TWI478269B - Transfer device - Google Patents

Description

移載裝置

本案發明係有關於一種移載裝置等，該移載裝置係配置在半導體製造裝置和通路之間，對於暫時保管收容有半導體之製造所必要之基板等之棚，在上述之棚內變更上述對象物之載置場所。

在先前技術中，在將玻璃基板或矽基板等之基板從其他之場所搬入半導體製造裝置，或將處理過之基板搬出到其他之場所之情況時，係將複數片之基板收容在被稱為容器之箱，而進行搬運。該容器之搬運經由在半導體工廠之省空間化等，利用在工廠之高架附近行走之高架搬送車進行。

在此處，由於半導體之製造步驟之前步驟之進行或後步驟之進行等，發生需要暫時保管容器，而在半導體製造裝置之裝載器或卸載器之上方設有用以保管容器之棚。另外，設有移載裝置，在可能處理時，可以從該棚將容器自動地移載到裝載器，將收容有處理過之基板之容器從卸載器移載到該棚。

半導體之製造工廠為省空間化，在包夾通路之兩側設置半導體製造裝置，裝載器或卸載器係配置在半導體製造裝置和通路之間，移載裝置更配置在裝載器或卸載器與通路之間。

例如，在專利文獻1記載有該移載裝置或棚。專利文獻1所記載之棚可達成之省空間化有限，所以以保持移載裝置之容器在棚之內方可以移動之方式，在水平方向或鉛直方向設置通路。另外，為儘可能確保通路之寬廣，移載裝置將保持容器之保持手段配置成為在該棚貼附在鉛直方向移動用之軌道和使該軌道在水平方向移動用之軌道。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2001-298069號公報

由於最近基板之大型化等，使包含基板之容器之重量變重，所以變成對移載裝置亦要求具有高剛性。

本案之發明針對上述之問題，其目的是提供可以滿足移載裝置之剛性和確保在該移載裝置之配置場所附近具有寬廣之通路之移載裝置。

為解決上述問題，本案發明之移載裝置係用來將被載置在棚的任一個棚板之對象物，移載到其他之棚板，該棚具備有在鉛直方向配置複數個、且在水平方向配置複數個之棚板；其特徵在於，具備有：2根支柱，配置在棚之前側，配置成在鉛直方向延伸；上部軌道，在水平方向延伸，而在上述支柱上部之前側面，安裝成為架橋狀；鉛直軌道，被配置成在鉛直方向延伸，可滑動地與上述上部軌道之側面連接；下部軌道，配置在上述平面內之上述鉛直軌道之下方，安裝在上述支柱之下部，同時可滑動地與上述鉛直軌道連接；和保持手段，可裝卸地保持上述對象物之保持手段，配置成為朝向棚而從上述鉛直軌道突出之突出狀，可滑動地與上述鉛直軌道之側面連接。

利用此種方式，以上部軌道和下部軌道導引鉛直軌道，因而移載裝置之剛性可以變高。另外，由於可分散施加在上部軌道和下部軌道之負載，所以可以使上部軌道變薄，用來抑制突出到通路側之量。另外，因為下部軌道配置在與支柱相同之平面內，所以人通過之高度之移載裝置之厚度實質上可以變薄，更可以確保寬廣之通路。

另外，亦可以更具備有：配置在上述支柱之前側，而覆蓋上述保持手段可動區域之蓋子，其包含有：上部蓋子，覆蓋在上述上部軌道；和下部蓋子，配置在上述上部蓋子之後方，覆蓋在上述可動區域之下部。

另外，亦可以使上述上部軌道具備有用來水平地驅動上述鉛直軌道之水平驅動手段，上述下部軌道未具備用來水平地驅動上述鉛直軌道之水平驅動手段。

利用此種方式，移載裝置可以採用薄下部軌道，更可以確保寬廣之通路。

另外，最好使上述鉛直軌道在上端部側方具備有鉛直驅動手段，用來在鉛直方向驅動上述保持手段，且使上述上部軌道配置在上述鉛直驅動手段之下方。

利用此種方式，可以使移載裝置之上方空間確保寬廣，可以容易地避免高架行走車所保持之對象物和移載裝置之干涉。

依照本案之發明時，可以提供能夠確保移載裝置之高剛性，和確保寬廣之通路之移載裝置。

其次，參照圖式用來說明本案發明之實施形態。

圖1是表示移載裝置全體之立體圖。

圖2是表示將蓋子除去之移載裝置之立體圖。

如該等之圖所示，移載裝置100在半導體製造裝置等之裝置200之前側，成為用來將被載置在棚300的任一個棚板之對象物202移載到其他之棚板之裝置，該棚300具備有被配置在裝載卸載器201之前側，在鉛直方向配置有複數個、且在水平方向配置有複數個之棚板301，該移載裝置具備有支柱101、上部軌道102、鉛直軌道103、下部軌道104、保持手段105、蓋子106、水平驅動手段107、鉛直驅動手段108。

支柱101配置在棚300之前面，成為在鉛直方向延伸配置之柱。在本實施形態之情況時，以大於裝置200寬度之間隔配置，配置成為使2根支柱101所作成之平面平行於裝置前面。

上部軌道102配置成在水平方向延伸，成為安裝在2根支柱101之上部前側面而形成架橋狀之構件。在本實施形態之情況時，在上部軌道102之內部設有無端皮帶，用來在水平方向驅動鉛直軌道103。

鉛直軌道103是可滑動地與上部軌道102之側面連接之構件，配置成在鉛直方向延伸，同時配置在包含有2根支柱101之平面內。鉛直軌道103和上部軌道102配置成在前後方向重疊。

下部軌道104配置在由2根之支柱101假想形成之平面內，配置在鉛直軌道103之下方，以兩端部分別突接在支柱101之下部之狀態，對2根之支柱101安裝成為架橋狀。另外，下部軌道104可滑動地與鉛直軌道103連接。亦即，下部軌道104和鉛直軌道103係配置在同一平面內，鉛直軌道103成為在上述平面內移動。

在本實施形態之情況時，下部軌道104和鉛直軌道103係經由滑輪箱131連接。滑輪箱131和鉛直軌道103為固定，在下部軌道104之延伸方向一起移動。另外，在滑輪箱131之剛性不足之情況時等，亦可迴避滑輪箱131，同時設置連接下部軌道104和鉛直軌道103之支架等亦無妨。

保持手段105是保持對象物202成為可裝卸之裝置，配置成為朝向棚300，從鉛直軌道103突出之突出狀，係可滑動地與鉛直軌道103之側面連接之裝置。

在本實施形態之情況時，對象物202，在上部設有保持用之突緣203，保持手段105具備有鉤爪151，經由在水平方向移動可以插脫突緣203，在突緣203插入之狀態，與突緣203之下面卡合。

水平驅動手段107是水平驅動安裝在上部軌道102之端部之鉛直軌道103之裝置。在本實施形態之情況時，水平驅動手段107驅動成使上部軌道102所具備之無端皮帶以順向或逆向發送，連接在該無端皮帶之鉛直軌道103被上部軌道102或下部軌道104導引同時在水平方向移動。

另外，在本實施形態之情況時，在下部軌道104未安裝有水平驅動手段107。其目的是用來使移載裝置100之前側之下部空間變為寬廣。因此，只要不會對上述下部空間造成影響時，亦可以安裝小型之驅動裝置。

鉛直驅動手段108是安裝在鉛直軌道103之上端部側方，在鉛直方向驅動保持手段105之裝置。在本實施形態之情況時，鉛直驅動手段108係與上部軌道102同樣地，驅動成使鉛直軌道103所具備之無端皮帶在順向或逆向發送，連接在該無端皮帶之保持手段105被鉛直軌道103導引同時在水平方向移動。

在本實施形態之情況時，上部軌道102係配置在鉛直驅動手段108之下方，即使鉛直驅動手段108和鉛直軌道103一起移動時，上部軌道102和鉛直驅動手段108亦不會互相干涉。

蓋子106是在移載裝置100之動作時，用來隔絕人和移載裝置100之壁，為被配置在2根支柱101之前側，覆蓋保持手段105之可動區域全體區域之蓋子，其為包含有：以覆蓋位於可動區域之上部之上部軌道102之方式膨出到前側，成為具備有沿著上部軌道102延伸之上部蓋子161；及配置在上部蓋子161之後方，覆蓋在可動區域下部之下部蓋子163；如此之板狀構件。在本實施形態之情況時，在下部蓋子163設有3個門162，使該門162開放用來成為可以存取移載裝置100或裝載卸載器201。

棚300是所謂之裝置前緩衝器，棚300配置在裝載卸載器201之上方，用來暫時保管接受自高架行走車等之對象物202，暫時保管在高架行走車等受讓之對象物202。在本實施形態之情況時，棚300在縱方向具備有3片之棚板301，該棚板301具備有3列，可以載置合計9個之對象物202。另外，棚300具備在棚板301之間於上下方向延伸之通路，構建成使對象物202在棚300之內方可以上下移動。

另外，在棚300和裝載卸載器201之間，形成有使對象物202亦可以在水平方向移動之空間。因此，棚300成為利用上述移載裝置100可以在棚300之內方自由移載對象物202。

裝載卸載器201之裝置是對裝置200搬入被收容在對象物202之基板等，又，將處理後之基板等收容在對象物202地進行搬出。在本實施形態之情況時，裝載卸載器201具有作為棚300之功能，用來暫時保管對象物202。

圖3表示從側面看移載裝置和人之俯視圖。

依照以上之移載裝置100時，在上下方向具備有上部軌道102和下部軌道104，並且具備高剛性，亦可經由使突出到前側(該圖中之左側)之部分集中在上部，可以確保人H、或行走車(未圖示)通行之空間寬度成為寬廣。亦即，實質上可以確保寬廣之通路寬度。

另外，由於鉛直驅動手段108不配置在支柱101之上方，又，不與上部軌道102干涉，所以可以使移載裝置100之上方空間成為寬廣。因此，即使高架行走車等被配置在裝置200之上部之情況時，亦可以避免與高架行走車干涉。

圖4表示將門打開，從側面看人對對象物存取之情況時之俯視圖。

如該圖所示，在移載裝置100之停止中，打開蓋子106之門162，即使人H在存取被載置在裝載卸載器201之對象物202等情況時，下部軌道104不比支柱101突出到前側，因為配置在比較下方，所以下部軌道104不會成為障礙，人H可以容易地存取對象物202。

另外，本案之發明不只限於上述實施形態。例如，保持手段105與被設在對象物202之上部之突緣203卡合，不只是以吊下對象物202之狀態移送者，亦可以使用使鉤爪插入對象物202之下部進行上舉之方式之保持手段105。另外，棚300所示者是可以以縱3段橫3列載置對象物202者，但是本實施形態所示之裝載卸載器201亦可以成為載置有對象物202者，裝載卸載器201亦構成棚300之一部分。

另外，亦可以將本說明書所記載之構成元件任意地組合，使所實現之別的實施形態作為本案之發明之實施形態。對於上述之實施形態，在不脫離本案之發明之主旨，亦即在不脫離申請專利範圍所記載之文句所示之意思之範圍，可以施加業者所想到之各種變化，所獲得之變化例亦被包含在本案之發明。

另外，「鉛直」或「平面」「平行」等之文句之意思之使用容許在不脫離本案之主旨之程度之誤差。另外，「裝載卸載器」之文句表示包含搬入裝置、搬入裝置之任一方之功能，或雙方之功能之裝置。

(產業上之可利用性)

本案之發明可適用在設於半導體製造裝置等之附近之裝置前自動倉庫。

100．．．移載裝置

101．．．支柱

102．．．上部軌道

103．．．鉛直軌道

104．．．下部軌道

105．．．保持手段

106．．．蓋子

107．．．水平驅動手段

108．．．鉛直驅動手段

131．．．滑輪箱

151．．．鉤爪

161．．．上部蓋子

162．．．門

163．．．下部蓋子

200．．．裝置

201．．．裝載卸載器

202．．．對象物

203．．．突緣

300．．．棚

301．．．棚板

圖1是表示移載裝置全體之立體圖。

圖2是表示將蓋子除去之移載裝置之立體圖。

圖3是從側面看移載裝置和人之俯視圖。

圖4是俯視圖，用來表示人將門打開，而相對於對象物存取之情況時，從側面看之俯視圖。

101．．．支柱

102．．．上部軌道

103．．．鉛直軌道

104．．．下部軌道

105．．．保持手段

107．．．水平驅動手段

108．．．鉛直驅動手段

131．．．滑輪箱

151．．．鉤爪

200．．．裝置

201．．．裝載卸載器

202．．．對象物

203．．．突緣

300．．．棚

301．．．棚板

Claims (4)

1. 一種移載裝置，用來將被載置在棚的任一個棚板之對象物，移載到其他之棚板，該棚具備有在鉛直方向配置複數個、且在水平方向配置複數個之棚板；其特徵在於，具備有：2根支柱，配置在棚之前側，配置成在鉛直方向延伸；上部軌道，在水平方向延伸，而在上述支柱上部之前側面，安裝成為架橋狀；鉛直軌道，配置成在鉛直方向延伸，可滑動地與上述上部軌道之側面連接；下部軌道，配置在由2根上述支柱假想所形成之平面內之上述鉛直軌道下方，以將兩端部分別突接在上述支柱之下部之狀態安裝成為架橋狀，並且可滑動地與上述鉛直軌道連接；和保持手段，為以可裝卸方式保持上述對象物之保持手段，配置成朝向棚而從上述鉛直軌道突出之突出狀，可滑動地與上述鉛直軌道之側面連接；上述鉛直軌道係於上述平面內移動。
2. 如申請專利範圍第1項之移載裝置，其中，更具備有：配置在上述支柱之前側，而覆蓋上述保持手段可動區域之蓋子，其包含有：上部蓋子，覆蓋上述上部軌道；和下部蓋子，配置在上述上部蓋子之後方，覆蓋上述可動區 域之下部。
3. 如申請專利範圍第1項之移載裝置，其中，上述上部軌道具備用來水平地驅動上述鉛直軌道之水平驅動手段，上述下部軌道未具備用來水平地驅動上述鉛直軌道之水平驅動手段。
4. 如申請專利範圍第1項之移載裝置，其中，上述鉛直軌道在上端部側方具備有鉛直驅動手段，用來在鉛直方向驅動上述保持手段，上述上部軌道配置在上述鉛直驅動手段之下方。