KR102014299B1 - 대상물 이송 시스템 및 이를 위한 캐리어 위치 초기화 방법 - Google Patents

대상물 이송 시스템 및 이를 위한 캐리어 위치 초기화 방법 Download PDF

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Abstract

대상물 이송 시스템 및 이를 위한 캐리어 위치 초기화 방법을 개시한다.
본 기술의 일 실시예에 의한 대상물 이송 시스템은 적어도 하나의 챔버를 포함하는 시스템 내에 마련된 이송라인을 따라 복수의 캐리어를 일렬로 연속 이동시키는 이송장치, 이송장치를 기 설정된 단위로 독립적으로 구동하는 드라이버 유닛, 이송라인을 따라 지정된 제 1 간격으로 설치되어 캐리어의 존재 유무를 검출하는 복수의 제 1 센서 및 제 1 센서들로부터 제공되는 캐리어 검출 정보를 이용하여 이송라인 상에 위치하는 복수의 캐리어들에 대한 초기 위치를 설정하되, 복수의 캐리어들 각각을 복수의 제 1 센서들 중 특정된 제 1 센서의 위치로 각각 이송하도록 드라이버 유닛의 구동을 제어하고, 이송 완료된 캐리어 각각의 위치를 해당 캐리어에 대한 초기 위치로 설정하는 제어 시스템을 포함할 수 있다.

Description

대상물 이송 시스템 및 이를 위한 캐리어 위치 초기화 방법{Object Transfer System and Initialization Method for Positioning of Carrier Therefor}
본 발명은 대상물 처리 시스템에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 대상물 이송 시스템 및 이를 위한 캐리어 위치 초기화 방법에 관한 것이다.
대상물 이송 시스템은 이송 라인을 따라 대상물을 이송하는 다양한 분야에 적용된다.
기판 처리 장치는 진공 상태의 챔버에서 대상 기판에 물리적/화학적 증착, 코팅 등의 공정을 수행하는 장치로, 이 또한 넓은 의미에서 이송 시스템에 포함되는 것으로 볼 수 있다.
기판 처리 장치는 클러스터 타입으로부터 인라인 타입으로 발전해 왔으며, 인라인 타입의 기판 처리 시스템은 증착원이 정지해 있는 상태에서, 피처리 기판이 일렬로 배열된 챔버를 순차적 및 연속적으로 통과하면서 공정이 진행되는 시스템이다.
일반적으로, 대상물 이송 시스템, 특히 인라인 기판 처리 시스템은 대상물을 캐리어 상에 안착하여 이송시키며, 대상물 이송을 완료한 캐리어는 초기 위치로 반송되어 다음 대상물을 이송하도록 제어된다. 아울러, 대상물을 이송 중인 캐리어의 위치는 다양한 방식에 의해 실시간으로 확인될 수 있다.
이러한 이송 시스템에서, 대상물 이송시 갑작스러운 전원 오프 등 패일(fail) 발생에 의해 시스템을 정지시켜야 할 상황이 발생할 수 있다. 이 경우 제어 시스템은 더 이상 캐리어의 현재 위치를 확인할 수 없으며, 따라서 시스템을 재가동하고 공정을 재시작하기 위해서는 이송 시스템의 이송 라인 상에 존재하는 모든 캐리어의 위치를 초기화하여야 한다.
도 1 및 도 2는 일반적인 대상물 이송 시스템에서의 캐리어 위치 초기화 방법을 설명하기 위한 도면으로, 인라인 타입 기판 처리 시스템을 예로 들어 설명한다.
도 1을 참조하면, 인라인 타입 기판 처리 시스템(10)은 복수의 챔버(110-1, 110-2, 110-3, 110-4, 110-5)를 포함하며, 이들 복수의 챔버(110-1, 110-2, 110-3, 110-4, 110-5)는 로딩 챔버, 적어도 하나의 공정 챔버, 언로딩 챔버 등을 포함할 수 있다.
챔버(110-1)의 입구 및 각 챔버(110-1, 110-2, 110-3, 110-4, 110-5) 사이에는 게이트(120-1, 120-2, 120-3, 120-4, 120-5)가 구비될 수 있다.
각 챔버(110-1, 110-2, 110-3, 110-4, 110-5) 내에는 이송장치(130)가 설치되며, 복수의 캐리어(140-1, 140-2, 140-3, 140-4, 140-5)가 이송 장치(130) 상을 이동하면서 대상물(미도시)을 이송하고, 대상물 이송을 완료한 캐리어(140-1, 140-2, 140-3, 140-4, 140-5)는 초기 위치로 반환된다.
이송 장치(130)가 구동되면 복수의 캐리어(140-1, 140-2, 140-3, 140-4, 140-5)는 이송 장치(130)의 이송 라인을 따라 이동하게 되며, 이때 이동 중인 캐리어(140-1, 140-2, 140-3, 140-4, 140-5)의 위치는 다양한 센서 장치 중 어느 하나에 의해 검출될 수 있다.
그런데, 페일 발생 등의 이상상황 발생으로 시스템(10)이 불시에 정지하게 되면, 제어 시스템(미도시)은 캐리어(140-1, 140-2, 140-3, 140-4, 140-5)의 위치를 확인할 수 없게 되고, 따라서 시스템(10) 재가동 후 캐리어(140-1, 140-2, 140-3, 140-4, 140-5)의 위치를 초기화하는 과정이 선행될 필요가 있다.
이를 위해, 현재는 이송 장치(130) 상에 존재하는 모든 캐리어(140-1, 140-2, 140-3, 140-4, 140-5)를 일방향으로 정렬시키는 홈잉(homing) 방식을 채택하였으며, 도 2를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 2를 참조하면, 캐리어(140-1, 140-2, 140-3, 140-4, 140-5)의 위치를 초기화하기 위해 각각의 캐리어(140-1, 140-2, 140-3, 140-4, 140-5)는 기 결정된 특정 방향으로 이동될 수 있다. 도 2에는 초기화를 위한 이동 방향이 인라인 타입 기판 처리 시스템(10)의 입구측(최 좌측)으로 결정된 경우를 예로 들어 도시하였다.
홈잉의 기준이 되는 위치, 예를 들어 최 좌측 챔버(110-1) 내의 지정된 위치에는 캐리어(140-1, 140-2, 140-3, 140-4, 140-5)를 감지하기 위한 센서(150)가 설치되며, 홈잉을 위해 이송장치(130) 상에 존재하는 모든 캐리어를 좌측으로 이동시킨다. 이에 따라 최 좌측에 위치해 있던 캐리어(140-1)가 센서(150)에서 감지되어 그 위치가 확인되고, 그 뒷단의 캐리어들(140-2, 140-3, 140-4, 140-5)의 위치는 최 좌측 캐리어(140-1)의 위치에 캐리어의 길이를 더하여 결정된다.
즉, 최 좌측의 캐리어(140-1)의 초기 위치는 센서(150)의 위치를 기준 위치(Pref)로 하여 결정되고, 그 이후에 정렬되는 캐리어(140-2, 140-3, 140-4, 140-5)의 위치는 기준 위치(Pref)와 캐리어의 길이(ℓ)에 의해 결정될 수 있다. 따라서 일측(즉, 좌측)으로 정렬되는 모든 캐리어(140-1, 140-2, 140-3, 140-4, 140-5)는 서로 이격되지 않도록 밀착시켜야 초기 위치를 정밀하게 제어할 수 있다.
이와 같이, 이러한 시스템(10)에서는 이송 장치(130) 상에 존재하는 모든 캐리어(140-1, 140-2, 140-3, 140-4, 140-5)를 한 방향으로 정렬한다. 따라서, 모든 캐리어(140-1, 140-2, 140-3, 140-4, 140-5)가 일측으로 정렬될 때까지 시스템(10)이 대기하여야 하므로, 이송 장치(130) 상에 존재하는 캐리어의 개수에 비례하여 초기 위치 결정 시간이 증가하게 된다.
또한, 이송장치(130)는 이송라인 전체를 통해 동일한 속도 및 방향으로 동시에 제어된다. 따라서 홈잉을 위해 이동하는 선두 캐리어(140-1)가 센서(150)에 감지된 후에도 뒷단의 캐리어들(140-2~140-5)을 이동시키기 위해 이송장치(130)가 계속 움직여 캐리어 간을 밀착 정렬시킴에 따라, 캐리어(140-2, 140-3, 140-4, 140-5)를 이동시킬 때 상호 충돌이 일어날 수 있다.
본 발명의 실시예는 캐리어의 위치를 고속으로 초기화할 수 있는 대상물 이송 시스템 및 이를 위한 캐리어 위치 초기화 방법을 제공한다.
본 발명의 다른 실시예는 캐리어 간의 충돌 없이 초기 위치를 결정할 수 있는 대상물 이송 시스템 및 이를 위한 캐리어 위치 초기화 방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 의한 대상물 이송 시스템은 적어도 하나의 챔버를 포함하는 시스템 내에 마련된 이송라인을 따라 복수의 캐리어를 일렬로 연속 이동시키는 이송장치; 상기 이송장치를 기 설정된 단위로 독립적으로 구동하는 드라이버 유닛; 상기 이송라인을 따라 지정된 제 1 간격으로 설치되어 캐리어의 존재 유무를 검출하는 복수의 제 1 센서; 및 상기 제 1 센서들로부터 제공되는 캐리어 검출 정보를 이용하여 상기 이송라인 상에 위치하는 상기 복수의 캐리어들에 대한 초기 위치를 설정하되, 상기 복수의 캐리어들 각각을 상기 복수의 제 1 센서들 중 특정된 제 1 센서의 위치로 각각 이송하도록 상기 드라이버 유닛의 구동을 제어하고, 이송 완료된 캐리어 각각의 위치를 해당 캐리어에 대한 초기 위치로 설정하는 제어 시스템;을 포함할 수 있다.
다른 관점에서, 본 발명의 일 실시예에 의한 캐리어 위치 초기화 방법은 이송라인을 따라 기 설정된 제 1 간격으로 설치되어 캐리어의 존재 유무를 검출하는 복수의 제 1 센서를 구비하며, 복수의 캐리어를 이동시키는 이송장치가 기 설정된 단위로 독립적으로 구동되는 이송 시스템에서의 캐리어 위치 초기화 방법으로서, 이송 시스템이 가동됨에 따라, 상기 제 1 센서들로부터 캐리어 검출 정보를 수신하는 단계; 상기 캐리어 검출 정보를 이용하여 상기 복수의 캐리어들 각각을 상기 복수의 제 1 센서들 중 특정된 제 1 센서의 위치로 각각 이송하도록 상기 이송장치를 독립적으로 구동하는 단계; 및 이송 완료된 캐리어 각각의 위치를 해당 캐리어에 대한 초기 위치로 설정하는 단계;를 포함할 수 있다.
본 기술에 의하면 캐리어의 정렬 시간을 단축시켜 캐리어의 초기 위치를 고속으로 결정할 수 있다. 또한, 캐리어 위치 초기화시 캐리어 간의 충돌을 방지하여 시스템 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
도 1 및 도 2는 일반적인 대상물 이송 시스템에서의 캐리어 위치 초기화 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 대상물 이송 시스템을 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 캐리어 위치 초기화 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 5는 본 발명에 적용되는 이송 장치의 일 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 도 5에 도시한 이송 장치의 정단면도이다.
도 7은 본 발명에 적용되는 이송 장치의 다른 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 의한 대상물 이송 시스템을 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 도 8에 도시한 대상물 이송 시스템에서의 캐리어 위치 초기화 방법을 설명하기 위한 개념도이다.
도 10은 본 발명이 적용되는 연속 기판 처리 시스템의 일 예시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 보다 구체적으로 설명한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 대상물 이송 시스템을 설명하기 위한 도면으로, 인라인 타입 기판 처리 시스템을 예로 들어 도시하였다.
도 3을 참조하면, 이송 시스템(20)은 일렬로 배열되는 복수의 챔버(210-1 ~ 210-5), 입구측 챔버(210-1)의 입구 및 각 챔버(210-1 ~ 210-5) 사이에 구비되는 게이트(220-1 ~ 220-5), 입구측 챔버(210-1)로부터 끝단 챔버(210-5)까지의 이송경로를 따라 설치되는 이송장치(230), 이송장치(230)를 구동하는 드라이버 유닛(231) 및 이송라인 상의 지정된 위치, 예를 들어 이송장치(230) 상에 지정된 간격으로 설치되는 복수의 센서(235)를 포함할 수 있다.
이러한 시스템(20)은 적어도 하나의 캐리어(240-1 ~ 240-5)(또는 대상물이 안착된 캐리어)를 순차적으로 제공받아, 이송 장치(230)에 의해 결정되는 이송 경로를 따라 지정된 속도 및 위치로 캐리어를 이동시킨다.
제어 시스템(260)은 메모리에 저장된 제어 소프트웨어를 실행하여 시스템(20)의 동작 전반에 관한 제어를 담당한다. 구체적으로는 전원 제어, 대상물 이송 제어, 증착 소스 온도 제어 등을 수행하며, 운용자로부터의 명령을 제공받기 위한 입력 장치와 시스템(20)의 상태를 모니터링할 수 있는 출력장치를 포함할 수 있다.
한편, 이러한 시스템(20)에서 급작스러운 전원 오프 등의 페일이 발생하여 시스템(20)이 중단되고 이를 다시 재가동하는 경우 캐리어(240-1 ~ 240-5)의 위치를 초기화하여야 한다. 이를 위해, 제어 시스템(260)은 각 센서(235)의 위치 정보와 캐리어(240-1 ~ 240-5)의 길이를 미리 저장해 두고 있다. 그리고, 각각의 센서(235)로부터 캐리어(240-1 ~ 240-5)가 검출되는지 확인하고, 드라이버 유닛(231)에 의해 이송 장치(230)를 지정된 단위로 독립적으로 구동하여 각각의 캐리어(240-1 ~ 240-5)를 기 결정된 각각의 센서(235)에 일대일 정렬시킨다.
본 발명의 일 실시예에서, 제어 시스템(260)은 센서(235)로부터 제공되는 캐리어 검출정보를 이용하여, 이송라인 상에 위치하는 복수의 캐리어(240-1 ~ 240-5) 각각에 대한 초기 위치를 설정한다. 초기 위치를 설정할 때에는 캐리어(240-1 ~ 240-5)의 이송 방향과 초기 위치정보를 함께 결정할 수 있다. 또한, 복수의 캐리어들(240-1 ~ 240-5)을 복수의 센서(235) 중 특정된 제 1 센서의 위치, 즉 초기 위치까지 각각 이동하도록 드라이버 유닛(231)의 구동을 제어하고, 이송 완료된 캐리어(240-1 ~ 240-5) 각각의 위치를 해당 캐리어(240-1 ~ 240-5)에 대한 초기 위치로 설정한다.
여기에서, 이송장치(230)는 독립적으로 구동될 수 있도록 지정된 단위, 예를 들어 캐리어를 전진 또는 후진시킬 수 있는 최소 단위로 구분되고, 이러한 최소 단위는 '트랙'이라 지칭할 수 있다. 그리고 드라이버 유닛(231)은 각 트랙을 독립적으로 구동하여 이송장치(230) 상의 캐리어들(240-1 ~ 240-5)이 각각 독립적인 위치로 정렬되도록 한다.
도 4를 참조하여 보다 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 캐리어 위치 초기화 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
시스템(20) 재가동 후 캐리어(240-1 ~ 240-5)의 위치를 초기화하기 위한 이벤트가 발생하면(S101), 제어 시스템(260)은 각각의 센서(235)로부터 대상물 감지 여부에 대한 신호(캐리어 검출정보)를 수신한다(S103). 각 센서(235)의 위치 정보 및 캐리어(240-1 ~ 240-5)의 길이는 제어 시스템(260)에서 이미 알고 있으며, 따라서 각 센서(235)로부터 수신되는 신호에 따라 제어 시스템(260)은 캐리어(240-1 ~ 240-5) 검출 여부 및 검출 위치를 개략적으로 알 수 있다.
이후, 제어 시스템(260)은 캐리어(240-1 ~ 240-5)의 검출 위치와 캐리어의 길이를 기초로, 캐리어별로 홈잉 즉, 초기 위치 설정에 사용할 센서(235)를 결정한다(S105). 그리고, 결정된 센서(235) 대응 위치로 캐리어를 이송시키기 위해 드라이버 유닛(231)을 제어하고, 이에 따라 이송장치(230)가 트랙별로 독립 구동된다(S107).
이송장치(230)가 트랙별로 개별 제어되어 캐리어가 각각의 기 설정된 센서측으로 이동되면 해당 센서의 위치를 각 캐리어의 초기 위치로 설정하는 홈잉이 완료된다(S109). 이때, 캐리어의 초기 위치를 정확히 설정하기 위해 기 설정된 센서의 위치에 캐리어의 일 측단을 정렬시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 홈잉에 사용할 센서는 각 캐리어의 개략적인 위치를 기준으로 각 캐리어를 검출한 센서의 좌측 또는 우측 최근방 센서로 결정할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
또한, 센서(235)에 의해 캐리어가 검출되면(S103) 이송 경로의 기준위치를 기초로 각 캐리어(240-1 ~ 240-5)의 정렬 방향을 결정한 후(S111), 결정된 정렬 방향에 따라 이송장치(230)를 개별 제어(S107)하는 것도 가능하다. 예를 들어 이송경로의 중심을 기준으로 좌측에 위치한 센서(235)에 의해 검출된 캐리어(240-1, 240-2)는 해당 캐리어의 좌측에 위치한 센서로 홈잉하도록 하고, 우측에 위치한 센서(235)에 의해 검출된 캐리어(240-4, 240-5)는 해당 캐리어의 우측에 위치한 센서에 홈잉하도록 하는 것도 가능하다.
다만, 특정 캐리어(240-3)가 이송 경로의 중심에 존재하는 것으로 검출되는 경우에는 좌측 또는 우측 중 어느 한 쪽의 센서로 정렬되도록 기 설정해 두는 것이 바람직하다.
도 3 및 도 4를 참조하여 설명한 실시예에서는 캐리어의 위치 초기화시 이송경로 상에 존재하는 센서로부터 캐리어가 검출되면, 각 캐리어의 좌측 근방 또는 우측 근방의 센서를 홈잉 센서로 결정하여 홈잉을 수행한다.
본 실시예에서 각 센서(235)는 자력감지 센서 또는 광센서일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
또한, 이송장치(230)는 리니어 모터 시스템(Linear Motor System;LMS) 또는 모터에 의해 회전하는 롤러일 수 있다.
도 5는 본 발명에 적용되는 이송 장치를 설명하기 위한 도면이고, 도 6은 도 5에 도시한 이송 장치의 정단면도로서, 리니어 모터 시스템을 나타낸다.
본 발명의 일 실시예에 따른 이송장치(230)는 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 캐리어(240)의 이송을 위해 마련되는 구동유닛(231)과, 이 구동유닛(231)에 의한 캐리어(240)의 이송을 안내하는 가이드유닛(250)을 포함한다.
구동유닛(231)은 캐리어(240)의 이송을 위해 가이드유닛(250)에 의해 안내되는 캐리어(240)에 구동력을 제공하는 리니어 모터 시스템일 수 있다. 즉, 본 발명의 일 실시예에서는 캐리어(240)에 설치되는 영구자석(241)과, 구동유닛(231)에 설치되는 전자석(2311)에 의해 이송장치(230)를 구성한다. 전자석(2311)은 각 챔버의 내부에서 영구자석(241)과 일정 간격으로 이격 설치된다.
구체적으로, 영구자석(241)은 캐리어(240)의 양측 상면 또는 하면 중 적어도 일측에 설치되는데, 비용절감을 위해 캐리어(240)의 일측 상면에만 설치되는 것이 바람직하다.
전자석(2311)은 상술한 바와 같이 챔버의 내부에서 영구자석(241)과 일정 간격으로 이격 설치된다. 아울러, 전자석(2311)은 각 챔버의 내부에 직접 설치되는 것이 아닌 대기박스(2313)의 내부에 설치된다. 전자석(2311)은 제조 시 에폭시 등의 수지재질을 포함하는데, 이러한 에폭시는 진공환경에서 파티클의 요인이 되기 때문에 대기와 같은 압력으로 조성되는 대기박스(2313)의 내부에 설치되는 것이 바람직하다.
또 전자석(2311)은 캐리어(240)가 어떤 위치에 있더라도 캐리어(240)의 영구자석(241)이 최소 하나의 전자석(2311)에 접촉되어 캐리어(240)가 움직일 수 있도록 설치되는데, 영구자석(241)은 각 전자석(2311) 사이의 간격 이상의 길이를 갖는 것이 바람직하다.
가이드유닛(250)은 캐리어(240)에 설치되는 제1가이드부재(243)와, 각 챔버의 내부에 설치되어 제1가이드부재(243)와 접촉되는 제2가이드부재(251)를 포함한다.
예를 들면, 제1가이드부재(243)는 캐리어(240)의 양측에 설치되는 레일부재 또는 다수의 롤러부재를 포함할 수 있고, 제2가이드부재(251)는 각 챔버의 내부에 설치되어 제1가이드부재(243)와 접촉되는 다수의 롤러부재 또는 레일부재를 포함할 수 있는데, 본 발명의 일 실시예에서는 도시된 바와 같이 제1가이드부재(243)로 다수의 롤러부재(244)를 채용하고, 제2가이드부재(251)로 레일부재(252)를 채용한 것을 예로 들어 설명한다.
이때, 다수의 롤러부재(244)는 레일부재(252)의 상면과 하면에 접촉되어 구름 운동하는 제1,2롤러(244a,244b)가 한 조를 이루되 다수의 행으로 마련된다. 본 발명의 실시예에 있어서, 상술한 가이드유닛(250)은 다수의 롤러부재와 레일부재로 한정되지 않는다. 예를 들어 LM가이드, 가이드봉 등 다양한 구조를 채택할 수도 있다.
따라서 본 발명의 일 실시예에서는 상술한 장치를 가짐에 따라, 전자석(2311) 각각을 개별 제어하거나, 또는 인접하는 지정된 복수 개의 전자석(2311)을 그룹핑하고 독립적으로 제어함으로써 캐리어를 복수 방향으로 이송시킬 수 있음은 물론, 각각의 캐리어를 독립적으로 이송시킬 수 있다.
도 5 및 도 6에 도시한 이송 장치(230)를 이송 시스템에 채용하는 경우, 센서(235)는 자력 감지 센서, 예를 들어 홀(Hall) 센서로 구성할 수 있다. 즉, LMS 방식의 이송 장치(230)는 캐리어(240)와 구동유닛(231)의 접근시 자기장이 발생하므로, 자기장의 세기에 따라 전압이 변하는 홀 센서를 이용하여 캐리어의 위치를 검출할 수 있다.
아울러, 도 5 및 도 6에 도시한 이송 장치(230)는 본 출원인에 의해 2012년 9월 20일자로 출원된 출원번호 제10-2012-0104810호(발명의 명칭 : 박막 증착 설비 및 이의 이송 시스템) 및 본 출원인에 의해 2012년 9월 20일자로 출원된 출원번호 제10-2012-0104815호(발명의 명칭 : 이송장치)에 개시되어 있다.
도 7은 본 발명에 적용되는 이송 장치의 다른 예를 설명하기 위한 도면으로, 모터에 의해 회전 운동하여 캐리어를 이송하는 롤러를 이용하는 이송장치를 나타낸다.
도 7에 도시한 것과 같이, 캐리어의 이송 방향을 따라 복수의 롤러(230-1)가 등간격으로 설치된다. 각각의 롤러(230-1)에는 모터(M) 및 드라이버(D)가 전기적으로 연결된다. 드라이버(D)는 제어 시스템(260)의 제어에 따라 모터(M)를 구동하며, 특히 본 발명에서는 홈잉 동작시 지정된 단위 즉, 트랙별로 모터(M)를 구동한다. 모터(M)의 동력은 롤러(230-1)를 회전시켜 캐리어가 기 설정된 방향으로 이송되도록 한다.
도 7에서 2301은 회전축을 나타내고, 2303은 회전축(2301)을 중심으로 회전하는 회전부를 나타낸다.
본 발명은 이송장치(230)로서 LMS 또는 롤러를 이용하는 이송 시스템에서 캐리어의 홈잉시 이송장치(230)를 지정된 단위(트랙)로 독립 구동시켜 캐리어를 이동시킨다. 그리고, 각각의 캐리어는 기 결정된 각각의 센서에 정렬되어 초기 위치가 설정된다.
상술하였듯이, 센서(235)로는 자력감지 센서 또는 광센서를 이용할 수 있는데, 자력감지 센서의 경우 정밀한 위치제어 능력이 다소 부족하다. 또한, 캐리어의 존재 여부를 판별하는 센서를 홈잉 센서로도 이용하기 때문에 제어 과정이 다소 복잡해질 수도 있다. 따라서, 캐리어 검출센서와 홈잉용 센서를 별도로 설치하여 홈잉을 수행하는 것도 가능하며, 이에 대해 도 8을 참조하여 설명한다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 의한 대상물 이송 시스템을 설명하기 위한 도면이다.
도 8에 도시한 이송 시스템(30)은 인라인 타입 기판 처리 시스템을 예로 들어 도시하였으며 주요 구성 부분은 도 3에 도시한 시스템(20)과 동일하거나 유사하다.
다만, 본 실시예에 의한 이송 시스템(30)은 복수의 챔버에 의해 이루어지는 이송 라인(L) 상에 지정된 제 1 간격으로 설치되는 제 1 센서(235)에 더하여, 지정된 제 2 간격으로 설치되는 제 2 센서(310-1 ~310-8)를 더 포함한다는 점에서 도 3에 도시한 시스템(20)과 구별된다. 여기에서, 제 1 센서(235)는 검출센서라 지칭할 수 있고, 제 2 센서(310-1 ~ 310-8)는 홈잉 센서라 지칭할 수 있으며, 제 1 센서(235)는 예를 들어 자력 감지 센서로 구성할 수 있고, 제 2 센서(310-1 ~ 310-8)는 광 센서로 구성할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
제어 시스템(260)은 제 1 센서(235) 및 제 2 센서(310-1 ~ 310-8)의 위치 정보와 캐리어(240-1 ~ 240-5)의 길이를 기 저장해 두고 있으며, 시스템(30)의 재가동시 캐리어(240-1 ~ 240-5)의 위치를 초기화하기 위해 제 1 센서(235)로부터 캐리어(240-1 ~ 240-5) 위치정보를 수신한다. 그리고, 제 1 센서(235)의 위치를 기준으로 캐리어의 위치 초기화에 사용할 제 2 센서(310-1 ~ 310-8)를 각 캐리어에 대해 결정한다. 일 예로, 홈잉에 사용할 센서는 캐리어를 검출한 제 1 센서(235)의 좌측 또는 우측의 최근방 제 2 센서(310-1 ~ 310-8)일 수 있다.
즉, 제 1 센서(235)에서 검출한 각 캐리어의 위치정보와 제 2 센서(310-1 ~ 310-8)의 위치정보를 이용하여, 각 캐리어의 이송방향을 포함하는 초기 위치정보를 결정하고, 제 2 센서(310-1 ~ 310-8) 및 초기 위치정보를 이용하여 각각의 캐리어를 해당 초기 위치까지 이송하는 것이다.
본 발명의 다른 실시예에서, 제어 시스템(260)은 제1 센서(235)로부터 캐리어 검출정보가 수신됨에 따라 각 캐리어(240-1 ~ 240-5)의 정렬 방향을 결정하는 것도 가능하다. 그리고, 이 경우 결정된 정렬 방향에 따라, 각각의 캐리어(240-1 ~ 240-5)를 정렬 방향에서 가장 근접한 제 2 센서(310-1 ~ 310-8)에 정렬시킬 수 있다.
도 9를 참조하여 보다 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
도 9는 도 8에 도시한 대상물 이송 시스템에서의 캐리어 위치 초기화 방법을 설명하기 위한 개념도이다.
시스템(30) 재가동 후 캐리어(240-1 ~ 240-5)의 위치를 초기화하기 위한 이벤트가 발생하면, 제어 시스템(260)은 각각의 제 1 센서(235)로부터 대상물 감지 여부에 대한 신호(캐리어 검출정보)를 수신하고, 캐리어 검출정보를 전송한 제 1 센서(235)의 위치 정보에 따라 각 캐리어(240-1 ~ 240-5) 의 개략적인 위치를 판별한다.
각 캐리어(240-1 ~ 240-5)에 대한 개략 위치가 판별되면, 제어 시스템(260)은 캐리어(240-1 ~ 240-5)의 길이 정보를 기초로 하여 해당 캐리어를 검출한 제 1 센서(235)의 좌측 또는 우측의 최근접 제 2 센서를 검출한다. 그리고, 제어 시스템(260)은 기 검출한 제 2 센서 대응 위치로 캐리어를 이송시키기 위해 드라이버 유닛(231)을 제어하여, 드라이버 유닛(231)에 의해 이송장치(230)를 트랙별로 독립 구동한다.
이에 따라, 캐리어(240-1, 240-2, 240-3)가 각각의 제 2 센서(310-1 ~ 310-8) 대응 위치로 이송 및 정렬되고, 제 2 센서(310-1 ~ 310-8)의 위치 정보에 기초하여 초기 위치가 설정된다.
캐리어는 좌측 및 우측으로 나누어 홈잉하는 것도 가능하다. 이 경우, 제어 시스템(260)은 기 결정된 기준 위치를 중심으로 하여, 기준 위치 좌측에 위치한 캐리어는 좌측으로, 기준 위치 우측에 위치한 캐리어는 우측으로 정렬할 것을 결정할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 기준 위치는 이송 장치(230) 상의 이송 경로(L)의 중심(C)일 수 있다. 따라서, 도 9에 도시한 것과 같이, 기준 위치(C) 좌측에 위치한 제 1 센서(235)에 의해 검출된 캐리어(240-1, 240-2)는 좌측으로 정렬하고, 기준 위치(C) 우측에 위치한 제 1 센서(235)에 의해 검출된 캐리어(240-4, 240-5)는 우측으로 정렬하도록 결정한다.
기준 위치(C)에서 검출되는 캐리어(240-3)가 존재하는 경우에는 어느 한 쪽으로 정렬되도록 기 설정해 두는 것이 바람직하며, 도 9에는 이러한 경우 해당 캐리어(240-3)를 좌측으로 정렬시키는 예를 도시하였다.
각 캐리어에 대한 이동 방향이 결정되면, 제어 시스템(260)은 캐리어의 정렬 방향에 따라, 해당 캐리어를 검출한 제 1 센서(235)의 최근접 제 2 센서를 검출한다. 그리고, 제어 시스템(260)은 이송 장치(230) 및 제 2 센서(310-1 ~ 310-8)를 제어하여, 캐리어(240-1, 240-2, 240-3)는 좌측의 최근접 제 2 센서에 정렬되도록 하고, 캐리어(240-4, 240-5)는 우측의 최근접 제 2 센서에 정렬되도록 한다.
결국 도 9에 도시한 것과 같이, 캐리어(240-1)는 좌측의 최근접 제 2 센서(310-1)에, 캐리어(240-2)는 제 2 센서(310-2)에, 캐리어(240-3)는 제 2 센서(310-4)에 독립적으로 정렬된다. 아울러, 캐리어(240-5)는 우측의 최근접 제 2 센서(310-8)에, 캐리어(240-4)는 제 2 센서(310-7)에 각각 독립적으로 정렬된다.
앞서 설명하였듯이, 제어 시스템(260)은 각 제 2 센서(310-1 ~ 310-8)의 위치(P1~P8)를 알고 있으며, 따라서 정렬이 완료된 후 각 캐리어(240-1 ~ 240-5)가 정렬된 제 2 센서(310-1 ~ 310-8)의 위치를 캐리어의 초기 위치로 설정할 수 있다.
여기에서, 제 1 센서(235) 및 제 2 센서(310-1 ~ 310-8)는 캐리어(240-1, 240-2, 240-3, 240-4, 240-5)의 존재를 감지하여 위치를 판별할 수 있는 센서 중에서 선택될 수 있다. 아울러, 제 1 센서(235) 간의 간격은 캐리어(240-1, 240-2, 240-3, 240-4, 240-5)의 이송 방향 길이(ℓ)보다 좁도록 설치되고, 제 2 센서(310-1 ~ 310-8) 간의 간격은 캐리어의 이송 방향 길이(ℓ)보다 넓고 캐리어의 이송 방향 길이의 2배 미만, 바람직하게는 캐리어 길이(ℓ)의 1.5배가 되도록 설정할 수 있다.
도 3 및 도 8에 도시한 시스템(30)은 캐리어를 각각 독립적으로 이동시키며, 나아가 양방향으로 이동시켜 위치 초기화를 수행한다.
즉, 시스템(20, 30)이 공정을 수행할 때에는 캐리어를 일방향으로 등속 이동시키지만, 캐리어 위치를 초기화하는 홈잉시에는 복수의 캐리어를 복수의 방향으로, 그리고 독립적으로 이송시킬 수 있는 이송 장치(230)가 필요하다. 따라서, 상술한 도 5 내지 도 7에서와 같이 드라이버 유닛(231)이 각 트랙을 독립적으로 구동하도록 하여 캐리어 간의 충돌 없이 고속으로 홈잉 동작을 수행할 수 있다.
상술한 시스템(20, 30)은 연속 기판 처리 시스템일 수 있으며, 도 10에는 그 일 예를 나타내었다.
도 10은 본 발명이 적용되는 연속 기판 처리 시스템의 일 예시도이다.
도 10을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 시스템(40)은 인라인으로 연결되는 다수의 챔버들을 포함한다. 이러한 다수의 챔버들은 로딩챔버(401), 제1플립챔버(402), 적어도 하나의 증착챔버(403), 제2플립챔버(404), 언로딩챔버(405), 리턴챔버(406), 캐리어 로딩챔버(407)를 포함할 수 있다.
아울러, 이송 시스템(40)은 제1이송경로(T1), 제2이송경로(T2), 제3이송경로(T3), 제4이송경로(T4) 및 제5이송경로(T5)를 포함한다.
이때, 각 이송경로를 통해 이송되는 대상물은 도 5 또는 도 7에서 설명한 이송장치(230)에 의해 이송될 수 있다.
먼저, 제1이송경로(T1)를 통해 제1부재가 만들어지는 과정 및 이 제1부재를 반전시키는 과정이 진행된다. 여기서 제1부재는 마스크 조립체가 얼라인된 기판이 안착되는 캐리어(240)를 지칭할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
구체적으로, 제1이송경로(T1)는 기판이 반입되고, 반입된 기판 측으로 마스크 조립체 및 캐리어(240)가 수직 이동됨에 따라 제1부재(예를 들어, 마스크 조립체가 얼라인된 기판이 안착되는 캐리어)가 만들어지는 제1경로(T1a)와, 제1경로(T1a)에서 만들어진 제1부재가 반전되는 제2경로(T1b)와, 제1경로(T1a)와 제2경로(T1b)의 사이에서 제1부재를 이송하는 제3경로(T1c)를 포함한다.
본 시스템(40)에서 기판은 증착면이 상방을 향하도록 한 상태에서 반입되는데, 제2이송경로(T2) 상에서 증발장치가 기판의 위치보다 하측에 위치됨에 따라 기판 상에 박막을 증착하기 위해서는 제1부재를 반전시키는 과정이 필요하다.
제2이송경로(T2)는 증착챔버(403)를 통과하는 경로로, 이를 통해 제1부재의 기판 상에 박막이 증착되는 과정이 진행된다.
제3이송경로(T3)는 제2이송경로(T2)를 경유한 제1부재를 전달받아 반전시키는 제1경로(T3a)와, 반전된 제1부재를 제2부재(기판)과 제3부재(마스크 조립체,캐리어)로 분리하고, 분리된 각 부재를 이송하는 제2경로(T3b)와, 제1경로(T3a)와 제2경로(T3b) 사이에서 제1부재를 이송하는 제3경로(T3c)를 포함한다.
여기에서, 제1경로(T3a)에서 제1부재를 다시 반전시키는 것은 후속 공정으로 이송되는 기판을 증착면의 손상 없이 원활하게 이송하기 위함이다. 그리고 제2경로(T3b)의 제2부재는 상술한 바와 같이 후속 공정을 위하여 외부로 반출되고, 제2경로(T3b)의 제3부재는 제1이송경로(T1)로 회송되기 위해 수직 이동된다.
제4이송경로(T4)는 제3이송경로(T3)에서 이송된 제3부재를 다시 제1이송경로(T1)로 회송하는 경로이다. 이러한 제4이송경로(T4)는 로딩챔버(401)와 언로딩챔버(405)의 사이에 배치되는 리턴챔버(406)에 마련되는데, 리턴챔버(406)는 증착챔버(403)의 상측에 위치될 수 있다.
제5이송경로(T5)는 제1이송경로(T1) 내지 제4이송경로(T4)를 통해 이송되는 캐리어(240)의 교체를 위해 다른 캐리어를 제공하는 경로이다. 이러한 제5이송경로(T5)는 언로딩챔버(405)의 상측에 위치하는 캐리어 로딩챔버(407)에 마련된다.
도 10에 도시한 이송 시스템(40) 즉, 연속 기판 처리 시스템에서도 이상 상황 발생에 따른 시스템(40) 정지 후 재가동시, 도 4에서 설명한 것과 같은 방식으로 캐리어를 독립적으로, 나아가 좌측 및 우측으로 이동시켜 그 위치를 초기화할 수 있다. 아울러, 캐리어를 최근접 센서에 위치시키게 되면 캐리어 간의 충돌 없이 보다 안정적이고 신뢰성 있는 초기화 과정이 수행될 수 있다.
이와 같이, 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
20, 30, 40 : 이송 시스템
230 : 이송 장치
235, 310-1~310-8 : 센서

Claims (25)

  1. 적어도 하나의 챔버를 포함하는 시스템 내에 마련된 이송라인을 따라 복수의 캐리어를 일렬로 연속 이동시키는 이송장치;
    상기 이송장치를 기 설정된 단위로 독립적으로 구동하는 드라이버 유닛;
    상기 이송라인을 따라 지정된 제 1 간격으로 설치되어 캐리어의 존재 유무를 검출하는 복수의 제 1 센서; 및
    상기 제 1 센서들로부터 제공되는 캐리어 검출 정보를 이용하여 상기 이송라인 상에 위치하는 상기 복수의 캐리어들에 대한 초기 위치를 설정하되, 상기 복수의 캐리어들 각각을 상기 복수의 제 1 센서들 중 특정된 제 1 센서의 위치로 각각 이송하도록 상기 드라이버 유닛의 구동을 제어하고, 이송 완료된 캐리어 각각의 위치를 해당 캐리어에 대한 초기 위치로 설정하는 제어 시스템;
    을 포함하는 이송 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어 시스템은, 상기 캐리어 검출 정보를 이용하여 각 캐리어의 이송 방향을 포함하는 초기 위치정보를 결정하고, 상기 초기 위치정보를 이용하여 각각의 캐리어를 초기 위치까지 이송하도록 상기 드라이버 유닛을 제어하는 것을 특징으로 하는 이송 시스템.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 이송 시스템은, 상기 이송라인을 따라 지정된 제 2 간격으로 설치되며 캐리어의 위치 정보를 검출하는 복수의 제 2 센서를 더 포함하며,
    상기 제어 시스템은, 상기 제 1 센서들로부터 제공되는 상기 캐리어 위치 정보 및 상기 제 2 센서의 위치정보를 이용하여 각 캐리어의 이송 방향을 포함하는 초기 위치정보를 결정하고, 상기 제 2 센서 및 상기 초기 위치정보를 이용하여 각각의 캐리어를 상기 결정한 초기 위치까지 이송하도록 상기 드라이버 유닛을 제어하는 것을 특징으로 하는 이송 시스템.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 드라이버 유닛은, 하나의 캐리어를 전진 또는 후진시킬 수 있는 최소 단위별로 상기 이송장치를 독립적으로 구동하는 이송 시스템.
  5. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 이송장치는 복수의 롤러를 포함하고,
    상기 드라이버 유닛은 상기 복수의 롤러를 상기 기 설정된 단위로 독립적으로 구동하는 모터를 포함하는 이송 시스템.
  6. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 캐리어는, 적어도 일 측면에 이송 방향을 따라 설치되는 적어도 하나의 영구자석 및 상기 캐리어의 양 측면에 설치되는 제 1 가이드 부재를 포함하고,
    상기 이송장치는 상기 영구자석과 대향되게 이격 설치되며 상기 이송라인을 따라 상호 이격 설치되는 복수의 전자석 및, 상기 영구자석 및 상기 전자석의 구동에 의해 이송되는 캐리어를 안내하도록 상기 제 1 가이드 부재에 대응하는 제 2 가이드 부재를 포함하는 이송 시스템.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 드라이버 유닛은, 상기 복수의 전자석을 각각 독립 구동하는 이송 시스템.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 드라이버 유닛은, 인접 설치된 지정된 복수 개의 상기 전자석을 그룹핑하여 그룹별로 독립 구동하는 이송 시스템.
  9. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 2 센서는 광센서인 이송 시스템.
  10. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 2 센서 간의 간격은 상기 캐리어의 이송방향 길이보다 넓고, 상기 캐리어의 이송방향 길이의 2배 미만인 이송 시스템.
  11. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 2 센서는 광 센서이고, 상기 제 1 센서는 자력감지 센서인 이송 시스템.
  12. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1 센서 간의 간격은 상기 캐리어의 이송방향 길이보다 좁은 이송 시스템.
  13. 이송라인을 따라 기 설정된 제 1 간격으로 설치되어 캐리어의 존재 유무를 검출하는 복수의 제 1 센서를 구비하며, 복수의 캐리어를 이동시키는 이송장치가 기 설정된 단위로 독립적으로 구동되는 이송 시스템에서의 캐리어 위치 초기화 방법으로서,
    이송 시스템이 가동됨에 따라, 상기 제 1 센서들로부터 캐리어 검출 정보를 수신하는 단계;
    상기 캐리어 검출 정보를 이용하여 상기 복수의 캐리어들 각각을 상기 복수의 제 1 센서들 중 특정된 제 1 센서의 위치로 각각 이송하도록 상기 이송장치를 독립적으로 구동하는 단계; 및
    이송 완료된 캐리어 각각의 위치를 해당 캐리어에 대한 초기 위치로 설정하는 단계;
    를 포함하는 캐리어 위치 초기화 방법.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 이송장치를 독립적으로 구동하는 단계는, 상기 캐리어 검출 정보를 이용하여 각 캐리어의 이송 방향을 포함하는 초기 위치정보를 결정하는 단계; 및
    상기 초기 위치정보를 이용하여 각각의 캐리어를 상기 초기 위치까지 이송하는 캐리어 이송 단계;
    를 더 포함하는 캐리어 위치 초기화 방법.
  15. 제 13 항에 있어서,
    상기 이송 시스템은 상기 이송라인을 따라 지정된 제 2 간격으로 설치되며 캐리어 위치정보를 검출하는 복수의 제 2 센서를 더 포함하고,
    상기 이송장치를 독립적으로 구동하는 단계는, 상기 제 1 센서들로부터 제공되는 상기 캐리어 위치정보 및 상기 제 2 센서의 위치정보를 이용하여 각 캐리어의 이송 방향을 포함하는 초기 위치정보를 결정하는 단계; 및
    상기 제 2 센서 및 상기 초기 위치정보를 이용하여 각각의 캐리어를 초기 위치까지 이송하는 캐리어 이송 단계;
    를 더 포함하는 캐리어 위치 초기화 방법.
  16. 제 13 항에 있어서,
    상기 이송장치를 독립적으로 구동하는 단계는, 하나의 캐리어를 전진 또는 후진시킬 수 있는 최소 단위별로 상기 이송장치를 독립적으로 구동하는 단계인 캐리어 위치 초기화 방법.
  17. 제 13 항에 있어서,
    상기 캐리어는, 적어도 일 측면에 이송 방향을 따라 설치되는 적어도 하나의 영구자석 및 상기 캐리어의 양 측면에 설치되는 제 1 가이드 부재를 포함하고,
    상기 이송장치는 상기 영구자석과 대향되게 이격 설치되며 상기 이송라인을 따라 상호 이격 설치되는 복수의 전자석 및, 상기 영구자석 및 상기 전자석의 구동에 의해 이송되는 캐리어를 안내하도록 상기 제 1 가이드 부재에 대응하는 제 2 가이드 부재를 포함하며,
    상기 이송장치를 독립적으로 구동하는 단계는, 상기 복수의 전자석을 각각 독립 구동하는 단계인 캐리어 위치 초기화 방법.
  18. 제 13 항에 있어서,
    상기 캐리어는, 적어도 일 측면에 이송 방향을 따라 설치되는 적어도 하나의 영구자석 및 상기 캐리어의 양 측면에 설치되는 제 1 가이드 부재를 포함하고,
    상기 이송장치는 상기 영구자석과 대향되게 이격 설치되며 상기 이송라인을 따라 상호 이격 설치되는 복수의 전자석 및, 상기 영구자석 및 상기 전자석의 구동에 의해 이송되는 캐리어를 안내하도록 상기 제 1 가이드 부재에 대응하는 제 2 가이드 부재를 포함하며,
    상기 이송장치를 독립적으로 구동하는 단계는, 인접 설치된 지정된 복수 개의 상기 전자석을 그룹핑하여 그룹별로 독립 구동하는 단계인 캐리어 위치 초기화 방법.
  19. 제 14 항에 있어서,
    상기 캐리어 이송 단계는, 캐리어를 검출한 제 1 센서의 좌측 또는 우측 최근방의 제 1 센서로 상기 캐리어를 이동시키는 단계인 캐리어 위치 초기화 방법.
  20. 제 14 항에 있어서,
    상기 캐리어 이송 단계는, 상기 이송라인 상의 지정된 기준위치에서, 상기 기준위치 좌측의 상기 제 1 센서에 의해 검출된 캐리어는 상기 캐리어를 검출한 상기 제 1 센서 좌측 최근방의 제 1 센서로 이동시키고, 상기 기준위치 우측의 상기 제 1 센서에 의해 검출된 캐리어는 상기 캐리어를 검출한 상기 제 1 센서 우측 최근방의 제 1 센서로 이동시키는 단계인 캐리어 위치 초기화 방법.
  21. 제 20 항에 있어서,
    상기 기준위치에서 캐리어가 검출되는 경우, 기 설정된 방향으로 상기 캐리어의 이동 방향을 결정하는 캐리어 위치 초기화 방법.
  22. 제 15 항에 있어서,
    상기 캐리어 이송 단계는, 상기 이송라인 상의 지정된 기준위치에서, 상기 기준위치 좌측의 상기 제 1 센서에 의해 검출된 캐리어는 제 1 센서 좌측 최근방의 제 2 센서로 이동시키고, 상기 기준위치 우측의 상기 제 1 센서에 의해 검출된 캐리어는 제 1 센서 우측 최근방의 제 2 센서로 이동시키는 단계인 캐리어 위치 초기화 방법.
  23. 제 22 항에 있어서,
    상기 기준위치에서 캐리어가 검출되는 경우, 기 설정된 방향으로 상기 캐리어의 이동 방향을 결정하는 캐리어 위치 초기화 방법.
  24. 제 15 항에 있어서,
    상기 제 2 센서 간의 간격은 상기 캐리어의 이송방향 길이보다 넓고, 상기 캐리어의 이송방향 길이의 2배 미만인 캐리어 위치 초기화 방법.
  25. 제 15항에 있어서,
    상기 제 1 센서 간의 간격은 상기 캐리어의 이송방향 길이보다 좁은 캐리어 위치 초기화 방법.
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