JP2007088286A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 基板を保管する基板保管装置と、前記基板に所定の処理を施す少なくとも１つの基板処理装置と、前記基板保管装置及び前記基板処理装置の間を移動して前記基板を搬送する基板搬送装置とを備え、該基板搬送装置は前記基板を保持し、前記基板保管装置又は前記基板処理装置から前記基板を搬出し、且つ前記基板保管装置又は前記基板処理装置へ前記基板を搬入する、少なくとも１つの基板搬送手段を有する基板搬送システムにおいて、
   前記基板搬送装置は前記基板搬送手段に前記基板を保持させたまま移動することを特徴とする基板搬送システム。
2. 前記基板搬送装置は複数の前記基板搬送手段を備え、
   前記複数の基板搬送手段の少なくとも１つは複数の前記基板を保持することを特徴とする請求項１記載の基板搬送システム。
3. 前記基板搬送手段は前記基板を載置する搬送アームであることを特徴とする請求項１又は２記載の基板搬送システム。
4. 前記基板搬送システムは、複数の前記基板処理装置を備え、
   前記基板搬送装置は前記複数の基板処理装置の間を移動することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の基板搬送システム。
5. 前記基板搬送手段による前記基板の搬送経路を規定する複数の搬送命令を組み合わせて、前記基板の搬送シーケンスを設定する制御装置を備え、
   前記複数の搬送命令のうち少なくとも１つが規定する搬送経路に、前記基板搬送手段が前記基板を保持したまま動作を中断する動作中断位置が設定されていることを特徴とする請求項１記載の基板搬送システム。
6. 前記基板搬送装置は複数の前記基板搬送手段を有し、
   前記制御装置は前記複数の基板搬送手段による前記基板の搬送を連続的に行うか又は搬送経路が互いに異なる前記搬送シーケンスを設定することを特徴とする請求項５記載の基板搬送システム。
7. 前記搬送シーケンスでは、前記複数の基板搬送手段のうち少なくとも１つが前記基板を前記基板保管装置又は前記基板処理装置へ搬入すると共に、他の前記基板搬送手段のうち少なくとも１つが前記基板を前記基板保管装置又は前記基板処理装置から搬出することを特徴とする請求項６記載の基板搬送システム。
8. 前記基板処理装置は複数の前記基板を受け渡す基板受け渡し部を有し、
   前記基板搬送手段は複数の前記基板を保持することを特徴とする請求項１記載の基板搬送システム。
9. 前記基板保管装置は複数の前記基板を受け渡す他の基板受け渡し部を有することを特徴とする請求項８記載の基板搬送システム。
10. 前記基板処理装置は複数の前記基板を受け渡す基板受け渡し部を有し、該基板受け渡し部は前記基板を収容する複数の基板収容手段を有し、各前記基板収容手段は１枚の前記基板を収容し、
    前記基板搬送手段は複数あり、該複数の基板搬送手段の少なくとも１つは複数の前記基板を保持すると共に、他の前記基板搬送手段のうち少なくとも１つが１枚の前記基板を保持し、
    前記基板受け渡し部における前記基板を収容していない前記基板収容手段の数に応じて、前記基板受け渡し部に前記基板を受け渡す基板搬送手段が前記複数の基板搬送手段から選択されることを特徴とする請求項１記載の基板搬送システム。
11. 前記基板受け渡し部における前記基板を収容していない前記基板収容手段が１つである場合、前記１枚の前記基板を保持する基板搬送手段が選択されることを特徴とする請求項１０記載の基板搬送システム。
12. 基板を保管する基板保管装置、及び前記基板に所定の処理を施す少なくとも１つの基板処理装置の間を移動して前記基板を搬送する基板搬送装置であって、前記基板を保持し、且つ前記基板保管装置又は前記基板処理装置から前記基板を搬出し、前記基板保管装置又は前記基板処理装置へ前記基板を搬入する、少なくとも１つの基板搬送手段を備える基板搬送装置において、
    前記基板搬送手段に前記基板を保持させたまま移動することを特徴とする基板搬送装置。
13. 基板を保管する基板保管装置と、前記基板に所定の処理を施す少なくとも１つの基板処理装置と、前記基板保管装置及び前記基板処理装置の間を移動して前記基板を搬送する基板搬送装置と、前記基板の搬送シーケンスを設定する制御装置とを備える基板搬送システムにおける基板搬送方法であって、
    前記制御装置が搬送される前記基板の諸元を前記基板処理装置に通知すると共に、前記基板処理装置の状態を問い合わせる状態問い合わせステップと、
    前記状態を問い合わされた基板処理装置が前記状態を前記制御装置に連絡する状態連絡ステップと、
    前記制御装置が前記連絡された状態に基づいて前記搬送シーケンスを設定する搬送シーケンス設定ステップと、
    前記制御装置が前記設定された搬送シーケンスを前記基板搬送装置に通知する搬送シーケンス通知ステップとを有することを特徴とする基板搬送方法。
14. 前記基板搬送装置は前記基板を保持し、前記基板保管装置又は前記基板処理装置から前記基板を搬出し、且つ前記基板保管装置又は前記基板処理装置へ前記基板を搬入する、少なくとも１つの基板搬送手段を有し、
    前記基板搬送装置が前記基板搬送手段に前記基板を保持させたまま移動する移動ステップを有することを特徴とする請求項１３記載の基板搬送方法。
15. 前記基板処理装置は、複数の前記基板を受け渡す基板受け渡し部、又は１枚の前記基板を受け渡す基板受け渡し部のいずれかを有し、
    前記基板搬送装置が前記基板処理装置に前記基板受け渡し部の種類を問い合わせる基板受け渡し部種類問い合わせステップと、
    前記基板処理装置が前記基板受け渡し部の種類を前記基板搬送装置に連絡する基板受け渡し部種類連絡ステップとを有することを特徴とする請求項１３又は１４記載の基板搬送方法。