JP2013102235A5 - - Google Patents

Description

本発明に係る基板処理装置は、基板処理装置の上方側に設けられた搬送路と、複数枚の基板を収容した搬送容器を前記搬送路に沿って搬送する搬送装置と、を備えた搬送システムにより前記搬送容器の搬入、搬出が行われ、搬送容器内の基板を基板搬送機構により取り出して処理部にて処理を行う基板処理装置であって、
複数の容器載置部が前記搬送路に対応して一列に並ぶと共に前記搬送装置により搬送容器の受け渡しが行われる第１のロードポートと、
この第１のロードポートよりも高い位置にて当該第１のロードポートに対して階段状に設けられ、複数の容器載置部が前記搬送路に対応して一列に並ぶと共に前記搬送装置により搬送容器の受け渡しが行われる第２のロードポートと、
前記基板搬送機構との間で搬送容器内の基板の受け渡しを行うために当該搬送容器が載置される基板受け渡し用の容器載置部と、
前記第１のロードポートまたは第２のロードポートの背面側に設けられ、複数の搬送容器を保管するために複数の容器載置部が設けられた容器保管部と、
前記第１のロードポート、第２のロードポート及び容器保管部の各容器載置部と、前記基板受け渡し用の容器載置部と、の間で搬送容器の搬送を行う容器搬送機構と、を備え、
前記第１のロードポート、第２のロードポート、容器保管部及び基板受け渡し用の各容器載置部は、互いに異なる位置であって、前記容器搬送機構による搬送容器の搬送経路と干渉しない位置に設けられていることを特徴とする。

本発明によれば、基板処理装置の上方側に設けられた搬送路と、搬送容器をこの搬送路に沿って搬送する搬送装置と、を備えた搬送システムを用い、一方基板処理装置側には上下２段に第１のロードポート（下段側）と第２のロードポート（上段側）とを設けているため、構内搬送装置と基板処理装置との間で搬送容器の受け渡し回数の増大を図ることができ、これにより基板を高いスループットで処理することができる。