KR102568193B1 - 모듈 간 이음 연결 구조를 갖는 ｌｍｓ 물류 이송장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 집적회로의 기판 이송을 위한 물류라인에서 파트별 연결영역을 맞춤 이음 연결하여 파트별 연결 정밀도를 효율적으로 개선함을 제공하도록, 상부에 기판을 안착하여 각 공정을 향해 순차적으로 이송 가능하게 설치된 이송스테이지를 구비하는 물류 이송장치에 있어서, 각 공정을 따라 복수 개를 연속 배치하여 물류 이송라인을 형성하되, 상부에 받침플레이트를 구비하는 본체모듈과; 상기 본체모듈 상에 설치하고 상부에 좌우 간격을 두고 설치된 한 쌍의 가이드레일을 구비하며 상기 이송스테이지를 직선 이동 가능하게 지지하는 레일모듈;을 포함하고, 상기 레일모듈에는, 상기 본체모듈이 서로 맞닿는 연결지점에 대응하여 상기 레일모듈 상에 상기 가이드레일의 길이방향으로 형성하는 레일안착부와, 상기 본체모듈 간에 맞닿은 연결지점에서 상기 레일안착부 상에 맞춤 장착하여 상기 가이드레일을 이음 연결하는 스페이스레일을 포함하는 모듈 간 이음 연결 구조를 갖는 LMS 물류 이송장치를 제공한다.

Description

모듈 간 이음 연결 구조를 갖는 ＬＭＳ 물류 이송장치 {LMS Logistics Transport Apparatus Having Connect Structure of Between Modules}

본 발명은 모듈 간 이음 연결 구조를 갖는 LMS 물류 이송장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 집적회로의 기판 이송을 위한 물류라인에서 파트별 연결영역을 맞춤 이음 연결하여 파트별 연결 정밀도를 효율적으로 개선하는 것이 가능한 모듈 간 이음 연결 구조를 갖는 ＬＭＳ 물류 이송장치에 관한 것이다.

일반적으로 평판표시장치 제조 생산함에는 기판에 소정 물질의 박막을 형성하는 증착(deposition) 공정, 포토리소그라피(photolithograpty) 공정, 식각(etching) 공정 등의 단위 공정을 선택적, 반복적으로 수행하여 형성되며, 이외에도 세정 및 합착, 절단 등의 여러 가지 서로 다른 단위 공정이 수반된다.

이때, 각각의 단위 공정을 순차적으로 거치는 기판은 해당 단위 공정에 투입되기에 앞서, 위치정력을 수행하는 프리얼라인(pre-align) 설비를 통해 위치 정렬을 마친 후, 평판표시장치의 제조를 위한 각 단위 공정을 수행하는 설비로 이송되어 지는데, 각 단위 공정에서의 이송은 정밀한 구동이 요구되지만, 전반적인 이송공정 영역에서의 이송은 정밀한 구동을 요구하지 않기 때문에 전체 처리공정에 모두 고정밀 이송 장치를 설치하는 것은 비용적 측면에서 바람직하지 않다.

이와 같은 기판의 이송을 위한 종래의 이송 시스템은 주로 이송 로봇 또는 이송 장치를 포함한 물류 장치를 설비하여 이용하고 있으며, 이러한 물류 장치를 LMS(Linear Motion System)기반의 물류 장치라고 할 수 있다.

상기와 같은 물류 이송 시스템과 관련하여 개시되어 있었던 종래기술로써, 대한민국 등록특허공보 제2014299호(2019.08.20.)에는 적어도 하나의 챔버를 포함하는 시스템 내에 마련된 이송라인을 따라 복수의 캐리어를 일렬로 연속 이동시키는 이송장치; 상기 이송장치를 기 설정된 단위로 독립적으로 구동하는 드라이버 유닛; 상기 이송라인을 따라 지정된 제1 간격으로 설치되어 캐리어의 존재 유무를 검출하는 복수의 제1 센서; 및 상기 제1 센서들로부터 제공되는 캐리어 검출 정보를 이용하여 상기 이송라인 상에 위치하는 상기 복수의 캐리어들에 대한 초기 위치를 설정하되, 상기 복수의 캐리어들 각각을 상기 복수의 제1 센서들 중 특정된 제1 센

서의 위치로 각각 이송하도록 상기 드라이버 유닛의 구동을 제어하고, 이송 완료된 캐리어 각각의 위치를 해당 캐리어에 대한 초기 위치로 설정하는 제어 시스템;을 포함하여 구성됨에 따라 캐리어의 정렬 시간을 단축하며 캐리어 간의 충돌을 방지할 수 있는 대상물 이송 시스템이 공지되어 있다.

그러나 상기한 종래기술의 경우에는 기판을 지지한 캐리어의 이송구조에서 이송장치의 이송경로를 이루는 가이드부재가 설치된 모듈이 연속 배치될 때 모듈 간에 맞닿은 연결지점에서 높이 단차에 대한 정밀도가 물리적으로 한계가 있다는 문제가 있었다.

KR 등록특허공보 제10-2014299호 (2019.08.20.)

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 물류 이송라인에서 공정 파트별로 맞닿은 모듈 간 연결 지점을 이음 연결하게 구성하므로 모듈 간 연결로 인한 단차를 제거하면서 장치의 연결 정밀도를 높일 수 있는 모듈 간 이음 연결 구조를 갖는 LMS 물류 이송장치를 제공하는데, 그 목적이 있다.

본 발명이 제안하는 모듈 간 이음 연결 구조를 갖는 LMS 물류 이송장치는 상부에 기판을 안착하여 각 공정을 향해 순차적으로 이송 가능하게 설치된 이송스테이지를 구비하는 물류 이송장치에 있어서, 각 공정을 따라 복수 개를 연속 배치하여 물류 이송라인을 형성하되, 상부에 받침플레이트를 구비하는 본체모듈과; 상기 본체모듈 상에 설치하고 상부에 좌우 간격을 두고 설치된 한 쌍의 가이드레일을 구비하며 상기 이송스테이지를 직선 이동 가능하게 지지하는 레일모듈;을 포함하고, 상기 레일모듈에는, 상기 본체모듈이 서로 맞닿는 연결지점에 대응하여 상기 레일모듈 상에 상기 가이드레일의 길이방향으로 형성하는 레일안착부와, 상기 본체모듈 간에 맞닿은 연결지점에서 상기 레일안착부 상에 맞춤 장착하여 상기 가이드레일을 이음 연결하는 스페이스레일을 포함하여 이루어진다.

상기 가이드레일은, 상기 레일모듈 상에 고정 설치하는 제1가이드레일과, 상기 제1가이드레일 상에 고정 설치하되 전후로 상기 레일안착부를 구비토록 형성하는 제2가이드레일을 구성한다.

상기 레일모듈에서 상기 레일안착부는 상기 스페이스레일의 전체길이를 기준으로 1/2의 길이로 형성한다.

상기 레일모듈에는, 상기 가이드레일과 상기 스페이스레일 간에 결속력을 생성토록 상호 연결 고정하는 결속수단을 구성한다.

본 발명에 따른 모듈 간 이음 연결 구조를 갖는 LMS 물류 이송장치에 의하면 각 공정을 따라 연속 배치된 물류 이송라인의 파트별 모듈 간 연결지점에 레일을 맞춤 장착하게 구성하므로, 물류 이송라인의 모듈 간 연결부의 단차를 제거한 채 우수한 연결 정밀도를 도모하면서 기판의 이송 작업의 안정성 및 파트별 작업품질을 향상시킬 수 있는 효과를 얻는다.

도 1은 본 발명에 따른 일실시예를 개략적으로 나타내는 사시도.
도 2는 본 발명에 따른 일실시예를 개략적으로 나타내는 분리 사시도.
도 3은 본 발명에 따른 일실시예를 개략적으로 나타내는 정면도.
도 4의 (a),(b)는 각각 본 발명에 따른 일실시예에서 결속수단의 제1,2실시예를 나타내는 부분확대도.

본 발명은 상부에 기판을 안착하여 각 공정을 향해 순차적으로 이송 가능하게 설치된 이송스테이지를 구비하는 물류 이송장치에 있어서, 각 공정을 따라 복수 개를 연속 배치하여 물류 이송라인을 형성하되, 상부에 받침플레이트를 구비하는 본체모듈과; 상기 본체모듈 상에 설치하고 상부에 좌우 간격을 두고 설치된 한 쌍의 가이드레일을 구비하며 상기 이송스테이지를 직선 이동 가능하게 지지하는 레일모듈;을 포함하고, 상기 레일모듈에는, 상기 본체모듈이 서로 맞닿는 연결지점에 대응하여 상기 레일모듈 상에 상기 가이드레일의 길이방향으로 형성하는 레일안착부와, 상기 본체모듈 간에 맞닿은 연결지점에서 상기 레일안착부 상에 맞춤 장착하여 상기 가이드레일을 이음 연결하는 스페이스레일을 포함하는 모듈 간 이음 연결 구조를 갖는 LMS 물류 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.

다음으로 본 발명에 따른 모듈 간 이음 연결 구조를 갖는 LMS 물류 이송장치의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.

먼저 본 발명에 따른 모듈 간 이음 연결 구조를 갖는 LMS 물류 이송장치의 일실시예는 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 상부에 기판을 안착하여 각 공정을 향해 순차적으로 이송 가능하게 설치된 이송스테이지(S)를 구비하는 물류 이송장치에 있어서, 본체모듈(10)과, 레일모듈(20)을 포함하여 이루어진다.

상기 본체모듈(10)은 작업장의 바닥면으로부터 소정의 높이로 이격된 위치에서 상기 이송스테이지(S)에 의한 기판의 이송이 이뤄질 수 있게 지지하는 받침대 기능을 수행한다.

상기 본체모듈(10)은 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 횡 방향 및 종 방향으로의 연장된 프레임을 연결 결합한 구조물로서, 상부에 평탄한 평면을 갖는 받침플레이트(11)를 구비토록 구성한다.

상기 본체모듈(10)은 기판의 제작 생산을 위한 전반적인 공정을 연결하는 이송경로를 조성토록 각 공정을 따라 복수 개를 연속 배치하여 물류 이송라인을 형성한다.

상기 레일모듈(20)은 상기 이송스테이지(S)를 연결 결합하여 지지하되, 상기 이송스테이지(S)의 직선 이동을 위한 이송경로를 형성한다.

상기 레일모듈(20)은 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 상기 본체모듈(10) 상에 설치하고 상부에 좌우 간격을 두고 한 쌍의 가이드레일(21)을 구비토록 설치 구성한다.

상기 가이드레일(21)은 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 상하로 구분 형성된 적층 구조로서, 상기 레일모듈(20) 상에 고정 설치하는 제1가이드레일(21a)과, 상기 제1가이드레일(21a) 상에 고정 설치하는 제2가이드레일(21b)을 구성한다.

상기 제2가이드레일(21b)은 상기 제1가이드레일(21a)보다 짧은 길이로 형성한다. 즉, 상기 제1가이드레일(21a)은 개개의 상기 본체모듈(10)의 길이와 동일한 길이로 연장 형성하고, 상기 제2가이드레일(21b)은 상기 제1가이드레일(21a)보다 상대적으로 짧은 길이를 이루게 형성한다.

상기 레일모듈(20)에는 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 상기 가이드레일(21)의 길이방향으로 형성하는 레일안착부(23)와, 상기 가이드레일(21)을 이음 연결하는 스페이스레일(25)을 구성한다.

상기 레일안착부(23)는 복수 개의 상기 본체모듈(10)이 서로 맞닿는 연결지점에 대응하여 상기 레일모듈(20) 상에 형성한다. 즉, 상기 레일안착부(23)는 상기 레일모듈(20)의 가이드레일(21)에서 상기 본체모듈(10) 간의 연결지점에 해당하는 상기 제1가이드레일(21a)의 전후로 대응하여 상기 제2가이드레일(21b) 상에 형성한다.

상기 스페이스레일(25)은 상기 본체모듈(10) 간에 맞닿은 연결지점에서 상기 레일안착부(23) 상에 맞춤 장착하게 구성한다. 즉, 상기 스페이스레일(25)은 상기 본체모듈(10) 간에 맞닿은 연결지점에서 상기 제2가이드레일(21b)의 이격된 간격에 맞춤 장착하여 상기 가이드레일(21)을 이음 연결한다.

상기 스페이스레일(25)은 막대형상으로 이루어지고, 상기 스페이스레일(25)은 상기 제2가이드레일(21b)의 폭과 높이가 동일하게 규격화하여 형성한다.

상기 레일모듈(20)에서 상기 레일안착부(23)의 길이(L2)는 상기 스페이스레일(25)의 전체길이(L1)를 기준으로 1/2의 길이로 형성한다. 즉, 서로 맞닿게 배치된 상기 본체모듈(10) 간에 각각 상기 스페이스레일(25)의 1/2이 연결 결합한다.

도면에 나타내지는 않았지만 상기 스페이스레일(25)은 상기 레일안착부(23)에 결합하되 기본적으로 상기 가이드레일(21) 중 상기 제1가이드레일(21a) 상에 나사 또는 볼트 등의 체결수단을 사용하여 고정한다.

또한, 상기 레일모듈(20)에는 상기 가이드레일(21)과 상기 스페이스레일(25) 간에 결속력을 생성토록 상호 연결 고정하는 결속수단(27)을 구성하는 것도 가능하다.

상기 결속수단(27)의 제1실시예는 끼움형 구조로서, 도 4의 (a)에 나타낸 바와 같이, 상기 가이드레일(21) 중 상기 제2가이드레일(21b)의 일단에 상기 레일안착부(23)를 향해 돌출 형성하는 결속돌기(27a)와, 상기 스페이스레일(25)의 일측 하부에 상기 결속돌기(27a)에 대응하여 오목하게 형성하는 결속홈(27b)을 구성한다. 즉, 상기 가이드레일(21)의 결속돌기(27a)에 상기 스페이스레일(25)의 결속홈(27b)이 끼움 결합하여 상호 부동상태로 연결 결합한다.

또, 상기 결속수단(27)의 제2실시예는 자력 부착형 구조로서, 도 4의 (b)에 나타낸 바와 같이, 상기 가이드레일(21) 중 상기 제1가이드레일(21a) 상에 매립 설치하여 상기 레일안착부(23)를 향하여 유입된 상기 스페이스레일(25)을 부착 고정토록 자력을 생성시키는 구조로 구성하는 것도 가능하다.

즉 상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 모듈 간 이음 연결 구조를 갖는 LMS 물류 이송장치에 의하면 각 공정을 따라 연속 배치된 물류 이송라인의 파트별 모듈 간 연결지점에 레일을 맞춤 장착하게 구성하므로, 물류 이송라인의 모듈 간 연결부의 단차를 제거한 채 우수한 연결 정밀도를 도모하면서 기판의 이송 작업의 안정성 및 파트별 작업품질을 향상시키는 것이 가능하다.

상기에서는 본 발명에 따른 모듈 간 이음 연결 구조를 갖는 LMS 물류 이송장치의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 명세서 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다.

10 : 본체모듈 11 : 받침플레이트
20 : 레일모듈 21 : 가이드레일
21a : 제1가이드레일 21b : 제2가이드레일
23 : 레일안착부 25 : 스페이스레일
27 : 결속수단 27a :결속돌기
27b : 결속홈 S : 이송스테이지
L1 : 스페이스레일의 전체길이
L2 : 레일안착부의 길이

Claims (4)

1. 상부에 기판을 안착하여 각 공정을 향해 순차적으로 이송 가능하게 설치된 이송스테이지를 구비하는 물류 이송장치에 있어서, 각 공정을 따라 복수 개를 연속 배치하여 물류 이송라인을 형성하되, 상부에 받침플레이트를 구비하는 본체모듈과; 상기 본체모듈 상에 설치하고 상부에 좌우 간격을 두고 설치된 한 쌍의 가이드레일을 구비하며 상기 이송스테이지를 직선 이동 가능하게 지지하는 레일모듈;을 포함하고, 상기 레일모듈에는, 상기 본체모듈이 서로 맞닿는 연결지점에 대응하여 상기 레일모듈 상에 상기 가이드레일의 길이방향으로 형성하는 레일안착부와, 상기 본체모듈 간에 맞닿은 연결지점에서 상기 레일안착부 상에 맞춤 장착하여 상기 가이드레일을 이음 연결하는 스페이스레일을 포함하여 이루어지고,
   상기 가이드레일은, 상기 레일모듈 상에 고정 설치하는 제1가이드레일과, 상기 제1가이드레일 상에 고정 설치하되 전후로 상기 레일안착부를 구비토록 형성하는 제2가이드레일을 포함하며,
   상기 레일모듈에서 상기 레일안착부는 상기 스페이스레일의 전체길이를 기준으로 1/2의 길이로 형성하고,
   상기 레일모듈에는, 상기 가이드레일과 상기 스페이스레일 간에 결속력을 생성토록 상호 연결 고정하는 결속수단을 포함하며, 상기 결속수단은 상기 제1가이드레일 상에 매립 설치하여 상기 레일안착부를 향하여 유입된 상기 스페이스레일을 부착 고정토록 자력을 생성시키는 자력 부착형 구조로 이루어지는 모듈 간 이음 연결 구조를 갖는 LMS 물류 이송장치.
   
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