JP2010028090A - 処理設備、搬送制御装置及び搬送制御方法 - Google Patents

Abstract

【課題】大型化せず仕掛り量やリードタイムを増加させず十分な搬送能力の処理設備を提供し、被搬送物の搬送先の負荷が高くなった場合、処理装置の総体としてのタクトタイムの短縮を図り、枚葉搬送ラインにおいても、演算処理のデータ量を増大させず大掛かりな演算処理装置が不要で、演算処理時間が短い搬送制御方法を提供する。
【解決手段】各処理装置１０１，１０２，１０３，１０４間に搬送ルートが複数存在する処理設備において、各時点における各被搬送物の待機時間、搬送先及び搬送元の処理装置１０１，１０２，１０３，１０４の負荷状態、各被搬送物の搬送エリア内全体の負荷状態及び各搬送手段１０６，１０７の負荷状態のそれぞれに重み付けを行い、搬送エリア内の状況に応じて重み付けを変動させて搬送処理の優先度を算出し、いずれの被搬送物をいずれの処理装置１０１，１０２，１０３，１０４に搬送すべきか決定し搬送手段１０６，１０７を制御する。
【選択図】図５

Description

本発明は、複数の処理装置間に基板等の被搬送物の搬送ルートが複数存在する場合において、この搬送ルート上において被搬送物の搬送を行う搬送手段を有する処理設備と、この処理設備の搬送手段を制御するための搬送制御装置及び搬送制御方法に関する。

従来、複数の処理装置間に、基板等の被搬送物の分岐や合流のある搬送ルートが複数存在し、この搬送ルート上において被搬送物の搬送を行う搬送手段を有し、一の搬送手段に対して複数の被搬送物が対応されている処理設備が存在する。

このような分岐や合流のある搬送ルート上において被搬送物の搬送を行う処理設備としては、従来は各階に処理装置が設置された建屋において、各階間を昇降する昇降機を有し、各処理装置間に亘ってカセット毎に被搬送物を搬送するものが一般的である。

また、基板などの被搬送物を１枚ずつ搬送する枚葉搬送を行う処理設備としては、例えば、特許文献１に記載されているように、各階に処理装置が設置された建屋において、各階間を昇降する昇降機を有し、各処理装置間に亘って被搬送物を搬送するものが提案されている。

また、例えば、特許文献２に記載されているように、昇降機能を有する枚葉搬送車と、この枚葉搬送車及び処理装置間の被搬送物の受渡しを行うロードポートとを備えた多段構成の処理設備が提案されている。この処理設備においては、処理装置を垂直に並べた省スペースのレイアウトも可能となっている。

さらに、特許文献３に記載されているように、連続して搬送可能な枚葉搬送コンベヤと、この枚葉搬送コンベヤ及び処理装置間に設けられ被搬送物の保管が可能な保管棚とを備えた処理設備が提案されている。

そして、このような処理設備においては、効率のよい処理を実現するため、いずれの被搬送物をいずれの処理装置に搬送するかについて、搬送手段を適切に制御する必要がある。

従来の搬送制御方法としては、当該搬送手段に到着した順序や、到着時刻、搬送時間及び待ち時間などにより予約された順序や、または、負荷状況などにより予めスケジューリングされた順序に従って、搬送手段が搬送を行うようにする制御方法であった。

例えば、特許文献４には、被搬送物を加工処理装置に複数の搬送経路を通して搬入可能にした設備において、短時間で最良の稼働スケジュールを選択することにより、搬送鋼板が各設備に滞留することを最小限にして、各処理設備の稼働効率を向上させる技術として、各搬送経路に設けた搬送装置の稼働スケジュールを作成するにあたり、作成したスケジュールの不具合点を修正しつつ複数個のスケジュールを作成し、複数個の中から最適なスケジュールを選定するようにした搬送装置の稼働スケジューリング装置が記載されている。

また、特許文献５には、被搬送物に対して所定の処理を行う多段階工程で各工程からのサービス要求に基づいて所定のサービスを行うサービス手段のスケジューリングであって、システム全体としての処理効率を優先したスケジューリングを可能とする技術が提案されている。すなわち、累計待ち時間算出部により、各被搬送物毎に、各工程における待ち時間の累計を算出し、次に、許容待ち時間算出部により、待ち状態にあるサービス要求それぞれについて、サービス要求が出されている工程での処理時間と各工程毎の処理時間の最大値との偏差を求める。さらに、優先度補正値入力部により、例えば緊急度に応じて補正値が入力される。そして、優先度算出部において優先度を求め、この優先度に従って、１つのサービス要求を選択する。

さらに、特許文献６には、被製造物が到着した順に処理を行う先入れ先出し方式が基本であり、工期が安定しない上にでき高が下がる等の課題があった半導体工場等の物流制御装置において、前段の物流制御単位での処理終了時刻である現時刻と、理論工期と実際の処理時間との比から計算した処理計画時間をもとに算出される基準時刻との差を遅れ時間とし、この遅れ時間の最も大きい被製造物から優先して処理をすることにより、被製造物の工期や単位時間当りのでき高を安定させる技術が記載されている。

また、特許文献７には、経路選択をしながら材料、半製品、製品等の被搬送物がいくつかの工程を流れる複数工程を有するプロセスにおいて、現在の各工程での処理中及び待ち被搬送物数の情報と所定時間内に次工程に搬送可能な被搬送物の情報を用いて、次工程への搬送指令により次時刻の各工程の材料数を予測する状態方程式を設定し、各工程の被搬送物数及び制御指令に関する評価関数を最小にする解より搬送指令値を求め、その値が正値で所定の値より大きく、かつ、被搬送物が搬送可能である物について搬送指令を出力し、特に、経路の分岐点や交流点においては、搬送指令値の最も大きい物に対して搬送指令を出力するようにした物流制御方法が記載されている。

特開平０７−０２２４８８号公報 特許第４２０９５７２号公報 特開２００５−１６７０８３号公報 特開平０６−３２８１１２号公報 特開２０００−０３３５４２号公報 特開平９−１２３０４１号公報 特許第３４００８５１号公報

ところで、前述した従来の処理設備において、従来のカセット毎に搬送する処理設備では、カセット内に被搬送物が一定数挿入されないと搬送が行われないため、仕掛り量が増えたり、リードタイムが長くなるという問題があった。

また、特許文献１に記載された処理装置を垂直に並べた場合には、枚葉搬送であるために昇降機の搬送回数が多くなり、昇降動作回数や昇降動作距離が長くなってしまうという問題がある。

また、特許文献２に記載された枚葉搬送車を備えた多段構成の処理設備においては、枚葉搬送車の能力によって搬送能力が制限されるという問題があり、さらに、ロードポートのためのスペースが必要となるため、大型化してしまうという問題がある。

さらに、特許文献３に記載された枚葉搬送のコンベヤを備えた処理設備においては、全ての処理装置前に保管棚が必要であり、その分のスペースが必要となるため、大型化してしまうという問題がある。

また、前述したような従来の搬送制御方法において、特許文献４、または、特許文献５に記載された技術においては、各被搬送物の搬送先（処理順序）が、予めスケジューリングによって決定されているため、仮に、被搬送物の搬送先の負荷が高い場合でも、決定された搬送順序にて処理が行われ、被搬送物の渋滞が発生する虞があり、処理装置の総体としてのタクトタイムの短縮を図ることが困難である。

また、特許文献６、または、特許文献７に記載された技術においては、特に、被搬送物を１個ずつ搬送するいわゆる枚葉搬送ラインにおいては、演算処理を要するデータ量が膨大なものとなってしまい、演算処理に要する時間により、処理装置としてのタクトタイムの短縮が困難となり、また、演算処理装置として大掛かりな装置が必要となってしまう。

そこで、本発明は、大型化することなく、また、仕掛り量が増えたり、リードタイムが長くなることがなく、十分な搬送能力を確保することができる処理設備を提供し、さらに、被搬送物の搬送先の負荷が高くなった場合にも、処理装置の総体としてのタクトタイムの短縮を図ることが可能であり、また、いわゆる枚葉搬送ラインにおいても、演算処理を要するデータ量を増大させず、演算処理装置として大掛かりな装置が不要であり、演算処理に要する時間も長くならない搬送制御装置及び搬送制御方法を提供することを目的とする。

前述の課題を解決し、前記目的を達成するため、本発明は、以下の構成のいずれか一を有するものである。

〔構成１〕
本発明に係る処理設備は、複数の処理装置間に被搬送物の搬送ルートが複数存在しこの搬送ルートに沿って被搬送物の搬送を行う複数の搬送手段を有し一の搬送手段について複数の被搬送物が対応されている処理設備であって、それぞれが複数の処理装置間における被搬送物の搬送が可能であって多段に配置された複数の搬送手段と、複数の搬送手段間に亘って被搬送物を昇降させる機能を有する昇降手段とを備え、昇降手段は、バッファアクセス機能を有し、処理装置への投入前後のバッファとして利用可能であることを特徴とするものである。

〔構成２〕
本発明に係る処理設備は、構成１を有する処理設備において、連続する処理を行う処理装置は、同一の段の搬送手段に対応して並べて配置されており、同一の段の搬送手段により被搬送物を搬送されることを特徴とするものである。

〔構成３〕
本発明に係る処理設備は、構成１を有する処理設備において、搬送量が多いことが想定される処理装置は、同一の段の搬送手段に対応して並べて配置されており、同一の段の搬送手段により被搬送物を搬送されることを特徴とするものである。

〔構成４〕
本発明に係る搬送制御装置は、複数の処理装置間に被搬送物の搬送ルートが複数存在しこの搬送ルートに沿って被搬送物の搬送を行う複数の搬送手段を有し一の搬送手段について複数の被搬送物が対応されている処理設備において搬送手段を制御する搬送制御装置であって、各搬送手段を制御する制御手段を備え、制御手段は、各時点における各被搬送物の待機時間、各被搬送物の搬送先処理装置の負荷状態及び各被搬送物の搬送エリア内全体の負荷状態のそれぞれに所定の重み付けを行い、各被搬送物の搬送処理の優先度を算出し、この算出結果に基づいて各被搬送物のうちのいずれの被搬送物をいずれの処理装置に搬送すべきかを決定し、この決定に基づいて搬送手段を制御することを特徴とするものである。

〔構成５〕
本発明に係る搬送制御装置は、構成４を有する搬送制御装置において、制御手段は、さらに、各被搬送物の搬送元処理装置の負荷状態及び各搬送手段の負荷状態のそれぞれにも所定の重み付けを行い、各被搬送物の搬送処理の優先度を算出することを特徴とするものである。

〔構成６〕
本発明に係る搬送制御装置は、構成４、または、構成５を有する搬送制御装置において、制御手段は、一の重み付けパターンを登録しておき、搬送エリア内の状況に応じて重み付けパターン内部の値を変動させて、重み付けを変動させることを特徴とするものである。

〔構成７〕
本発明に係る搬送制御装置は、構成４、または、構成５を有する搬送制御装置において、制御手段は、複数の重み付けパターンを登録しておき、搬送エリア内の状況に応じて重み付けパターンを選択して、重み付けを変動させることを特徴とするものである。

〔構成８〕
本発明に係る搬送制御方法は、複数の処理装置間に被搬送物の搬送ルートが複数存在しこの搬送ルートに沿って被搬送物の搬送を行う複数の搬送手段を有し一の搬送手段について複数の被搬送物が対応されている処理設備において搬送手段を制御する搬送制御方法であって、各時点における各被搬送物の待機時間、各被搬送物の搬送先処理装置の負荷状態及び各被搬送物の搬送エリア内全体の負荷状態のそれぞれに所定の重み付けを行い、各被搬送物の搬送処理の優先度を算出し、算出結果に基づいて各被搬送物のうちのいずれの被搬送物をいずれの処理装置に搬送すべきかを決定し、この決定に基づいて搬送手段を制御することを特徴とするものである。

〔構成９〕
本発明に係る搬送制御方法は、構成８を有する搬送制御方法において、さらに、各被搬送物の搬送元処理装置の負荷状態及び各搬送手段の負荷状態のそれぞれにも所定の重み付けを行い、各被搬送物の搬送処理の優先度を算出することを特徴とするものである。

〔構成１０〕
本発明に係る搬送制御方法は、構成８、または、構成９を有する搬送制御方法において、一の重み付けパターンを登録しておき、搬送エリア内の状況に応じて重み付けパターン内部の値を変動させて、重み付けを変動させることを特徴とするものである。

〔構成１１〕
本発明に係る搬送制御方法は、構成８、または、構成９を有する搬送制御方法において、複数の重み付けパターンを登録しておき、搬送エリア内の状況に応じて重み付けパターンを選択して、重み付けを変動させることを特徴とするものである。

構成１を有する本発明に係る処理設備においては、それぞれが複数の処理装置間における被搬送物の搬送が可能であって多段に配置された複数の搬送手段と、複数の搬送手段間に亘って被搬送物を昇降させる機能を有する昇降手段とを備え、昇降手段は、バッファアクセス機能を有し、処理装置への投入前後のバッファとして利用可能であるので、枚葉搬送を行いながら、仕掛り量を減少させ、リードタイムを減少させ、省スペース化を図ることができ、また、昇降手段による移動距離を短くできるため、省エネルギー化を図ることができる。さらに、昇降手段がバッファアクセス機能を有しているため、メンテナンスなどによる停止時にも搬送処理の脈動を吸収することができる。

構成２を有する本発明に係る処理設備においては、連続する処理を行う処理装置は、同一の段の搬送手段に対応して並べて配置されており、同一の段の搬送手段により被搬送物を搬送されるので、仕掛り量を減少させ、リードタイムを減少させることができる。

構成３を有する本発明に係る処理設備においては、搬送量が多いことが想定される処理装置は、同一の段の搬送手段に対応して並べて配置されており、同一の段の搬送手段により被搬送物を搬送されるので、仕掛り量を減少させ、リードタイムを減少させることができる。

構成４を有する本発明に係る搬送制御装置においては、制御手段は、各時点における各被搬送物の待機時間、各被搬送物の搬送先処理装置の負荷状態及び各被搬送物の搬送エリア内全体の負荷状態のそれぞれに所定の重み付けを行い、各被搬送物の搬送処理の優先度を算出するので、渋滞の発生頻度を下げることができ、全体的に効率の良い搬送を実現し、搬送エリア内の総合タクトタイムの短縮を図ることができる。

構成５を有する本発明に係る搬送制御装置においては、制御手段は、さらに、各被搬送物の搬送元処理装置の負荷状態及び各搬送手段の負荷状態のそれぞれにも所定の重み付けを行い、各被搬送物の搬送処理の優先度を算出するので、渋滞の発生頻度を下げることができ、全体的に効率の良い搬送を実現し、搬送エリア内の総合タクトタイムの短縮を図ることができる。

構成６を有する本発明に係る搬送制御装置においては、制御手段は、一の重み付けパターンを登録しておき、搬送エリア内の状況に応じて重み付けパターン内部の値を変動させて、重み付けを変動させるので、搬送エリア内の状態に応じた最適な搬送指示を選択することができ、渋滞の発生頻度を下げることができるため、全体的に効率の良い搬送を実現し、搬送エリア内の総合タクトタイムの短縮を図ることができる。

構成７を有する本発明に係る搬送制御装置においては、制御手段は、複数の重み付けパターンを登録しておき、搬送エリア内の状況に応じて重み付けパターンを選択して、重み付けを変動させるので、搬送エリア内の状態に応じた最適な搬送指示を選択することができ、渋滞の発生頻度を下げることができるため、全体的に効率の良い搬送を実現し、搬送エリア内の総合タクトタイムの短縮を図ることができる。

構成８を有する本発明に係る搬送制御方法においては、各時点における各被搬送物の待機時間、各被搬送物の搬送先処理装置の負荷状態及び各被搬送物の搬送エリア内全体の負荷状態のそれぞれに所定の重み付けを行い、各被搬送物の搬送処理の優先度を算出するので、渋滞の発生頻度を下げることができ、全体的に効率の良い搬送を実現し、搬送エリア内の総合タクトタイムの短縮を図ることができる。

構成９を有する本発明に係る搬送制御方法においては、さらに、各被搬送物の搬送元処理装置の負荷状態及び各搬送手段の負荷状態のそれぞれにも所定の重み付けを行い、各被搬送物の搬送処理の優先度を算出するので、渋滞の発生頻度を下げることができ、全体的に効率の良い搬送を実現し、搬送エリア内の総合タクトタイムの短縮を図ることができる。

構成１０を有する本発明に係る搬送制御方法においては、一の重み付けパターンを登録しておき、搬送エリア内の状況に応じて重み付けパターン内部の値を変動させて、重み付けを変動させるので、搬送エリア内の状態に応じた最適な搬送指示を選択することができ、渋滞の発生頻度を下げることができるため、全体的に効率の良い搬送を実現し、搬送エリア内の総合タクトタイムの短縮を図ることができる。

構成１１を有する本発明に係る搬送制御方法においては、複数の重み付けパターンを登録しておき、搬送エリア内の状況に応じて重み付けパターンを選択して、重み付けを変動させるので、搬送エリア内の状態に応じた最適な搬送指示を選択することができ、渋滞の発生頻度を下げることができるため、全体的に効率の良い搬送を実現し、搬送エリア内の総合タクトタイムの短縮を図ることができる。

すなわち、本発明は、大型化することなく、また、仕掛り量が増えたり、リードタイムが長くなることがなく、十分な搬送能力を確保することができる処理設備を提供し、さらに、被搬送物の搬送先の負荷が高くなった場合にも、処理装置の総体としてのタクトタイムの短縮を図ることが可能であり、また、いわゆる枚葉搬送ラインにおいても、演算処理を要するデータ量を増大させず、演算処理装置として大掛かりな装置が不要であり、演算処理に要する時間も長くならない搬送制御装置及び搬送制御方法を提供することができるものである。

本発明に係る処理設備の第１の実施の形態における構成を示す側面図である。 本発明に係る処理設備の第２の実施の形態における構成を示す側面図である。 本発明に係る処理設備の第３の実施の形態における構成を示す側面図である。 本発明に係る搬送制御方法が実施される処理設備の構成を示すブロック図である。 本発明に係る搬送制御装置が適用される処理設備の構成を示す平面図（ａ）及び側面図（ｂ）である。 本発明に係る搬送制御装置の構成を示すブロック図である。 本発明に係る搬送制御装置の指示管理部の動作を示すフローチャートである。 本発明に係る搬送制御装置における最適化処理を示すフローチャートである。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。

〔処理設備の第１の実施の形態〕
図１は、本発明に係る処理設備の第１の実施の形態における構成を示す側面図である。

本発明に係る処理設備は、図１に示すように、複数の処理装置１０１，１０２，１０３，１０４間に被搬送物の搬送ルートが複数存在し、この搬送ルートに沿って被搬送物となる基板１１１の搬送を行う複数の搬送手段となるフォーク機能付きコンベア（ＦＣＶ）１０７ａ，１０７ｂ，１０７ｃ，１０７ｄを有し、各フォーク機能付きコンベア１０７ａ，１０７ｂ，１０７ｃ，１０７ｄについて複数の基板１１１が対応されている処理設備である。

この処理設備において、各処理装置１０１，１０２，１０３，１０４及び各フォーク機能付きコンベア１０７ａ，１０７ｂ，１０７ｃ，１０７ｄは、多段に設置されている。図４に示す処理設備においては、第１の処理装置１０１及び第３の処理装置１０３が上段に設置され、第２の処理装置１０２及び第４の処理装置１０４が下段に設置されている。そして、第１乃至第３のフォーク機能付きコンベア１０７ａ，１０７ｂ，１０７ｃが上段に設置され、第４及び第５のフォーク機能付きコンベア１０７ｄ，１０７ｅが下段に設置されている。

この処理設備において、基板１１１は、工程外から、搬入コンベア１０６ａを経て、第１のフォーク機能付きコンベア１０７ａに搬入される。この第１のフォーク機能付きコンベア１０７ａは、第１の処理装置１０１との間で基板１１１の受け渡しが可能となっている。この第１のフォーク機能付きコンベア１０７ａと、第２及び第４のフォーク機能付きコンベア１０７ｂ，１０７ｄとの間には、昇降手段となる第１の縦搬送（昇降）機能付きコンベア（縦ＣＶ、リフタ）１０８が設置されている。

第４のフォーク機能付きコンベア１０７ｄは、第２の処理装置１０２との間で基板１１１の受け渡しが可能となっている。第２及び第４のフォーク機能付きコンベア１０７ｂ，１０７ｄと、第３及び第５のフォーク機能付きコンベア１０７ｃ，１０７ｅとの間には、第２の縦搬送機能付きコンベア１０９が設置されている。

第３のフォーク機能付きコンベア１０７ｃは、第３の処理装置１０３との間で基板１１１の受け渡しが可能となっている。また、第５のフォーク機能付きコンベア１０７ｅは、第４の処理装置１０４との間で基板１１１の受け渡しが可能となっている。第３及び第５のフォーク機能付きコンベア１０７ｃ，１０７ｅと、基板１１１を工程外に搬出する搬出コンベア１０６ｂとの間には、第３の縦搬送機能付きコンベア１１０が設置されている。

この処理設備において、第１及び第２の縦搬送機能付きコンベア１０８，１０９は、バッファアクセス機能を有し、各処理装置１０１，１０２，１０３，１０４への投入前後のバッファとして利用可能である。すなわち、第１及び第２の縦搬送機能付きコンベア１０８，１０９には、いずれかの処理装置から次の処理装置に搬送されるまでの間の基板１１１が一時的に滞留されることができる。

この処理設備においては、連続する処理を行う処理装置を同一の段のフォーク機能付きコンベアに対応させて並べて配置し、同一の段のフォーク機能付きコンベアにより基板１１１を搬送されるようにすることが好ましい。処理装置をこのように配置することにより、仕掛り量を減少させ、リードタイムを減少させることができる。

また、この処理設備においては、搬送量が多いことが想定される処理装置は、同一の段のフォーク機能付きコンベアに対応させて並べて配置し、同一の段のフォーク機能付きコンベアにより基板１１１を搬送されるようにすることが好ましい。処理装置をこのように配置することにより、仕掛り量を減少させ、リードタイムを減少させることができる。

この処理設備においては、搬入コンベア１０６ａにより搬入された基板１１１は、各フォーク機能付きコンベア１０７ａ，１０７ｂ，１０７ｃ，１０７ｄ及び各縦搬送機能付きコンベア１０８，１０９により、任意の処理装置１０１，１０２，１０３，１０４に搬送され、また、各処理装置１０１，１０２，１０３，１０４から搬出されることができる。基板１１１は、各処理装置１０１，１０２，１０３，１０４において、所定の処理（検査）を施される。各縦搬送機能付きコンベア１０８，１０９は、搬送ルートの分岐など、必要に応じて昇降動作を行い、同段または他段のフォーク機能付きコンベアに基板１１１を搬送することができる。

〔処理設備の第２の実施の形態〕
図２は、本発明に係る処理設備の第２の実施形態における構成を示す側面図である。

本発明に係る処理設備は、図２に示すように、基板１１１の搬入口と搬出口とを同じ側として構成することもできる。すなわち、この処理設備においては、第１乃至第３の処理装置１０１，１０２，１０３が上段に設置され、第４乃至第６の処理装置１０４，１１５，１１６が下段に設置されている。そして、第１乃至第３のフォーク機能付きコンベア１０７ａ，１０７ｂ，１０７ｃが上段に設置され、第４乃至第６のフォーク機能付きコンベア１０７ｄ，１０７ｅ，１０７ｆが下段に設置されている。

この処理設備において、基板１１１は、工程外から第１のフォーク機能付きコンベア１０７ａに搬入される。また、基板１１１は、第６のフォーク機能付きコンベア１０７ｆから工程外に搬出される。

第１のフォーク機能付きコンベア１０７ａは、第１の処理装置１０１との間で基板１１１の受け渡しが可能となっている。また、第２のフォーク機能付きコンベア１０７ｂは、第２の処理装置１０２との間で基板１１１の受け渡しが可能となっている。第３のフォーク機能付きコンベア１０７ｃは、第３の処理装置１０３との間で基板１１１の受け渡しが可能となっている。第４のフォーク機能付きコンベア１０７ｄは、第４の処理装置１０４との間で基板１１１の受け渡しが可能となっている。第５のフォーク機能付きコンベア１０７ｅは、第５の処理装置１１５との間で基板１１１の受け渡しが可能となっている。第６のフォーク機能付きコンベア１０７ｆは、第６の処理装置１１６との間で基板１１１の受け渡しが可能となっている。

第１及び第６のフォーク機能付きコンベア１０７ａ，１０７ｆと、第２及び第５のフォーク機能付きコンベア１０７ｂ，１０７ｅとの間には、第１の縦搬送機能付きコンベア１０８が設置されている。

また、第２及び第５のフォーク機能付きコンベア１０７ｂ，１０７ｅと、第３及び第４のフォーク機能付きコンベア１０７ｃ，１０７ｄとの間には、第２の縦搬送機能付きコンベア１０９が設置されている。さらに、第３及び第４のフォーク機能付きコンベア１０７ｃ，１０７ｄの終端側には、第３の縦搬送機能付きコンベア１１０が設置されている。

この処理設備において、第１乃至第３の縦搬送機能付きコンベア１０８，１０９，１１０は、バッファアクセス機能を有し、各処理装置１０１，１０２，１０３，１０４，１１５，１１６への投入前後のバッファとして利用可能である。

この処理設備においては、連続する処理を行う処理装置を同一の段のフォーク機能付きコンベアに対応させて並べて配置し、同一の段のフォーク機能付きコンベアにより基板１１１を搬送されるようにすることが好ましい。処理装置をこのように配置することにより、仕掛り量を減少させ、リードタイムを減少させることができる。

また、この処理設備においては、搬送量が多いことが想定される処理装置は、同一の段のフォーク機能付きコンベアに対応させて並べて配置し、同一の段のフォーク機能付きコンベアにより基板１１１を搬送されるようにすることが好ましい。処理装置をこのように配置することにより、仕掛り量を減少させ、リードタイムを減少させることができる。

この処理設備においては、第１のフォーク機能付きコンベア１０７ａに搬入された基板１１１は、各フォーク機能付きコンベア１０７ａ，１０７ｂ，１０７ｃ，１０７ｄ，１０７ｅ，１０７ｆ及び各縦搬送機能付きコンベア１０８，１０９，１１０により、任意の処理装置１０１，１０２，１０３，１０４，１１５，１１６に搬送され、また、各処理装置１０１，１０２，１０３，１０４，１１５，１１６から搬出されることができる。基板１１１は、各処理装置１０１，１０２，１０３，１０４，１１５，１１６において、所定の処理（検査）を施される。各縦搬送機能付きコンベア１０８，１０９，１１０は、搬送ルートの分岐など、必要に応じて昇降動作を行い、同段または他段のフォーク機能付きコンベアに基板１１１を搬送することができる。

〔処理設備の第３の実施の形態〕
図３は、本発明に係る処理設備の第３の実施形態における構成を示す側面図である。

本発明に係る処理設備は、図３に示すように、各処理装置及び複数のフォーク機能付きコンベアを３段に配置して構成することもできる。すなわち、この処理設備においては、第１及び第２の処理装置１０１，１０２が上段に設置され、第３及び第４の処理装置１０３，１０４が中段に設置され、第５及び第６の処理装置１１５，１１６が下段に設置されている。そして、第１乃至第３のフォーク機能付きコンベア１０７ａ，１０７ｂ，１０７ｃが上段に設置され、第４乃至第６のフォーク機能付きコンベア１０７ｄ，１０７ｅ，１０７ｆが中段に設置され、第７乃至第９のフォーク機能付きコンベア１０７ｇ，１０７ｈ，１０７ｉが下段に設置されている。

この処理設備において、基板１１１は、工程外から第１のフォーク機能付きコンベア１０７ａに搬入される。また、基板１１１は、第４、または、第７のフォーク機能付きコンベア１０７ｄ，１０７ｇから工程外に搬出される。

第１のフォーク機能付きコンベア１０７ａは、第１の処理装置１０１との間で基板１１１の受け渡しが可能となっている。また、第２のフォーク機能付きコンベア１０７ｂは、第２の処理装置１０２との間で基板１１１の受け渡しが可能となっている。第４のフォーク機能付きコンベア１０７ｄは、第４の処理装置１０４との間で基板１１１の受け渡しが可能となっている。第６のフォーク機能付きコンベア１０７ｆは、第３の処理装置１０３との間で基板１１１の受け渡しが可能となっている。第８のフォーク機能付きコンベア１０７ｈは、第５の処理装置１１５との間で基板１１１の受け渡しが可能となっている。第９のフォーク機能付きコンベア１０７ｉは、第６の処理装置１１６との間で基板１１１の受け渡しが可能となっている。

第１、第４及び第７のフォーク機能付きコンベア１０７ａ，１０７ｄ，１０７ｇと、第２、第５及び第８のフォーク機能付きコンベア１０７ｂ，１０７ｅ，１０７ｈとの間には、第１の縦搬送機能付きコンベア１０８が設置されている。

また、第２、第５及び第８のフォーク機能付きコンベア１０７ｂ，１０７ｅ，１０７ｈと、第３、第６及び第９のフォーク機能付きコンベア１０７ｃ，１０７ｆ，１０７ｉとの間には、第２の縦搬送機能付きコンベア１０９が設置されている。また、第３、第６及び第９のフォーク機能付きコンベア１０７ｃ，１０７ｆ，１０７ｉの終端側には、第３の縦搬送機能付きコンベア１１０が設置されている。さらに、第１、第４及び第７のフォーク機能付きコンベア１０７ａ，１０７ｄ，１０７ｇの始端側（搬入口及び搬出口）には、第搬入搬出縦搬送機能付きコンベア１１２が設置されている。

この処理設備において、第１乃至第３の縦搬送機能付きコンベア１０８，１０９，１１０は、バッファアクセス機能を有し、各処理装置１０１，１０２，１０３，１０４，１１５，１１６への投入前後のバッファとして利用可能である。

この処理設備においては、連続する処理を行う処理装置を同一の段のフォーク機能付きコンベアに対応させて並べて配置し、同一の段のフォーク機能付きコンベアにより基板１１１を搬送されるようにすることが好ましい。処理装置をこのように配置することにより、仕掛り量を減少させ、リードタイムを減少させることができる。

また、この処理設備においては、搬送量が多いことが想定される処理装置は、同一の段のフォーク機能付きコンベアに対応させて並べて配置し、同一の段のフォーク機能付きコンベアにより基板１１１を搬送されるようにすることが好ましい。処理装置をこのように配置することにより、仕掛り量を減少させ、リードタイムを減少させることができる。

この処理設備においては、第１のフォーク機能付きコンベア１０７ａに搬入された基板１１１は、各フォーク機能付きコンベア１０７ａ，１０７ｂ，１０７ｃ，１０７ｄ，１０７ｅ，１０７ｆ，１０７ｇ，１０７ｈ，１０７ｉ及び各縦搬送機能付きコンベア１０８，１０９，１１０により、任意の処理装置１０１，１０２，１０３，１０４，１１５，１１６に搬送され、また、各処理装置１０１，１０２，１０３，１０４，１１５，１１６から搬出されることができる。基板１１１は、各処理装置１０１，１０２，１０３，１０４，１１５，１１６において、所定の処理（検査）を施される。各縦搬送機能付きコンベア１０８，１０９，１１０は、搬送ルートの分岐など、必要に応じて昇降動作を行い、同段または他段のフォーク機能付きコンベアに基板１１１を搬送することができる。

〔搬送制御方法の実施の形態〕
図４は、本発明に係る搬送制御方法が実施される処理設備の構成を示すブロック図である。

本発明に係る搬送制御方法は、図４に示すように、複数の処理装置１０１，１０２，１０３，１０４間に被搬送物の搬送ルートが複数存在し、この搬送ルートに沿って被搬送物の搬送を行う複数の搬送手段を有し、一の搬送手段について複数の被搬送物が対応されている処理設備、例えば、前述した本発明に係る処理設備において、搬送手段を制御するための搬送制御方法である。

このような処理設備は、上位システムから取得される処理装置１０１，１０２，１０３，１０４（工程Ａ，工程Ｂ，工程Ｃ，工程Ｄ）間の搬送情報に従って、ライン内の被搬送物（例えば、ＦＰＤや半導体に使用するガラス基板など）を処理装置間１０１，１０２，１０３，１０４で順次搬送するようになっている。本発明に係る搬送制御方法は、このような処理設備における搬送効率を改善するものである。

このような処理設備においては、出入口１０５に投入された被搬送物は、各処理装置１０１，１０２，１０３，１０４に順次搬送されて、所定の処理を施され、再び出入口１０５に戻される。しかし、この処理設備において、被搬送物は、各処理装置における処理結果（例えば、検査結果）によって、次に搬送される処理装置（工程）が変更される可能性がある。また、この処理設備において、被搬送物は、同一の処理装置（例えば、検査装置）に複数回に亘って搬送されることもあるため、各処理装置間の搬送ルートには、分岐や合流が多く存在する。

本発明に係る搬送制御方法は、特に、被搬送物を１枚ずつ搬送する枚葉搬送ラインに適用するに好適である。枚葉搬送ラインでは、同時に搬送制御される被搬送物の数が膨大なものとなり、従来の搬送制御方法によっては、制御が極めて困難となるためである。

〔搬送制御装置の構成〕
図５は、本発明に係る搬送制御装置が適用される処理設備の構成を示す平面図（ａ）及び側面図（ｂ）である。

本発明に係る搬送制御装置が適用される処理設備においては、例えば、図５中の（ａ）に示すように、出入口１０５となるポートＡ、ポートＢ、ポートＣ、ポートＤ、ポートＥから、被搬送物が投入される。被搬送物は、搬送手段となるコンベア１０６，１０７により、複数の処理装置１０１，１０２，１０３，１０４間を搬送されるようになっている。

コンベア１０７は、図５中の（ｂ）に示すように、被搬送物を水平に搬送するとともに処理装置１０１，１０２，１０３，１０４との間で被搬送物の授受を行うフォーク機能付きコンベア（ＦＣＶ）１０７と、縦搬送（昇降）機能付きコンベア（縦ＣＶ）１０８，１０９，１１０とからなる。縦搬送機能付きコンベア１０８，１０９，１１０は、バッファアクセス機能を有している。

この処理設備においては、プロセスＡの処理装置１０１とプロセスＤの処理装置１０４とが上下に積載されて配置され、また、プロセスＢの処理装置１０２とプロセスＣの処理装置１０３とが上下に積載されて配置されている。これら各処理装置１０１，１０２，１０３，１０４は、フォーク機能付きコンベア（ＦＣＶ）に対向して設置されている。そして、ラインの始端及び終端と、プロセスＡの処理装置１０１及びプロセスＤの処理装置１０４とプロセスＢの処理装置１０２及びプロセスＣの処理装置１０３との間には、それぞれ縦搬送機能付きコンベア１０８，１０９，１１０が設置されている。これら縦搬送機能付きコンベア１０８，１０９，１１０は、縦搬送機能付きコンベア（縦ＣＶ）に対向して設置されている。これら縦搬送機能付きコンベア１０８，１０９，１１０は、いずれかの処理装置から次の処理装置に搬送されるまでの間の被搬送物が一時的に滞留される場所である。

この処理設備においては、本発明に係る搬送制御装置により、コンベア１０６，１０７が制御されることにより、各被搬送物は、各処理装置１０１，１０２，１０３，１０４及び各縦搬送機能付きコンベア１０８，１０９，１１０の任意の場所に搬送され、各処理装置１０１，１０２，１０３，１０４において、所定の処理（検査）を施される。

図６は、本発明に係る搬送制御装置の構成を示すブロック図である。

本発明に係る搬送制御装置は、図６に示すように、搬送手段１０６，１０７を制御するための制御手段１を有する。この制御手段１は、上位システム２０１からプロセス間の搬送情報を受信する工程管理部２を有している。この工程管理部２は、被搬送物の搬送エリア内における処理装置間の搬送指示情報を作成し、搬送指示部３に蓄積する。搬送指示部３に蓄積された搬送指示情報は、指示管理部４によって読み出され、設備管理部５に送られる。

一方、各搬送手段１０６，１０７からは、動作結果情報及び機器状態情報（トラッキングデータ）が送られ、設備管理部５を経て、設備状態部（トラッキングデータＤＢ）６に蓄積される。設備状態部６に蓄積された動作結果情報及び機器状態情報は、指示管理部４によって読み出され、搬送指示情報の生成のために使用される。

搬送指示情報を受信した設備管理部５は、搬送指示情報に基づいて、各搬送手段１０６，１０７を制御する動作指示情報を生成し、各搬送手段１０６，１０７に送る。そして、各搬送手段１０６，１０７は、動作指示情報によって制御されて動作する。

この搬送制御装置において、指示管理部４は、搬送指示情報の生成にあたり、被搬送物の処理の優先度を算出し、複数の被搬送物のうち、いずれの被搬送物をいずれの処理装置に搬送すべきかを最適化処理する。

この最適化処理においては、被搬送物の処理の優先度を算出するにあたり、各搬送手段１０６，１０７の動作結果情報及び機器状態情報から、優先度を決定する複数の項目を抽出し、これら項目毎に重み付けを設定する。重み付けの設定は、１パターンを登録しておき、搬送エリア内の状況に応じて変動させる。また、複数のパターンを登録しておき、搬送エリア内の状況に応じてパターンを選択するようにしてもよい。

すなわち、指示管理部４は、各時点における各被搬送物の待機時間、各被搬送物の搬送先処理装置１０１，１０２，１０３，１０４の負荷状態、各被搬送物の搬送元処理装置１０１，１０２，１０３，１０４の負荷状態、各被搬送物の搬送エリア内全体の負荷状態及び各搬送手段の負荷状態のそれぞれに所定の重み付けを行い、搬送エリア内の状況に応じて重み付けを変動させて、各被搬送物の搬送処理の優先度を算出する。そして、指示管理部４は、この算出結果に基づいて、各被搬送物のうちのいずれの被搬送物をいずれの処理装置１０１，１０２，１０３，１０４に搬送すべきかを決定し、この決定に基づいて、搬送手段１０６，１０７を制御する
〔搬送制御装置の動作（搬送制御方法）〕
図７は、本発明に係る搬送制御装置の指示管理部の動作を示すフローチャートである。

この搬送制御装置において、指示管理部４は、図７に示す処理を実行する。

ステップｓｔ１では、設備状態部６に蓄積された動作結果情報及び機器状態情報を確認し、ステップｓｔ２に進む。ステップｓｔ２では、処理を完了された被搬送物の有無を判別する。処理を完了された被搬送物があれば、ステップｓｔ９に進み、処理を完了された被搬送物がなければ、ステップｓｔ３に進む。ステップｓｔ９では、搬送指示を完了した被搬送物の状態情報を「完了」に変更し、ステップｓｔ３に進む。

ステップｓｔ３では、待機中の被搬送物の有無を判別し、待機中の被搬送物があればステップｓｔ４に進み、待機中の被搬送物がなければステップｓｔ１３に進んで処理を終了する。

ステップｓｔ４では、搬送手段１０６，１０７の状態を確認し、ステップｓｔ５に進む。ステップｓｔ５では、搬送手段１０６，１０７の最適化が必要か否かを判断する。最適化が必要であればステップｓｔ１０に進み、最適化が必要でなければステップｓｔ６に進む。

ステップｓｔ１０では、最適化を行い、ステップｓｔ１１に進む。この最適化は、後述するように、各搬送手段１０６，１０７の動作結果情報及び機器状態情報から、優先度を決定する複数の項目を抽出し、これら項目毎に重み付けを設定して行う。ステップｓｔ１１では、搬送指示情報における搬送先を変更し、ステップｓｔ６に進む。

ステップｓｔ６では、移動手段１０６，１０７に対する作業コマンドにおける搬送先を決定し、ステップｓｔ７に進む。ステップｓｔ７では、移動手段１０６，１０７に対する作業コマンドを作成し、ステップｓｔ８に進む。

ステップｓｔ８では、搬送指示情報が待機中かどうかを判別する。待機中であればステップｓｔ１２に進み、待機中でなければステップｓｔ１３に進んで処理を終了する。

ステップｓｔ１２では、搬送指示を開始した被搬送物の状態情報を「搬送中」に変更し、ステップｓｔ１３に進んで処理を終了する。

図８は、本発明に係る搬送制御装置における最適化処理を示すフローチャートである。

前述した最適化処理は、図８に示すように、ステップｓｔ２１で最適化要求を受け付けると、ステップｓｔ２２に進み、各種情報データの読込を行う。次に、ステップｓｔ２３に進み、対象となる搬送手段１０６，１０７に対する各搬送指示を抽出する。そして、ステップｓｔ２４に進み、搬送指示実行の可否を確認する。

そして、搬送指示実行が可能であれば、ステップｓｔ２５に進み、搬送指示における搬送先を仮決定する。次に、ステップｓｔ２６に進み、搬送指示の優先度を算出する。次に、ステップｓｔ２７に進み、実行する搬送指示を選択する。そして、ステップｓｔ２８に進み、実行する搬送指示を出力し、終了する。

優先度の算出は、以下の〔表１〕に示すように、各項目ごとの優先度に重み付けをしておき、この重み付けに応じて算出する。

すなわち、ロット毎には、先に処理し始めたロットほど優先度を高くし、重み付けは「大」とする。これにより、ロット毎に優先的な処理が実施される。同一ロット内は同じ優先度となる。緊急ロットなどにも適用可能である。また、搬送先については、バッファでなく処理装置である方が優先度を高くし、重み付けは「大」とする。これにより、バッファはなるべく使用しないようにするという選択がなされる。

また、被搬送物の待機時間については、待機時間が長いほど優先度を高くし、重み付けは「大」とする。バッファへ退避させた場合については、考慮しない。追い越しができなくなるためである。

そして、搬送先装置及び搬送先ＣＶの受入可能状態については、その数が多いほど優先度を高くし、重み付けは「中」とする。これにより、前方装置の負荷状態を確認する。受入可能な装置が複数ある場合には、各装置の負荷状態の合計を用いる。搬送先が同じならば、同じ優先度となる。

また、搬送元装置及び搬送元ＣＶの受入可能状態については、その数が少ないほど優先度を高くし、重み付けは「中」とする。これにより、後方装置の負荷状態を確認する。受入可能な装置が複数ある場合には、各装置の負荷状態の合計を用いる。搬送元が同じならば、同じ優先度となる。

そして、バッファへの退避個数については、被搬送物がバッファにある場合には、多いほど優先度を高くし、追い越しができるので影響は少ないため、重み付けは「小」とする。また、被搬送物がＣＶにある場合には、多いほど優先度を低くし、追い越しができるので影響は少ないため、重み付けは「小」とする。

搬送手段の搬送所要時間については、短いほど優先度を高くし、重み付けは「小」とする。これにより、搬送処理にかかる時間が管理される。なお、ＣＶからもバッファからも、それほど所要時間は変わらないと考えられる。

カセットからの搬出順序については、カセットからの搬出順序にはこだわらないので、先に処理し始めた被搬送物ほど優先度を高くし、追い越しができるので影響は少ないため、重み付けは「小」とする。

そして、ライン全体の優先度条件については、以下の〔表２〕に示すように、工程内の被搬送物の個数については、多いほど搬出方向の優先度を高くし、重み付けは「大」とする。これにより、ラインの全体的な流れが考慮され、渋滞やデッドロックが予防される。

他の搬送手段の搬送指令状況については、割当てが少ない方へ向かうほど優先度を高くし、重み付けは「中」とする。これにより、ラインの全体的な流れが考慮され、渋滞やデッドロックが予防される。なお、両側に他の搬送手段がない場合には、考慮する必要がない。

また、重み付けを変動させる場合には、以下の〔表４〕に示すように、優先度の算出時のラインの状況に応じて変化させる。

また、重み付けを複数のパターンから選択する場合には、以下の〔表５〕に示すように、優先度の算出時のラインの状況に応じて、適切な重み付けパターンを選択する。

そして、優先度は、以下のようにして算出する。重み付けが固定設定の場合及び重み付けを変動させる場合には、重みをテーブルから取得し、優先度は、以下の式により算出する。
〔搬送指示の優先度〕
＝〔優先度算出用項目１〕×〔重み１〕
＋〔優先度算出用項目２〕×〔重み２〕
＋・・・・・
＋〔優先度算出用項目Ｎ〕×〔重みＮ〕

そして、重み付けを複数のパターンから選択する場合には、重みパターンを、工程内の状態により重み付けテーブルから選択し、優先度は、以下の式により算出する。
〔搬送指示の優先度〕
＝〔優先度算出用項目１〕×〔重みパターンＮ−１〕
＋〔優先度算出用項目２〕×〔重みパターンＮ−２〕
＋・・・・・
＋〔優先度算出用項目Ｎ〕×〔重みパターンＮ−Ｎ〕

なお、優先度算出用項目例は、前述したように、搬送先プロセス装置の負荷や、被搬送物の待機時間や、工程内の被搬送物の個数などである。

本発明は、複数の処理装置間に被搬送物の搬送ルートが複数存在する場合において、この搬送ルート上において被搬送物の搬送を行う搬送手段を制御するための搬送制御装置及び搬送制御方法に適用される。

１ 制御手段
２ 工程管理部
３ 搬送指示部
４ 指示管理部
５ 設備管理部
６ 設備状態部
１０２ 処理装置（プロセスＢ）
１０３ 処理装置（プロセスＣ）
１０４ 処理装置（プロセスＤ）
１０６ 搬送手段
１０７ 搬送手段

Claims (11)

1. 複数の処理装置間に被搬送物の搬送ルートが複数存在しこの搬送ルートに沿って被搬送物の搬送を行う複数の搬送手段を有し一の搬送手段について複数の被搬送物が対応されている処理設備であって、
   それぞれが複数の処理装置間における被搬送物の搬送が可能であって、多段に配置された複数の搬送手段と、
   前記複数の搬送手段間に亘って被搬送物を昇降させる機能を有する昇降手段と
   を備え、
   前記昇降手段は、バッファアクセス機能を有し、前記処理装置への投入前後のバッファとして利用可能である
   ことを特徴とする処理設備。
2. 連続する処理を行う処理装置は、同一の段の搬送手段に対応して並べて配置されており、同一の段の搬送手段により被搬送物を搬送される
   ことを特徴とする請求項１記載の処理設備。
3. 搬送量が多いことが想定される処理装置は、同一の段の搬送手段に対応して並べて配置されており、同一の段の搬送手段により被搬送物を搬送される
   ことを特徴とする請求項１記載の処理設備。
4. 複数の処理装置間に被搬送物の搬送ルートが複数存在し、この搬送ルートに沿って被搬送物の搬送を行う複数の搬送手段を有し、一の搬送手段について複数の被搬送物が対応されている処理設備において、前記搬送手段を制御する搬送制御装置であって、
   前記各搬送手段を制御する制御手段を備え、
   前記制御手段は、各時点における前記各被搬送物の待機時間、前記各被搬送物の搬送先処理装置の負荷状態及び前記各被搬送物の搬送エリア内全体の負荷状態のそれぞれに所定の重み付けを行い、前記各被搬送物の搬送処理の優先度を算出し、この算出結果に基づいて前記各被搬送物のうちのいずれの被搬送物をいずれの処理装置に搬送すべきかを決定し、この決定に基づいて前記搬送手段を制御する
   ことを特徴とする搬送制御装置。
5. 前記制御手段は、さらに、前記各被搬送物の搬送元処理装置の負荷状態及び各搬送手段の負荷状態のそれぞれにも所定の重み付けを行い、前記各被搬送物の搬送処理の優先度を算出する
   ことを特徴とする請求項４記載の搬送制御装置。
6. 前記制御手段は、一の重み付けパターンを登録しておき、搬送エリア内の状況に応じて重み付けパターン内部の値を変動させて、重み付けを変動させる
   ことを特徴とする請求項４、または、請求項５記載の搬送制御装置。
7. 前記制御手段は、複数の重み付けパターンを登録しておき、搬送エリア内の状況に応じて重み付けパターンを選択して、重み付けを変動させる
   ことを特徴とする請求項４、または、請求項５記載の搬送制御装置。
8. 複数の処理装置間に被搬送物の搬送ルートが複数存在し、この搬送ルートに沿って被搬送物の搬送を行う複数の搬送手段を有し、一の搬送手段について複数の被搬送物が対応されている処理設備において、前記搬送手段を制御する搬送制御方法であって、
   各時点における前記各被搬送物の待機時間、前記各被搬送物の搬送先処理装置の負荷状態及び前記各被搬送物の搬送エリア内全体の負荷状態のそれぞれに所定の重み付けを行い、前記各被搬送物の搬送処理の優先度を算出し、
   前記算出結果に基づいて、前記各被搬送物のうちのいずれの被搬送物をいずれの処理装置に搬送すべきかを決定し、この決定に基づいて前記搬送手段を制御する
   ことを特徴とする搬送制御方法。
9. さらに、前記各被搬送物の搬送元処理装置の負荷状態及び各搬送手段の負荷状態のそれぞれにも所定の重み付けを行い、前記各被搬送物の搬送処理の優先度を算出する
   ことを特徴とする請求項８記載の搬送制御方法。
10. 一の重み付けパターンを登録しておき、搬送エリア内の状況に応じて重み付けパターン内部の値を変動させて、重み付けを変動させる
    ことを特徴とする請求項８、または、請求項９記載の搬送制御方法。
11. 複数の重み付けパターンを登録しておき、搬送エリア内の状況に応じて重み付けパターンを選択して、重み付けを変動させる
    ことを特徴とする請求項８、または、請求項９記載の搬送制御方法。

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