JP5839656B2 - 振動浮上装置及び振動浮上搬送装置 - Google Patents
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Description
前記振動プレートは、前記振動プレートの表面と水平をなす方向に変位するのを規制する水平方向規制機構をさらに備えており、前記水平方向規制機構は、前記振動プレートがその裏面に凹形状の規制凹部を有しており、その規制凹部に前記プレート支持部の一部が挿入された状態で形成されており、前記プレート支持部は、前記規制凹部の側壁面に対向する位置に側面エア噴出部がさらに設けられ、前記側面エア噴出部から噴出されるエア圧により、前記振動プレートの水平方向の変位が規制されることを特徴としている。
[実施例1]
図1は、振動浮上搬送装置の一実施形態を示す上面図であり、図2は、振動浮上搬送装置の側面図、図3は、振動浮上搬送装置の正面図である。
この水平方向規制機構40は、振動プレート11が振動プレート11の表面11aと水平をなす方向に変位するのを規制するものである。この水平規制機構は、振動プレート11の裏面11bに設けられた規制突起部41と、規制突起部41の変位を拘束する拘束部42とを有している。
すなわち、挿入孔42aの壁面には、壁面全体にわたって複数の孔が形成されており、拘束部42と配管43で連結されるエアコンプレッサー(不図示)からエアが供給されると、多数の孔からエアが噴出される。これにより、規制突起部41の動きがエアの圧力で規制されるようになっている。すなわち、規制突起部41が挿入孔42aに挿入された状態でエア供給部42bにエアが供給されると、規制突起部41と対面する挿入孔42aの壁面全体からエアが噴出することにより挿入孔42a内の圧力が上昇し、そのエアの圧力により規制突起部41が挿入孔42a内に一時的に固定される。これにより、規制突起部41が連結される振動プレート11が振動プレート11の表面と水平をなす方向に変位(XY平面上の変位)が規制される。また、規制突起部41がエアの圧力で拘束されるため、規制突起部41と拘束部42とが直接接触しない。したがって、これらが接触することによるパーティクルの発生や騒音が発生する問題を回避することができる。
また、振動浮上装置10及び振動浮上搬送装置1にかかる他の実施形態について、図6〜図8を用いて説明する。この実施例2における本実施形態では、実施例1に示す水平方向規制機構40以外の水平方向規制機構40を有する例である。ここで、図6は、他の実施形態におけるプレート支持部30の配置を上から見た図であり、図7は、水平方向規制機構40付きのプレート支持部30を示す図であり、図8は、図6におけるA−A断面図とB−B断面図である。なお、以下説明する構成以外の構成については、実施例1における構成と同様であるため、説明は省略する。
2 基板
10 振動浮上装置
11 振動プレート
15 規制凹部
20 搬送装置
30 プレート支持部
30a 固定型プレート支持部
30b 自由型プレート支持部
32 エアベアリング
32a エア噴出部
32b 側面エア噴出部
40 水平方向規制機構
41 規制突起部
42 拘束部
42a 挿入孔
80 ガイド部材
Claims (5)
- 振動プレートと、
前記振動プレートを振動させる振動子と、
前記振動プレートを支持するプレート支持部と、
を備え、前記振動子により前記振動プレートを特定周波数で振動させることにより、前記振動プレート上の対象物を前記振動プレートの表面から浮上させる振動浮上装置であって、
前記プレート支持部は、前記振動プレートの裏面と対向する部分にエアを噴出するエア噴出部を有しており、前記エア噴出部から噴出されたエアにより前記振動プレートが浮上した状態で支持されており、
前記振動プレートは、前記振動プレートの表面と水平をなす方向に変位するのを規制する水平方向規制機構をさらに備えており、
前記水平方向規制機構は、前記振動プレートがその裏面に凹形状の規制凹部を有しており、その規制凹部に前記プレート支持部の一部が挿入された状態で形成されており、前記プレート支持部は、前記規制凹部の側壁面に対向する位置に側面エア噴出部がさらに設けられ、前記側面エア噴出部から噴出されるエア圧により、前記振動プレートの水平方向の変位が規制されることを特徴とする振動浮上装置。 - 前記水平方向規制機構の前記プレート支持部は、ガイド部材上に配置されており、このガイド部材により、プレート支持部の取付位置は振動プレートの表面と水平をなす方向に変位するのを許容されることを特徴とする請求項1に記載の振動浮上装置。
- 前記振動プレートは、複数の前記プレート支持部で支持されており、これら複数のプレート支持部のうち、前記水平方向規制機構のプレート支持部は、一方向に並べて配列されており、これら水平方向規制機構のプレート支持部のうち、1つ以外は前記ガイド部材上に配置されており、そのガイド部材の移動方向は、プレート支持部の配列方向であることを特徴とする請求項2に記載の振動浮上装置。
- 振動プレートと、
前記振動プレートを振動させる振動子と、
前記振動プレートを支持するプレート支持部と、
を備え、前記振動子により前記振動プレートを特定周波数で振動させることにより、前記振動プレート上の対象物を前記振動プレートの表面から浮上させる振動浮上装置であって、
前記プレート支持部は、前記振動プレートの裏面と対向する部分にエアを噴出するエア噴出部を有しており、前記エア噴出部から噴出されたエアにより前記振動プレートが浮上した状態で支持されており、
前記振動プレートが前記振動プレートの表面と水平をなす方向に変位するのを規制する水平方向規制機構をさらに備えており、
前記水平方向規制機構は、前記振動プレートの裏面に設けられ前記振動プレートの裏面と垂直をなす方向に延びる規制突起部と、この規制突起部の変位を拘束する拘束部とを有しており、
前記拘束部は、前記規制突起部が挿入可能な挿入孔と、この挿入孔の壁面からエアを噴出するエア供給部とを有しており、この挿入部に前記規制突起部が挿入された状態で前記エア供給部からエアが噴出されることにより、そのエア圧で前記規制突起部が振動プレートの表面と水平をなす方向に変位するのが規制されることを特徴とする振動浮上装置。 - 前記請求項1〜4のいずれかに記載の振動浮上装置と、
前記振動プレート上の対象物を特定方向に導く搬送装置
と、
を備えることを特徴とする振動浮上搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011113753A JP5839656B2 (ja) | 2010-12-15 | 2011-05-20 | 振動浮上装置及び振動浮上搬送装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010278758 | 2010-12-15 | ||
JP2010278758 | 2010-12-15 | ||
JP2011113753A JP5839656B2 (ja) | 2010-12-15 | 2011-05-20 | 振動浮上装置及び振動浮上搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012140244A JP2012140244A (ja) | 2012-07-26 |
JP5839656B2 true JP5839656B2 (ja) | 2016-01-06 |
Family
ID=46676962
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011113753A Expired - Fee Related JP5839656B2 (ja) | 2010-12-15 | 2011-05-20 | 振動浮上装置及び振動浮上搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5839656B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6238438B2 (ja) * | 2013-09-26 | 2017-11-29 | 東レエンジニアリング株式会社 | 基板浮上装置 |
KR101960661B1 (ko) * | 2016-12-01 | 2019-07-15 | 주식회사 케이씨텍 | 기판 이송 장치 및 이를 구비한 기판 처리 시스템 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0640049B2 (ja) * | 1990-02-06 | 1994-05-25 | 株式会社ミツトヨ | 振動試験装置用静圧軸受 |
JP2934379B2 (ja) * | 1994-03-07 | 1999-08-16 | 株式会社カイジョー | 物体浮揚装置を具備した物体搬送装置 |
JPH10227717A (ja) * | 1997-02-14 | 1998-08-25 | Akashi:Kk | 水平振動台の支持装置 |
JP4001136B2 (ja) * | 2003-11-13 | 2007-10-31 | 株式会社豊田自動織機 | 音波浮揚装置 |
JP2005257030A (ja) * | 2004-03-15 | 2005-09-22 | Nikon Corp | 流体軸受、ステージ装置及び露光装置、評価装置及び評価方法 |
JP5018667B2 (ja) * | 2008-06-20 | 2012-09-05 | 株式会社ジェイテクト | 回転トルク検出装置 |
JP2010063262A (ja) * | 2008-09-03 | 2010-03-18 | Jtekt Corp | リニアモータ駆動送り装置 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012140244A (ja) | 2012-07-26 |
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