 또는 비교적 큰 간극에도, 해당 보관고 세트를 적절하게 삽입하는 형태로 배치할 수 있다. 이때, 개개의 보관고에 대해서 말하면, 선반은 두께 방향으로 얇더라도 수용 효율은 매우 높고, 게다가 반송 효율도 매우 높다. 또한, 간극의 폭에 맞춰서 해당 얇은 보관 고를 두께 방향으로 복수 병렬로 배치할 수 있으므로, 실용상 지극히 편리하다. 또한, 보관고 세트 중에서 개개의 보관고를 인출하도록 구성하는 것도 매우 용이하여, 개개의 보관고마다에서의 유지 관리도 용이해진다. 예를 들어, 해당 보관고는, 연직 방향 및 수평 일방향으로 확대부를 가진 동시에 두께 방향에 대해서는, 매우 얇게 구성하는(예를 들어, 1개의 짐의 폭에 약간의 기구용의 폭을 더한 두께와 동일한 정도까지 얇게 하는) 것도 가능해서, 이 두께의 정수배에 따른, 궤도를 따른 간극에 해당 보관고 세트를 삽입하면 안성맞춤이 된다.

본 발명의 보관고 세트의 일 양상에서는, 상기 구동 수단은, 상기 짐을 지지가능한 지지부와, 상기 지지부를 수평 일방향으로 왕복 이동가능한 수평 구동부와, 상기 지지부를 연직 방향으로 왕복 이동가능한 연직 구동부를 구비하고, 상기 선반은, 상기 선반부분으로서, 상기 단마다, 상기 수평 구동부에 의해 도달가능한 수평위치에 1개 또는 복수개 설치되는 동시에, 상기 지지부와의 사이에서 상기 짐을 서로 이재가능하게 각각 구성되어 있는 재치면을 가진다.

이 양상에서는, 상기 지지부는, 상기 짐을 그 밑바닥 쪽에서부터 지지가능한 제1재치면을 가지는 재치부이며, 상기 재치면은 상기 제1재치면과의 사이에서 상기 짐을 서로 이재가능하게 구성되어 있는 제2재치면이다.

이 양상에 의하면, 입고 시에는, 예를 들어, 반송차로부터 출입고형의 포트로서 기능하는 제2재치면 상에 짐이 이재된다. 계속해서, 포트로서 기능하는 제2재치면 상에 이재된 짐은, 2축 방향으로 이동가능한 재치부의 제1재치면에 재치된다. 예를 들어, 제1 및 제2재치면은, 짐의 밑면에 있어서의 서로 다른 부분(전형 적으로는, 중앙쪽 부분과 주변쪽 부분)을 지지하도록 구성되어 있어, 어느 쪽인가 한쪽에서 짐을 지지하는 것이 가능하다. 재치부가 포트로서 기능하는 제2재치면이 존재하는 연직위치 또한 수평위치로 이동되었을 때에, 포트로서 기능하는 제2재치면을 대신해서, 제1재치면에서 지지함으로써 제2재치면으로부터 제1재치면으로의 이재가 행해진다. 전형적으로는, 연직 구동부에 의해 제1재치면이 제2재치면보다 높아질 때까지 이동됨으로써, 짐은 제1재치면에 의해서 지지되는 것으로 된다. 이것에 의해, 입고시에 있어서의 보관고 내 반송이 개시된다. 여기에서는, 연직 구동부 및 수평 구동부에 의한 간단한 2축 동작에 의해서, 선반에 있어서의 어느 쪽의 제2재치면에도 신속하게 보관고 내 반송이 가능하다.

계속해서, 재치부가 보관에 사용하고자 하는 제2재치면이 존재하는 연직위치 또한 수평위치로 이동된 때에는, 제1재치면을 대신해서, 제2재치면에서 지지함으로써 제1재치면으로부터 제2재치면으로의 이재가 행해진다. 전형적으로는, 연직 구동부에 의해 제1재치면이 제2재치면보다 낮아질 때까지 이동됨으로써, 짐은 제2재치면에 의해서 지지되는 것으로 된다. 이것에 의해, 입고 시에 있어서의 보관고 내 반송이 종료되어, 선반에서의 보관이 개시된다.

한편, 출고 시에는, 재치부가, 출고하고자 하는 짐이 재치되어 있는 제2재치면이 존재하는 연직위치 또한 수평위치로 이동된다. 이어서, 제2재치면 대신에, 제1재치면에 의해 지지함으로써 제2재치면으로부터 제1재치면으로의 이재가 행해진다. 전형적으로는, 연직 구동부에 의해 제1재치면이 제2재치면보다 높아질 때까지 이동됨으로써, 짐은 제1재치면에 의해서 지지되는 것으로 된다. 이것에 의해, 출 고 시에 있어서의 보관고 내 반송이 개시된다. 계속해서, 재치부가 포트로서 기능하는 제2재치면이 존재하는 연직위치 또한 수평위치로 이동된다. 여기에서는, 연직 구동부 및 수평 구동부에 의한 간단한 2축 동작에 의해서, 어느 쪽의 제2재치면으로부터도 신속하게 보관고 내 반송이 가능하다.

계속해서, 제1재치면을 대신해서 포트로서 기능하는 제2재치면에 의해 지지함으로써, 제1재치면으로부터 포트로서 기능하는 제2재치면으로의 이재가 행해진다. 전형적으로는, 연직 구동부에 의해 제1재치면이 제2재치면보다 낮아질 때까지 이동됨으로써, 짐은 제2재치면에 의해서 지지되는 것으로 된다. 이것에 의해 출고시에 있어서의 보관고 내 반송이 종료되어, 포트로부터 반송차로의 이재가 가능한 상태로 된다.

그 후, 이미 출입고용의 포트에 대면하는 궤도상 위치에서 대기하고 있었던 또는 다음에 이 위치에 도착하는 반송차에 의해서 이 포트로부터 반송차로의 이재가 행해진다.

이상의 결과, 구동 수단에 의해 2축 방향으로 움직이는 재치부라고 하는 비교적 간단한 구성 및 간단한 제어에 의해서 보관고 내 반송을 실행할 수 있다. 또, 반송차 및 포트 간에서 이재를 한창 행하고 있는 도중에, 구동 수단에 의한 보관고 내 반송도 가능해지므로, 보관고 내에 있어서의 반송 효율에 대해서도 비약적으로 향상된다.

본 발명의 보관고 세트의 다른 양상에서는, 해당 보관고 세트는 상기 일렬이 상기 궤도를 따라서 나열되도록 상기 궤도에 대해서 배치된다.

이 양상에서는, 상기 반송차는 천정에 부설된 상기 궤도를 따라서 주행하는 천정 주행차이며, 상기 선반은 상기 궤도의 아래쪽에 위치하도록 상기 궤도에 대해서 배치된다.

이 양상에 의하면, 출입고용의 포트가 궤도를 따라서 일렬로 나열되므로, 1개의 궤도상을 주행하는 반송차(즉, 천정 주행차)에 의해, 어느 쪽의 보관고의 포트에 대해서도, 입고 작업(즉, 반송차로부터 포트로의 이재)을 행하여, 출고 작업(즉, 포트로부터 반송차로의 이재)을 행하는 것이 가능해져, 이재 효율이 현저하게 향상될 수 있다. 게다가, 이때, 각각이 두께 방향으로 얇은 동시에 2축 방향의 이동에 의해 보관고 내 반송이 가능한 보관고를 궤도를 따라서 나열시킴으로써 얻어지는 전술한 이득을 저해하는 일도 없다.

본 발명의 보관고 세트의 다른 양상에서는, 해당 보관고 세트는 상기 궤도의 방위에 대해서 상기 수평 일방향의 방위가 직교하도록 상기 궤도에 대해서 배치된다.

이와 같이 구성하면, 궤도를 따라서 존재하는 공간을 가장 효율적으로 이용할 수 있다. 또, 여기에 말하는 「직교」란 이상적으로는 문자 그대로의 직교를 의미하지만, 공간을 유효 이용할 수 있는 한에 있어서 직교로 간주될 수 있는 정도, 즉, 실질적으로 직교하는 경우도 포함하는 의미이다. 또한, 궤도가 직선이 아닐 경우에도, 각 궤도상의 지점에 있어서 접선 방향과 직교하고 있는 경우도 포함하는 의미이다.

본 발명의 보관고 세트의 다른 양상에서는, 상기 선반은, 상기 선반부분 중 상기 선반의 최상단에 있는 적어도 하나가 상기 포트로서 기능한다.

이 양상에 의하면, 반송차가 보관고의 위쪽에 부설된 궤도상을 주행할 경우에, 이 반송차로부터 짐을 포트로 이재하는 작업이 간단해진다. 마찬가지로, 포트로부터 반송차에 짐을 이재하는 작업도 간단해진다. 또, 최상단에 2개의 선반부분이 존재할 경우에는, 양쪽을 각각 포트로서 기능시키는 것도 가능하고, 한 쪽만을 포트로서 기능시키는 것도 가능하다.

본 발명의 제2보관고 부착 반송 시스템은 상기 과제를 해결하기 위해서, 전술한 본 발명에 따른 보관고 세트(단, 그의 각종 양상을 포함함)와, 상기 궤도와, 상기 반송차를 구비한다.

본 발명의 제2보관고 부착 반송 시스템에 의하면, 전술한 본 발명에 따른 보관고 세트를 가지므로, 궤도를 따라서 공간의 낭비 없이 혹은 효율적으로 보관고를 배치가능하게 되고, 동시에, 개개의 보관고 내에 있어서는, 수용 효율은 매우 높고, 게다가 반송 효율도 매우 높다. 보관고 세트에 있어서의 다른 보관고로부터 분리해서 개개의 보관고를 이동가능하게 할 수도 있고, 특히 유지 관리도 용이해진다.

이상, 본 발명의 보관고에 의하면, 간단한 구성에 의해 효율적으로 짐을 출고/입고하는 것 혹은 효율적으로 보관고 내 반송하는 것을 가능하게 한다.

또, 본 발명의 보관고를 구비한 보관고 부착 반송 시스템에 의하면, 궤도를 따른 작은 공간에도 배치가능해서, 유지 관리가 용이하고, 간단한 구성에 의해 효 율적으로 짐을 출고/입고하는 것 혹은 효율적으로 보관고 내 반송하는 것을 가능하게 한다.

본 발명의 작용 및 기타 이득은 다음에 설명하는 발명의 실시를 위한 구체적인 내용으로부터 명백하게 된다.

이하, 본 발명의 실시예에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다.

< 제1실시예 >

우선, 제1실시예에 따른 보관고의 구성에 대해서 도 1 내지 도 3을 참조해서 설명한다. 여기서, 도 1은 제1실시예에 따른 보관고를 구비한 반송 시스템의 외관을 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1의 보관고의 내부 구조를 모식적으로 나타낸 단면도이며, 도 3은 제1실시예에 따른 제1 및 제2재치면의 짐에 대한 결합 상태를 나타낸 단면도이다.

특히, 제1실시예는 본 발명에 따른 「제1보관고」의 실시예이다 .

도 1에 있어서, 반송 시스템(100)은 레일(1), 반송차(2), 스토커(보관고)(10) 및 컨트롤러(20)를 구비한다. 반송 시스템(100)은 반송차(2)를 구동해서, 레일(1) 위로 FOUP(3)의 반송을 행한다. 레일(1)은, 본 발명에 따른 「궤도」의 일례로서, 반송차(2)가 주행하기 위한 궤도의 역할을 담당한다.

반송차(2)는 예를 들어 리니어 모터에 의해 구동되는 OHT(Overhead Hoist Transport)이며, 스토커(10)나 도시하지 않은 제조 장치, OHT 버퍼, 대형 스토커 등에 FOUP(3)를 반송한다. 반송차(2)는 내부에 연직 방향으로 이동하는 호이스 트(hoist)(2a)를 가지고 있다.

호이스트(2a)는, 반송 시, 반송되는 FOUP(3)의 플랜지(4)를 예를 들어 협지(挾持: 사이에 끼워둠) 기구에 의해 유지한다. 호이스트(2a)는 반송차(2)의 본체에 구비된, 예를 들어, 벨트 감김 및 벨트 풀림 등의 승강 기구에 의해, 레일(1)의 아래쪽에서 연직 방향으로 승강가능하게 구성되어 있다. 호이스트(2a)는, 스토커(10)와의 사이에서 FOUP(3)의 출고 또는 입고를 행할 때에, 스토커(10)의 출입고용의 포트의 위쪽 위치까지 이동하고, 다시 포트까지 하강한 위치에서, 플랜지(4)를 유지 또는 해방한다. 이 하강한 위치에서는, FOUP(3)의 밑면이 후술하는 제2재치면(즉, 포트의 바닥면)에 접촉한다.

도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, FOUP(3)는, 본 발명에 따른 「짐」의 일례로서, 스토커(10) 내에서, 반송차(2)에 대한 출고/입고 및 보관 위치의 조정 등을 위해 반송(즉, 보관 내 반송)된다.

도 3에 나타낸 바와 같이 FOUP(3)는 밑면에 오목부(5), (6)를 가지고 있다. 오목부(5)는 후술하는 선반(15)에 형성된 볼록부(16)에 대응하는 크기로 형성되어 있다. 한편, 오목부(6)는 후술하는 재치부(11)에 형성된 볼록부(12)에 대응하는 크기로 형성되어 있다.

재차, 도 1에 있어서, 컨트롤러(20)는, 예를 들어 반도체 소자 제조 공정 스케줄에 의거하여, 반송차(2) 및 스토커(10)에 대해서, FOUP(3)의 반송 및 출고/입고(보관고 내 반송을 포함함)를 지시한다. 이 지시에 응답해서, 반송차(2) 및 스토커(10)가 구동되어, 반송차(2)에 반송되는 FOUP(3)에 각종 처리가 시행됨으로써 반도체 소자가 제조된다.

(보관고 단체)

스토커(10)는, 본 발명에 따른 「보관고」의 일례로서, 레일(1)에 인접해서 부설되어, FOUP(3)를 복수 보관한다.

도 2에 있어서, 스토커(10)는 재치부(지지부)(11), 수평 구동부(13) 및 연직 구동부(14)로 구성되는 보관고 내 반송 장치, 및 복수의 선반(15)을 구비한다. 보관고 내 반송 장치는 복수의 선반(15) 사이에서 FOUP(3)를 이재한다. 이 이재에 의해, FOUP(3)가 복수의 선반(15) 중 특정한 선반(즉, 보관용 선반)에 재치됨으로써, FOUP(3)가 스토커(10) 내에 보관된다. 혹은, 뒤에 상세히 설명하는 바와 같이, 출입고용의 포트로서 기능하는 선반(15)까지 이재된다.

재치부(11)는, 복수의 선반(15) 사이에서 FOUP(3)를 이재하기 위해서, 수평 구동부(13)에 의해 수평 일방향으로 또한 연직 구동부(14)에 의해 연직 방향으로 이동된다. 재치부(11)는 윗면에 제1재치면(11a)을 가지고 있다. 제1재치면(11a)은, 이재 시, FOUP(3)의 밑면에 접촉하고, FOUP(3)를 그 밑바닥 쪽에서부터 지지한다. 제1재치면(11a)에는 지지부재로서 볼록부(12)가 형성되어 있다. 도 3(b)에 나타낸 바와 같이, 볼록부(12)는 FOUP(3)의 오목부(6)에 대응하는 크기로 형성되어 있어, 이재 시, 이 오목부(6)에 결합된다.

재차, 도 2에 있어서, 수평 구동부(13)는, 예를 들어, 도시하지 않은 모터에 의해, 수평 일방향으로 뻗은 수평 가이드(17) 위에서 구동된다. 수평 구동부(13)는 재치부(11)와 연결되어 있고, 재치부(11)를 수평 가이드(17)를 따라서 수평 일 방향(D1)으로 왕복이동시킨다.

연직 구동부(14)는, 예를 들어, 도시하지 않은 모터에 의해, 연직 방향으로 뻗은 연직 가이드(18) 위에서 구동된다. 연직 구동부(14)에는, 수평 가이드(17)의 중앙부가 고정되어 있다. 연직 구동부(14)는 이 수평 가이드(17)를 연직 가이드(18)를 따라서 연직 방향(D2)으로 왕복 이동시킨다. 이 왕복 이동 시, 재치부(11)는 수평 가이드(17)의 중앙부에 위치한다. 이와 같이, 재치부(11)는 수평 구동부(13) 및 연직 구동부(14)에 의해 연직 방향 및 수평 일방향의 2축 방향으로 이동된다.

복수의 선반(15)은, 연직 방향으로 7단, 수평 일방향으로 2열, 또한, 두께 방향으로 1열로 해서, 합계 14개의 선반으로 구성되어 있고, 이들 14개의 선반(15) 사이를 재치부(11)가 이동함으로써 FOUP(3)의 이재가 행해진다. 각 선반(15)은, 윗면에 제2재치면(15a)을 가지고 있고, 이 제2재치면(15a)에 FOUP(3)가 재치된다. 제2재치면(15a)에는, 지지부재로서 볼록부(16)가 형성되어 있다. 도 3(a)에 나타낸 바와 같이, 볼록부(16)는 FOUP(3)의 오목부(5)에 대응하는 크기로 형성되어 있어, 재치(보관) 시, 이 오목부(5)에 결합된다.

재차, 도 2에 있어서, 14개의 선반(15) 중 1개의 선반(바꿔 말하면, 이것이 지닌 제2재치면(15a))은 반송차(2)와의 사이에서 FOUP(3)를 수수하기 위한 출입고용의 포트로서 기능한다. 포트에 설정되는 선반(15)은 최상단에 존재하는 2개의 선반 중 한쪽의 선반(도 2에서는, 2점 쇄선으로 표시된 영역(P1)에 위치하는 선반)이며, 이 위쪽 및 옆쪽에 위치하는 스토커 본체(10a)는 FOUP(3)가 출고/입고가능하 게 개방되어 있다.

또, 포트에 설정되는 선반(15)뿐만 아니라, 이 선반(15)에 부가해서, 영역(P1)으로 이동되는 재치부(11)를 포트로서 기능시켜도 되고, 이 재치부(11)만을 포트로서 기능시켜도 된다. 이 경우, 영역(P1)에 선반(15)을 설치하지 않고, FOUP(3)를 재치하지 않고 있는 재치부(11)가 영역(P1)에 배치되면, FOUP(3)가 반송차(2)로부터 직접 입고된다. 또는, FOUP(3)를 재치하고 있는 재치부(11)가 영역(P1)에 배치되면, FOUP(3)가 반송차(2)에 직접 출고된다.

스토커(10)의 배치에 대해서, 포트에 설정되는 선반(15)이 레일(1)의 아래쪽에 배치된다. 구체적으로, 재치부(11)가 이동되는 수평 일방향의 방위가 레일(1)의 방위에 대해서 직각으로 교차한다.

다음에, 본 실시예에 따른 제1 및 제2재치면의 형체에 대해서 도 4(a)를 참조해서 설명한다. 여기서, 도 4(a)는 본 실시예에 따른 재치부의 수평 일방향으로의 동작 상태를 나타낸 평면도이다. 도 4(a)는, 구체적으로는, 도 2에 있어서의 A1-A1 단면에 상당하고 있고, 스토커(10)의 최상단에 설치되는 2열의 선반(15)(제2재치면(15a))을 나타내고 있다.

도 4(a)에 나타낸 바와 같이, 스토커(10)의 윗면 쪽에서 보아서, 제2재치면(15a)은 말굽과 같이 U자형으로 형성되고, 제1재치면(11a)은, 그 U자형의 중앙을 메우는 섬과 같이 사각형으로 형성되어 있다. 따라서, 제1 및 제2재치면(11a), (15a)은 서로 상보적인 평면 형상을 가지고 있다. 이러한 제1재치면(11a)과 제2재치면(15a) 사이에서 FOUP(3)의 이재가 행해진다.

또, 도 3 및 도 4(a)에 나타낸 예에서는, 평면적으로 보아서, 제1재치면(11a) 쪽이 제2재치면(15a)의 안쪽에 위치되어 있어, 외경이 작다. 그러나, 반대로, 제1재치면(11a) 쪽이 제2재치면(15a)의 바깥쪽에 위치하고 있어, 외경이 커지도록 양자는 구성되어도 된다. 이 경우, 도 4(a)에 나타낸 제1 및 제2재치면의 형체의 변형예로서, 도 4(b)에 나타낸 바와 같이 예를 들어 스토커(30)의 윗면 쪽에서 보아서, 제1재치면(31a)이 말굽과 같이 U자 형상으로 형성되고, 제2재치면(35a)이 그 U자 형상의 중앙을 메우는 섬과 같이 사각형으로 형성되어 있다. 이와 같이, 상하 좌우로 이동되는 제1재치면(31a)을 크게 한쪽이 FOUP(3)를 재치부(31)에 얹은 보관고 내 반송 시에 있어서의 안정성이 늘어나, FOUP(3)의 낙하 방지나 흔들림 방지에 유용하다.

(보관고 내 반송 동작)

다음에, 본 실시예에 따른 보관고 내의 짐의 이재, 즉, 보관고 내 반송의 동작에 대해서, 계속해서 도 2 내지 도 4를 참조해서 설명한다.

도 2 및 도 4에 있어서, 반송차(2)에 의해 입고되어, 영역(P1)의 제2재치면(15a)에 재치되어 있는 FOUP(3)를, 동일 단의 또 1개의 제2재치면(15a)(도 2 및 도 4에서는, 영역(P2)으로 표시됨)으로 이재한다. 이 경우에, 우선, 영역(P3)의 제2재치면(15a)으로의 FOUP(3)의 이재를 마친 재치부(11)(도 2에서는, 파선으로 표시됨)가 영역(P1)의 제2재치면(15a)의 바로 아래로 이동된다. 이때, 재치부(11)가 수평 구동부(13)에 의해 수평 가이드(17)의 대략 중앙으로 이동된 후, 연직 구동부(14)에 의해 연직 가이드(18)를 따라서 소정의 연직 위치로 이동된다. 이 소정 의 연직 위치는 영역(P1)의 제2재치면(15a)보다도 아래쪽이다. 그 후, 소정의 연직 위치에 있는 재치부(11)가 수평 구동부(13)에 의해 수평 가이드(17)를 따라서 소정의 수평위치(도 2에서는, 실선으로 표시됨)로 이동된다. 도 3(a)에 나타낸 바와 같이, 이 소정의 수평 위치는 FOUP(3)의 오목부(6)의 연직 아래 방향으로 재치부(11)의 볼록부(12)가 존재하는 위치이다.

소정의 연직 위치 또한 수평 위치로 이동된 재치부(11)는 연직 구동부(14)에 의해 상승된다. 이 상승에 의해, 제1재치면(11a)이 제2재치면(15a)의 중앙을 통과해서, 도 3(b)에 나타낸 바와 같이 제2재치면(15a)보다도 높게 된다. 이때, 영역(P1)에 있어서의 오목부(5) 및 볼록부(16)의 결합이 해제되어, 제2재치면(15a)을 대신해서, 제1재치면(11a)에서 FOUP(3)가 지지되는 동시에, 재치부(11)의 볼록부(12) 및 FOUP(3)의 오목부(6)가 서로 결합됨으로써, FOUP(3)가 제2재치면(15a)으로부터 제1재치면(11a)에 이재된다.

FOUP(3)가 이재된 재치부(11)는, 영역(P2)의 제2재치면(15a)의 바로 위로 이동된다. 이때, 재치부(11)가 수평 구동부(13)에 의해 수평 일방향의 소정의 수평 위치로 이동된다. 이 소정의 수평위치는, 영역(P2)의 제2재치면(15a)의 볼록부(16)의 연직 위쪽 방향에 FOUP(3)의 오목부(5)가 존재하는 위치이다. 소정의 수평위치로 이동된 재치부(11)는 연직 구동부(14)에 의해 하강된다. 이 하강에 의해, 제1재치면(11a)이 영역(P2)의 제2재치면(15a)의 중앙을 통과해서, 도 3(a)에 나타낸 바와 같이 제2재치면(15a)보다도 낮아진다. 이때, 영역(P2)에 있어서의 볼록부(12) 및 오목부(6)의 결합이 해제되어, 제1재치면(11a)을 대신해서, 제2재치 면(15a)에서 FOUP(3)가 지지되는 동시에, FOUP(3)의 오목부(5) 및 제2재치면(15a)의 볼록부(16)가 서로 결합됨으로써 FOUP(3)가 제1재치면(11a)으로부터 영역(P2)의 제2재치면(15a)으로 이재된다. 이것에 의해, 포트에 설정되는 영역(P1)으로부터 영역(P2)으로의 FOUP(3)의 이재 동작이 완료된다. 또한, 이 이재 공정을 반대 순서로 행하면, 영역(P2)으로부터 영역(P1)으로의 이재동작으로 된다. 따라서, 전술한 포트를 개재한 이재 동작은, 반송차(2)와 스토커(10) 사이에서의 FOUP(3)의 출고/입고 동작이기도 하다.

이와 같이, 본 실시예의 스토커(30)에 의하면, 연직 방향 및 수평 일방향에 확대부를 가지고, 두께 방향에 대해서는, FOUP(3)의 1개분의 두께로 수평 구동부(13) 및 연직 구동부(14)에 필요한 공간을 포함해서 매우 얇게 구성된다. 이 때문에, 레일(1)을 따른 비교적 작은 공극에도 배치가능하다. 또한, 2축 방향으로 이동하는 재치부(11)가 포트와 반송차(2) 사이의 출고/입고 시 불필요하고, 그 출고/입고 작업의 방해로 되지 않으므로, 간단한 구성에 의해 효율적으로 FOUP(3)를 출고/입고하는 것 혹은 효율적으로 보관고 내 반송하는 것이 가능하다.

또, 본 실시예에서는, 스토커(10)는, 재치부(11)가 이동되는 수평 일방향의 방위가 레일(1)의 방위에 대해서 직각으로 교차하도록 배치되지만, 수평 일방향의 방위가 레일(1)의 방위와 평행하게 되도록 배치되어도 된다.

< 제2실시예 >

다음에, 본 발명의 제2실시예로서, 제1실시예에 따른 보관고의 변형예에 대해서 도 5를 참조해서 설명한다. 여기서, 도 5는 제2실시예에 따른 보관고를 구비 한 반송 시스템의 외관을 나타내는, 도 1과 동일한 취지의 사시도이며, 구체적으로는, 도 5에 나타낸 보관고에서는, 출고 및 입고용의 포트가 각각 설정되는 동시에, 재치부가 이동되는 수평 일방향이 궤도와 평행하게 배치된다. 또, 도 5에 나타낸 반송 시스템에 있어서, 도 1에 나타낸 반송 시스템(100)과 동등하게 구성되는 요소에 대해서, 동일한 번호를 붙이고, 그 설명을 생략한다.

특히, 제2실시예는 , 본 발명에 따른 「제1보관고」의 실시예이다 .

도 5에 있어서, 반송 시스템(200)은 레일(1), 반송차(2) 및 스토커(40)를 구비한다. 반송 시스템(200)은, 도 1에 나타낸 반송 시스템(100)과 마찬가지로, 반송차(2)를 구동해서, 레일(1) 위에서 FOUP(3)의 반송을 행한다. 반송차(2)는, 레일(1) 위에서 반송을 행할 때에, 주행 방향(D3)으로 주행한다.

스토커(40)는 제1실시예와 마찬가지의 보관고 내 반송 장치(도 2 내지 도 5 참조) 및 복수의 선반(15)을 구비한다. 복수의 선반(15) 중, 최상단의 2개의 선반(15)(제2재치면(15a))은, 출고 및 입고용의 포트로서 기능한다. 최상단의 2개의 제2재치면(15a) 중, 입고용의 포트에 설정되는 제2재치면(15a)은 주행 방향(D3)의 상류 쪽에 위치하고, 출고용의 포트에 설정되는 제2재치면(15a)은 주행 방향(D3)의 하류 쪽에 위치한다. 이들 제2재치면(15a)의 위쪽 및 옆쪽에 대향하는 스토커 본체(40a)는 FOUP(3)가 출고/입고가능하게 개방되어 있다.

스토커(40)는 출고 및 입고용의 포트에 설정되는 2개의 제2재치면(15a)이 레일(1)의 아래쪽에, 또한 레일(1)을 따르도록 배치된다. 또, 이들 2개의 제2재치면(15a)이 배열되는 방위(바꿔 말하면, 2개의 제2재치면(15a)을 재치부가 이동되는 수평 일방향의 방위)가 레일(1)의 방위와 평행하게 되도록 배치된다.

(출고 및 입고용 포트를 사용하는 출고/입고 동작)

다음에, 본 실시예에 따른 보관고 및 반송차의 사이의 출고/입고의 동작에 대해서 설명한다.

도 5에 있어서, 스토커(40)에서는, 제1FOUP(3a)의 입고, 및 그 제1FOUP(3a)와 다른 제2FOUP(3b)의 출고가 1대의 반송차(2)와의 사이에서 연속해서 행해진다. 이 경우에, 우선, 제1FOUP(3a)를 유지하는 반송차(2)가 주행 방향(D3)의 상류 쪽에서부터 스토커(40)에 도달된다. 그러면, 반송차(2)가 입고용의 포트에 설정되는 제2재치면(15a)의 바로 위에서 정지되는 동시에, 제1FOUP(3a)를 유지하는 호이스트(2a)가 소정의 연직위치로 이동되면, 이 호이스트(2a)로부터 제1FOUP(3a)가 해방되어, 입고용의 포트(입고용 포트에 설정되는 선반(15)의 제2재치면(15a))에 재치된다. 이 재치에 의해, 제1FOUP(3a)가 스토커(40)에 입고된다. 이 입고 직후, 혹은 후술하는 제2FOUP(3b)의 출고 후, 제1실시예의 스토커(10)와 마찬가지로, 입고된 제1FOUP(3a)의 보관고 내 반송이 행해진다.

계속해서, 도 5에 나타낸 바와 같이 제1FOUP(3a)를 해방한 반송차(2)가 주행 방향(D3)으로 주행된다. 반송차(2)가 출고용의 포트에 설정되는 제2재치면(15a)의 바로 위에서 정지됨과 동시에, 호이스트(2a)가 소정의 연직 위치로 이동되면, 이 호이스트(2a)에 제2FOUP(3b)가 유지된다. 이 유지에 의해, 제2FOUP(3b)가 출고된다. 이 출고 직전, 혹은 반송차(2)가 출고용의 포트에 도달하는 것보다 전에, 제1실시예의 스토커(10)와 마찬가지로, 출고 예정인 제2FOUP(3b)의 보관고 내 반송이 행해진다. 출고 후, 제2FOUP(3b)를 유지하는 반송차(2)가 주행 방향(D3)으로 주행된다. 이것에 의해, 일련의 출고/입고 동작이 완료된다.

이와 같이, 제2실시예의 스토커(40)에 의하면, 출고 및 입고용의 포트가 각각 설치되어 있어, 반송차(2)로부터 입고용의 포트에 제1FOUP(3a)가 입고된 직후에, 출고용의 포트로부터 빈 짐의 반송차(2)에 제2FOUP(3b)가 출고되므로, 출고/입고의 효율이 매우 높아질 수 있다. 또한, 공장 내의 벽이 방해를 해서, 통상의 스토커에서는 설치할 수 없는 바와 같은 경우에, 재치부가 이동되는 수평 일방향의 방위가, 레일(1)의 방위와 평행하게 되도록, 스토커(40)가 배치되므로, 얇게 구성되는 스토커의 두께 방향의 두께분만큼 벽으로부터 레일이 떨어져 있으면, 문제없이 스토커를 배치할 수 있다.

다음에, 보관고의 배치에 대해서 도 6을 참조해서 설명한다. 여기서, 도 6은 제1실시예에 따른 보관고의 실용상의 배치 상태를 나타낸 평면도이다.

도 6에 나타낸 바와 같이, 보관고는, 예를 들어 반도체 제조 공장 등의 공장 내에서, 궤도를 따라서 설치된 제조 장치 등의 장치 사이의 간극에 배치된다. 스토커(10)의 두께 방향의 치수는 제조 장치(9) 사이의 간극에 대응하도록 설계되어 있다. 제조 장치(9) 사이에는 유지 관리용의 공간(S1)이 마련되어져 있다. 이 공간(S1)에 스토커(10)를 삽입함으로써, 유지 관리 때를 제외하고 쓸데없는 공간이라도 불릴 수 있는 공간(S1)을 유효 활용한다. 복수의 제조 장치(9), 및 이들 제조장치(9) 사이에 배치되는 스토커(10)는, 레일(1)에 대해서, 재치부가 이동되는 수평 일방향이 직각으로 교차하도록 배치된다.

또, 제2실시예에서는 출고 및 입고용의 2개의 포트가 1개의 레일(1)의 아래쪽에 배치되지만, 이들 2개의 포트가 상이한 2개의 레일의 아래쪽에 배치되어도 된다.

< 제3실시예 >

다음에, 본 발명의 제3실시예로서, 제2실시예에 따른 보관고의 배치의 변형예에 대해서 도 7을 참조해서 설명한다. 여기서, 도 7은 제3실시예에 따른 반송 시스템의 궤도를 나타낸 평면도이며, 구체적으로, 제2실시예의 보관고가 구비하는 2개의 포트로의 궤도를 나타낸다. 또, 도 7에 나타낸 반송 시스템에 있어서, 도 5에 나타낸 반송 시스템(200)과 동등하게 구성되는 요소에 대해서 동일한 번호를 붙이고, 그 설명을 생략한다.

특히, 제3실시예는 본 발명에 따른 「제2보관고」의 실시예이다 .

도 7에 있어서, 반송 시스템(300)은 레일(1), 반송차(2) 및 스토커(40)를 구비한다. 반송 시스템(300)은, 도시하지 않은 컨트롤러에 의해 반송차(2) 및 스토커(40)를 제어해서, 레일(1) 위에서 FOUP(3)의 반송을 행한다.

레일(1)은, 스토커(40)의 상류 쪽(도 7에서는 분기점(P1))에서 분기되어 있고, 분기점(P1)보다 하류 쪽에서는 제1 및 제2분기 레일(1a), (1b)로 이루어진다. 제1분기 레일(1a)은 스토커(40)에 제1FOUP(3a)를 입고하기 위한 레일이며, 제2분기 레일(1b)은 스토커(40)로부터 제2FOUP(3b)를 출고하기 위한 레일이다.

반송차(2)는 입고용의 반송차(2a) 및 출고용의 반송차(2b)로 이루어진다. 입고용 반송차(2a)는, 분기점(P1) 이후, 제1분기 레일(1a)을 따라 주행하고, 스토 커(40)보다 상류 쪽에서부터 그 입고용의 포트까지 제1FOUP(3a)를 반송한다. 출고용 반송차(2b)는, 분기점(P1) 이후, 제2분기 레일(1b)을 따라서 주행하고, 스토커(40)의 출고용의 포트로부터 그 하류 쪽에 제2FOUP(3b)를 반송한다.

스토커(40)에 대해서, 최상단의 2개의 제2재치면(15a)은 출고 및 입고용의 포트로서 기능한다. 입고용 포트에 설정되는 제2재치면(15a)은 제1분기 레일(1a)의 아래쪽에 위치하고, 출고용 포트에 설정되는 제2재치면(15a)은 제2분기 레일(1b)의 아래쪽에 위치한다. 또, 2개의 제2재치면(15)은 출고용 포트 및 입고용 포트로서 별도로 기능시키지 않고, 출입고용 포트로서 동일한 기능을 지니고 있어도 된다.

(2개의 포트에 2개의 레일이 대응되는 반송 시스템의 출고/입고 동작)

다음에, 제3실시예에 따른 반송 시스템의 출고/입고의 동작에 대해서 설명한다.

도 7에 있어서, 반송 시스템(300)에서는, 2개의 포트에 대응하는 2개의 레일(1a), (1b)을 사용해서, 출고/입고가 병행하여 행해진다. 이 경우에, 우선, 반송차(2)가 분기점(P1)에 도달하면, 반송차(2)의 분기점(P1) 이후의 진로가 제어된다. 반송차(2)가 입고용 반송차(2a)일 경우에, 입고용 반송차(2a)가 제1분기 레일(1a)을 따라서 주행되어, 스토커(40)에 도달된다. 그러면, 입고용 반송차(2a)가 입고용 포트에 설정되는 제2재치면(15a)의 바로 위에서 정지되는 동시에, 입고용 반송차(2a)가 유지하는 제1FOUP(3a)가 입고용 포트에 재치된다. 이 재치에 의해, 제1FOUP(3a)가 스토커(40)에 입고된다. 이 후, 입고용 반송차(2a)가 제1분기 레 일(1a)의 하류에 주행된다.

한편, 반송차(2)가 출고용 반송차(2b)인 경우에, 출고용 반송차(2b)가 제2분기 레일(1b)을 따라서 주행되어, 스토커(40)에 도달된다. 그러면, 출고용 반송차(2b)가 출고용 포트에 설정되는 제2재치면(15a)의 바로 위에서 정지되는 동시에, 출고용 포트에 재치되는 제2FOUP(3b)가 유지된다. 이 유지에 의해, 제2FOUP(3b)가 출고용 반송차(2b)에 출고된다. 그 후, 출고용 반송차(2b)가 제2분기 레일(1b)의 하류에 주행된다.

이와 같이, 제3실시예의 반송 시스템에 의하면, 스토커(40)의 최상단에 2개의 포트를 구비하는 동시에, 이들 2개의 포트에 대응하는 2개의 레일(1a), (1b)에 따라서 복수의 반송차(2)가 주행되므로, 입고 작업과 출고 작업을 병행하여 행하는 것이 가능해져, 이재 효율이 현저하게 향상될 수 있다.

또, 도 6에 나타낸 스토커(10)는 단체로 배치되지만, 제조 장치 사이의 간극에 맞추어서, 복수의 스토커를 조합시켜 이루어진 스토커 세트로 배치되어도 된다.

< 제4실시예 >

다음에, 본 발명의 제4실시예로서, 제1실시예에 따른 보관고를 복수 조합시켜 이루어진 보관고 세트에 대해서 도 8을 참조해서 설명한다. 여기서, 도 8은 본 실시예에 따른 보관고 세트를 구비한 반송 시스템의 외관을 나타내는, 도 1과 동일한 취지의 사시도이다. 또한, 도 8에 나타낸 반송 시스템에 있어서, 도 1에 나타낸 반송 시스템(100)과 동등하게 구성되는 요소에 대해서 동일한 번호를 붙이고, 그 설명을 생략한다.

특히, 제4실시예는 본 발명에 따른 「보관고 세트」의 실시예이다 .

도 8에 있어서, 반송 시스템(500)은 레일(1), 반송차(2) 및 복수의 스토커 세트(10x)를 구비한다. 반송 시스템(500)은, 도 1에 나타낸 반송 시스템(100)과 마찬가지로, 도시하지 않은 컨트롤러에 의해 반송차(2)를 구동해서, 레일(1) 위에서 FOUP(3)의 반송을 행한다.

스토커 세트(10x)는 6개의 스토커(10)로 이루어진다. 각 스토커(10)는, 도 1에 나타낸 스토커(10)와 마찬가지로 해서, 도시하지 않은 재치부를 포함하는 보관고 내 반송 장치(19) 및 복수의 선반(15)을 구비한다. 보관고 내 반송 장치(19)는 구동 수단에 의해 재치부를 수평 일방향 또한 연직 방향의 2축 방향으로 이동함으로써 복수의 선반(15) 사이에서 FOUP(3)를 이재한다. 복수의 선반(15) 중 최상단에 위치하는 한쪽의 선반(15)(도 8에서는, FOUP(3)가 재치되어 있는 선반)은 출입고용의 포트로서 기능한다.

스토커 세트(10x)를 구성하는 6개의 스토커(10)는, 출입고용 포트의 선반(15)이 레일(1)의 아래쪽에, 또한 레일(1)을 따라 일렬로 나열되도록 배열된다. 또한, 각 스토커(10)는 재치부가 이동되는 수평 일방향의 방위가 레일(1)의 방위에 대해서 직각으로 교차하도록 배열된다.

(보관고 세트의 출고/입고 동작)

제4실시예에 따른 스토커 세트(10x)와 반송차(2) 사이의 출고/입고 동작에 대해서 간단하게 설명한다.

도 8에 있어서, 스토커 세트(10x)의 6개의 스토커(10)가 각각 상이한 FOUP(3)를 보관할 경우에, 스토커 세트(10x)에 대응하는 레일(1)의 좁은 영역과 각 FOUP(3)의 반송처를 반송차(2)가 왕복함으로써, 상이한 6종류의 FOUP(3)의 출고/입고가 가능해진다. 또, 이 경우에, 레일(1)의 상류 쪽에 배치되는 제1스토커(10)에 입고를 막 끝낸 반송차(2)에 의해 제1스토커(10)보다 하류 쪽에 배치되는 제2스토커(10)의 FOUP(3)가 출고될 수 있다. 또한, 이 스토커 세트(10x)에 대해서, 복수의 반송차(2)가 주행될 경우에, 6개의 스토커(10)에서 동시에 6종류의 FOUP(3)의 출고/입고 작업이 가능해진다.

이와 같이, 제2실시예에 의하면, 레일(1)을 따른 비교적 작은 간극에도 혹은 비교적 큰 간극에도, 스토커(10)의 수를 조정한 스토커 세트(10x)가 적절하게 배치됨과 동시에, 포트가 레일(1)을 따라서 일렬로 나열되도록, 스토커 세트(10x)를 구성하는 복수의 스토커(10)가 배열된다. 이 때문에, 레일(1) 위를 주행하는 반송차(2)에 의해 어느 쪽의 포트에 대해서도 출고/입고 작업이 가능해져, 이재 효율이 현저하게 향상된다.

본 발명은, 전술한 실시예로 한정되는 것은 아니고, 청구범위 및 명세서 전체로부터 읽어낼 수 있는 발명의 요지 혹은 사상에 반하지 않는 범위에서 적절하게 변경가능하며, 그러한 변경을 수반하는 보관고, 특히 이러한 보관고를 복수 조합시켜 이루어진 보관고 세트 및 이러한 보관고 세트를 구비해서 이루어진 보관고 부착 반송 시스템도 또 본 발명의 기술적 범위에 포함되는 것이다. 예를 들어, 전술한 실시예에 있어서, 이재 시, FOUP를 밑바닥 쪽에서부터 지지하는 바와 같은 구성을 예로 들어서 설명했지만, 해당 보관고에 대해서 FOUP의 정상부에 설치된 플랜지를 지지 또는 유지하는 바와 같은 구성을 채용해도 된다.

도 1은 제1실시예에 따른 보관고를 구비한 반송 시스템의 외관을 나타낸 사시도;

도 2는 제1실시예에 따른 보관고의 내부 구조를 나타낸 단면도;

도 3은 제1실시예에 따른 제1 및 제2재치면의 결합 상태를 나타낸 단면도;

도 4는 실시예에 따른 재치부의 수평 일방향으로의 동작 상태를 나타낸 평면도;

도 5는 제2실시예에 따른 보관고를 구비한 반송 시스템의 외관을 나타낸 사시도;

도 6은 제1실시예에 따른 보관고의 실용상의 배치 상태를 나타낸 평면도;

도 7은 제3실시예에 따른 반송 시스템의 궤도를 나타낸 평면도;

도 8은 제4실시예에 따른 보관고 세트를 구비한 반송 시스템의 외관을 나타낸 사시도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1: 레일 2: 반송차

3: FOUP(짐) 10: 스토커(보관고)

11: 재치부(지지부) 13: 수평 구동부

14: 연직 구동부 15: 선반

100: 반송 시스템

Claims (19)

1. 짐을 지지가능한 지지부;

   상기 지지부를 수평 일방향으로 왕복 이동 가능한 수평 구동부;

   상기 지지부를 연직 방향으로 왕복 이동가능한 연직 구동부; 및

   상기 지지부가 상기 연직 구동부에 의해 도달가능한 상기 연직 방향의 복수 단에, 상기 수평 구동부에 의해 도달가능한 수평위치에 1개 또는 2개 이상씩 설치된 동시에, 상기 지지부와의 사이에서 상기 짐을 서로 이재가능하게 각각 구성되어 있는 복수의 재치면(載置面: 즉, 얹어 놓는 면)을 가지는 선반을 구비하되,

   상기 복수의 재치면의 적어도 하나는 상기 짐의 출입고용의 포트로서 기능하는 것을 특징으로 하는 보관고.
2. 제1항에 있어서, 상기 지지부는 상기 짐을 그 밑바닥 쪽에서부터 지지가능한 제1재치면을 가지는 재치부이며, 상기 복수의 재치면은 각각 상기 제1재치면과의 사이에서 상기 짐을 서로 이재가능하게 구성되어 있는 제2재치면인 것을 특징으로 하는 보관고.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 선반은, 상기 지지부가 상기 수평 일방향의 양쪽 각각으로 이동되었을 때에 상기 짐을 지지가능하게, 각 단에 2개씩 상기 재치면을 가지는 것을 특징으로 하는 보관고.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 선반은, 상기 재치면 중 상기 선반의 최상단에 있는 적어도 하나가 상기 포트로서 기능하는 것을 특징으로 하는 보관고.
5. 제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1재치면도 상기 포트로서 기능하는 것을 특징으로 하는 보관고,
6. 제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 및 제2재치면은 각각, 상기 재치부가 일단부 쪽으로 이동되었을 때에, 상기 연직 방향에서 보아서 서로 상보적인 평면형상을 가지는 것을 특징으로 하는 보관고.
7. 제2항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 짐은 그 밑면에 규정된 요철을 가지고,

   상기 제1 및 제2재치면은 각각 상기 요철에 결합가능한 요철을 가지는 것을 특징으로 하는 보관고.
8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 보관고는, 반송차가 상기 짐을 반송하는 궤도의 방위에 대해서, 상기 수평 일방향의 방위가 평행하게 되도록, 상기 궤도에 대해서 배치되는 것을 특징으로 하는 보관고.
9. 제8항에 있어서, 상기 보관고는 상기 선반이 상기 궤도의 아래쪽에 위치하도록 배치되고,

   상기 선반은, 상기 제2재치면으로서 상기 선반의 최상단에 위치하는 2개 중, 상기 궤도의 상류 쪽에 있는 한쪽이 상기 입고용의 포트로서 기능하는 동시에 상기 궤도의 하류 쪽에 있는 다른 쪽이 상기 출고용의 포트로서 기능하는 것을 특징으로 하는 보관고.
10. 궤도상에서 짐을 반송하는 반송차와의 사이에서 상기 짐의 출고/입고가 행해지는 보관고에 있어서,

    상기 짐을 수평 일방향으로 왕복 이동가능한 동시에 연직 방향으로 왕복 이동가능한 구동 수단;

    상기 구동 수단에 의해 이동되는 짐을 수용 또는 재봉가능한 선반부분을 상기 연직 방향으로 복수 단에 걸쳐서 단마다 상기 수평 일방향에 복수 가지는 선반을 구비하되,

    상기 선반은, 상기 궤도의 방위에 대해서 상기 수평 일방향의 방위가 직교하도록, 상기 궤도에 대해서 배치되는 것을 특징으로 하는 보관고.
11. 제10항에 있어서, 상기 반송차는 천정에 부설된 상기 궤도를 따라서 주행하는 천정 주행차이며,

    상기 선반은 상기 궤도의 아래쪽에 위치하도록 상기 궤도에 대해서 배치되는 것을 특징으로 하는 보관고.
12. 제10항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 구동 수단은,

    상기 짐을 지지가능한 지지부;

    상기 지지부를 수평 일방향으로 왕복 이동가능한 수평 구동부; 및

    상기 지지부를 연직 방향으로 왕복 이동가능한 연직 구동부를 구비하고,

    상기 선반은, 상기 선반부분으로서, 상기 단 마다 상기 수평 구동부에 의해 도달가능한 수평 위치에 복수 설치된 동시에, 상기 지지부와의 사이에서 상기 짐을 서로 이재가능하게 각각 구성되어 있는 재치면을 가지는 것을 특징으로 하는 보관고.
13. 제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 선반은 상기 선반부분 중 적어도 하나가 상기 출입고용의 포트로서 기능하는 것을 특징으로 하는 보관고.
14. 제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 궤도는 해당 보관고의 상류 쪽에서 분기되어 있고,

    상기 선반은 상기 궤도의 아래쪽에 배치되어 있고, 상기 선반부분 중 상기 선반의 최상단에 위치하는 2개가 상기 분기된 후에 있어서의 상기 궤도에 대해서 상기 출입고용의 포트로서 각각 기능하는 것을 특징으로 하는 보관고.
15. 제10항 내지 제14항 중 어느 한 항에 기재된 보관고;

    상기 궤도; 및

    상기 반송차를 구비하는 것을 특징으로 하는 보관고 부착 반송 시스템.
16. 궤도상에서 짐을 반송하는 반송차와의 사이에서 상기 짐의 출고/입고가 각각 행해지는 복수의 보관고가 조합되어 이루어진 보관고 세트에 있어서,

    상기 복수의 보관고는 각각

    상기 짐을 수평 일방향으로 왕복 이동가능한 동시에 연직 방향으로 왕복 이동가능한 구동 수단; 및

    상기 구동 수단에 의해 이동되는 짐을 수용 또는 재치가능한 선반 부분을, 상기 연직 방향으로 복수 단에 걸쳐서 단마다 상기 수평 일방향으로 1개 또는 복수개 가지는 선반을 구비하고,

    상기 복수의 보관고는 상기 수평 일방향이 일치되도록 또한 상기 짐의 출입고용의 포트가 일렬로 나열되도록 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 보관고 세트.
17. 제16항에 있어서, 상기 보관고 세트는, 상기 일렬이 상기 궤도를 따라서 나열되도록, 상기 궤도에 대해서 배치되는 것을 특징으로 하는 보관고 세트.
18. 제16항 또는 제17항에 있어서, 상기 보관고 세트는, 상기 궤도의 방위에 대 해서 상기 수평 일방향의 방위가 직교하도록, 상기 궤도에 대해서 배치되는 것을 특징으로 하는 보관고 세트.
19. 제16항 내지 제18항 중 어느 한 항에 기재된 보관고 세트;

    상기 궤도; 및

    상기 반송차

    를 포함하는 것을 특징으로 하는 보관고 부착 반송 시스템.

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