JP2014156297A - 浮上搬送装置、搬送レール、および浮上搬送方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】浮上搬送装置は、搬送方向に並べられた搬送レール1の搬送面110から圧縮空気を噴出して、ガラス基板等の搬送対象物3を、これらの搬送レール1の搬送面110から浮上させながら搬送方向に搬送する。搬送方向に並べられた搬送レール1の搬送面110のうち、搬送方向において隣り合う2つの搬送面110A、110Bの間には、搬送方向に対して所定の角度θ傾斜した方向の隙間4が形成されている。これら2つの搬送面110A、110Bのうち、搬送方向の下流側に位置する搬送面110Bは、角度θに対応する後端面123側の角部118の先端を、搬送方向の上流側に位置する搬送面110Aの、角度θに対応する前端面121側の角部116の先端よりも搬送方向の上流に位置付けている。
【選択図】図3
Description
搬送方向に沿った搬送面と搬送対象物との間に流体膜を形成して、前記搬送対象物を、前記搬送面から浮上させながら前記搬送方向に搬送する浮上搬送装置であって、
前記搬送面を有し、前記搬送対象物との間に前記流体膜を形成するための流体を噴出する搬送レールを複数備え、
前記複数の搬送レールは、当該複数の搬送レール各々の前記搬送面が前記搬送方向に沿って並ぶように、前記搬送方向に沿って並べられ、
前記搬送方向において隣り合う2つの前記搬送面は、それぞれ、前記搬送方向の位置が異なる2箇所の位置を結ぶ縁部を有し、
前記2つの搬送面の縁部は、対向して、前記搬送方向の直交方向と交差する隙間を当該2つの前記搬送面の間に形成し、当該対向する2つの縁部のうち、前記搬送方向の下流側に位置する一方の前記搬送面の縁部は、当該縁部が結ぶ前記2箇所の位置のうち、前記搬送方向の上流側の位置を、前記搬送方向の上流側に位置する他方の前記搬送面の前記縁部が結ぶ前記2箇所の位置のうちの、前記搬送方向の下流側の位置よりも、前記搬送方向の上流側に位置付ける。
前記搬送対象物が有する端面のうち、前記搬送方向に沿った端面以外の端面は、前記搬送方向において隣り合う2つの搬送面間に形成される隙間の方向に対して相対的に傾斜しており、当該隙間上を通過している間、当該2つの搬送面のうち、上流側に位置する一方の搬送面上を越える前に、下流側に位置する他方の搬送面上に進入するものである。
Claims (7)
- 搬送方向に沿った搬送面と搬送対象物との間に流体膜を形成して、前記搬送対象物を、前記搬送面から浮上させながら前記搬送方向に搬送する浮上搬送装置であって、
前記搬送面を有し、前記搬送対象物との間に前記流体膜を形成するための流体を噴出する搬送レールを複数備え、
前記複数の搬送レールは、当該複数の搬送レール各々の前記搬送面が前記搬送方向に沿って並ぶように、前記搬送方向に沿って並べられ、
前記搬送方向において隣り合う2つの前記搬送面は、それぞれ、前記搬送方向の位置が異なる2箇所の位置を結ぶ縁部を有し、
前記2つの搬送面の縁部は、対向して、前記搬送方向の直交方向と交差する隙間を当該2つの前記搬送面の間に形成し、当該対向する2つの縁部のうち、前記搬送方向の下流側に位置する一方の前記搬送面の縁部は、当該縁部が結ぶ前記2箇所の位置のうち、前記搬送方向の上流側の位置を、前記搬送方向の上流側に位置する他方の前記搬送面の前記縁部が結ぶ前記2箇所の位置のうちの、前記搬送方向の下流側の位置よりも、前記搬送方向の上流側に位置付ける
ことを特徴とする浮上搬送装置。 - 請求項1記載の浮上搬送装置であって、
前記対向する2つの縁部は、前記搬送方向に対して傾斜した方向に沿って前記隙間を形成するように前記搬送方向に対して傾斜し、
前記搬送方向において隣り合う2つの前記搬送面は、前記縁部の両側に2つの角部を有し、当該2つの前記搬送面のうち、前記搬送方向の下流側に位置する一方の前記搬送面は、当該搬送面の前記2つの角部のうち、前記搬送方向の上流側に位置する角部を、前記搬送方向の上流側に位置する他方の前記搬送面の前記2つの角部のうちの、前記搬送方向の下流側に位置する角部よりも、前記搬送方向の上流側に位置付ける
ことを特徴とする浮上搬送装置。 - 請求項1または2記載の浮上搬送装置であって、
前記複数の搬送レールの搬送面は、略平行四辺形または略台形の形状を有する
ことを特徴とする浮上搬送装置。 - 請求項1記載の浮上搬送装置であって、
前記対向する2つの縁部は、曲線状または階段状であることを特徴とする浮上搬送装置。 - 請求項1ないし4のいずれか一項に記載の浮上搬送装置において、前記搬送レールとして用いられる搬送レール。
- 搬送方向に沿って並べられた複数の搬送面のそれぞれと搬送対象物との間に、前記それぞれの搬送面から噴出する流体により流体膜を形成して、前記搬送対象物を、前記複数の搬送面のそれぞれから浮上させながら前記搬送方向に搬送する浮上搬送方法であって、
前記搬送対象物が有する端面のうち、前記搬送方向に沿った端面以外の端面は、前記搬送方向において隣り合う2つの搬送面間に形成される隙間の方向に対して相対的に傾斜しており、当該隙間上を通過している間、当該2つの搬送面のうち、上流側に位置する一方の搬送面上を越える前に、下流側に位置する他方の搬送面上に進入する
ことを特徴とする浮上搬送方法。 - 請求項6記載の浮上搬送方法であって、
前記搬送対象物は、前記搬送方向に沿った端面以外の端面として、搬送方向に対して傾斜した端面を有する略平行四辺形または略台形の形状を有する、
ことを特徴とする浮上搬送方法。
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