JPH04186652A - クリーンルーム用搬送システム - Google Patents
クリーンルーム用搬送システムInfo
- Publication number
- JPH04186652A JPH04186652A JP2312126A JP31212690A JPH04186652A JP H04186652 A JPH04186652 A JP H04186652A JP 2312126 A JP2312126 A JP 2312126A JP 31212690 A JP31212690 A JP 31212690A JP H04186652 A JPH04186652 A JP H04186652A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- stocker
- carried
- transported
- clean room
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体製造工場等におけるクリーンルーム内で
ウェーハカセット等の被搬送物をその加工に必要な各工
程へ順次搬送するクリーンルーム用搬送システムに関す
るものである。
ウェーハカセット等の被搬送物をその加工に必要な各工
程へ順次搬送するクリーンルーム用搬送システムに関す
るものである。
半導体製造工場等においてはエツチング、洗浄といった
各製造工程内にウェーハの搬送があり、各製造工程間に
もウェーハの搬送を行うよう搬送ラインを構成するのが
一般的である。そして工程間の搬送は発塵が少なくかつ
高速搬送が可能な空気浮上りニアモータ駆動搬送装置を
採用し、他方、工程間の搬送には上述の空気浮上りニア
モータ駆動式の搬送装置をはじめロボット搭載無人搬送
車、コンベアライン等の搬送装置が用いられている。
各製造工程内にウェーハの搬送があり、各製造工程間に
もウェーハの搬送を行うよう搬送ラインを構成するのが
一般的である。そして工程間の搬送は発塵が少なくかつ
高速搬送が可能な空気浮上りニアモータ駆動搬送装置を
採用し、他方、工程間の搬送には上述の空気浮上りニア
モータ駆動式の搬送装置をはじめロボット搭載無人搬送
車、コンベアライン等の搬送装置が用いられている。
近年、半導体の高密度化は更に進み、製造工程における
不純物混入がより厳しく規制されるようになっている。
不純物混入がより厳しく規制されるようになっている。
特に工程内搬送は加工工程内における搬送であるとの位
置づけからより高いクリーン度が要求される。
置づけからより高いクリーン度が要求される。
本発明ではクリーンルーム内の搬送システムを搬送長さ
、搬送速度、発塵の有無、ダウンフローへの影響といっ
た多数の条件をその組み合わせから最適に構成すること
を目的とする。
、搬送速度、発塵の有無、ダウンフローへの影響といっ
た多数の条件をその組み合わせから最適に構成すること
を目的とする。
本発明は上記目的を達成するためになしたもので、ウェ
ーハカセット等の被搬送物を乗せたビークルを気体によ
り浮上させ、リニアモータにより駆動する工程間搬送装
置と、この工程間搬送装置の経路途中に各工程毎に設置
され、かつ各工程毎に予め定めた被搬送物を一時的に保
管し、各工程へ供給するストッカと、このストッカに接
続され、ストッカから供給にされる被搬送物を乗せたビ
ークルを磁７１．浮上させ、 リニアモータにより駆動
する工程内搬送装置とより成ることを要旨とする。
ーハカセット等の被搬送物を乗せたビークルを気体によ
り浮上させ、リニアモータにより駆動する工程間搬送装
置と、この工程間搬送装置の経路途中に各工程毎に設置
され、かつ各工程毎に予め定めた被搬送物を一時的に保
管し、各工程へ供給するストッカと、このストッカに接
続され、ストッカから供給にされる被搬送物を乗せたビ
ークルを磁７１．浮上させ、 リニアモータにより駆動
する工程内搬送装置とより成ることを要旨とする。
工程間搬送ではウェーハ等の被搬送物をカセット毎ウェ
ハボックスに収納してビークル上に載置し、このビーク
ルを空気叉はその他の気体を噴射して浮上させ、工程間
を高速で循環搬送し、予め定めた位置で停止させ、この
被搬送物ストッカに移載してを一時的にストックする。
ハボックスに収納してビークル上に載置し、このビーク
ルを空気叉はその他の気体を噴射して浮上させ、工程間
を高速で循環搬送し、予め定めた位置で停止させ、この
被搬送物ストッカに移載してを一時的にストックする。
そしてこのストッカより対象被搬送物を工程内搬送装置
ビークルに移載し、これを磁気浮上させて工程内を移送
させ、工程内搬送途中に並列した自動製造機へ被搬送物
を供給する。このため工程内搬送時にクリーンルーム内
のダウンフローを乱すことを防止し、これにより発塵及
び被搬送物の微塵の付着を防止できる。
ビークルに移載し、これを磁気浮上させて工程内を移送
させ、工程内搬送途中に並列した自動製造機へ被搬送物
を供給する。このため工程内搬送時にクリーンルーム内
のダウンフローを乱すことを防止し、これにより発塵及
び被搬送物の微塵の付着を防止できる。
以下本発明を図示の実施例にもとづいて説明する。
図においてｌはウェーハカセット等の被搬送物をビーク
ルに載せ、これを搬送させるようになした工程間搬送装
置で、この搬送途上に所要間隔で複数のストッカー２が
配置される。したがってビークルはこのストッカー２間
を循環又は往復移動し、被搬送物を所定ストッカーに移
載せしめる。この工程間搬送装置１は例えば実開昭５９
−９５０２７号公報に記載されているようにビークル搬
送を所要クリーン度内で行うため、搬送路に空気叉はチ
ッ素ガス等の不活性ガスを所定圧で噴射し、この噴射空
気圧にてビークルを浮上させ、リニアモータその他の方
法で無発塵状態で移送せしめるものである。なおこの空
気浮上式搬送は高速で行われるので被搬送物はカセット
毎ウェハボックス内に収納して行うのが一般的であり、
かつウェーハがむき出しになる工程内と異なり、浮上用
空気の影響は小である。
ルに載せ、これを搬送させるようになした工程間搬送装
置で、この搬送途上に所要間隔で複数のストッカー２が
配置される。したがってビークルはこのストッカー２間
を循環又は往復移動し、被搬送物を所定ストッカーに移
載せしめる。この工程間搬送装置１は例えば実開昭５９
−９５０２７号公報に記載されているようにビークル搬
送を所要クリーン度内で行うため、搬送路に空気叉はチ
ッ素ガス等の不活性ガスを所定圧で噴射し、この噴射空
気圧にてビークルを浮上させ、リニアモータその他の方
法で無発塵状態で移送せしめるものである。なおこの空
気浮上式搬送は高速で行われるので被搬送物はカセット
毎ウェハボックス内に収納して行うのが一般的であり、
かつウェーハがむき出しになる工程内と異なり、浮上用
空気の影響は小である。
半導体製造工場等において所要のクリーンルーム内に配
設される工程間搬送装置１は複線化して循環するように
するが、この搬送路に沿って複数のストッカー２が配列
配置される。
設される工程間搬送装置１は複線化して循環するように
するが、この搬送路に沿って複数のストッカー２が配列
配置される。
このストッカー２は各工程毎のウェーハの一時的保管と
工程バッファの役割を果たす自動倉庫で、このストッカ
ー２内も所要のクリーン度を保ち、かつ各工程間の処理
量調整機能、ストッカの入出庫状況、在庫状況等をコン
ピュータにてリアルタイムにて報告し、工程管理の自動
化を可能とするものである。各ストッカ２には工程内搬
送装置３が隣接される。この工程内搬送装置３の搬送路
に沿って所定間隔で自動製造設備４．４・・・が配列配
置され、被搬送物を各自！ｌＩ製造設備へ供給するよう
になす。工程内搬送装置３は工程間搬送装置１よりも低
速で、かつ被搬送物の移動に際しても、クリーンルーム
内のダウンフローを乱すことがないようにして、その搬
送速度が定められると共に被搬送物は搬送装置と非接触
で移送される。
工程バッファの役割を果たす自動倉庫で、このストッカ
ー２内も所要のクリーン度を保ち、かつ各工程間の処理
量調整機能、ストッカの入出庫状況、在庫状況等をコン
ピュータにてリアルタイムにて報告し、工程管理の自動
化を可能とするものである。各ストッカ２には工程内搬
送装置３が隣接される。この工程内搬送装置３の搬送路
に沿って所定間隔で自動製造設備４．４・・・が配列配
置され、被搬送物を各自！ｌＩ製造設備へ供給するよう
になす。工程内搬送装置３は工程間搬送装置１よりも低
速で、かつ被搬送物の移動に際しても、クリーンルーム
内のダウンフローを乱すことがないようにして、その搬
送速度が定められると共に被搬送物は搬送装置と非接触
で移送される。
例えば第２図に示すように工程内搬送装置３の搬送路に
沿ってレール３１を配殺し、このレール３１の頂面に複
数台の９ニアモータ３２を配置し、このレール３１を跨
ぐようにして搬送台３３を配置し、この搬送台３３にガ
イド用の電磁石３４、浮上用電磁石３５、及びバッテリ
ー３８、制御装置３６を搭載し、かつリニアモータ３２
と対向する面にリアクションプレート３７を設けて被搬
送物を載置した搬送台を磁力にまり浮上させ、 リニア
モータにて搬送せしめるものである。
沿ってレール３１を配殺し、このレール３１の頂面に複
数台の９ニアモータ３２を配置し、このレール３１を跨
ぐようにして搬送台３３を配置し、この搬送台３３にガ
イド用の電磁石３４、浮上用電磁石３５、及びバッテリ
ー３８、制御装置３６を搭載し、かつリニアモータ３２
と対向する面にリアクションプレート３７を設けて被搬
送物を載置した搬送台を磁力にまり浮上させ、 リニア
モータにて搬送せしめるものである。
この工程内搬送装置Ｉ３では磁気浮上にて搬送するため
、低速でルーム内のダウンフローの乱れがないのでウェ
ーハはカセット上に置いた状態で搬送することも可能と
なる。
、低速でルーム内のダウンフローの乱れがないのでウェ
ーハはカセット上に置いた状態で搬送することも可能と
なる。
本発明による時は高速で循環搬送するようになした工程
間搬送装置にストッカを介して工程内配送装置を隣接し
、この工程内配送を磁気浮上の非接触にて低速で行うた
め発塵がなく、しかもルーム内のダウンフローを乱すこ
ともないのでウェーハをカセットに載せた状態でウェハ
ボックスに収納することなく搬送できる等の利点を有す
る。
間搬送装置にストッカを介して工程内配送装置を隣接し
、この工程内配送を磁気浮上の非接触にて低速で行うた
め発塵がなく、しかもルーム内のダウンフローを乱すこ
ともないのでウェーハをカセットに載せた状態でウェハ
ボックスに収納することなく搬送できる等の利点を有す
る。
図面は本発明クリーンルーム用搬送システムの実施例を
示し、第１図は説明図、第２図は工程内搬送装置の断面
図である。 １は工程間搬送装置、２はストッカ、３は工程内搬送装
置。 第１図
示し、第１図は説明図、第２図は工程内搬送装置の断面
図である。 １は工程間搬送装置、２はストッカ、３は工程内搬送装
置。 第１図
Claims (1)
- （１）ウェーハカセット等の被搬送物を乗せたビークル
を気体により浮上させ、リニアモータにより駆動する工
程間搬送装置と、この工程間搬送装置の経路途中に各工
程毎に設置され、かつ各工程毎に予め定めた被搬送物を
一時的に保管し、各工程へ供給するストッカと、このス
トッカに接続され、ストッカから供給にされる被搬送物
を乗せたビークルを磁気浮上させ、リニアモータにより
駆動する工程内搬送装置とより成ることを特徴とするク
リーンルーム用搬送システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2312126A JPH04186652A (ja) | 1990-11-16 | 1990-11-16 | クリーンルーム用搬送システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2312126A JPH04186652A (ja) | 1990-11-16 | 1990-11-16 | クリーンルーム用搬送システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04186652A true JPH04186652A (ja) | 1992-07-03 |
Family
ID=18025566
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2312126A Pending JPH04186652A (ja) | 1990-11-16 | 1990-11-16 | クリーンルーム用搬送システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04186652A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100426032B1 (ko) * | 1996-10-16 | 2004-06-11 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 스탁과 공정장비과 직접 연결된 반도체공정장비 |
| WO2006115157A1 (ja) * | 2005-04-22 | 2006-11-02 | Rorze Corporation | カセット搬送システム |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01203106A (ja) * | 1988-02-04 | 1989-08-15 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 昇降装置 |
-
1990
- 1990-11-16 JP JP2312126A patent/JPH04186652A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01203106A (ja) * | 1988-02-04 | 1989-08-15 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 昇降装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100426032B1 (ko) * | 1996-10-16 | 2004-06-11 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 스탁과 공정장비과 직접 연결된 반도체공정장비 |
| WO2006115157A1 (ja) * | 2005-04-22 | 2006-11-02 | Rorze Corporation | カセット搬送システム |
| JP4805258B2 (ja) * | 2005-04-22 | 2011-11-02 | ローツェ株式会社 | カセット搬送システム |
| TWI392049B (zh) * | 2005-04-22 | 2013-04-01 | Rorze Corp | 收容盒搬運系統 |
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