KR20230034457A - 기판 처리 시스템 - Google Patents

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KR20230034457A
KR20230034457A KR1020210116769A KR20210116769A KR20230034457A KR 20230034457 A KR20230034457 A KR 20230034457A KR 1020210116769 A KR1020210116769 A KR 1020210116769A KR 20210116769 A KR20210116769 A KR 20210116769A KR 20230034457 A KR20230034457 A KR 20230034457A
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오창석
박동운
김주원
류서홍
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세메스 주식회사
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Abstract

본 발명은 기판 처리 시스템을 제공한다. 기판 처리 시스템은 기판 캐리어가 반입 및 반출되는 로드 포트들을 갖는 기판 처리 장치; 상기 로드 포트들에 반입되어야 할 기판 캐리어 및 상기 로드 포트들로부터 반출된 기판 캐리어를 보관하는 스토커들; 상기 스토커들과 상기 로드 포트들 간의 기판 캐리어를 이송하는 전용 캐리어 반송 장치를 포함할 수 있다.

Description

기판 처리 시스템{System for treating substrate}
본 발명은 기판을 처리하는 장치에 관한 것dl다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하는 반도체 기판을 공정 처리하는 기판 처리 설비는 복수 매의 기판들이 수납된 캐리어 예를 들어, 풉(Front Opening Unified Pod : FOUP), 쉬핑 박스(Front Opening Shipping Box : FOSB) 등을 이용하여 기판 처리 설비의 공정을 처리하는 처리 유닛으로 기판을 제공하거나, 공정 처리된 기판을 처리 유닛으로부터 회수한다.
이러한 캐리어는 일반적으로 물류 이송 장치(Overhead Hoist Transport : OHT)에 의해 이송된다. 물류 이송 장치는 공정 처리 전의 기판들이 수납된 캐리어를 이송하여 비어 있는 기판 처리 설비의 로드 포트에 적재하고, 공정 처리된 기판들이 수납된 캐리어를 로드 포트로부터 픽업하여 외부로 반송한다.
도 9 내지 도 10을 참조하면, 기판 처리 설비(1)는 일측으로부터 다수의 로드 포트(2)를 포함하는 구조로 이루어진다.
로드 포트(2)들에는 복수 매의 기판들이 수납된 캐리어(3)가 각각 적재된다. 이 때, 캐리어(3)는 물류 이송 장치(OHT)(4)을 통하여 각각의 로드 포트(2)에 적재된다. 인덱스(5)는 내부에 인덱스 로봇(미도시됨)을 구비하고, 인덱스 로봇은은 캐리어(3)에 수납된 공정 처리 전의 기판들을 인출하여 공정 처리부에 제공하고, 공정이 완료된 기판들을 공정 처리부로부터 인출하여 다시 캐리어(3)에 수납한다. 캐리어(3)에 공정 처리된 기판들의 수납이 완료되면, 해당 캐리어(3)는 다시 물류 이송 장치(4)에 의해 외부로 반송된다.
일반적으로, 풉(FOUP), 쉬핑 박스(FOSB) 등의 캐리어(3)는 물류 이송 장치( OHT)(4)에 의해 이송된다. 물류 이송 장치(4)는 외부로부터 캐리어(3)를 반입하여 기판 처리 설비(1)의 로드 포트(2)들 중 어느 하나에 적재한다. 또한, 물류 이송 장치(4)는 로드 포트(2)들 중 어느 하나에 적재된 캐리어(3)를 픽업하여 외부로 반출한다. 즉, 물류 이송 장치(4)는 공정 처리 전의 기판들이 수납된 캐리어(3)를 이송하여 비어 있는 로드 포트(2)에 적재하고, 공정 처리된 기판들이 수납된 캐리어(3)를 로드 포트(2)로부터 픽업하여 외부로 반송한다.
그러나, 기술 개발을 통해 기판 처리 설비(1)에서의 단위시간당 처리 가능한 기판 생산량이 증가함에 따라서 캐리어(3)의 반송 및 투입/배출 시간이 짧게 운용되는 것이 요구된다. 이를 고려하여 기판 처리 설비(1)의 전면에 스토커(8)를 배치하여 물류 이송 장치(4)로부터 공급되는 캐리어(3)를 임시 대기시키는 기술 등이 대안으로 재시되었으나, 이 경우 설비 점유 면적이 증가되면서 설비와 설비 사이의 이동 통로가 협소해지는 등의 문제점이 발생된다.
본 발명의 일 과제는 설비 점유 면적을 증가시키지 않고 생산량을 증가시킬 수 있는 기판 처리 설비를 제공하는데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 기판 캐리어가 반입 및 반출되는 로드 포트들을 갖는 기판 처리 장치; 상기 로드 포트들에 반입되어야 할 기판 캐리어 및 상기 로드 포트들로부터 반출된 기판 캐리어를 보관하는 스토커들; 상기 스토커들과 상기 로드 포트들 간의 기판 캐리어를 이송하는 전용 캐리어 반송 장치를 포함하는 기판 처리 시스템이 제공될 수 있다.
또한, 상기 스토커들은 상기 로드 포트들의 상부를 통과하는 천장 주행 시스템의 메인 주행 레일의 일측에 배치되는 제1스토커들; 및 상기 로드 포트들의 상부를 통과하는 천장 주행 시스템의 메인 주행 레일의 타측에 배치되는 제2스토커들을 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1스토커들에는 상기 로드 포트들에 반입되어야 할 기판 캐리어가 보관되고, 상기 제2스토커들에는 상기 로드 포트들로부터 반출된 기판 캐리어를 보관될 수 있다.
또한, 상기 로드 포트들은 상기 제1스토커로부터 반송되어진 기판 캐리어가 놓여지는 제1로드 포트들; 및 상기 제2스토커로 반송되어질 기판 캐리어가 놓여지는 제2로드 포트들을 포함할 수 있다.
또한, 상기 전용 캐리어 반송 장치는 상기 로드 포트들의 상부를 통과하고, 제조 라인의 천장 등으로부터 지지되는 서브 주행 레일; 및 상기 서브 주행 레일을 따라 상기 로드 포트들 상부로 이동 가능한 그리고 상기 스토커들과 상기 로드 포트들 간의 기판 캐리어를 이송하는 전용 이동 대차를 포함할 수 있다.
또한, 상기 서브 주행 레일에서 상기 로드 포트들의 상부를 통과하는 구간은 상기 메인 주행 레일과 중첩될 수 있다.
또한, 상기 서브 주행 레일은 상기 전용 이동 대차가 대기하는 대기 구간을 더 포함하고, 상기 전용 이동 대차는 상기 대기 구간에는 대기하는 동안 충전될 수 있다.
또한, 상기 기판 처리 장치는 상기 로드 포트들로부터 기판을 반입 및 반출하는 인덱스 로봇들을 갖는 인덱스를 더 포함하되; 상기 인덱스 로봇들은 상기 제1로드 포트들로부터 공정 처리전 기판을 반출하는 반출 전용 로봇; 및 상기 제2로드 포트들로부터 공정 처리후 기판을 반입하는 반입 전용 로봇을 포함할 수 있다.
또한, 상기 인덱스는 상기 로드 포트들이 배치된 폭 방향을 따라 설치된 이동축을 더 포함하고, 상기 반출 전용 로봇과 상기 반입 전용 로봇은 상기 이동축 상에서 개별 이동이 가능하도록 제공될 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 기판 캐리어가 놓여지는 로드 포트들을 갖는 기판 처리 장치; 상기 로드 포트들의 상부를 통과하는 천장 주행 시스템의 메인 주행 레일의 일측에 배치되고, 상기 로드 포트들에 반입되어야 할 기판 캐리어가 보관되는 제1스토커들; 상기 로드 포트들의 상부를 통과하는 천장 주행 시스템의 메인 주행 레일의 타측에 배치되고, 상기 로드 포트들로부터 반출된 기판 캐리어를 보관되는 제2스토커들; 및 상기 스토커들과 상기 로드 포트들 간의 기판 캐리어를 이송하는 전용 캐리어 반송 장치를 포함하되; 상기 전용 캐리어 반송 장치는 상기 로드 포트들의 상부를 통과하고, 제조 라인의 천장 등으로부터 지지되는 서브 주행 레일; 및 상기 서브 주행 레일을 따라 상기 로드 포트들 상부로 이동 가능한 그리고 상기 스토커들과 상기 로드 포트들 간의 기판 캐리어를 이송하는 전용 이동 대차를 포함하는 기판 처리 시스템가 제공될 수 있다.
또한, 상기 서브 주행 레일에서 상기 로드 포트들의 상부를 통과하는 구간은 상기 메인 주행 레일과 중첩될 수 있다.
또한, 상기 서브 주행 레일은 상기 전용 이동 대차가 대기하는 대기 구간을 더 포함하고, 상기 전용 이동 대차는 상기 대기 구간에는 대기하는 동안 충전될 수 있다.
또한, 상기 로드 포트들은 상기 제1스토커로부터 반송되어진 기판 캐리어가 놓여지는 제1로드 포트들; 및 상기 제2스토커로 반송되어질 기판 캐리어가 놓여지는 제2로드 포트들을 포함할 수 있다.
또한, 상기 기판 처리 장치는 상기 로드 포트들로부터 기판을 반입 및 반출하는 인덱스 로봇들을 갖는 인덱스를 더 포함하되; 상기 인덱스 로봇들은 상기 제1로드 포트들로부터 공정 처리전 기판을 반출하는 반출 전용 로봇; 및 상기 제2로드 포트들로부터 공정 처리후 기판을 반입하는 반입 전용 로봇을 포함할 수 있다.
또한, 상기 인덱스는 상기 로드 포트들이 배치된 폭 방향을 따라 설치된 이동축을 더 포함하고, 상기 반출 전용 로봇과 상기 반입 전용 로봇은 상기 이동축 상에서 개별 이동이 가능하도록 제공될 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면, 설비 점유 면적을 증가시키지 않고 생산량을 증가시킬 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면, 카세트 물류 시스템의 정체 및 지연문제가 발생하더라도 기판 처리 설비의 생산성을 향상시킬 수 있다.
발명의 효과가 상술한 효과들로 제한되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 시스템을 보여주는 측면 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 기판 처리 시스템을 보여주는 평면 구성도이다.
도 3 및 도 4는 스토커부와 전용 캐리어 반송 장치를 설명하기 위한 도면들이다.
도 5는 본 실시예에 따른 기판 처리 시스템에서의 기판 캐리어의 이동을 설명하기 위한 도면이다.
도 6 및 도 7은 기판 처리 장치를 설명하기 위한 도면들이다.
도 8은 전용 캐리어 반송 장치의 변형예를 보여주는 도면이다.
도 9는 일반적인 캐리어 반송 유닛을 구비하는 기판 처리 장치의 일부 구성을 도시한 사시도이다.
도 10은 종래 기판 처리 장치의 단면도이다.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
본 실시예의 설비는 반도체 웨이퍼 또는 평판 표시 패널과 같은 기판에 대해 포토리소그래피 공정을 수행하는 데 사용될 수 있다. 특히 본 실시예의 설비는 노광장치에 연결되어 기판에 대해 도포 공정 및 현상 공정을 수행하는 데 사용될 수 있다. 아래에서는 기판으로 웨이퍼가 사용된 경우를 예로 들어 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 시스템을 보여주는 측면 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 기판 처리 시스템을 보여주는 평면 구성도이며, 도 3 및 도 5는 스토커부와 전용 캐리어 반송 장치를 설명하기 위한 도면들이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 기판은 생산 라인 내에 분산되어 배치된 각종 기판 처리 장치(100)에 순차적으로 반송되고, 각 기판 처리 장치(100) 내에서 레지스트의 도포, 노광이나 현상, 에칭이나 세정 등의 처리가 실행된다.
반도체 생산 라인에서, 기판은 반송 용기인 기판 캐리어, 예를 들어, 풉(Front Opening Unified Pod : FOUP), 쉬핑 박스(Front Opening Shipping Box : FOSB) 등에 복수장 수납되고, 이 기판 캐리어는 물류 이송 장치(Overhead Hoist Transport : OHT)라 불리는 반송 로봇에 의해 각 공정의 기판 처리 장치(100)로 반송될 수 있다.
본 발명에 있어서, 기판 처리 장치(100)가 배치되어 있는 처리 블록(B)에는, 기판 처리 장치에 의한 기판의 처리 속도와, 물류 이송 장치(Overhead Hoist Transport : OHT)에 의한 기판 캐리어의 반입, 반출 속도의 부조화를 해소하기 위해, 기판 캐리어를 보관하는 스토커들과 전용 캐리어 반송 장치를 제공한다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 기판 처리 시스템(10)은 기판 처리 장치(100), 스토커부(300) 그리고 전용 캐리어 반송 장치(900)를 포함할 수 있다.
기판 처리 장치(100)는 기판 캐리어(102)가 장착되는 복수 개의 로드 포트(110 : 112 ~118)들과, 각각의 로드 포트(110)들로부터 기판을 인출하는 인덱스(120) 및, 기판을 공정 처리하는 처리유닛(130)을 포함할 수 있다.
예컨대, 로드 포트(110 : 112 ~ 118)들은 제1스토커(310)로부터 반송되어진 기판 캐리어가 놓여지는 제1로드 포트(112,114)들과 제2스토커(320)로 반송되어질 기판 캐리어가 놓여지는 제2로드 포트(116,118)들로 구분하여 운용할 수 있다.
스토커부(300)에는 로드 포트(110)들에 반입되어야 할 기판 캐리어(102) 및 로드 포트(110)들로부터 반출된 기판 캐리어(102)가 수납될 수 있다. 일 예로, 스토커부(300)은 제1스토커(310)들과 제2스토커(320)들을 포함할 수 있다. 제1스토커(310)들과 제2스토커(320)들은 로드 포트(110)들의 상부를 통과하는 천장 주행 시스템의 하나인 물류 이송 장치(Overhead Hoist Transport : OHT)(800)의 메인 주행 레일의 양측에 서로 대칭되게 배치될 수 있다. 즉, 제1스토커(310)와 제2스토커(320)는 물류 이송 장치(800)가 로드 포트(110)에 기판 캐리어(102)를 로딩 및 언로딩하는 위치에 인접하게 그리고 나란히 배치될 수 있다. 스토커(310,320)들은 천정으로부터 매달리는 형태로 설치하는 것이 바람직하지만, 기판 캐리어(102)를 보관할 수 있는 형태이면 스토커의 설치 모양은 특별히 한정되지 않는다.
이 실시예의 기판 처리 시스템(10)은 기판 캐리어(102)를 스토커(300)들로 이송하거나, 스토커(300)들로부터 외부로 이송하는 물류 이송 장치(OHT)(800)와 함께 사용된다.
물류 이송 장치(800)는 공정 처리 전의 기판들이 수납된 기판 캐리어(102)를 이송하여 비어 있는 제1스토커(310)에 적재하고, 공정 처리된 기판들이 수납된 기판 캐리어(102)가 로딩된 제2스토커(320)로부터 픽업하여 외부로 반송한다.
기판 캐리어(102)는 기판 처리 장치(100)의 공정을 처리하는 처리 유닛(130)으로 기판을 제공하거나, 공정 처리된 기판을 처리 유닛(130)으로부터 회수한다. 이러한 기판 캐리어(102)는 전용 캐리어 반송 장치(900)에 의해 이송된다.
로드 포트(110 : 112 ~ 118)들 각각에는 하나의 기판 캐리어(102)가 적재될 수 있다. 이 때, 기판 캐리어(102)는 전용 캐리어 반송 장치(800)에 의해 제1스토커(310)로부터 각각의 로드 포트(110)로 이송, 적재된다. 또 기판 캐리어(102)는 전용 캐리어 반송 장치(800)에 의해 각각의 로드 포트(110)로부터 하나의 제2스토커(320)로 이송,적재된다. 이 실시예의 제1스토커(310)와 제2스토커(320)는 각각 4 개로 구비되어 있으나, 기판 처리 시스템(10)의 공정 효율에 따라 증가하거나 감소할 수도 있다.
전용 캐리어 반송 장치(900)는 일례로 서브 주행 레일부(910) 및 전용 이동대차(920)를 포함할 수 있다. 전용 이동 대차(920)는 파지부(930)를 포함할 수 있다. 서브 주행 레일부(910)는 천장(E)에 설치되거나, 천장(E)에 결합된 프레임(미도시됨)에 설치될 수 있다. 서브 주행 레일부(910)는 다양한 형상으로 천장(E)의 다양한 영역에 배치될 수 있다. 전용 이동대차(920)는 메인 주행 레일부(910)를 따라서 이동될 수 있다.
파지부(390)는 기판 캐리어(102)를 파지할 수 있다. 파지부(930)가 동작됨에 따라 기판 캐리어(102)와 탈착될 수 있다. 파지부(930)는 상하 방향 및 좌우 방향으로 이동될 수 있다. 예를 들어, 파지부(930)는 밸트, 풀리, 기어 등을 이용하여 좌우 방향으로 이동되고, 모터, 실린더 등을 이용하여 상하 방향으로 이동될 수 있다. 이에 따라, 파지부(930)는 기판 캐리어(102)를 상하 방향 및 좌우 방향으로 이동시킬 수 있다.
전용 캐리어 반송 장치(900)의 서브 주행 레일부(910)에서 로드 포트(110)들의 상부를 통과하는 작업 구간(K1)은 메인 주행 레일(810)과 중첩되도록 제공될 수 있다. 즉, 로드 포트(110)들의 상부를 통과하는 작업 구간(K1)은 전용 이동 대차(920)와 반송 대차(820)가 공용으로 사용할 수 있다. 또한, 서브, 주행 레일부(910)는 전용 이동 대차(920)가 대기하는 대기 구간(K2)을 포함할 수 있다. 전용 이동 대차(920)는 대기 구간(K2)에서 대기하는 동안 충전될 수 있다. 전용 이동 대차(920)는 대기 구간(K2)에서 대기함으로써 반송 대차의 기판 캐리어 반송은 원활하게 이루어질 수 있다. 대기 구간(K2)은 물류 이송 장치의 기판 캐리어 이송을 방해하지 않도록 이웃하는 기판 처리 장치 사이에 위치될 수 있다.
본 실시예에서, 전용 캐리어 반송 장치(900)는 통로를 기준으로 서로 마주보고 있는 2대의 기판 처리 장치에서의 기판 캐리어 반송을 담당할 수 있도록 제공될 수 있다. 그러나 이에 한정되는 것은 아니다. 도 8에서와 같이, 전용 캐리어 반송 장치(900)는 하나의 기판 처리 장치에서의 기판 캐리어 반송만 담당하도록 제공될 수 있다.
스토커(310,302)들은 반도체 제조 라인의 천장(E)에 고정될 수 있다. 스토커(810,820)들은 전용 캐리어 반송 장치(900)의 서브 주행 레일부(910)의 일측 또는 양측에 서로 대칭되게 배치될 수 있다.
스토커(810,820)들은 서브 주행 레일부(910)의 작업 구간(K1)에 인접하게 위치되며, 물류 이송 장치(800)에 의해 이송되는 기판 캐리어(102)를 일시적으로 수납할 수 있다.
물류 이송 장치(OHT)(800)는 메인 주행 레일부(810) 및 반송 대차(820)를 포함할 수 있다. 메인 주행 레일부(810)는 로드 포트(110)들의 상부를 통과하도록 제공될 수 있다. 반송 대차(820)는 메인 주행 레일부(810)를 따라 이동되며, 기판 캐리어(102)를 스토커부(300)에 공급 및 회수할 수 있도록 제공될 수 있다.
도 5는 본 실시예에 따른 기판 처리 시스템에서의 기판 캐리어의 이동을 설명하기 위한 도면이다.
도 5에서와 같이, 기판 처리 장치에서 처리하기 위한 기판들이 수납된 기판 캐리어(102)는 물류 이송 장치(800)에 의해 반송되어서 비어 있는 제1스토커(310)에 수납된다. 제1스토커(310)에 수납된 기판 캐리어는 전용 캐리어 반송 장치(900)에 의해 로드 포트(110)로 반송된다. 공정을 마친 기판들이 수납된 기판 캐리어(102)는 전용 캐리어 반송 장치(900)에 의해 로드포트(110)로부터 제2스토커(320)로 반송된다. 물류 이송 장치(800)는 제2스토커(320)에 대기중인 기판 캐리어를 회수하여 다음 공정을 위한 공간(다른 기판 처리 장치)으로 반송한다.
일반적으로 기판 처리 설비는 기판 반송 기능 및 플로우 그리고 프로세스 타임 개선 등으로 어느 정도의 생산성 향상이 가능하지만, 기판 캐리어를 반송하는 반도체 생산 라인의 물류제어 능력에 따라 생산성에 한계가 발생된다. 하지만, 본 발명에서와 같이, 별도의 전용 캐리어 반송 장치(900)가 신속하게 로드 포트(110)에서에서 기판 캐리어(공정 완료된 기판들이 수납된 기판 캐리어)를 언로딩(회수)하고 새로운 기판 캐리어(공정 처리전 기판들이 수납된 캐리어)를 로드 포트(110)에 로딩(공급)할 수 있어, 기판 처리 장치로 기판들의 연속 투입이 가능하게 함으로써 생산성의 한계를 극복할 수 있다. 즉, 본 발명은 카세트 물류 시스템의 정체 및 지연문제가 발생하더라도 기판 처리 설비의 생산성을 향상시킬 수 있는 것이다.
도 6 및 도 7은 기판 처리 장치를 설명하기 위한 도면들이다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 기판 처리 장치(100)는 기판에 대한 공정처리가 이루어지는 공정 처리부(150), 기판 캐리어(102)로부터 기판들을 인출하여 공정 처리부(150)로 제공하는 인덱스부(120)를 포함할 수 있다. 인덱스부(120)는 설비 전방 단부 모듈(equipment front end module; EFEM)이라고 불린다. 인덱스부(120)는 2개의 인덱스 로봇(130-1,130-2)을 포함한다. 2개의 인덱스 로봇(130-1,130-2)은 기판 캐리어(102)와 공정 처리부(150) 간의 기판 이송을 담당하며 회동, 승강 및 하강이 가능하다. 인덱스 로봇(130-1,130-2)은 기판 캐리어(102)로부터 일회 동작에 적어도 한 장의 기판을 반출하여 공정 처리부(150)로 반입할 수 있다. 이를 위하여 인덱스 로봇(130-1,130-2)은 적어도 한 개의 엔드 이펙터(end effector)를 구비한 싱글 암 구조의 로봇을 사용할 수 있다.
이와 같이 인덱스 로봇(130-1,130-2)은 본 실시예에서 보여주는 싱글 암 구조의 방식 이외에도 통상적인 반도체 제조 공정에서 사용되는 다양한 로봇들이 사용될 수 있다.
2개의 인덱스 로봇(130-1,130-2) 제1로드 포트(112,114)들로부터 공정 처리전 기판을 반출하는 반출 전용 로봇(130-1)과, 제2로드 포트(116,118)들로부터 공정 처리후 기판을 반입하는 반입 전용 로봇(130-2)을 포함할 수 있다. 반출 전용 로봇(130-1)과 반입 전용 로봇(130-2)은 로드 포트(112~118)들이 배치된 폭(X) 방향을 따라 설치된 하나의 이동축(140) 상에서 개별 이동이 가능하도록 제공될 수 있다. 반출 전용 로봇(130-1)과 반입 전용 로봇(130-2)은 이동축(140) 상에서 기판의 투입 및 배출 동작시 서로 간섭이 발생되지 않도록 회피/협동이 가능하도록 제어부(180))에 의해 제어될 수 있다.
이처럼, 본 발명에 의하면 2개의 인덱스 로봇(130-1,130-2)이 기판 캐리어(102)로부터의 기판 투입 및 배출을 각각 분리하여 운용/제어함으로써 생산성을 향상시킬 수 있다.
공정 처리부(150)는 복수개의 공정 챔버(미도시됨)들을 포함하며, 이들은 독립적인 모듈의 형태로 제공될 수 있다. 모듈이라 함은 각 공정 챔버들이 각각의 기판 처리 기능을 수행함에 있어서 독립적인 동작이 가능하도록 관련 파트들이 하나의 독립적인 하우징 내에 설치된 것을 말한다. 모듈의 형태로 제공되는 공정 챔버들은 기판 처리 설비의 레이아웃에 따라 공정 처리부를 구성하게 된다.
일 예로, 공정 처리부(150)는 도포 처리부(160)와 현상 처리부(170)를 포함할 수 있다. 도포 처리부(160)에서는 노광 공정 전에 기판(W) 상에 포토 레지스트를 도포하는 공정을 수행하고, 현상 처리부(170)에서는 노광 공정 후에 기판(W)을 현상하는 공정을 수행한다. 이러한 도포 처리부(160)와 현상 처리부(170)는 대체로 직육면체의 형상을 가진다. 도포 처리부(160)와 현상 처리부(170)는 서로 간에 층으로 구획되도록 배치된다. 일 예에 의하면, 도포 처리부(160)은 현상 처리부(170)의 상부에 위치될 수 있다. 반출 전용 로봇(130-1)은 기판 캐리어와 도포 처리부(160) 간의 기판 반송을 전담하도록 운용할 수 있고, 반입 전용 로봇(130-2)은 현상 처리부(170)와 기판 캐리어 간의 기판 반송을 전담하도록 운용할 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100 : 기판 처리 장치 120 : 딘덱스부
150 : 기판 처리부 300 : 스토커부
900 : 전용 캐리어 반송 장치

Claims (15)

  1. 기판 캐리어가 반입 및 반출되는 로드 포트들을 갖는 기판 처리 장치;
    상기 로드 포트들에 반입되어야 할 기판 캐리어 및 상기 로드 포트들로부터 반출된 기판 캐리어를 보관하는 스토커들;
    상기 스토커들과 상기 로드 포트들 간의 기판 캐리어를 이송하는 전용 캐리어 반송 장치를 포함하는 기판 처리 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 스토커들은
    상기 로드 포트들의 상부를 통과하는 천장 주행 시스템의 메인 주행 레일의 일측에 배치되는 제1스토커들; 및
    상기 로드 포트들의 상부를 통과하는 천장 주행 시스템의 메인 주행 레일의 타측에 배치되는 제2스토커들을 포함하는 기판 처리 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1스토커들에는 상기 로드 포트들에 반입되어야 할 기판 캐리어가 보관되고,
    상기 제2스토커들에는 상기 로드 포트들로부터 반출된 기판 캐리어를 보관되는 기판 처리 시스템.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 로드 포트들은
    상기 제1스토커로부터 반송되어진 기판 캐리어가 놓여지는 제1로드 포트들; 및
    상기 제2스토커로 반송되어질 기판 캐리어가 놓여지는 제2로드 포트들을 포함하는 기판 처리 시스템.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 전용 캐리어 반송 장치는
    상기 로드 포트들의 상부를 통과하고, 제조 라인의 천장 등으로부터 지지되는 서브 주행 레일; 및
    상기 서브 주행 레일을 따라 상기 로드 포트들 상부로 이동 가능한 그리고 상기 스토커들과 상기 로드 포트들 간의 기판 캐리어를 이송하는 전용 이동 대차를 포함하는 기판 처리 시스템.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 서브 주행 레일에서
    상기 로드 포트들의 상부를 통과하는 구간은 상기 메인 주행 레일과 중첩되는 기판 처리 시스템.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    상기 서브 주행 레일은
    상기 전용 이동 대차가 대기하는 대기 구간을 더 포함하고,
    상기 전용 이동 대차는 상기 대기 구간에는 대기하는 동안 충전되는 기판 처리 시스템.
  8. 제5항에 있어서,
    상기 기판 처리 장치는
    상기 로드 포트들로부터 기판을 반입 및 반출하는 인덱스 로봇들을 갖는 인덱스를 더 포함하되;
    상기 인덱스 로봇들은
    상기 제1로드 포트들로부터 공정 처리전 기판을 반출하는 반출 전용 로봇; 및
    상기 제2로드 포트들로부터 공정 처리후 기판을 반입하는 반입 전용 로봇을 포함하는 기판 처리 시스템.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 인덱스는
    상기 로드 포트들이 배치된 폭 방향을 따라 설치된 이동축을 더 포함하고,
    상기 반출 전용 로봇과 상기 반입 전용 로봇은 상기 이동축 상에서 개별 이동이 가능하도록 제공되는 기판 처리 시스템.
  10. 기판 캐리어가 놓여지는 로드 포트들을 갖는 기판 처리 장치;
    상기 로드 포트들의 상부를 통과하는 천장 주행 시스템의 메인 주행 레일의 일측에 배치되고, 상기 로드 포트들에 반입되어야 할 기판 캐리어가 보관되는 제1스토커들;
    상기 로드 포트들의 상부를 통과하는 천장 주행 시스템의 메인 주행 레일의 타측에 배치되고, 상기 로드 포트들로부터 반출된 기판 캐리어를 보관되는 제2스토커들; 및
    상기 스토커들과 상기 로드 포트들 간의 기판 캐리어를 이송하는 전용 캐리어 반송 장치를 포함하되;
    상기 전용 캐리어 반송 장치는
    상기 로드 포트들의 상부를 통과하고, 제조 라인의 천장 등으로부터 지지되는 서브 주행 레일; 및
    상기 서브 주행 레일을 따라 상기 로드 포트들 상부로 이동 가능한 그리고 상기 스토커들과 상기 로드 포트들 간의 기판 캐리어를 이송하는 전용 이동 대차를 포함하는 기판 처리 시스템.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 서브 주행 레일에서
    상기 로드 포트들의 상부를 통과하는 구간은 상기 메인 주행 레일과 중첩되는 기판 처리 시스템.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 서브 주행 레일은
    상기 전용 이동 대차가 대기하는 대기 구간을 더 포함하고,
    상기 전용 이동 대차는 상기 대기 구간에는 대기하는 동안 충전되는 기판 처리 시스템.
  13. 제10항에 있어서,
    상기 로드 포트들은
    상기 제1스토커로부터 반송되어진 기판 캐리어가 놓여지는 제1로드 포트들; 및
    상기 제2스토커로 반송되어질 기판 캐리어가 놓여지는 제2로드 포트들을 포함하는 기판 처리 시스템.
  14. 제10항에 있어서,
    상기 기판 처리 장치는
    상기 로드 포트들로부터 기판을 반입 및 반출하는 인덱스 로봇들을 갖는 인덱스를 더 포함하되;
    상기 인덱스 로봇들은
    상기 제1로드 포트들로부터 공정 처리전 기판을 반출하는 반출 전용 로봇; 및
    상기 제2로드 포트들로부터 공정 처리후 기판을 반입하는 반입 전용 로봇을 포함하는 기판 처리 시스템.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 인덱스는
    상기 로드 포트들이 배치된 폭 방향을 따라 설치된 이동축을 더 포함하고,
    상기 반출 전용 로봇과 상기 반입 전용 로봇은 상기 이동축 상에서 개별 이동이 가능하도록 제공되는 기판 처리 시스템.

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