JPH01203106A - 昇降装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明はクリーンルームなどで採用されて好適な昇降
装置に関し、特に、昇降体が非接触状態で移動でき、摺
動部の部祠の摩耗や潤滑油の飛散による汚染を防ぐこと
ができるような昇降装置に関するものである。

「従来の技術」 半導体工業あるいは生物工学の工場や実験室などにおい
ては、室内の清浄度を高めることが必要とされており、
人体による汚染を防ぐために作業を機械化するとともに
、そのような場所において使用される機械も汚染源とな
らない清浄なものであることが望まれている。

第１４図はそのような目的で搬送装置などに採用されて
いる昇降装置の例を示すもので、この昇降装置は、立設
されたシリンダａ内に配設されている駆動体すを空気圧
や油圧ににす上下に移動させることによって、シリンダ
ａの外側に配設されている環状の移動体Ｃを磁ノＪによ
って駆動体ｌ）に従動させるものであり、その移動体Ｃ
によって物品を搬送するものである。

この昇降装置では、シリンダａの上下端部に接続されて
いる供給管ｄ、ｄ’より空気あるいは浦を供給して駆動
体すをシリンダａの軸線方向に上下移動し、あるいはそ
の位置で保持するようにしている。

この駆動体すには複数の磁石ｆ・・とこれにより磁化さ
れるヨークｅ・が備えられており、また、移動体Ｃには
その駆動体すのヨークｅ−と互いに吸引しあう磁石ｈ−
ｉ、：　、Ｊ：り磁化されるヨークｇ・が備えられてい
る。そして、移動体Ｃはヨークｅ・１ｇ・・間に働く吸
引力により駆動体すに吊持されるとともに、駆動体ｌ）
がソリンダａ内を移動ずろにつれて、駆動体すに従動す
るようになっている。この従来の昇降装置では、移動体
Ｃはシリンダａの外面を摺動するようにされているので
、潤滑油を用いて移動体Ｃが滑らかに摺動できるように
している。

「発明が解決しようとする課題」 ところで、上記のように移動体Ｃがシリンダａの外面を
摺動するように構成されている昇降装置では、いかに潤
滑油を用いたとしても摺動部の摩耗を完全に防止するこ
とはできない。そして、その１ｑ粍により生じた摩耗粉
か周囲に飛散してしまうとともに潤滑油自体も飛散して
しまい、それらによって装置の周囲が汚染されてしまう
ことは避けられない。

従って、このような臂降装置を、たとえばクリーンルー
ム等の極めて高い清浄度が要求される室内に設置した場
合には、その摩耗粉や潤滑油によりその室の清浄度が低
下するという問題を生じてしまい、このため、従来その
ような室内に直接、装置を設置することはできない乙の
であった。

また、摺動部のない機構として、例えば、磁気浮上装置
、あるいは物体間に空気層を形成するようにしたものな
どが用いられているが、これらの装置は移動体の荷重を
磁力や空気圧によって相殺し、物体間の摩擦のない状態
でものを移動させるもので、水平方向の移動には適当で
あるが上下方向の移動を行う昇降装置への応用は困難で
あった。

この発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、摩耗粉
や潤滑油が周囲に飛散することがなく、クリーンルーム
等においても使用することの可能な昇降装置を提供する
ことを目的とする。

１課題を解決するための手段」 この発明は、基台に、非磁性体からなる筒状の主柱と磁
性体からなるガイド柱を立設し、この主柱及びガイド柱
に沿って昇降体を上下させる昇降装置において、上記主
柱の内部に駆動源により上下される駆動磁石を設げ、上
記昇降体に上記駆動磁石と互いに反発しあうことにより
昇降体を浮上状態にして駆動磁石に従動させる従動磁石
を設け、前記昇降体に前記ガイド柱との間に吸引力を発
生さ且て昇降体の姿勢と位置を制御し、昇降体と主柱及
びガイド柱との間に隙間を保たしめる制御磁石を設ける
ことにより上記の問題点を解決するようにしたものであ
る。

「作用」 この発明の昇降装置においては、駆動磁石と従動磁石と
の互いの反発力によって、昇降体が浮上状態にされると
ともに、主柱との間に隙間を明けた状態とされつつ、駆
動磁石を駆動源により上下に移動させることにより、該
駆動源に従動して昇降体が上下に移動することができ、
この場合、制御磁石のガイド柱への吸引力を調節するこ
とにより、昇降体と主柱との間の隙間のばらつきを安定
状態に保つことができ、停止時あるいは移動時において
昇降体の静荷重あるいは動荷重の大きさや分布が変化す
る場合においても、昇降体と主柱およびガイド柱とを常
に非接触状態に保つことができる。

「実施例」 以下、この発明の昇降装置をクリーンルームにおける搬
送装置に応用した実施例につき、第１図ないし第１３図
を参照して説明する。

第１図ないし第９図は本発明の第１の実施例を示すもの
で、この搬送装置は、レールＲの両側に立設された収納
棚りに物品Ｇを出し入れするもので、上記レールＢ上を
走行する基台Ｂと、この基台Ｂ上に設けられた本発明に
よる昇降装置Ａと、　　・、この昇降装置Ａにより上下
される昇降体Ｅと、この昇降体Ｂ上に上記レールＲと直
交する方向に移動自在に設けられ、その先端において物
品Ｇを吊持するスライドアームＳなどから構成される装
置人間により遠隔操作され、あるいはコンビュータブ［
ｌクラノー・により自動運転されて三軸方向に移動ＥＪ
能であるとともに、それぞれの摺動部が非接触構造とな
っているものである。

まケ、昇降装置Ａの構成から説明する。これらの図にお
いて、符号＋　ｉＪ十柱、２はガイド柱であり、それぞ
れ括台Ｔ３１にその走行方向において前後に一対づつ立
設されている。

この主柱１，１は非磁性体材料によって円筒状に形成さ
れ、その内側が外側に対して密封された構造となってお
り、その」１端にはモーターケーシンク゛３，３が載置
されている。このモーターケーンノブ３，３内にはそれ
ぞれ同期して回転するモーター４．４か配設されており
、このモーター４の回転軸４ａにはホールねし機構５が
継手６により連結されている。このボールねじ機構５は
、両端部をヘアリンク７．７により支持されて主柱１の
内袖を中心に回転自在に配設されている送りねし５ａと
、この送りねじ５ａに螺合しているナツト５［）からな
るもので、送りねし５ａがモーター４によって回転する
ことにより、ナラ１−５ｂを主柱１の軸線方向（上下方
向）に移動させるものである。

このボールねじ機構５のナツト５ｂには、該ナラ１−５
ｂとともに上下に移動する駆動磁石８が取りイー］けら
れている。この駆動磁石８は、環状に形成された３個の
永久磁石９（詳しくは後述する）からなっており、スペ
ーサ１０．１０・・により上下に所定の間隔を保った状
態で配され、その内周面を上記ナツト５ｂの外周面に接
して固定されるとともに、第５図に示すように各永久磁
石９の外周面が主柱ｌの内周面とわずかな隙間を保つよ
うに、上端付近および下端イ」近には、主柱ｌの内面と
摺動するガイドブツシュ１１．１１が設けられている。

なお、この駆動磁石８と主柱１との間には、第４図に示
すように外周面に縦方向に形成された溝８　ａ・・・と
、主柱１の内面に」二足溝８ａに嵌合するように形成さ
れた突条１ａとからなる回り止め機構Ｍが設（プられて
いるものである。

また、」１記ガイド柱２，２は磁性体を材料として断面
口字状に形成され、」１端が一ト記モーターケーシンク
３，３に連結されることにより補強されている。これら
主柱１．１及びガイド柱２，２に沿って昇降する昇降体
Ｅは、」−記基台Ｂの長平方向に〆ｆ）う長辺２＋、２
＋とその両端を連結する短辺２２．２２とから平面視で
口字状に形成され、軽量かつ堅ろうな構造となっている
。この短辺２２゜２２の外面中央には連結部２３．２３
が突出しておりその先端には管状体１３が形成され、そ
の内側には筒状の従動磁石］　２，１２が設けられてい
る。この従動磁石１２は、それぞれの内径が主柱１の外
径よりやや大きな環状に形成された３個の永久磁石１４
がスペーサ−１６により所定間隔を保って取りイマ１け
られた構成となっており、各永久磁石１４が、」−記駆
動磁石８側の永久磁石９に主柱Ｉを挾んでそれぞれ上方
へ所定量ａだけずれて対向するようになっている（第５
図参照）。

そして、駆動磁石８および従動磁石１２にそれぞれ設け
られた各磁石は、第５図に示した極性から明らかなよう
に、互いに反発しあうようにされている。

ここで、駆動磁石８および従動磁石１２の各永久磁石９
．１４について詳しく説明すると、駆動磁石８側の永久
磁石９は第７図（ａ）　、　（ｂ）に示すように、多数
の台形状の永久磁石片９ａを必要に応じて接着剤等でつ
なぎ合わせてリング状とし、その上下両面を非磁性体材
料からなる固定板９ｂ、９ｂで接着剤等を介し押さえ込
んだ構成となっている。永久磁石片９ａは台形状の底部
側がＮ極、頭部側が８極となるように予め磁化されてお
り、リング状に組まれた状態において外周側がすべてＮ
極となる。また、固定板９ｂの内側にはつば９ｃが設け
られている。これは、従動磁石１２側の永久磁石Ｉ４か
ら反発力を受（Ｊて、各永久磁石片９ａが内方へずれる
のを防ぐためのものである。−方、従動磁石１２側の永
久磁石Ｉ４は、第６図（ａ）、（ｂ）に示すように、先
程説明した駆動磁石８側の永久磁石９とほぼ同様な構成
となっている。ずなわち、台形状とされた多数の永久磁
石片１４．ａをリング状につなぎ合わせ、それらを上下
両側から固定板＋４ｂで押さえ込んだ構成となっている
。永久磁石片＋４ａは前述とは逆に頭部側がＮ極とされ
、リング状に組まれた場合内周側がすべてＮ極となるよ
うにされている。また固定板１４ｂのつば１４ｃは外周
側に設けられている。これは、各永久磁石片＋４ａが駆
動磁石８側の永久磁石９から外方へずれろような反発力
を受けるためである。

なお上記例では、永久磁石９．１４を、予め磁化した磁
石片９ａ、１４ａを多数つなぎあわせて構成しているが
、これに限られることなく一体もので構成してもよい。

ただし、一体ものにする場合、大川かすな磁化装置が必
要となるが、上記のように多分割構成のものにすれば、
大掛かりな装置を用いることなく簡単に製作できる利点
がある。

また、」１記昇降体Ｅの長辺２＋、２＋の間には、上記
短辺２２，２２の内側に梁部材４１．４１が架設され、
この梁部材４１と上記短辺２２及び長辺２１．２＋の間
に上記ガイド柱２，２を挿通させるガイド孔４２が形成
されている。そして、このガイド孔４２には、昇降体Ｅ
の長辺２１，２１及び梁部材４１の各面にそれぞれ制御
磁石４３．４１が設けられている。すなわち、基台Ｂの
走行方向すなわち長辺２Ｉの伸びる方向をＸ軸方向、短
辺２２の方向をｙ軸方向、主柱Ｉの伸びる方向をＸ軸方
向とすると、各長辺２１には、昇降体Ｅｉ、＝ｙ軸方向
の変位及びＸ軸とＺ軸回りの回転を与える上下一対の電
磁石４３，４３、梁部材４１には昇降体Ｅ　１．：ｍ　
Ｘ軸方向の変位を与える電磁石４４とが設ｉ−１られて
いる。これらの電磁石４３・・・、４４．４４は平断面
コ字状のヨーク４５とこのヨーク４５に巻かれたコイル
４６とからなり、このヨーク４５の高さ寸法はその先端
が上記ガイド柱２の外面に隙間を持った状態で対するよ
うに設定されている。

これらの電磁石４．３　、４．３　、４．４は、梁部材
４１゜４Ｉの内側に取り付けられた制御装置４７により
各別に励磁されるようになっており、それによりヨーク
４５先端とその対向するガイド柱２の部分との間に吸引
力を発生せしめ、昇降体Ｅの位置及び姿勢の制御を行わ
せるようになっている。さらに、上記ガイド孔４１．４
２の内側の適当箇所（本例においては、一方のカイト孔
４２の梁部材４１及び−長辺２１と他方のガイド孔４２
の一長辺２１の各上下二位置、計６箇所）にガイド孔４
２の内面とガイド柱２の外面との間隔を測定するギヤッ
プセンザ４８・が取り（−１けられており、その検出値
を上記制御装置４７に送るようになっている。

これらの電磁石４３．４３，４４、ギヤップセンザ４８
及び制御装置４７が昇降体Ｅの姿勢制御機構を構成して
いる。

なお、本例においては主柱１が一対設けられて、その両
方において上下動を同期させる結果、ｙ軸回りの回転が
既に拘束されるので、昇降体Ｅの姿勢を制御するために
拘束しな（プればならない５自由度のうち４自由度のみ
の制御を行えばよい。

次に、搬送装置の他の部分の構成について述べる。」１
記昇降体Ｅの長辺２＋、２１の上面にはそれぞれ一対の
垂直部２４．２４とその上端を結ぶ水平部２５とからな
る支持部材２６が立設され、各長辺２１．２１の上記水
平部２５，２．５の間にはガイド部材２７が架設されて
いる。このガイド部材２７の下面には、断面が逆Ｔ字状
のガイトレール２８が形成されて、このガイドレール２
８には、このガイドレール２８と嵌合する形状の溝２９
を上面に有するスライドアームＳがｙ軸方向に移動自在
に取りイ」けられている。このガイド部材２７とスライ
ドアームＳにおいては、ガイドレール２８と溝２９の対
向する適当な位置に互いに吸引しあう磁石（図示路）が
取り付けられており、その吸引力により両者の接触を防
ぐ磁気浮上方式が採用され、そして、スライドアームＳ
の移動のための駆動源としては周知のリニアモーター（
図示路）が採用されている。上記スライドアームＳの左
右端部下面には被収納物品Ｇの上面に取り付けられた磁
性片３０を係脱自在に吸引する電磁石３１が配設されて
いる。

上記レールＲは、第３図に示すように、上下の水平部３
２．３３と垂直部３４とから断面１字状に形成され、一
方、基台Ｂの下面にはこのレールＲに外嵌する形状の溝
３５が形成されている。この溝３５の下側底部及び側部
には、それぞれレールＲの上水平部３２を吸引すること
により、基台［３の荷重を支持しあるいは姿勢を制御す
る電磁石３６．３６．３７．３７が配設され、ギヤップ
センザ（図示略）の検出値により吸引力を調整して両者
の接触を防ぐ３にうになっている。また、ｄ４３５の上
側底部に（Ｊコイル３８が配され、それによりレールＲ
の−１−水平部３２に渦電流を生じさせ磁界を発生させ
て両者を相対移動させるように構成されたリニアモータ
ーＬ　Ｍが配設されている。

以」二のようなレールＲ１基台Ｂ１昇降装置Ａ１スライ
ドアームＳからなる構成のもとに、この搬送装置は摺動
接触部分が全くない状態で収納棚Ｉ７へ物品Ｇを出し入
れてきるものである。

ごの搬送装置により、例えば物品Ｇを収納棚りから出す
には、スライドアームＳを短縮した状態で基台Ｂを所要
の位置まで走行させ、次に昇降装置Δを作動させて高さ
を調整し、さらにスライドアームＳを伸ばして電磁石３
Ｉを磁性片３０のやや」二に位置させた後、再度昇降装
置Ａを作動させて昇降体Ｅを少し降ろし、電磁石３１を
磁性片３０に密着させて電磁石３１を起動する。そして
、上記の過程を逆に行ってスライドアームＳを短縮し、
基台Ｂを走行させて所要の位置まで移動させ、同様の過
程を行って物品Ｇを下ろすことにより操作が完了する。

このような作業過程中、昇降装置Ａにおいては、２つの
モーター４，４が同期して回転するので、駆動磁石８，
８は常に高さが等しく、該駆動磁石８．８に反発する従
動磁石１２．１２も同じ高さとなって、昇降体Ｅが平行
に保たれる。そして、永久磁石９，１４同士が互いに反
発しあうことから、駆動磁石８がボールねじ機構５によ
り主柱１内を」１昇した時には、その反発力によって昇
降体Ｅは駆動磁石８に従動して上昇する。具体的には、
第５図に示すように永久磁石９．１４同士が径方向及び
高さ方向にずれていることから、双方の反発力Ｆが斜め
方向に働くこととなり、そのうちの垂直成分ＦＩによっ
て昇降体Ｅが」１昇される。他方、駆動磁石８が下降さ
れるときには反発力による支持が失われ、昇降体Ｅは自
重により駆動磁石８に追従して下降することとなる。

＝１５− この場合、昇降体Ｅは姿勢制御機構によりその位置と姿
勢が一定に保たれ、それにより、従動磁石Ｉ２と主柱１
とはそれらの軸線が一致して、従動磁石Ｉ２と主柱Ｉ外
面との間に、主柱１の周方向全体にわたって均等な所定
間隔の隙間を常に確保することができる。そして、スラ
イドアームＳの移動や、物品Ｇの積み下ろしにより荷重
分布が変化し、あるいはｐ降体Ｅに外力が加えられるな
どして、カイト柱２と電磁石のヨーク４５　・との隙間
の寸法が変動したような場合にも、その変動をギヤップ
センザ４８　により検出し、その検出結果に基づいて制
御装置４７によって所定の電磁石７１３．４４のコイル
４６に流す電流量を制御することにより、従動磁石１２
がガイド柱２を吸引する力を制御でき、従って、常に隙
間の寸法を一定値に保つことがてきる。

加えて、」二足昇降装置Ａでは、昇降体Ｅを移動させろ
機能を持つ永久磁石９．１４に反発しあうものを用いて
いるので、それらの反発力の水平成分Ｆ２が、電磁石４
３．４４の場合と同様、昇降体Ｅを主柱１に対して軸線
を一致させるような求心作用を生じさせる。このため、
電磁石４３．４４が行なう昇降体Ｅのガイド機能の負担
を軽減させる。これがためにガイド機能への負担を大幅
に増加させることなしに、強力な磁石を用いて駆動力を
大きくすることができる。

ちなみに、永久磁石９．１４に吸引式のものを用いる場
合には、昇降体Ｅが主柱１の中心からずれる際に、該永
久磁石９，１４による吸引力は、磁力が距離の２乗に反
比例することから距離が短くなる箇所では大となり、そ
れがためにそのような箇所では接近してまずまず吸引力
が増大してしまう。このように非常に不安定な情況が生
じるが、これを回避するには、電磁石４３．４４を、永
久磁石９．Ｉ４による吸引力に打ち勝ち得るよう、にり
強力な磁石を用いな（プればならず、その場合装置自体
が大形化する不具合が生じる。また、種々の理由から電
磁石４３．４．４をあまり強力なものにできない場合に
は、永久磁石９．１４もそれに合わせである程度磁力の
弱いものを用いなｉ−１ればならず、その場合、昇降装
置としては大きい駆動ノｊが得られなくなる。

これに比べて上述のように永久磁石９．１４に反発式の
ものを用いれば、それ自体が求心作用を持つため、装置
自体が大きくならず、かつ駆動力の大きい昇降装置が得
られるものである。

また、本例のような搬送装置において昇降体Ｅに作用す
る回転モーメントの変化が最も大きいのはスライドアー
ムＳの伸縮及びスライドアームＳの先端に物品Ｇを着脱
するときであると考えられ、そのときには昇降体Ｅに対
し、Ｘ軸回りの回転モーメントが作用することになる。

この場合には、スライドアームＳの伸縮を昇降体Ｅの上
下移動と同時に行わなＪｌれば、たとえ主柱１と従動磁
石Ｉ２が接触しても両者が摺動し、摩耗することがない
が、そのような接触を防ぐために、上記のような過程の
間だ（プ昇降体Ｅを主柱１に機械的あるいは磁気的な方
法で固定してしまうクランプ機構なとを設けることも考
えられる。その場合、クランプの解除を徐々に行うにう
にして姿勢の急激な変動を防ぐような制御方法が採用さ
れる。

第１０図ないし第１３図は本発明の第２の実施例の昇降
装置へ°を示すもので、」−記のようなＸ軸回りの回転
モーメントによる昇降体Ｅの姿勢変動を防ぎ、より大き
な物品の搬送を可能にするために、主柱１と従動磁石Ｉ
２を３対設けたものである。

ずなわち、主柱Ｉは基台Ｂの一端に一本、他端に二本立
設され、それに対応して、昇降体Ｅに（ｊ−短辺２２の
両端に連結部２３．２３が設けられ、その先端に従動磁
石１２．１２が突出して設げられている。また、ガイド
柱２は基台Ｂの一端（主柱１が一本の側）のみに立設さ
れ、他端側のガイド柱は省かれており、昇降体Ｅにおい
てもガイド孔４２は一側（従動磁石１２が一つの側）の
みに形成され、他゛端のガイド孔及び制御磁石は設けら
れていない構成となっている。

上述のように、主柱Ｉと従動磁石１２が一対増えたこと
により、昇降体ＥはさらにＸ軸回りの回転が拘束される
ことになり、残る制御すべき自由度はＸ軸及びｙ軸方向
の変位とＸ軸回りの回転の３つとなり、制御が容易にな
る。従って、本例の姿勢制御機構における制御磁石は、
長辺２１の内側の一対の電磁石４３．４３（ｙ軸方向の
変位制御用）と、短辺２２及び梁部材４１にそれぞれ設
けられた二対の電磁石４４　・（Ｘ軸方向の変位及びＸ
軸回りの回転制御用）がガイド孔４２の内側に配設され
た構成となっている。

搬送装置の他の部分の構成は上記の実施例とほぼ等しく
なっているが、上記例と異なり、昇降体Ｅがｙ−ｚ面に
対して非対称になっているので、ガイド部材２７は平面
的配置においてほぼ昇降体Ｅの重心を通過するように設
定されている。

ごの搬送装置において物品を搬送する手順等は」二足例
と同じである。

この実施例の昇降装置Ａ′においては、昇降体Ｅの荷重
を支持するための主柱ｌ（と駆動磁石８）と従動磁石１
２が３対設けられており、昇降体Ｅの重量を増してその
構造を強固なものにすることかでき、また、より大きな
Ｘ軸回りの回転モーノ＝２０＝ ントに対処できるので、スライドアームＳで重い物品を
吊持できるとともに、スライドアームＳの伸長距離を長
くすることもでき、ｊ；り大きなものを移送することも
できる。そして、主柱Ｉ及び従動磁石１２を増やした替
わりに、ガイド柱２及び制御磁石４−３　、４４の数を
減らずことができ、製作コストが」１昇することもない
。

以上で述べたように、これらの昇降装置Ａ、Ａ’では、
従動磁石１２と主柱１、及び制御磁石４３゜４４とガイ
ド柱２とが常に非接触状態となって摺動する部分がない
ので、摩耗することが全くなく、そのために潤滑油も必
要としない。従って、従来の昇降装置のように、摩耗粉
や潤滑油が飛散して周囲を汚染することがなく、従来設
置することができなかったクリーンルーム等の高清浄度
の室内にも設置することが可能となる。なお、主柱Ｉの
内部においては、送りねじ５ａとナツト５ｂ、また主柱
Ｉの内面と駆動磁石８の外周面とはそれぞれ接触状態と
なっているので、それらは摩耗する恐れがあり、またそ
れらに対しては潤滑油を用いる必要乙あろが、主柱１の
内部は密封されているので、１三柱１の外部に摩耗粉や
潤滑油が飛散ずろこと（」ない。

以上、この発明の実施例について説明したが、この発明
の昇降装置は、勿論、」−記のような搬送装置への使用
に限定されるものではなく、一般の昇降装置に使用され
てよい。また、主柱の数は上記例に限らす、１本でら、
４本以上でもよく、駆動磁石及び従動磁石の各磁石の構
成やその極性等（Ｊ−１−記に限ら４−適宜変更して良
い。たとえば、」−記では駆動磁石及び従動磁石は永久
磁石により構成したが、これは永久磁石と電磁石の組み
合わせにより構成してｂ電磁石同士の絹み合わせとして
ら良い。ざらに、カイト柱やカイト孔の位置、ガイド柱
の断面形状、制御磁石の配置なども適宜ならのか採用さ
れてよい。

さらに、主柱の形状については断面が円形のものに限ら
す、たとえば多角形断面としても良く、その場合、駆動
磁石と従動磁石ち主柱の形状に対応さ且た形状とすれば
良い。まノコ、上記では駆動磁石の駆動源としてポール
ねし機構を用いたが、これに限らず、たとえばワイヤあ
るいはチェーンにより駆動したり、Δ１１圧や空気圧を
利用して駆動する等、適宜の手段を用いることもてきる
。

また、搬送装置にお（′ｊろ水平方向の移動及び荷重支
持の機構として、上記例では磁気浮」１方式とリニアモ
ーターを採用したが、たとえば圧縮空気による浮上ある
いは移動機構としてもよい。

「発明の効果」 以上詳細に説明したように、この発明の昇降装置は、基
台に、非磁性体からなる筒状の主柱と磁性体からなるガ
イド柱が立設され、この主柱及びガイド柱に沿って昇降
体が」−下する昇降装置において、」−記主柱の内部に
は駆動源により−１−下される駆動磁石が設けられ、上
記昇降体には、］−記馳駆動磁と互いに反発しあうこと
により昇降体を浮」−状態にして駆動磁石に従動さＵる
従動磁石が設置Ｊられるとともに、この昇降体には前記
カイト柱に対して吸引力を発生させて昇降体の姿勢と位
置を制御し、昇降体と主柱及びガイド柱との間に隙間を
保たしめる制御磁石が設けられているので、昇降体が主
柱と非接触状態を保って上下移動することができ、従来
の昇降装置のように摩耗粉が飛散することがないはかり
でなく、潤滑油を用いる必要はないからその潤滑４１１
が飛散することもない。

従って、この昇降装置は周囲を汚染するおそれがなく、
このため従来においては設置することのできなかったク
リーンルーム等の高清浄度の室内にム設置することかて
き、このクリーンルームを省人化することによりさらに
清浄度の向上を可能ならしめるという優れた効果を奏す
るものである。

また特に、上記の如く駆動磁石と従動磁石とに吸引式の
もので（Ｊなく反発式のものを用いており、このにうに
反発式のものを用いることによって昇降体が主柱の中心
からずれた場合、該昇降体を主柱と同心にさせるような
力（求心力）が作用し、制御磁石によるガイド機能の併
用にともない、磁気浮」−が安定化し、駆動力の大きい
昇降装置が得られるという効果を有ケろ。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第９図はこの発明の第１の実施例を示す図
であり、第１図はこの実施例の昇降装置を備えた搬送装
置の全体を示す斜視図、第２図はその正面断面図、第３
図は側面断面図、第４図は昇降体の平面断面図、第５図
は第１図の要部の拡大図、第６図（ａ）、（ｂ）は従動
磁石に用いられる永久磁石の詳細図、第７図（ａ）、（
ｂ）は駆動磁石に用いられる永久磁石の詳細図、第８図
（Ｊ第４図におけるＶｌ−Ｖｌ矢視図、第９図は同じく
■−■矢視図である。 また、第１０図ないし第１３図はこの発明の第２の実施
例を示すもので、第１０図（」搬送装置の斜視図、第１
１図は昇降体の平面断面図、第１２図は第１１図のＸ−
Ｘ矢視図、第１３図は同じくＸＩ−ＸＩＸ矢視図ある。 また、第１４図は従来の昇降装置の一例を示す断面図で
ある。 １・　・主柱、）ａ・・　１ｌｌｔ　、２・　・ガイド
柱、３・　モーターケーノノク、４・・モーター、４ａ
・　回転軸、５　・・ボールねじ機構、５ａ・　　送り
ねじ、５ｂ　　・ナツト、６　・・継手、７・・・・ベ
アリング、８・・・・・・駆動磁石、８ａ・・突条、９
・・　永久磁石、９ａ・・・・・磁石片、９ｂ・・・固
定板、９ｃ・つば、 １０・　　ガイドブツシュ、 １１・・・・スペーサー、１２・・・従動磁石、１３・
・・管状体、１４・・・・永久磁石、１４ａ・・・・・
磁石片、＋４ｂ・　固定板、１４Ｃ−・・つば、１６・
・・・スペーサ、２１・・・・・・長辺、２２・短片、
２３・・連結部、２４・・・・垂直部、２５・・・・・
水平部、２６・・・　支持フレーム、２７・・・・・・
カイト部材、２８・・・・・カイトレール、２９・・・
・・・溝、３０・・・・・磁性片、３１・・・電磁石、
３２・・・上水平部、降３３　　・下水平部、３４・　
・垂直部、３５・・・・・溝、３６．３７・・・・・電
磁石、３８・・　コイル、４１・・　梁部材、４２・・
・ガイド孔、４３．４４・・・電磁石、４５・・・・ヨ
ーク、４６・・・・コイル、４７　　　制御装置、４８
・・・・ギヤップセンザ、Ａ、Ａ’・・・・・昇降装置
、Ｒ・・・・・・レール、Ｂ・・・・基台、Ｍ・・・・
・・回り止め機構、Ｅ・・・・昇降体、Ｓ・　スライド
アーム、■７　　　収納棚、Ｇ　・・・物品、’ＬＭ・
・・・・リニアモーター。 出願人　　石川島播磨重工業株式会社 第６図 ＋４０１４０　　、Ｑ。 ＋４ｂ ４ａ 第７図 □ 第１１図 第１２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　基台に、非磁性体からなる筒状の主柱と磁性体からな
   るガイド柱が立設され、この主柱及びガイド柱に沿って
   昇降体が上下する昇降装置において、上記主柱の内部に
   は駆動源により上下される駆動磁石が設けられ、上記昇
   降体には、上記駆動磁石と互いに反発しあうことにより
   昇降体を浮上状態にして駆動磁石に従動させる従動磁石
   が設けられるとともに、この昇降体には前記ガイド柱に
   対して吸引力を発生させて昇降体の姿勢と位置を制御し
   、昇降体と主柱及びガイド柱との間に隙間を保たしめる
   制御磁石が設けられていることを特徴とする昇降装置。