JPH11330197A - 搬送制御方法とその装置 - Google Patents

搬送制御方法とその装置

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JPH11330197A
JPH11330197A JP13342198A JP13342198A JPH11330197A JP H11330197 A JPH11330197 A JP H11330197A JP 13342198 A JP13342198 A JP 13342198A JP 13342198 A JP13342198 A JP 13342198A JP H11330197 A JPH11330197 A JP H11330197A
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line
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Application number
JP13342198A
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English (en)
Inventor
Tadahiro Sakurada
忠浩 桜田
Shigeo Numata
成夫 沼田
Yuichi Tokunaga
裕一 徳永
Hideaki Shimamura
英昭 島村
Michiyuki Shimizu
道行 清水
Toyohide Hamada
豊秀 浜田
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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  • Control Of Conveyors (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体生産ラインのワーク搬送を、停滞、遅
延を生じないように効率よく行う。 【解決手段】 搬送ライン及びストッカの構成を示すテ
ーブル２ａ、２ｃ、２ｄとそれらの運転状態を示す設備
状態ファイル２ｅ、２ｆ、それらの搬送所要時間の実績
を収集した評価要素ファイル２ｇ、２ｈ及び平均サイク
ルタイムファイル２ｉ〜２ｐを用いて搬送元処理設備と
搬送先処理設備の間を結ぶ複数の搬送ルートの各々につ
いてシミュレーション評価を行って搬送に要する時間が
最小の搬送ルートを選択する。そしてその第１段階の搬
送のみを実行し、残りのルートについては改めてシミュ
レーションを行うという動作をくり返す。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、搬送制御方法とそ
の装置に係り、とくに半導体生産ラインの１つの処理設
備から次工程の処理設備へワークを搬送するのに好適な
搬送制御方法とその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体生産ラインでは、ある処理設備で
のワークに対する工程が終わると次の処理設備へそのワ
ークを搬送するが、その搬送経路には一般にいくつもの
搬送ラインやストッカが設けられている。このような複
数の搬送ラインを有する搬送システムでは、どの搬送ラ
インとストッカを用いてワークの搬送を行うかを制御す
る必要があり、このための制御方法としては、従来、各
処理設備に最も近いストッカを予め決定しておき、各製
造工程が与えられるとその工程に従った搬送元処理設備
と搬送先処理設備により搬送要求も決まるから、これら
搬送要求の全てに対し搬送ルート内で使用する搬送ライ
ン及びストッカの負荷等が均等になるように各々の搬送
要求に対して使用する搬送ラインとストッカを予め割付
け、これに基づきワークの搬送を行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の搬送制
御方法では、各々の搬送要求に対する搬送ラインとスト
ッカを予め割付けてしまうから、特に複数のラインが介
在する搬送要求の場合は、途中の搬送ラインやストッカ
が故障していた場合やストッカが満杯になっていた場合
にワークの搬送が停止してしまう。また、途中の搬送ラ
インやストッカの負荷の変動により搬送時間が増大し、
このため作業者の待ち時間が増大したり、所定の生産高
に未達になるなどの問題があった。
【０００４】本発明の目的は、搬送ラインやストッカの
故障の有無や使用状態、負荷の変動等の要因を考慮した
シミュレーションを搬送要求発生ごとに実行し、その結
果により最適な搬送ルートを抽出することにより、搬送
時間の増大や搬送停止などの問題が生じないようにした
搬送制御方法とその装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は、半導体ウェーハを加工処理する複数の
処理設備の間で半導体ウェーハを収納したワークを搬送
するための複数の搬送ラインと、搬送ラインに隣接して
設けられワークを保管・中継するためのストッカから構
成される搬送システムにおける搬送制御方法であって、
搬送要求が発生しその搬送元処理設備と搬送先処理設備
の間に搬送ラインとストッカを交互に経由する複数の搬
送ルートが存在するときに、少なくとも各搬送ライン及
びストッカが動作指示からワーク搬送完了までに要した
所要搬送時間の実績データを用いて前記複数の搬送ルー
トの各々について所要時間を推定するシミュレーション
を行い、そのシミュレーションで得られた推定所要時間
の最小の搬送ルートを選んでその搬送ルートを構成する
最初のストッカまでのワーク搬送を実行し、その実行終
了時にワークが到達したストッカを搬送元として最終の
処理設備までを改めて搬送要求とみなして前記シミュレ
ーションの実行とその結果得られた推定所要時間最小の
搬送ルートの最初のストッカまでのワーク搬送を実行す
る、という動作をワークが最終の処理設備に到達するま
で繰り返すようにしたことを特徴とする搬送制御方法を
提供する。
【０００６】また、本発明は、前記シミュレーション
が、各搬送ルートに対してそれを構成する搬送ライン及
びストッカの運転状態、仕掛かり状態、及び搬送指示の
受付状態を前記実績データとともに考慮して推定所要時
間を求めることを特徴とする搬送制御方法を提供する。
【０００７】また、本発明は、前記実績データが、各搬
送ライン及びストッカの負荷の値の範囲ごとに求めた平
均値とし、シミュレーション時にはそのときの負荷に応
じた平均値を用いて推定所要時間を求めるようにしたこ
とを特徴とする搬送制御方法を提供する。
【０００８】また、本発明は、各搬送ライン及びストッ
カの前記実績データを、搬送ライン及びストッカが実際
に動作したときにその搬送指示から搬送完了までに要し
た時間を収集し、その収集時ごとあるいは所定の周期的
なタイミングで統計処理して更新することを特徴とする
搬送制御方法を提供する。
【０００９】また、本発明は、半導体ウェーハを加工処
理する複数の処理設備の間で半導体ウェーハを収納した
ワークを搬送するための複数の搬送ラインと、搬送ライ
ンに隣接して設けられワークを保管・中継するためのス
トッカから構成される搬送システムの制御を行う搬送制
御装置であって、搬送元と搬送先設備が与えられたとき
にその間を結ぶところの搬送ラインとストッカを交互に
経由する搬送ルートを検索・抽出するための搬送ルート
抽出手段と、各搬送ライン及びストッカが過去に動作指
示を受けたのちワーク搬送を終了したときまでの所要時
間を収集しその平均所要時間を求めて作成した実績デー
タテーブルと、この実績データテーブルを用いて前記搬
送ルート抽出手段により抽出された各搬送ルートの推定
所要時間を求めるためのシミュレーション手段と、搬送
要求が発生したときに、その搬送元と搬送先に対して前
記搬送ルート抽出手段により搬送ルートを抽出し、その
各々に対して前記シミュレーション手段により推定所要
時間を算出してその値が最小となる搬送ルートを取り出
し、その取り出した搬送ルートの最初の搬送ラインを経
由したワーク搬送を実行するように該当搬送ライン及び
ストッカへ第１回の動作指示を出力し、この第１回の動
作指示が完了するとそのときワークが運ばれたストッカ
を新たに搬送元として前記搬送ルート抽出手段による搬
送ルートの抽出と抽出された各搬送ルートに対する前記
シミュレーション手段による推定所要時間の算出、及び
その時間最小な搬送ルートの取り出しとその取りだした
搬送ルートの最初の搬送ライン経由のワーク搬送を行う
ための第２回の実行指示出力を行い、かかる動作をワー
クが搬送先に到達するまで繰り返すように制御する制御
手段と、を備えたことを特徴とする搬送制御装置を提供
する。
【００１０】更に、本発明は、前記シミュレーション手
段が、各搬送ルートに対しそれを構成する搬送ライン及
びストッカの運転状態、仕掛かり状態、及び搬送指示の
受付状態を示すテーブルを備え、このテーブルと前記実
績データテーブルを用いてシミュレーションを行うこと
を特徴とする搬送制御装置を提供する。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を用いて詳細に説明する。図２は、半導体ウェーハを収
納したワークを搬送するための搬送システムのレイアウ
ト例を示す図である。この搬送システムは、図中に図示
しないワークを処理装置６ａ１、６ｃ３等の間で搬送す
るもので、搬送ライン５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，
５ｆ，５ｇ，５ｈ，５ｉ，５ｊと、ワークを保管したり
搬送ライン間で移載するためのストッカ１ａ１，１ａ
２，１ａ３，１ｂ１，１ｂ２，１ｂ３，１ｃ１，１ｃ
２，１ｃ３からなる。搬送ライン５ａ〜５ｊは、天井搬
送設備（Over Head Transfer）あるいはＯＨＴ（Over H
ead Hoist Transfer）あるいはＲＧＶ（Rail GuidedVeh
icle）あるいはＡＧＶ（Automated Guided Vehicle）の
いずれかで構成され、搬送台車は要求される搬送能力を
満足する台数が用意されており、搬送指示がある場合
と、ストッカとストッカの間、あるいはストッカと処理
設備の間のワーク搬送を行う。搬送ライン５ａ，５ｇ上
では搬送台車は反時計方向にループ軌道上を走行し、搬
送ライン５ｂ，５ｃ，５ｈ，５ｉ，５ｊ上では搬送台車
は時計方向にループ軌道上を走行する。また、搬送ライ
ン５ｄ，５ｅ，５ｆ上では搬送台車は直線軌道上を走行
する。
【００１２】図１は、図２に示した搬送システムの制御
装置の構成例を示したブロック図である。各ストッカ１
ａ１〜１ｃ３は各々に対応したストッカコントローラ３
ａ１〜３ｃ３により制御され、各搬送ライン５ａ〜５ｊ
は各々に対応した搬送ラインコントローラ４ａ〜４ｊに
より制御される。搬送コントローラ２は本発明の搬送制
御方法を実現するもので、各ストッカコントローラ３ａ
１〜３ｃ３と各搬送ラインコントローラ４ａ〜４ｊの上
位に位置する。各ストッカおよび各搬送ラインの状態
は、ストッカコントローラ３ａ１〜３ｃ３および搬送ラ
インコントローラ４ａ〜４ｊから搬送コントローラ２へ
報告され、設備状態ファイル２ｅ，２ｆに格納される。
また、搬送コントローラ２には上記のファイル２ｅ、２
ｆの他に、搬送ルートテーブル２ａ、コントローラテー
ブル２ｂ、ストッカテーブル２ｃ，中継ストッカテーブ
ル２ｄ、評価要素ファイル２ｇ，２ｈから参照されると
ころの各負荷、各搬送ラインの全ての搬送ルートに対応
した平均サイクルタイムを格納する平均サイクルタイム
ファイル２ｉ〜２ｐ、及び搬送指示ファイル２ｑが接続
されている。なお、図示しないが、各ワークの搬送要求
は、搬送コントローラ２の上位のワークの製造工程を管
理する上位システムから指示される。さらに、上位シス
テムからの搬送要求を各搬送ライン毎に分割した搬送指
示は搬送コントローラ２に接続される搬送指示テーブル
２ｑに格納され、順次取出されて各ストッカコントロー
ラおよび各搬送ラインコントローラへ指示される。
【００１３】図３は、図２の搬送システムに於いて、各
ストッカ及び処理設備に対してワークの授受が可能な搬
送ライン（これを所属搬送ラインという）を示したもの
で、従ってあるストッカに２以上の所属搬送ラインがあ
れば、当該ライン経由でそれら搬送ラインの間でのワー
クの中継が行える。例えばストッカ１ａ１は搬送ライン
５ａ、５ｂ、５ｄに所属し、それらの搬送ラインの間で
中継を行えるストッカである。但しこの図で、搬送ライ
ン５ａ〜５ｊの各々は符号５を略してａ〜ｈで示してい
る。なお、処理設備６ａ１は搬送ライン５ｄに所属し、
処理設備６ｃ３は搬送ライン５ｈに所属していて、いず
れも所属搬送ラインは１つのみであって中継はできない
が、これは処理設備の役割ではないので不都合はない。
この図３の内容は図１のストッカテーブル２ｃに格納さ
れる。また図４は、図１のストッカコントローラ、搬送
ラインコントローラの各々と図２のストッカ、搬送ライ
ンとの対応づけを示したもので、これは図１のコントロ
ーラテーブル２ｂに格納される。この図４でも搬送ライ
ン５ａ〜５ｊはそれぞれ符号ａ〜ｊで略記している。
【００１４】図５は、中継ストッカテーブル２ｄの内容
を示しており、２つの搬送ライン間を中継できるストッ
カを示したものである。この図で、例えば搬送ルートの
「ａ，ｂ」は搬送ライン５ａと５ｂの間の搬送ルートで
あり、この搬送ルートではストッカ１ａ１、１ａ２、１
ａ３のどれもが利用可能であることを示している。勿論
搬送ルート５ａから５ｂでも搬送ルート５ｂから５ａで
も同じであるので１つにまとめている。この図５は、図
３のストッカテーブル２ｃが与えられていれば自動的に
作成することもできる。例えば搬送ルート「ａ、ｂ」の
場合、図３の各ストッカについて、搬送ライン５ａ、５
ｂの両方に所属するストッカがあればそのストッカが図
５の搬送ルート「ａ、ｂ］で使える中継ストッカであ
る。
【００１５】図６Ａ及び図６Ｂは、搬送ルートテーブル
２ａの内容を示しており、各搬送ルートに対して複数個
の搬送ラインを経由して移行する場合も含めた、選択可
能なルートを適宜集めてまとめたもので、図中のａ〜ｈ
の符号は全て搬送ライン５ａ〜５ｈの略記である。これ
らの図で、例えば搬送ルート「ａ→ｂ」は搬送ライン５
ａから搬送ライン５ｂへワークを移すルートで、このル
ートを構成可能な搬送ラインの組み合わせが示されてい
る。
【００１６】以上のテーブル２ａ〜２ｄは、図２に示し
た搬送システムの構造が与えられれば決まるものであ
る。一方、図１の他のファイル２ｅ〜２ｐは設備の状態
に応じて定まるもので、以下にこれらの内容を説明す
る。先ず図７は、各ストッカの状態を示す設備状態ファ
イル２ｅの例を示している。これらの状態を示す情報は
各ストッカコントローラから取り込まれる。図中、運転
状態、及び搬送ラインとの接合部の運転状態は、ストッ
カ自体及び接合部が運転中のとき○印、停止中のとき×
印で示されている。負荷率は、全時間中、当該ストッカ
が実際に物の出し入れを行っている時間率（％）であ
る。その他、搬送要求の実行状態、仕掛かり数量が収集
・格納されている。また、図８は搬送ラインの設備状態
ファイル２ｆを示しており、各搬送ラインから情報が取
り込まれる。ここでは運転状態（○印が運転中）、稼動
台車数、負荷率（全台車の稼動時間率）、搬送要求の実
行状態が収集・格納されている。
【００１７】図９、図１０は、搬送シミュレーションで
使用する搬送ルートの評価要素情報を示しており、各評
価要素ファイル２ｇ、２ｈとして格納されている。図９
のストッカ評価要素ファイル２ｇは、ストッカごとの仕
掛かり可能な数量、搬送指示の受付可能数、及び平均サ
イクルタイムをその内容としてもつ。ここで平均サイク
ルタイムは、搬送実績を収集し、ストッカの負荷範囲３
０〜３４％、３５〜３９％…ごとに平均サイクルタイム
を求めたもので、負荷の増大とともにサイクルタイムも
上昇する。図１０の搬送ライン評価要素ファイル２ｈ
は、搬送ラインごとの搬送指示の受付可能数と平均サイ
クルタイムをその内容としてもつ。ここで平均サイクル
タイムは、その搬送ラインに所属しているストッカもし
くは処理設備のどれからどれへの搬送かによって区別し
て求めておき、より正確なシミュレーションを行えるよ
うにする。従って図１０の各搬送ラインについて、負荷
率の範囲ごとの平均サイクルタイムは別のテーブルにま
とめられていて、図１０ではその表へのポインタのみが
平均サイクルタイムのらんに格納されている。以下、各
搬送ラインの各負荷率範囲における平均サイクルタイム
のテーブル例を図１１〜図１８によって説明する。これ
らのテーブルは平均サイクルタイムファイル２ｉ〜２ｐ
として格納されている。なお、これら図９〜図１８のよ
うな平均サイクルタイムは、過去の実動作時に収集し、
それらを負荷対応に分けて平均化することで求めてお
く。
【００１８】図１１は、搬送ライン５ａの負荷率５０〜
５４％のときの平均サイクルタイムを示すファイル２ｉ
で、搬送ライン５ａに所属するストッカはストッカ１ａ
１〜１ａ３、１ｃ１〜１ｃ３の６個であるから、これら
の内の２個の組み合わせで搬送方向それぞれについての
平均サイクルタイムが収集され平均されている。ここ
で、例えばストッカ１ａ１、１ａ２の間では、どちらが
搬送元かによって平均サイクルタイムの値が異なってい
るが、これは搬送方向によって所要時間が変わりうるこ
とを示している。図１２〜図１８はそれぞれ搬送ライン
５ｂ〜５ｈの同様な平均サイクルタイムを示しており、
その負荷率範囲は図１０にこれらの図番が記入されてい
る位置の値である。なお、ここに示した平均サイクルタ
イムの例は、図１０で各搬送ラインについて１つの負荷
率範囲のみであるが、他の負荷率範囲にもそれぞれこの
ような平均サイクルタイムのテーブルが用意される。ま
た、図１１〜図１８の例は、すべて図８に示した搬送ラ
イン設備状態ファイル２ｆに例示した各搬送ラインの負
荷に対応する値である。
【００１９】以上に説明した搬送制御装置の動作を説明
する。図１９は本制御装置の動作を示すフローチャート
で、図１の搬送コントローラ２により実行される。今、
図２の処理設備６ａ１における処理が終了して搬送待ち
のワークが、上位システムからの指示で次工程である処
理設備６ｃ３まで搬送する場合を例として述べる。ま
ず、搬送コントローラ２が、上位システムから、搬送元
の処理設備６ａ１から搬送先の処理設備６ｃ３へワーク
を搬送する旨の搬送要求を受け取ると、図３に示したス
トッカテーブル２ｃを参照し、処理設備６ａ１の所属す
る搬送ラインを検索する（Ｓ１０１）。ここでは搬送ラ
イン５ｄが求まる。次に同じく、ストッカテーブル２ｃ
を参照して処理設備６ｃ３の所属する搬送ラインを検索
すると、搬送ライン５ｈが求まる（Ｓ１０２）。次に、
図６Ａ、図６Ｂに示した搬送ルートテーブル２ａから、
上記のＳ１０１で求めた搬送ライン５ｄからＳ１０２で
求めた搬送ライン５ｈへ至る可能な経由ルートを検索す
る（Ｓ１０３）。図２０はこの検索方法の例を示してお
り、まず与えられたルートｄ→ｈを図６Ｂで見ると（検
索I）、図２０の検索結果Iとして２つのルートが得られ
る。これを各単位ルートに分解し、その各々を搬送ルー
トとして再び図６Ａ、図６Ｂを検索すると図２０の検索
結果IIに見られる１０通りのルートがある。そこでこれ
を分解する前のルートになるように合成すると（１）〜
（８）の８通りの搬送ルートが得られる。この作業はさ
らに繰り返しが可能であるが、途中で経由する搬送ライ
ンの個数が増えていくので、ここでは最大で単位ルート
３個の搬送ルートとなったところで止めておく。
【００２０】つぎに、Ｓ１０３で求めた搬送ルート８パ
ターンを各パターン毎に単位ルートに分解し、図５に示
した中継ストッカテーブル２ｄから中継ストッカを検索
し、中継ストッカを含めた全ての搬送ルートを抽出パタ
ーンとして取り出す。この場合、１つの単位ルートで複
数のストッカが利用できる場合があるので、それらは別
ルートとする。この過程は図２１Ａ、図２１Ｂに示され
ており、搬送ルートＲ１〜Ｒ２３が得られている（Ｓ１
０４）。
【００２１】続いてＳ１０４で求めた全搬送ルートＲ１
〜Ｒ２３についてシミュレーションを行い、ルートの評
価を行う（Ｓ１０５、Ｓ１０６）。図２２はこのシミュ
レーション評価の手順を示すフローチャートで、以下で
は図２１Ｂの搬送ルートＲ１２（６ａ１ → ５ｄ → １
ｂ１ → ５ｃ → １ｃ３ → ５ｈ → ６ｃ３）を例に動
作を説明する。このシミュレーションでは、まず図７に
示したストッカの設備状態ファイル２ｅから、当該ルー
トで使うストッカの運転状態、搬送ラインとの接合部の
状態がオンラインかオフラインかを評価する。また、図
８に示した搬送ラインの設備状態ファイル２ｆから、当
該ルートで使う搬送ラインの運転状態がオンラインかオ
フラインかを評価する。保守点検等による計画停止、故
障による非計画停止を含むオフライン状態の場合は、運
転状態に対するペナルティとして、５００を加える。本
例では、搬送ルート内のストッカ６ａ１，１ｂ１，１ｃ
３，６ｃ３および搬送ライン５ｄ，５ｃ，５ｈは、オン
ライン状態のため、課せられるペナルティは０である
（Ｓ２０１）。ここで運転状態でのペナルティ５００に
ついて説明しておく。ＳＥＭＩスタンダードＥ１０ー９
２、Ｅ１０−９６では、装置状態を６種の基本状態「生
産」「待機」「エンジニアリング」「計画ダウンタイ
ム」「計画外ダウンタイム（アシスト／故障）」「非計
画時間」と定義しており、装置の不意の停止または仕様
からの逸脱（計画外ダウンタイム）に対しては６分未満
で人手介入による修正可能なものを「アシスト」、６分
以上のものを「故障」としている。前述のストッカや搬
送ラインのオフラインはこの分類でいう「計画ダウンタ
イム（定期保守）」あるいは「計画外ダウンタイム」の
いずれかであり、この原因によって搬送指示があってか
ら実行までの待ち時間は異なってくるが、これらを検討
して５００秒とみなし、ペナルティを５００とした。
【００２２】次に、図７のストッカの設備状態ファイル
２ｅのストッカの仕掛かり数量と、図９のストッカの評
価要素ファイル２ｇの仕掛かり可能数とを比較し、前者
の方が大きい場合はペナルティとして３００を加える。
本例では、搬送ルート内のストッカ１ｂ１，１ｃ３，６
ｃ３は、いずれも仕掛かり可能数量より少ない仕掛かり
のため、課せられるペナルティは０である（Ｓ２０
２）。ストッカ仕掛りのペナルティについては、図９に
見られるように本例ではストッカの平均サイクルタイム
が約６０秒以下で、またストッカの搬送指示受付可能数
はすべて５であるから、ストッカの在庫量が満杯状態な
ので払い出し（ストッカからワークを出庫すること）の
搬送指示が５ヶたまっていると仮定すれば、搬送指示送
出から実行までの待ち時間はストッカの平均サイクルタ
イム（６０秒）×受付け搬送指示数（５ヶ）＝３００秒
と考え、ペナルティ＝３００秒とした。
【００２３】次に、図７のストッカの設備状態ファイル
２ｅのストッカの搬送要求の数（実行中及び待ちの合
計）と図９のストッカの評価要素ファイル２ｇの搬送指
示受付可能数とを比較し、これが同じであると、ペナル
ティとして１５０を加える。また、図８の搬送ラインの
設備状態ファイル２ｆの搬送要求の個数（実行中と待ち
の合計）と図１０の搬送ラインの評価要素ファイル２ｈ
の搬送指示受付可能数とを比較し、これらが一致する場
合は、ペナルティとして３００を加える。本例では、搬
送ルート内のストッカ１ｂ１，１ｃ３および搬送ライン
５ｄ，５ｃ，５ｈは、いずれも搬送要求の実行中数と実
行待ち数の合計が搬送指示受付可能数に至っていないた
め、課せられるペナルティは０である。さらにこの状態
で搬送指示を出した場合、いずれのストッカ、搬送ライ
ンも実行待ちがあるので実行待ちになるため、待ち時間
を推定しこれらをペナルティとして加える。この待ち時
間の推定は次のように行う。図７のストッカの設備状態
ファイル２ｅからストッカ１ｂ１の負荷は３８％であ
り、図９のストッカの評価要素ファイル２ｇからストッ
カ１ｂ１が３５〜３９％負荷の時の平均サイクルタイム
を求めると２９秒である。また、ストッカの設備状態フ
ァイル２ｅからストッカ１ｂ１の実行中数は１なので実
行完了まで平均的に２９秒×１／２かかるとし、さらに
実行待ち数は２なのでこの完了には２９秒×２かかる。
同様にストッカ１ｃ３の場合は実行中のみ１で負荷率５
２％に対する平均サイクルタイム３８秒の１／２を待ち
時間とする。これらの合計は２９×（１／２＋２）＋３
８×（１／２）＝９１．５秒でこれが待ち時間に対する
ペナルティである（Ｓ２０３）。
【００２４】なお、上記のストッカ搬送要求の個数がそ
の可能数に等しいときのペナルティは、図９の平均サイ
クルタイムが約６０秒以下で受付可能数がすべて５であ
り、かつ搬送指示がその受付可能数の１／２になったと
きに行われるものとして、５×６０秒×１／２＝１５０
秒を指示から実行までの平均的な待ち時間と考え、この
ペナルティを１５０とした。また搬送ラインについての
同様のペナルティは、先ず搬送ライン５ａ、５ｇの図１
１及び図１７に示した平均サイクルタイムがそれぞれ３
３４秒及び１２２秒以下であり、また稼働台車１台あた
りの搬送指示受付可能数が図８、図１０から搬送ライン
５ａ、５ｇではそれぞれ１、２であり、そして稼働台車
１台あたりの搬送指示受付が１未満になると搬送指示を
行うとする。このとき搬送ライン５ａについては３３３
×１秒、搬送ライン５ｇについては１２２×２秒が搬送
指示から実行までの平均的待ち時間であり、これらを考
慮してこの場合のペナルティは３００とした。
【００２５】次に、搬送ルートの搬送時間を、ストッカ
及び搬送ラインの設備状態ファイル２ｅ、２ｆの負荷に
対応した平均サイクルタイムを、ストッカ及び搬送ライ
ンの評価ファイル２ｇ、２ｈから求め、ペナルティとし
て加える。本例では、ストッカ１ｂ１は、ストッカの設
備状態ファイル２ｅから負荷３８％であり、ストッカの
評価要素ファイル２ｇからストッカ１ｂ１の平均サイク
ルタイムを求めると２９秒である。同様の手順でストッ
カ１ｃ３の負荷５２％時の平均サイクルタイムは３８秒
である。次に搬送ライン５ｄは、搬送ラインの設備状態
ファイル２ｆから負荷４４％であり、搬送ラインの評価
要素ファイル２ｈから、搬送ライン５ｄの負荷４０〜４
４％の平均サイクルタイムファイル２ｉ（図１４）を参
照すればよいことが判明する。この平均サイクルタイム
ファイル２ｉから搬送元６ａ１、搬送先１ｂ１の搬送に
おける平均サイクルタイムは７４秒である。同様の手順
で搬送ライン５ｃの平均サイクルタイムファイル２ｊ
（図１３）から１４８秒（負荷率３５％、ストッカ１ｂ
１→１ｃ３）、搬送ライン５ｈの平均サイクルタイムフ
ァイル２ｐ（図１８）から１０７秒（負荷率４０％、ス
トッカ１ｃ３→６ｃ３へ）と求める。以上から搬送ルー
トの搬送時間は合計３９６秒であり、これをペナルティ
として課す（Ｓ２０４）。
【００２６】図２３は、以上のＳ２０１〜Ｓ２０４で評
価した各ペナルティを示しており、他の図８搬送ルート
Ｒ１，Ｒ２…等についても同様の手法で求めた結果であ
る。ここで図２２のＳ２０１で求めた運転状態評価ペナ
ルティをＱ１、Ｓ２０２で求めた仕掛かり評価ペナルテ
ィをＱ２、Ｓ２０３で求めた搬送指示受付状態評価ペナ
ルティをＱ３、Ｓ２０４で求めた搬送時間ペナルティを
Ｑ４としたとき、
【数１】Ｑ=ｑ１・Ｑ１+ｑ２・Ｑ２+ｑ３・Ｑ３+ｑ４(ｖ１
・Ｑ４+ｖ２)+ｖ３ を総合評価値として求めると図２３の最右欄の値が得ら
れる。この図２３のＱ値は、定数ｑ１〜ｑ４、ｖ１を
１、定数ｖ２、ｖ３を０と単純化して求めた値である
が、（数１）のようにしたのは、搬送実績と搬送シミュ
レーションの補正として係数及び定数を使用できるよう
にしたものである。そしてこの総合評価値Ｑが小さい
程、目的とする搬送ルートの搬送時間が短いことが期待
される。図２３では、説明ルートとして用いた搬送ルー
ト１２がＱ＝４８７．５で最も小さい（Ｓ２０５）。以
上のようにして図１９のＳ１０５における搬送シミュレ
ーションが行われる。
【００２７】図１９へ戻って、搬送シミュレーションに
よる評価結果が図２３のように与えられると、その中か
ら総合評価値Ｑが最小の搬送ルートを最適なものとして
取り出す。ここでは搬送ルートＲ１２が抽出される（Ｓ
１０７）。そして抽出した搬送ルートを１つのストッカ
から次のストッカまでを単位として分割し、その最初の
搬送ルートに対する搬送指示を生成する。ここでは搬送
ルートＲ１２は処理設備６ａ１ →搬送ライン５ｄ →ス
トッカ１ｂ１、ストッカ１ｂ１→搬送ライン５ｃ→スト
ッカ１ｃ３、及びストッカ１ｃ３→搬送ライン５ｈ→処
理設備６ｃ３に３分割され、最初の単位ルートである処
理設備６ａ１→搬送ルート５ｄ→ストッカ１ｂ１に対す
る搬送指示が生成される。そしてコントローラテーブル
２ｂから生成した搬送指示の搬送元ストッカ（初回は、
搬送元は処理設備６ａ１のため該当しないが）のストッ
カコントローラを検索し、該当のストッカコントローラ
を決定する。次に、コントローラテーブル２ｂから搬送
先ストッカ１ｂ１のストッカコントローラを検索し、ス
トッカコントローラ３ｂ１を決定する。次に、コントロ
ーラテーブル２ｂから搬送ライン５ｄの搬送ラインコン
トローラを検索し、搬送ラインコントローラ４ｄを決定
する。こうして決定した搬送ラインコントローラ４ｄと
ストッカコントローラ３ｂ１に、搬送元ストッカ（初回
は処理設備６ａ１）から上記で求めた搬送先ストッカ１
ｂ１への搬送指示を送信する（Ｓ１０８）。
【００２８】搬送指示を送信すると、搬送ラインコント
ローラ４ｄとストッカコントローラ3ｂ１からストッカ
１ｂ１までの搬送完了報告待ち、これを受信すると（Ｓ
１０９）、今行った搬送における搬送先設備を搬送元と
し、この更新した搬送元設備から上位システムにより最
初に与えられた搬送先までを新たなシミュレーション対
象の搬送要求とする。ここではストッカ１ｂ１から処理
設備６ｃ３へワークを搬送する旨の搬送要求となる（Ｓ
１１０）。こうしてＳ１０１〜Ｓ１１０の処理を繰り返
し、更新した搬送元と最初に与えられた搬送先が等しく
なった時点で上位システムから受信した搬送要求である
処理設備６ａ１から処理設備６ｃ３までのワーク搬送が
完了する（Ｓ１１１）。
【００２９】なお図１９のフローでは省略したが、図１
９のＳ１１０でコントローラから１つの搬送が終了する
毎に、その搬送を行った搬送ライン及びストッカの搬送
指示から完了までの時間をその時の負荷率で分類して記
録しておき、すべての搬送完了後にこれを統計処理して
図９〜図１８のテーブルを更新する。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明では要求さ
れた搬送元から最終搬送先に至る複数の搬送ルートを抽
出してそれらの搬送ルートを搬送シミュレーションにて
評価するが、この搬送シミュレーションでは、設備状態
情報に基づく搬送ラインの故障および負荷（搬送指示の
込み具合）とストッカの故障および負荷（搬送指示の込
み具合）及び仕掛かり状況等、さらに搬送実績情報に基
づいた負荷に対応した搬送ラインやストッカの平均サイ
クルタイム等から総搬送時間を予測する。そしてその予
測結果から最小搬送時間となる搬送ルートを取り出し、
その搬送ルートの最初の搬送ラインによる搬送を行う。
この搬送が終わると、その時の搬送先を改めて搬送元と
して最終搬送先を対象として搬送ルートの抽出、シミュ
レーションと最適ルートの第１搬送ラインによる搬送を
行うという動作を繰り返す。このようにすることで、搬
送ルートやストッカの故障等を回避して搬送を行うため
ワークの搬送が停止せず、さらに、搬送ルートやストッ
カの負荷の影響を回避して搬送を行うことより、作業者
の待ち時間増加や生産高未達を回避できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明になる搬送制御装置の構成例を示すブロ
ック図である。
【図２】ワークを搬送用搬送システムのレイアウト例を
示す図である。
【図３】ストッカテーブル２ｃを示した図である。
【図４】コントローラテーブル２ｂを示した図である。
【図５】中継ストッカテーブル２ｄを示した図である。
【図６Ａ】搬送ルートテーブル２ａの一部を示した図で
ある。
【図６Ｂ】搬送ルートテーブル２ａの残りの部分を示し
た図である。
【図７】ストッカの設備状態ファイル２ｅを示す図であ
る。
【図８】搬送ラインの設備状態ファイル２ｆを示す図で
ある。
【図９】ストッカの評価要素ファイル２ｇを示す図であ
る。
【図１０】搬送ラインの評価要素ファイル２ｈを示す図
である。
【図１１】搬送ライン５ａの平均サイクルタイムファイ
ル２ｉを示す図である。
【図１２】搬送ライン５ｂの平均サイクルタイムファイ
ル２ｊを示す図である。
【図１３】搬送ライン５ｃの平均サイクルタイムファイ
ル２ｋを示す図である。
【図１４】搬送ライン５ｄの平均サイクルタイムファイ
ル２ｌを示す図である。
【図１５】搬送ライン５ｅの平均サイクルタイムファイ
ル２ｍを示す図である。
【図１６】搬送ライン５ｆの平均サイクルタイムファイ
ル２ｎを示す図である。
【図１７】搬送ライン５ｇの平均サイクルタイムファイ
ル２ｏを示す図である。
【図１８】搬送ライン５ｈの平均サイクルタイムファイ
ル２ｐを示す図である。
【図１９】搬送制御方法の手順を示した図である。
【図２０】搬送ルートテーブルから経由ルートを抽出す
る手順の説明図である。
【図２１Ａ】中継ストッカテーブルから経由ルートをの
抽出する手順の一部の説明図である。
【図２１Ｂ】中継ストッカテーブルから経由ルートをの
抽出する手順の他の部分の説明図である。
【図２２】搬送シミュレーションの手順を示した図であ
る。
【図２３】搬送ルートのシミュレーション結果を示した
図である。
【符号の説明】
１ａ１〜１ｃ３ ストッカ ２ 搬送コントローラ ２ａ 搬送ルートテーブル ２ｂ コントローラテーブル ２ｃ ストッカテープル ２ｄ 中継ストッカテーブル ２ｅ、２ｆ 設備状態ファイル ２ｇ、２ｈ 評価要素ファイル ２ｉ〜２ｐ 平均サイクルタイム ２ｑ 搬送指示ファイル ３ａ１〜３ｃ３ ストッカコントローラ ４ａ〜４ｊ 搬送ラインコントローラ ５ａ〜５ｊ 搬送ライン ６ａ１、６ｃ３ 処理設備
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 島村 英昭 東京都小平市上水本町五丁目20番地１号 株式会社日立製作所半導体事業部内 (72)発明者 清水 道行 東京都小平市上水本町五丁目20番地１号 株式会社日立製作所半導体事業部内 (72)発明者 浜田 豊秀 東京都小平市上水本町五丁目20番地１号 株式会社日立製作所半導体事業部内

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 半導体ウェーハを加工処理する複数の処
    理設備の間で半導体ウェーハを収納したワークを搬送す
    るための複数の搬送ラインと、搬送ラインに隣接して設
    けられワークを保管・中継するためのストッカから構成
    される搬送システムにおける搬送制御方法であって、 搬送要求が発生しその搬送元処理設備と搬送先処理設備
    の間に搬送ラインとストッカを交互に経由する複数の搬
    送ルートが存在するときに、少なくとも各搬送ライン及
    びストッカが動作指示からワーク搬送完了までに要した
    所要搬送時間の実績データを用いて前記複数の搬送ルー
    トの各々について所要時間を推定するシミュレーション
    を行い、そのシミュレーションで得られた推定所要時間
    の最小の搬送ルートを選んでその搬送ルートを構成する
    最初のストッカまでのワーク搬送を実行し、その実行終
    了時にワークが到達したストッカを搬送元として最終の
    処理設備までを改めて搬送要求とみなして前記シミュレ
    ーションの実行とその結果得られた推定所要時間最小の
    搬送ルートの最初のストッカまでのワーク搬送を実行す
    る、という動作をワークが最終の処理設備に到達するま
    で繰り返すようにしたことを特徴とする搬送制御方法。
  2. 【請求項２】 前記シミュレーションは、各搬送ルート
    に対してそれを構成する搬送ライン及びストッカの運転
    状態、仕掛かり状態、及び搬送指示の受付状態を前記実
    績データとともに考慮して推定所要時間を求めることを
    特徴とする請求項１に記載の搬送制御方法。
  3. 【請求項３】 前記実績データは、各搬送ライン及びス
    トッカの負荷の値の範囲ごとに求めた平均値とし、シミ
    ュレーション時にはそのときの負荷に応じた平均値を用
    いて推定所要時間を求めるようにしたことを特徴とする
    請求項１または２に記載の搬送制御方法。
  4. 【請求項４】 各搬送ライン及びストッカの前記実績デ
    ータを、搬送ライン及びストッカが実際に動作したとき
    にその搬送指示から搬送完了までに要した時間を収集
    し、その収集時ごとあるいは所定の周期的なタイミング
    で統計処理して更新することを特徴とする請求項１〜３
    の内の１つに記載の搬送制御方法。
  5. 【請求項５】 半導体ウェーハを加工処理する複数の処
    理設備の間で半導体ウェーハを収納したワークを搬送す
    るための複数の搬送ラインと、搬送ラインに隣接して設
    けられワークを保管・中継するためのストッカから構成
    される搬送システムの制御を行う搬送制御装置であっ
    て、 搬送元と搬送先設備が与えられたときにその間を結ぶと
    ころの搬送ラインとストッカを交互に経由する搬送ルー
    トを検索・抽出するための搬送ルート抽出手段と、 各搬送ライン及びストッカが過去に動作指示を受けたの
    ちワーク搬送を終了したときまでの所要時間を収集しそ
    の平均所要時間を求めて作成した実績データテーブル
    と、 この実績データテーブルを用いて前記搬送ルート抽出手
    段により抽出された各搬送ルートの推定所要時間を求め
    るためのシミュレーション手段と、 搬送要求が発生したときに、その搬送元と搬送先に対し
    て前記搬送ルート抽出手段により搬送ルートを抽出し、
    その各々に対して前記シミュレーション手段により推定
    所要時間を算出してその値が最小となる搬送ルートを取
    り出し、その取り出した搬送ルートの最初の搬送ライン
    を経由したワーク搬送を実行するように該当搬送ライン
    及びストッカへ第１回の動作指示を出力し、この第１回
    の動作指示が完了するとそのときワークが運ばれたスト
    ッカを新たに搬送元として前記搬送ルート抽出手段によ
    る搬送ルートの抽出と抽出された各搬送ルートに対する
    前記シミュレーション手段による推定所要時間の算出、
    及びその時間最小な搬送ルートの取り出しとその取りだ
    した搬送ルートの最初の搬送ライン経由のワーク搬送を
    行うための第２回の実行指示出力を行い、かかる動作を
    ワークが搬送先に到達するまで繰り返すように制御する
    制御手段と、 を備えたことを特徴とする搬送制御装置。
  6. 【請求項６】 前記シミュレーション手段は、各搬送ル
    ートに対しそれを構成する搬送ライン及びストッカの運
    転状態、仕掛かり状態、及び搬送指示の受付状態を示す
    テーブルを備え、このテーブルと前記実績データテーブ
    ルを用いてシミュレーションを行うことを特徴とする請
    求項５に記載の搬送制御装置。
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Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002086963A1 (fr) * 2001-04-19 2002-10-31 Renesas Technology Corp. Procede de production de dispositif a circuit integres a semi-conducteurs
WO2003058706A1 (fr) * 2001-12-27 2003-07-17 Tokyo Electron Limited Systeme de transport de pieces, systeme de vehicule de transport sans pilote, vehicule de transport sans pilote, et procede de transport de pieces
JP2005206328A (ja) * 2004-01-23 2005-08-04 Seiko Epson Corp 搬送状況提示システムおよび方法、プログラム並びに情報記憶媒体
JP2006179934A (ja) * 2004-12-23 2006-07-06 Asml Netherlands Bv 適応性のある機器状態モデル・ビューを生成するソフトウェア装備品、機器の信頼性を測定するソフトウェア・メカニズム
KR100800636B1 (ko) 2005-09-22 2008-02-01 동경 엘렉트론 주식회사 기판반송 시스템, 기판반송 장치 및 기억 매체
JP2009096611A (ja) * 2007-10-18 2009-05-07 Asyst Technologies Japan Inc 保管庫、保管庫セット及び保管庫付き搬送システム
JP2009208868A (ja) * 2008-03-03 2009-09-17 Hitachi Plant Technologies Ltd 搬送システムにおける搬送経路の決定方法
JP2009227415A (ja) * 2008-03-24 2009-10-08 Asyst Technologies Japan Inc 保管庫装置及び保管庫付き搬送システム
JP2010028090A (ja) * 2008-06-20 2010-02-04 Ihi Corp 処理設備、搬送制御装置及び搬送制御方法
KR101202508B1 (ko) * 2009-12-14 2012-11-16 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈 반도체 처리 시스템 및 기록 매체
WO2022102475A1 (ja) * 2020-11-16 2022-05-19 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置及び基板処理方法

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7098156B2 (en) 2001-04-19 2006-08-29 Renesas Technology Corp. Method of fabrication of semiconductor integrated circuit device
WO2002086963A1 (fr) * 2001-04-19 2002-10-31 Renesas Technology Corp. Procede de production de dispositif a circuit integres a semi-conducteurs
WO2003058706A1 (fr) * 2001-12-27 2003-07-17 Tokyo Electron Limited Systeme de transport de pieces, systeme de vehicule de transport sans pilote, vehicule de transport sans pilote, et procede de transport de pieces
CN1322569C (zh) * 2001-12-27 2007-06-20 东京毅力科创株式会社 被处理体的搬运系统及其搬运方法、以及无人搬运车系统
KR100742410B1 (ko) * 2001-12-27 2007-07-24 동경 엘렉트론 주식회사 피처리체의 반송 시스템, 무인 반송차 시스템, 무인반송차 및 피처리체의 반송 방법
US7283890B2 (en) 2001-12-27 2007-10-16 Tokyo Electron Limited Work convey system, unmanned convey vehicle system, unmanned convey vehicle, and work convey method
JP4490124B2 (ja) * 2004-01-23 2010-06-23 セイコーエプソン株式会社 搬送状況提示システムおよび方法、プログラム並びに情報記憶媒体
JP2005206328A (ja) * 2004-01-23 2005-08-04 Seiko Epson Corp 搬送状況提示システムおよび方法、プログラム並びに情報記憶媒体
JP2006179934A (ja) * 2004-12-23 2006-07-06 Asml Netherlands Bv 適応性のある機器状態モデル・ビューを生成するソフトウェア装備品、機器の信頼性を測定するソフトウェア・メカニズム
KR100800636B1 (ko) 2005-09-22 2008-02-01 동경 엘렉트론 주식회사 기판반송 시스템, 기판반송 장치 및 기억 매체
JP2009096611A (ja) * 2007-10-18 2009-05-07 Asyst Technologies Japan Inc 保管庫、保管庫セット及び保管庫付き搬送システム
JP2009208868A (ja) * 2008-03-03 2009-09-17 Hitachi Plant Technologies Ltd 搬送システムにおける搬送経路の決定方法
JP2009227415A (ja) * 2008-03-24 2009-10-08 Asyst Technologies Japan Inc 保管庫装置及び保管庫付き搬送システム
JP2010028090A (ja) * 2008-06-20 2010-02-04 Ihi Corp 処理設備、搬送制御装置及び搬送制御方法
KR101202508B1 (ko) * 2009-12-14 2012-11-16 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈 반도체 처리 시스템 및 기록 매체
US9385016B2 (en) 2009-12-14 2016-07-05 Hitachi High-Technologies Corporation Semiconductor processing system and program
WO2022102475A1 (ja) * 2020-11-16 2022-05-19 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置及び基板処理方法

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