JP5610009B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
また特許文献2には、枚葉式CVD装置において3つのポッドオーブナー(蓋体開閉機構)の正面側に3つの下段FOUPステージを昇降自在に並べてロードポートを構成し(「3つのロードポート」という表現がされている)、更に装置本体の天井の上面に3つの上段FOUPステージを設け、これら上段FOUPステージと上段FOUPステージとの間でFOUPの受け渡しができる構成が記載されている。
これらの技術は、ロードポートにおけるFOUPの停滞を防止できるが、既述のように更なる高いスループットを確保するには限界があり、高スループット化を図るための技術の検討が要望されている。
複数の容器載置部が前記搬送路に対応して一列に並ぶと共に前記搬送装置により搬送容器の受け渡しが行われる第1のロードポートと、
この第1のロードポートよりも高い位置にて当該第1のロードポートに対して階段状に設けられ、複数の容器載置部が前記搬送路に対応して一列に並ぶと共に前記搬送装置により搬送容器の受け渡しが行われる第2のロードポートと、
前記第1の基板搬送機構により搬送容器内の基板を取り出すために当該搬送容器が載置される、前記処理部への搬入用の容器載置部と、
前記搬入用の容器載置部とは異なる位置に設けられ、前記第2の基板搬送機構により搬送容器内に基板を収容するために当該搬送容器が載置される、前記処理部からの搬出用の
容器載置部と、
前記第1のロードポートまたは第2のロードポートの背面側に設けられ、複数の搬送容器を保管するために複数の容器載置部が設けられた容器保管部と、
前記第1のロードポート及び第2のロードポートの一方、及び容器保管部の各容器載置部と、前記搬入用の容器載置部との間で搬送容器の搬送を行う第1の容器搬送機構と、
前記第1のロードポート及び第2のロードポートの他方、及び容器保管部の各容器載置部と、前記搬出用の容器載置部との間で搬送容器の搬送を行う第2の容器搬送機構と、を備え、
前記第1のロードポート、第2のロードポート、容器保管部、搬入用及び搬出用の各容器載置部は、互いに異なる位置であって、前記第1の容器搬送機構及び第2の容器搬送機構による搬送容器の搬送経路と干渉しない位置に設けられていることを特徴とする。
(a)前記第1のロードポート及び第2のロードポートにおける容器載置部の並び方向に沿って、前記搬入用の容器載置部及び搬出用の容器載置部が一列に並んで設けられていること。
W ウエハ
1 ウエハ洗浄装置
10 FOUP
100 搬送システム
101 工程間搬送路
102 工程内搬送路
103 基板処理装置
104 OHT
11 筐体
121 開閉扉
20 搬入出部
21 第1のロードポート
210 開口部
211 シャッター
212 載置トレイ
221 載置トレイ
220 開口部
23A、23B
リフター
24 ストック領域
241 保持板
26 取り出しポート
27 収納ポート
30 インターフェース部
311 ウエハ取り出しアーム
312 ウエハ収納アーム
32 ノッチアライナー
33 第1の姿勢変換装置
34 第2の姿勢変換装置
35 受け渡しアーム
40 処理部
41 第1の処理ユニット
42 第2の処理ユニット
43 洗浄・乾燥処理ユニット
5 制御部
Claims (2)
- 基板処理装置の上方側に設けられた搬送路と、複数枚の基板を収容した搬送容器を前記搬送路に沿って搬送する搬送装置と、を備えた搬送システムにより前記搬送容器の搬入、搬出が行われ、搬送容器内の基板を第1の基板搬送機構により取り出し、これら複数枚の基板を、種類の異なる処理液に順次、浸漬して処理を行うための、互いに異なる処理液を収容した複数の処理槽が配置された処理部にて処理を行い、処理後の基板を第2の基板搬送機構により搬送容器内に収容する基板処理装置であって、
複数の容器載置部が前記搬送路に対応して一列に並ぶと共に前記搬送装置により搬送容器の受け渡しが行われる第1のロードポートと、
この第1のロードポートよりも高い位置にて当該第1のロードポートに対して階段状に設けられ、複数の容器載置部が前記搬送路に対応して一列に並ぶと共に前記搬送装置により搬送容器の受け渡しが行われる第2のロードポートと、
前記第1の基板搬送機構により搬送容器内の基板を取り出すために当該搬送容器が載置される、前記処理部への搬入用の容器載置部と、
前記搬入用の容器載置部とは異なる位置に設けられ、前記第2の基板搬送機構により搬送容器内に基板を収容するために当該搬送容器が載置される、前記処理部からの搬出用の
容器載置部と、
前記第1のロードポートまたは第2のロードポートの背面側に設けられ、複数の搬送容器を保管するために複数の容器載置部が設けられた容器保管部と、
前記第1のロードポート及び第2のロードポートの一方、及び容器保管部の各容器載置部と、前記搬入用の容器載置部との間で搬送容器の搬送を行う第1の容器搬送機構と、
前記第1のロードポート及び第2のロードポートの他方、及び容器保管部の各容器載置部と、前記搬出用の容器載置部との間で搬送容器の搬送を行う第2の容器搬送機構と、を備え、
前記第1のロードポート、第2のロードポート、容器保管部、搬入用及び搬出用の各容器載置部は、互いに異なる位置であって、前記第1の容器搬送機構及び第2の容器搬送機構による搬送容器の搬送経路と干渉しない位置に設けられていることを特徴とする基板処理装置。 - 前記第1のロードポート及び第2のロードポートにおける容器載置部の並び方向に沿って、前記搬入用の容器載置部及び搬出用の容器載置部が一列に並んで設けられていることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
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JP2013035976A JP5610009B2 (ja) | 2013-02-26 | 2013-02-26 | 基板処理装置 |
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