KR102326017B1 - 이송 장치 및 이송 방법 - Google Patents

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박형진
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Abstract

물건 이송을 위한 장치와 방법이 개시된다. 상기 장치는, 물건의 이송을 위한 이송 트랙을 구성하는 복수의 컨베이어들과, 상기 이송 트랙 상에서 상기 물건의 이송을 위한 이송 경로를 생성하고 상기 이송 경로를 구성하는 컨베이어들 각각의 동작 제어를 위한 이송 정보들을 생성하는 상위 스케줄러와, 상기 상위 스케줄러로부터 상기 이송 정보들을 각각 수신하며 상기 이송 정보들에 기초하여 상기 컨베이어들 각각의 동작을 제어하는 하위 스케줄러들을 포함한다.

Description

이송 장치 및 이송 방법{Transfer apparatus and transfer method}
본 발명의 실시예들은 이송 장치와 이송 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 물건의 이송을 위한 이송 장치 및 이송 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정이 수행되는 클린룸 내에는 증착, 노광, 식각, 세정, 등의 공정 수행을 위한 설비들이 복수의 행과 열의 형태로 배치될 수 있다. 아울러, 상기 클린룸 내에는 상기 설비들에 공정 수행을 위한 자재 공급, 예를 들면, 반도체 웨이퍼 또는 디스플레이 기판으로서 사용되는 유리 기판 등의 공급을 위한 물건 이송 장치들이 배치될 수 있다.
일 예로서, 상기 클린룸 내에는 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치와 같은 천장 이송 장치, RGV(Rail Guided Vehicle) 장치 및 AGV(Automatic Guided Vehicle) 장치와 같은 무인 반송 차량, 복수의 컨베이어들로 구성되는 이송 장치 등이 배치될 수 있다. 특히, 상기 이송 장치는 상기 공정 설비들 사이에서 물건 이송을 위한 복수의 컨베이어들을 서로 연결하여 구성될 수 있으며, 상기 컨베이어들의 동작은 상기 컨베이어들과 연결된 제어 장치에 의해 제어될 수 있다.
상기 제어 장치는 상기 물건, 예를 들면, 반도체 웨이퍼들 또는 유리 기판들이 수납된 용기를 목적하는 위치까지 이송하기 위하여 이송 경로를 생성할 수 있으며, 상기 이송 경로를 구성하는 컨베이어들의 동작을 제어할 수 있다. 그러나, 상기 컨베이어들의 레이아웃 또는 상기 물건의 이송 경로 등이 변경되는 경우 이에 대응하여 상기 제어 장치의 제어 소프트웨어를 함께 변경해야 하는 번거로움이 있으며, 이에 의해 새로운 레이아웃 또는 이송 경로 변경에 대응하는 시간이 증가될 수 있다.
대한민국 등록특허공보 제10-1010718호 (등록일자 2011년 01월 18일) 대한민국 등록특허공보 제10-1440569호 (등록일자 2014년 09월 04일)
본 발명의 실시예들은 물건 이송을 위한 컨베이어들의 동작 제어를 보다 효율적으로 수행할 수 있는 이송 장치 및 이송 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 이송 장치는, 물건의 이송을 위한 이송 트랙을 구성하는 복수의 컨베이어들과, 상기 이송 트랙 상에서 상기 물건의 이송을 위한 이송 경로를 생성하고 상기 이송 경로를 구성하는 컨베이어들 각각의 동작 제어를 위한 이송 정보들을 생성하는 상위 스케줄러와, 상기 상위 스케줄러로부터 상기 이송 정보들을 각각 수신하며 상기 이송 정보들에 기초하여 상기 컨베이어들 각각의 동작을 제어하는 하위 스케줄러들을 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 하위 스케줄러들 각각에 제공되는 이송 정보는 해당 컨베이어를 기준으로 기 설정된 개수의 상류측 컨베이어들의 속도 정보들을 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 하위 스케줄러들 각각에 제공되는 이송 정보는 상기 물건의 위치 정보를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 하위 스케줄러들 각각에 제공되는 이송 정보는 해당 컨베이어의 바로 뒤에 위치되는 컨베이어의 속도 정보를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 하위 스케줄러들 각각에 제공되는 이송 정보는 해당 컨베이어를 기준으로 기 설정된 하류측 컨베이어들의 이상 유무에 대한 정보들을 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 하위 스케줄러들 각각에 제공되는 이송 정보는 해당 컨베이어의 바로 앞에 위치되는 컨베이어의 속도 정보를 포함하고, 상기 해당 컨베이어와 연결된 하위 스케줄러는 상기 해당 컨베이어의 속도를 상기 바로 앞에 위치되는 컨베이어의 속도와 동일하게 제어할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 컨베이어들 각각은 상기 컨베이어들 각각의 양측 단부들 상에서 상기 물건을 검출하기 위한 리미트 센서들과 중앙 부위 상에서 상기 물건을 검출하기 위한 정위치 센서를 구비할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 컨베이어들 각각은 상기 컨베이어들 각각의 상부에 장애물이 존재하는지 여부를 검출하기 위한 장애물 센서를 구비할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 컨베이어들 중 어느 하나의 상부에서 장애물이 검출되는 경우 상기 장애물이 검출된 컨베이어와 대응하는 하위 스케줄러는 장애물 검출 신호를 상기 상위 스케줄러로 전송하고, 상기 상위 스케줄러는 상기 장애물 검출 신호를 상기 컨베이어의 상류측 컨베이어들과 대응하는 하위 스케줄러들로 전송하며, 상기 하위 스케줄러들은 상기 물건이 적어도 상기 컨베이어의 바로 앞에 위치하는 컨베이어 상에서 정지되도록 상기 상류측 컨베이어들의 동작을 제어할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 트랙은 서로 교차하는 제1 이송 트랙 및 제2 이송 트랙을 포함하고, 상기 제1 이송 트랙과 상기 제2 이송 트랙의 교차 지점에 위치되는 컨베이어는 회전 가능하도록 구성될 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제1 이송 트랙과 상기 제2 이송 트랙 상에 상기 교차 지점으로 향하는 제1 물건과 제2 물건이 각각 존재하는 경우 상기 상위 스케줄러는 상기 제1 물건과 상기 제2 물건의 우선 순위를 설정하여 상기 교차 지점에서 상기 제1 물건과 상기 제2 물건 사이의 충돌을 방지할 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 이송 방법은, 복수의 컨베이어들을 연결하여 구성되는 이송 트랙 상에서 물건의 이송을 위한 이송 경로를 생성하는 단계와, 상기 이송 경로를 구성하는 컨베이어들 각각의 동작 제어를 위한 이송 정보들을 생성하는 단계와, 상기 이송 정보들에 기초하여 상기 컨베이어들 각각의 동작을 제어함으로써 상기 물건을 목적하는 위치까지 이송하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 정보들은 상기 물건의 위치, 상기 컨베이어들의 속도, 상기 컨베이어들의 이상 유무 및 상기 컨베이어들 주위에 장애물이 존재하는지 여부에 따라 실시간으로 갱신될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상위 스케줄러는 물건 이송을 위해 컨베이어들의 동작 제어를 위한 이송 정보들을 생성할 수 있으며, 하위 스케줄러들은 상기 이송 정보들에 기초하여 각각의 컨베이어들의 동작을 제어할 수 있다. 상기와 같이 하위 스케줄러들이 상위 스케줄러로부터 제공되는 이송 정보들에 기초하여 컨베이어들의 동작을 각각 제어할 수 있으므로 이송 트랙의 레이아웃이 변경되거나 물건 이송을 위한 경로들이 변경되는 경우에도 종래 기술에서와 같이 제어 소프트웨어를 변경하여 적용할 필요가 없으며 이에 따라 상기 이송 장치의 효율이 크게 향상될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치 및 이송 방법을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 컨베이어를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 3은 도 1에 도시된 하위 스케줄러들로 제공되는 이송 정보를 설명하기 위한 개략도이다.
도 4는 도 1에 도시된 이송 트랙의 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 5는 도 1에 도시된 이송 트랙의 또 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치 및 이송 방법을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치(100) 및 이송 방법은 반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 물건(10) 이송을 위해 사용될 수 있다. 일 예로서, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치(100) 및 이송 방법은 반도체 장치의 제조 공정에서 반도체 웨이퍼들이 수납된 용기(10)의 이송을 위해 사용될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 장치(100)는 이송 트랙(102)을 구성하는 복수의 컨베이어들(110)을 포함할 수 있다. 일 예로서, 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 이송 트랙(102)은 상기 용기(10)의 보관을 위한 스토커 설비와 복수의 공정 설비들 사이를 연결하도록 구성될 수 있으며, 상기 스토커 설비와 상기 이송 장치 사이 그리고 상기 이송 장치와 상기 공정 설비들 사이에는 물건(10) 이송을 위한 별도의 이송 로봇이나 별도의 컨베이어가 구비될 수도 있다.
상기 이송 장치(100)는 상기 컨베이어들(110) 각각의 동작 제어를 위한 하위 스케줄러들(120)과 물건 이송을 전체적으로 총괄 제어하기 위한 상위 스케줄러(130)를 포함할 수 있다. 상기 상위 스케줄러(130)는 물건들의 이송을 위한 이송 경로들을 각각 생성할 수 있으며, 아울러 각각의 이송 경로들을 구성하는 컨베이어들(110) 각각의 동작 제어를 위한 이송 정보들을 생성할 수 있다. 예를 들면, 상기 상위 스케줄러(130)는 복수의 용기들(10)을 상기 스토커 설비로부터 상기 공정 설비들로 이송하거나 상기 공정 설비들로부터 상기 스토커 설비로 이송하거나 또는 상기 공정 설비들 사이에서 이송하기 위하여 복수의 이송 경로들을 생성할 수 있으며, 아울러 상기 물건들(10) 사이의 이송 경로가 중첩되는 경우 우선 순위를 설정할 수 있다.
상기 하위 스케줄러들(120)은 상기 컨베이어들(110)과 각각 연결되며 상기 상위 스케줄러(130)에 의해 생성된 이송 정보들에 기초하여 상기 컨베이어들(110)의 동작을 각각 제어할 수 있다. 예를 들면, 상기 이송 정보들은 이송하고자 하는 물건(10)의 위치, 상기 물건(10)의 이송을 위한 각 컨베이어들의 속도 정보 등을 포함할 수 있으며, 특히 상기 물건(10)의 위치, 상기 이송 경로를 구성하는 각 컨베이어들(110)의 속도, 상기 컨베이어들(110)의 이상 유무, 상기 컨베이어들(110) 주위에 장애물이 존재하는지 여부 등에 따라 실시간으로 갱신될 수 있다.
도 2는 도 1에 도시된 컨베이어를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2를 참조하면, 각각의 컨베이어들(110)은 물건(10)의 진입 및 진출을 검출하기 위한 리미트 센서들(112)과 상기 물건(10)의 위치 정보를 획득하기 위한 정위치 센서(114)를 구비할 수 있다. 예를 들면, 컨베이어(110)의 양측 단부들 상에서 상기 물건(10)을 검출하기 위한 리미트 센서들(112)과 컨베이어(110)의 중앙 부위 상에서 상기 물건(10)을 검출하기 위한 정위치 센서(114)가 각각의 컨베이어들(110)에 구비될 수 있다. 상기와 다르게, 각각의 컨베이어들(110)에는 복수의 정위치 센서들(114)이 구비될 수도 있다.
상기 리미트 센서들(112)과 정위치 센서(114)는 광 센서 또는 적외선 센서 등 다양한 형태로 구성될 수 있으며 상기 리미트 센서들(112) 및 정위치 센서(114)의 신호에 따라 상기 물건(10)의 위치가 검출될 수 있다. 상기 하위 스케줄러들(120)은 상기 리미트 센서들(112) 및 정위치 센서들(114)의 신호에 따라 상기 물건(10)의 위치를 검출할 수 있으며, 상기와 같이 검출된 위치 정보는 상기 상위 스케줄러(130)로 전송되고 또한 상기 물건(10)의 위치 정보가 필요한 하위 스케줄러들(120)에 전송될 수 있다.
또한, 각각의 컨베이어들(110)은 주위의 장애물을 검출하기 위한 장애물 센서(116)를 구비할 수 있다. 일 예로서, 상기 컨베이어들(110) 각각은 상기 컨베이어들(110) 각각의 상부에 장애물이 존재하는지 여부를 검출하기 위한 장애물 검출 센서(116)를 구비할 수 있으며, 상기 물건(10)의 이송 도중에 장애물이 검출되는 경우 상기 장애물과의 충돌을 방지하기 위하여 상기 하위 스케줄러들(120)은 상기 장애물이 검출된 컨베이어(110) 바로 앞에 위치하는 컨베이어(110, 이하 ‘직전 컨베이어’라 함) 상에서 상기 물건(10)이 정지될 수 있도록 상기 컨베이어들(110)의 동작을 제어할 수 있다.
도 3은 도 1에 도시된 하위 스케줄러들로 제공되는 이송 정보를 설명하기 위한 개략도이다.
도 3을 참조하면, 상기 하위 스케줄러들(120) 각각에 제공되는 이송 정보는 해당 컨베이어(110)를 기준으로 기 설정된 개수의 상류측 컨베이어들(110)의 속도 정보들을 포함할 수 있다. 예를 들면, N번째 컨베이어(110;N)의 동작 제어를 위한 N번째 하위 스케줄러(120)에는 N-4번째 컨베이어(110;N-4)로부터 N-1번째 컨베이어(110;N-1)까지의 속도 정보가 제공될 수 있다. 또한, 상기 해당 컨베이어(110;N)의 바로 뒤에 위치되는 컨베이어(110;N+1, 이하 ‘직후 컨베이어’라 함)의 속도 정보가 상기 해당 스케줄러(120)에 제공될 수 있다.
상기 해당 컨베이어(110;N)가 등속 구간에 있는 경우 상기 해당 컨베이어(110;N)를 기준으로 직전 컨베이어(110;N-1)와 직후 컨베이어(110;N+1)의 속도는 동일할 수 있으며, 상기 해당 컨베이어(110;N)의 속도는 상기 직전 컨베이어(110;N-1)와 직후 컨베이어(110;N+1)와 동일하게 제어될 수 있다. 예를 들면, 상기 직전 컨베이어(110;N-1)와 직후 컨베이어(110;N+1)는 제3 속도, 예를 들면, 1.0 m/s 정도의 속도로 동작될 수 있으며, 상기 해당 컨베이어(110;N)와 연결된 하위 스케줄러(120)는 상기 해당 컨베이어(110;N)를 상기 제3 속도로 제어할 수 있다. 이때, 상기 이송 정보에는 상기 물건(10)의 위치 정보가 포함될 수 있다. 일 예로서, 상기 해당 컨베이어(110;N)는 정지 상태로 대기할 수 있으며, 상기 물건(10)이 상류측 기 설정된 위치에서 검출된 후 정지 상태에서 상기 제3 속도로 동작될 수 있다.
상기와 다르게, 상기 해당 컨베이어(110;N)가 가속 구간에 있는 경우 상기 직후 컨베이어(110;N+1)의 속도가 상기 직전 컨베이어(110;N-1)의 속도보다 빠를 수 있다. 일 예로서, 출발 위치에 있는 첫 번째 컨베이어(110;1)는 정지 상태에서 가속하여 제1 속도, 예를 들면, 0.2 m/s 정도의 속도로 상기 물건(10)을 두 번째 컨베이어(110;2)로 전달할 수 있고, 두 번째 컨베이어(110;2)는 제1 속도로 물건(10)을 전달받고 이를 가속하여 제2 속도, 예를 들면, 0.6 m/s 정도의 속도로 세 번째 컨베이어(110;3)에 전달할 수 있으며, 세 번째 컨베이어(110;3)는 제2 속도로 물건(10)을 전달받고 이를 가속하여 제3 속도로 네 번째 컨베이어(110;4)에 전달할 수 있다. 즉, 상기 해당 컨베이어(110;N)는 직전 컨베이어(110;N-1)의 속도와 동일한 속도로 동작하여 상기 물건(10)을 전달받을 수 있으며 이후 가속하여 직후 컨베이어(110;N+1)와 동일한 속도로 상기 물건(10)을 전달할 수 있다. 또한, 상기와 반대로 상기 해당 컨베이어(110;N)가 감속 구간에 있는 경우 상기 가속 구간에서와 반대로 상기 컨베이어들(110)의 동작이 제어될 수 있다.
또한, 상기 하위 스케줄러들(120) 각각에 제공되는 이송 정보는 해당 컨베이어(110;N)를 기준으로 기 설정된 하류측 컨베이어들(110)의 이상 유무에 대한 정보들을 포함할 수 있다. 예를 들면, N번째 컨베이어(110;N)의 동작 제어를 위한 N번째 하위 스케줄러(120)에는 N+1번째 컨베이어(110;N+1)로부터 N+4번째 컨베이어(110;N+4)까지의 이상 유무에 대한 정보가 제공될 수 있다. 일 예로서, 상기 N+4번째 컨베이어(110;N+4)가 동작 불능 상태인 경우, 상기 N번째 컨베이어(110;N)부터 감속이 시작될 수 있으며, 적어도 상기 N+3번째 컨베이어(110;N+3) 상에서 상기 물건(10)의 이동이 정지될 수 있다. 즉, 상기 상위 스케줄러(130)는 상기 컨베이어들(110) 중 하나에 동작 이상이 발생되는 경우 이를 그 상류측 컨베이어들(110)의 동작 제어를 위한 하위 스케줄러들(120)에게 알림으로써 상기 동작 이상이 발생된 컨베이어(110)의 상류에서 상기 물건(10)을 안전하게 정지시킬 수 있다.
한편, 상기 컨베이어들(110) 중 어느 하나의 상부에서 돌발적으로 장애물이 검출되는 경우 상기 장애물이 검출된 컨베이어(110)와 대응하는 하위 스케줄러(120)는 장애물 검출 신호를 상위 스케줄러(130)로 전송하고, 상기 상위 스케줄러(130)는 상기 장애물 검출 신호를 상기 컨베이어(110)의 상류측 컨베이어들(110)과 대응하는 하위 스케줄러들(120)로 전송할 수 있다. 상기 하위 스케줄러들(120)은 적어도 상기 물건(10)이 상기 장애물이 검출된 컨베이어(110)를 기준으로 직전 컨베이어(110) 상에서 정지되도록 상류측 컨베이어들(110)의 동작을 제어할 수 있다. 일 예로서, 상기 물건(10)을 이동시키는 중 직후 컨베이어(110;N+1)의 장애물 검출 센서(116)에 의해 장애물이 검출되는 경우 해당 컨베이어(110;N)와 연결된 하위 스케줄러(120)는 장애물 검출 신호에 따라 상기 해당 컨베이어(110;N)를 급정지시켜 물건(10)과 장애물 사이의 충돌을 방지할 수 있다.
도 4는 도 1에 도시된 이송 트랙의 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 4를 참조하면, 이송 트랙(104)은 제1 방향, 예를 들면, X축 방향으로 연결된 제1 컨베이어들(140)과 제2 방향, 예를 들면, Y축 방향으로 연결된 제2 컨베이어들(142)을 포함할 수 있으며, 상기 제1 컨베이어들(140)과 제2 컨베이어들(142)은 방향 전환을 위해 회전 가능하게 구성되는 제3 컨베이어(144)에 의해 서로 연결될 수 있다. 일 예로서, 상기 물건(10)의 이송 경로가 상기 제1 컨베이어들(140)과 제2 컨베이어들(142)을 포함하는 경우, 상기 물건(10)은 제1 방향으로 이동하여 상기 제3 컨베이어(144) 상에서 정지하도록 제어될 수 있고, 상기 제3 컨베이어(144)의 회전 후 제2 방향으로 출발하여 이동하도록 제어될 수 있다.
도 5는 도 1에 도시된 이송 트랙의 또 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 5를 참조하면, 이송 트랙(106)은 서로 교차하는 제1 이송 트랙(150)과 제2 이송 트랙(152)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 이송 트랙(150)은 제1 방향으로 연결된 복수의 제1 컨베이어들(160)을 포함할 수 있고, 상기 제2 이송 트랙(152)은 제2 방향으로 연결된 복수의 제2 컨베이어들(162)을 포함할 수 있으며, 상기 제1 이송 트랙(150)과 제2 이송 트랙(152)의 교차 지점에는 회전 가능하게 구성되는 제3 컨베이어(164)가 배치될 수 있다.
특히, 상기 제1 이송 트랙(150)과 제2 이송 트랙(152) 상에 상기 교차 지점으로 향하는 제1 물건(20)과 제2 물건(22)이 각각 존재하는 경우 상기 상위 스케줄러(130)는 상기 제1 물건(20)과 제2 물건(22)의 우선 순위를 설정하여 상기 교차 지점에서 상기 제1 물건(20)과 제2 물건(22) 사이의 충돌을 방지할 수 있다. 예를 들면, 상기 상위 스케줄러(130)는 상기 제1 물건(20)이 상기 제3 컨베이어(164)를 먼저 통과할 수 있도록 상기 제1 컨베이어들(160)과 상기 제3 컨베이어(164)에 연결된 하위 스케줄러들(120)에 상기 제1 컨베이어들(160)과 상기 제3 컨베이어(164)의 동작 제어를 위한 이송 정보들을 제공할 수 있으며, 또한 상기 제2 물건(22)이 상기 제3 컨베이어(164) 직전에서 정지될 수 있도록 상기 제2 컨베이어들(162)과 연결된 하위 스케줄러들(120)에 상기 제2 컨베이어들(162)의 동작 제어를 위한 이송 정보들을 제공할 수 있다. 한편, 상기 제1 물건(20)이 상기 제3 컨베이어(164)를 통과한 후 상기 제3 컨베이어(164)가 상기 제2 물건(22)의 이송을 위해 회전될 수 있으며, 이어서 상기 제2 물건(22)의 이송이 계속될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상위 스케줄러(130)는 물건(10) 이송을 위해 컨베이어들(110)의 동작 제어를 위한 이송 정보들을 생성할 수 있으며, 하위 스케줄러들(120)은 상기 이송 정보들에 기초하여 각각의 컨베이어들(110)의 동작을 제어할 수 있다. 상기와 같이 하위 스케줄러들(120)이 상위 스케줄러(130)로부터 제공되는 이송 정보들에 기초하여 컨베이어들(110)의 동작을 각각 제어할 수 있으므로 이송 트랙(102)의 레이아웃이 변경되거나 물건(10) 이송을 위한 경로들이 변경되는 경우에도 종래 기술에서와 같이 제어 소프트웨어를 변경하여 적용할 필요가 없으며 이에 따라 상기 이송 장치(100)의 이송 효율이 크게 향상될 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 물건 100 : 이송 장치
102 : 이송 트랙 110 : 컨베이어
112 : 리미트 센서 114 : 정위치 센서
116 : 장애물 센서 120 : 하위 스케줄러
130 : 상위 스케줄러

Claims (14)

  1. 물건의 이송을 위한 이송 트랙을 구성하는 복수의 컨베이어들;
    상기 이송 트랙 상에서 상기 물건의 이송을 위한 이송 경로를 생성하고 상기 이송 경로를 구성하는 컨베이어들 각각의 동작 제어를 위한 이송 정보들을 생성하는 상위 스케줄러; 및
    상기 상위 스케줄러로부터 상기 이송 정보들을 각각 수신하며 상기 이송 정보들에 기초하여 상기 컨베이어들 각각의 동작을 제어하는 하위 스케줄러들을 포함하되,
    상기 하위 스케줄러들 각각에 제공되는 이송 정보는 해당 컨베이어를 기준으로 기 설정된 개수의 하류측 컨베이어들의 이상 유무에 대한 정보들을 포함하고,
    상기 기 설정된 개수의 하류측 컨베이어들 중 어느 하나에 동작 이상이 발생되는 경우 상기 하위 스케줄러들은 상기 동작 이상이 발생된 컨베이어의 상류측에서 상기 물건의 이동이 정지되도록 상기 컨베이어들의 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 하위 스케줄러들 각각에 제공되는 이송 정보는 해당 컨베이어를 기준으로 기 설정된 개수의 상류측 컨베이어들의 속도 정보들을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 하위 스케줄러들 각각에 제공되는 이송 정보는 상기 물건의 위치 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 하위 스케줄러들 각각에 제공되는 이송 정보는 해당 컨베이어의 바로 뒤에 위치되는 컨베이어의 속도 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서, 상기 하위 스케줄러들 각각에 제공되는 이송 정보는 해당 컨베이어의 바로 앞에 위치되는 컨베이어의 속도 정보를 포함하고,
    상기 각각의 하위 스케줄러들은 상기 해당 컨베이어의 속도를 상기 바로 앞에 위치되는 컨베이어의 속도와 동일하게 제어하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 컨베이어들 각각은 상기 컨베이어들 각각의 양측 단부들 상에서 상기 물건을 검출하기 위한 리미트 센서들과 중앙 부위 상에서 상기 물건을 검출하기 위한 정위치 센서를 구비하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 컨베이어들 각각은 상기 컨베이어들 각각의 상부에 장애물이 존재하는지 여부를 검출하기 위한 장애물 센서를 구비하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  9. 물건의 이송을 위한 이송 트랙을 구성하는 복수의 컨베이어들;
    상기 이송 트랙 상에서 상기 물건의 이송을 위한 이송 경로를 생성하고 상기 이송 경로를 구성하는 컨베이어들 각각의 동작 제어를 위한 이송 정보들을 생성하는 상위 스케줄러; 및
    상기 상위 스케줄러로부터 상기 이송 정보들을 각각 수신하며 상기 이송 정보들에 기초하여 상기 컨베이어들 각각의 동작을 제어하는 하위 스케줄러들을 포함하되,
    상기 컨베이어들 각각은 상기 컨베이어들 각각의 상부에 장애물이 존재하는지 여부를 검출하기 위한 장애물 센서를 구비하며,
    상기 컨베이어들 중 어느 하나의 상부에서 장애물이 검출되는 경우 상기 장애물이 검출된 컨베이어와 대응하는 하위 스케줄러는 장애물 검출 신호를 상기 상위 스케줄러로 전송하고,
    상기 상위 스케줄러는 상기 장애물 검출 신호를 상기 장애물이 검출된 컨베이어의 상류측 컨베이어들과 대응하는 하위 스케줄러들로 전송하며,
    상기 하위 스케줄러들은 상기 물건이 적어도 상기 장애물이 검출된 컨베이어의 바로 앞에 위치하는 컨베이어 상에서 정지되도록 상기 상류측 컨베이어들의 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  10. 제1항 또는 제9항에 있어서, 상기 이송 트랙은 서로 교차하는 제1 이송 트랙 및 제2 이송 트랙을 포함하고,
    상기 제1 이송 트랙과 상기 제2 이송 트랙의 교차 지점에 위치되는 컨베이어는 회전 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 제1 이송 트랙과 상기 제2 이송 트랙 상에 상기 교차 지점으로 향하는 제1 물건과 제2 물건이 각각 존재하는 경우 상기 상위 스케줄러는 상기 제1 물건과 상기 제2 물건의 우선 순위를 설정하여 상기 교차 지점에서 상기 제1 물건과 상기 제2 물건 사이의 충돌을 방지하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.
  12. 복수의 컨베이어들을 연결하여 구성되는 이송 트랙 상에서 물건의 이송을 위한 이송 경로를 생성하는 단계;
    상기 이송 경로를 구성하는 컨베이어들 각각의 동작 제어를 위한 이송 정보들을 생성하는 단계; 및
    상기 이송 정보들에 기초하여 상기 컨베이어들 각각의 동작을 제어함으로써 상기 물건을 목적하는 위치까지 이송하는 단계를 포함하되,
    상기 이송 정보들 각각은 대응하는 컨베이어를 기준으로 기 설정된 개수의 하류측 컨베이어들의 이상 유무에 대한 정보들을 포함하고,
    상기 기 설정된 개수의 하류측 컨베이어들 중 어느 하나에 동작 이상이 발생되는 경우 상기 동작 이상이 발생된 컨베이어의 상류측에서 상기 물건의 이동이 정지되도록 상기 컨베이어들의 동작이 제어되는 것을 특징으로 하는 이송 방법.
  13. 제12항에 있어서, 상기 이송 정보들은 상기 물건의 위치, 상기 컨베이어들의 속도, 상기 컨베이어들의 이상 유무 및 상기 컨베이어들 주위에 장애물이 존재하는지 여부에 따라 실시간으로 갱신되는 것을 특징으로 하는 이송 방법.
  14. 복수의 컨베이어들을 연결하여 구성되는 이송 트랙 상에서 물건의 이송을 위한 이송 경로를 생성하는 단계;
    상기 이송 경로를 구성하는 컨베이어들 각각의 동작 제어를 위한 이송 정보들을 생성하는 단계;
    상기 이송 정보들에 기초하여 상기 컨베이어들 각각의 동작을 제어함으로써 상기 물건을 목적하는 위치까지 이송하는 단계; 및
    상기 물건을 이송하는 동안 상기 컨베이어들 각각의 상부에 장애물이 존재하는지 여부를 검출하는 단계를 포함하되,
    상기 컨베이어들 중 어느 하나의 상부에서 장애물이 검출되는 경우 상기 물건이 적어도 상기 장애물이 검출된 컨베이어의 바로 앞에 위치하는 컨베이어 상에서 정지되도록 상기 컨베이어들의 동작이 제어되는 것을 특징으로 하는 이송 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102497766B1 (ko) * 2022-09-14 2023-02-07 정진서 파우치형 포장지 제조장치

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008150205A (ja) * 2006-12-20 2008-07-03 Shinmei Ind Co Ltd ストック装置
KR102044931B1 (ko) 2018-11-20 2019-11-14 주식회사 알티자동화 이송관리시스템의 실시간 위치정보 관리 장치 및 방법

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0383615B1 (en) * 1989-02-16 1993-11-18 MANNESMANN Aktiengesellschaft Conveyors having induction from plural lines
US5150781A (en) * 1990-06-27 1992-09-29 Xerox Corporation Modular conveyor system
JPH05193722A (ja) * 1992-06-26 1993-08-03 Daifuku Co Ltd コンベヤ装置
US5711410A (en) * 1996-02-02 1998-01-27 United Parcel Service Of America, Inc. Conveyor control system
JP3378462B2 (ja) * 1997-03-31 2003-02-17 伊東電機株式会社 コンベアシステム及びその制御方法
WO2000071445A1 (en) * 1999-05-20 2000-11-30 Middlesex General Industries, Inc. Method and apparatus for a modular conveyor control system
JP3421689B2 (ja) * 2000-04-06 2003-06-30 伊東電機株式会社 ローラコンベアのゾーン制御方法並びにゾーンコントローラ
US6763931B1 (en) * 2001-11-06 2004-07-20 Christopher R. Brehm Conveyor system
EP1361182B1 (en) * 2002-05-08 2005-12-14 Itoh Denki Co., Ltd. Conveying apparatus
DE10257466A1 (de) * 2002-12-09 2004-07-08 Siemens Ag Förderer für Güter, insbesondere Behälter für Gepäckstücke und Verfahren zur Steuerung eines Förderers für Güter
JP3799404B2 (ja) * 2003-08-25 2006-07-19 伊東電機株式会社 ゾーン制御式コンベアシステムおよびゾーンコントローラ
JP4618448B2 (ja) * 2005-11-09 2011-01-26 株式会社安川電機 整列コンベア装置
DE102006058893A1 (de) * 2006-12-05 2008-06-19 SSI Schäfer PEEM GmbH Intelligente Stauförderbahn
US7909750B2 (en) * 2007-08-13 2011-03-22 Illinois Tool Works Inc. Method and apparatus for feeding large packages or bags into a reclosable zipper profile attaching device
JP5458633B2 (ja) * 2008-06-20 2014-04-02 株式会社Ｉｈｉ 処理設備及び搬送制御方法
JP5222689B2 (ja) * 2008-10-24 2013-06-26 伊東電機株式会社 コンベア装置、並びに、コンベア制御装置
KR101010718B1 (ko) 2009-02-09 2011-01-25 부산대학교 산학협력단 복수개의 자원을 점유하는 무인 반송차의 동적 주행방법
JP5513137B2 (ja) * 2010-01-05 2014-06-04 トーヨーカネツソリューションズ株式会社 アキュムレーションコンベヤ
US8550234B2 (en) * 2010-12-07 2013-10-08 Interroll Corporation Sequential controlled start-up for zoned conveyor systems
US8695786B2 (en) * 2010-12-07 2014-04-15 Interroll Holding Ag Singulated release for zoned conveyor systems
US8757363B2 (en) * 2011-05-09 2014-06-24 Insight Automation, Inc. Conveyor controllers
FR2991974B1 (fr) * 2012-06-15 2016-05-06 Savoye Systeme de convoyage modulaire, dispositif de controle et procede correspondants
KR102014299B1 (ko) * 2013-02-07 2019-08-26 주식회사 원익아이피에스 대상물 이송 시스템 및 이를 위한 캐리어 위치 초기화 방법
US8983651B2 (en) * 2013-03-14 2015-03-17 Insight Automation, Inc. Zone controller for modular conveyor system
KR101440569B1 (ko) 2013-06-04 2014-09-17 (주)엔스퀘어 무인반송차량 관리 시스템
DE102015106034A1 (de) * 2015-04-20 2016-10-20 Interroll Holding Ag Installationsverfahren zum Einrichten von Fördervorrichtungen
DE102015106026B3 (de) * 2015-04-20 2016-08-25 Interroll Holding Ag Verfahren zum Austausch einer Steuerungseinheit in einer Fördervorrichtung
EP3173186A1 (de) * 2015-11-24 2017-05-31 Siemens Aktiengesellschaft Maschinenstation mit einem linearantrieb, anlage und verfahren zur bearbeitung eines bearbeitungsgutes
JP2017120510A (ja) * 2015-12-28 2017-07-06 株式会社ダイフク 物品搬送設備
CN109789545B (zh) * 2016-10-12 2022-03-18 Abb瑞士股份有限公司 用于控制输送路径的速度的方法和系统
JP6729466B2 (ja) * 2017-03-28 2020-07-22 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP7164319B2 (ja) * 2018-05-10 2022-11-01 Juki株式会社 搬送装置、実装装置、搬送方法
KR101991841B1 (ko) * 2018-12-05 2019-06-21 크린팩토메이션 주식회사 반송 경로 분산 제어형 컨베이어 장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008150205A (ja) * 2006-12-20 2008-07-03 Shinmei Ind Co Ltd ストック装置
KR102044931B1 (ko) 2018-11-20 2019-11-14 주식회사 알티자동화 이송관리시스템의 실시간 위치정보 관리 장치 및 방법

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